CN210073901U - 一种电注入机台 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种电注入机台，其属于光伏技术领域；所述电注入机台内设有用于放置硅片的工作腔，所述电注入机台还包括：上加热装置，设于所述工作腔的顶部；下加热装置，设于所述工作腔的底部；冷却风进气装置,设于所述电注入机台的侧面，用于对所述工作腔进行冷却。本实用新型提出的电注入机台，在工作腔的顶部设置上加热装置，在工作腔的底部设置下加热装置，当硅片叠置在工作腔后，上加热装置和下加热装置同时对硅片进行加热，加热速度快；在电注入机台的侧面设置冷却风进气装置，由冷却风进气装置输送冷却气进入到工作腔内，对工作腔进行降温，防止因长时间工作后工作腔内的温度过高，影响电注入机台的正常工作。

Description

一种电注入机台

技术领域

本实用新型涉及光伏技术领域，尤其涉及一种电注入机台。

背景技术

光伏电池作为最清洁的可再生资源，应用领域日益广泛。硅太阳能电池是光伏电池中的一种，基于硅无毒、廉价和地壳中储量大的优势，目前，绝大多数商业化的光伏电池都是用硅制作的。

光伏电池都存在光致衰减的问题。为了避免光伏电池发生光致衰减，需要对光伏电池进行抗光衰处理。电注入机台作为一种对光伏电池进行抗光衰处理的设备，层叠的多个硅片放置在电注入机台的工作腔内，能够同时对层叠的多个硅片进行抗光衰处理。

电注入机台将硅片加热到一定温度，从而实现对硅片的抗光衰处理，所以电注入机台的工作腔内会产生大量的热量。而电注入机台的散热性较差，如不及时散热，则容易导致电注入机台内部的电器元件损坏，也会影响对硅片的抗光衰处理效果。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种电注入机台，能够及时对电注入机台内的工作腔进行冷却，防止因工作腔温度过高后影响电注入机台的正常工作。

如上构思，本实用新型所采用的技术方案是：

一种电注入机台，所述电注入机台内设有用于放置硅片的工作腔，所述电注入机台还包括：

上加热装置，设于所述工作腔的顶部；

下加热装置，设于所述工作腔的底部；

冷却风进气装置,设于所述电注入机台的侧面，用于对所述工作腔进行冷却。

可选地，所述冷却风进气装置包括多个沿水平方向平行且间隔设置的进气管路，所述进气管路的端口与所述工作腔连通。

可选地，所述进气管路的所述端口连通有上支管路和下支管路，所述上支管路和所述下支管路与工作腔连通。

可选地，所述电注入机台的侧壁上设有与所述上支管路和所述下支管路一一对应的多个进气孔。

可选地，在所述电注入机台的侧壁上于所述上支管路和所述下支管路之间设有感温装置。

可选地，每一所述进气管路上均设有阀门。

可选地，所述电注入机台的相对的两个侧面均设有所述冷却风进气装置。

可选地，所述电注入机台还设有热排抽风口。

可选地，所述电注入机台的部分侧面设有活动门，所述冷却风进气装置设于所述电注入机台未设有所述活动门的侧面上。

可选地，所述电注入机台的侧面设有多个所述冷却风进气装置，每个所述冷却风进气装置独立控制。

本实用新型提出的电注入机台，在工作腔的顶部设置上加热装置，在工作腔的底部设置下加热装置，当硅片叠置在工作腔后，上加热装置和下加热装置同时对硅片进行加热，加热速度快；在电注入机台的侧面设置冷却风进气装置，当电注入机台长时间工作后，由冷却风进气装置输送冷却气进入到工作腔内，对工作腔进行降温，防止因长时间工作后工作腔内的温度过高，影响电注入机台的正常工作。

附图说明

图1是本实用新型实施例一提供的电注入机台未设置冷却风进气装置时的结构示意图；

图2是本实用新型实施例一提供的电注入机台的主视图；

图3是本实用新型实施例二提供的电注入机台未设置冷却风进气装置时的结构示意图。

图中：

1、上加热装置；11、上感温装置；

2、下加热装置；21、下感温装置；

3、冷却风进气装置；31、进气管路；311、上支管路；312、下支管路；313、阀门；32、进气孔；

4、感温装置；

51、活动门；52、热排抽风口；53、传输轨道。

具体实施方式

为使本实用新型解决的技术问题、采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚，下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本实用新型的技术方案。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本实用新型，而非对本实用新型的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本实用新型相关的部分而非全部。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。其中，术语“第一位置”和“第二位置”为两个不同的位置。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

实施例一

为了能够使得电注入机台在长时间工作后能够快速对工作腔内进行降温，防止工作腔内温度过后后损坏电注入机台的元器件，影响对硅片的抗光衰处理效果，本实施例提供一种电注入机台。

参见图1和图2，电注入机台内设有用于放置硅片的工作腔，多个硅片水平叠置于工作腔内。为了方便放置硅片，电注入机台的部分侧面设有活动门51，活动门51铰接于电注入机台的侧面。优选地，活动门51沿竖直方向的一端铰接于电注入机台的侧面，这样活动门51打开后方便操作人员直接放置或者取出硅片。优选地，本实施例中，电注入机台相对的两个侧面均设置有活动门51，用于进出料传输。

为了对工作腔内的硅片进行加热，本实施例中，电注入机台还包括上加热装置1和下加热装置2。上加热装置1设有工作腔的顶部，能够对硅片自上向下加热；下加热装置2设于工作腔的底部，能够对硅片自下向上加热。上加热装置1和下加热装置2同时对硅片进行加热，能够对叠置的硅片进行快速升温，提高对硅片的抗光衰处理效率。

为了能够精确控制上加热装置1和下加热装置2的加热温度，本实施例中，上加热装置1上设有上感温装置11，下加热装置2上设有下感温装置21。依据上感温装置11的温度，操作人员能够即时调整上加热装置1的温度；依据下感温装置21的温度，操作人员能够即时调整下加热装置2的加热温度。实现上加热装置1和下加热装置2的温度即使调整，能够避免加热装置1和下加热装置2长时间温度过高或者过低，提高电注入机台对硅片的抗光衰处理效果。

具体地，本实施例中，上加热装置1和下加热装置2均包括加热电极。可选地，加热电极内置加热陶瓷片。可选地，上感温装置11和下感温装置21均为测温热电偶，测温热电偶内置于加热电极内，用于测试加热电极的加热温度，当加热温度过高或者过低时，操作人员能够进行实时监控和调整。

当电注入机台长时间加热后，工作腔内温度会升高。当工作腔内的温度过高时，有可能会破坏电注入机台内的电子元件，影响电注入机台的正常工作。

为解决上述问题，本实施例中，电注入机台还包括冷却风进气装置3，冷却风进气装置3设于电注入机台的侧面，用于对长时间工作后的工作腔进行冷却。优选地，冷却风进气装置3设于电注入机台未设有活动门51的侧面上，防止冷却风进气装置3和活动门51互相发生干涉。

可选地，工作腔内还设有传输轨道53，可选地，传输轨道53为履带式传输轨道或者传输皮带，方便放置或者移出硅片。

具体地，本实施例中，冷却风进气装置3包括多个沿水平方向平行且间隔设置的进气管路31，进气管路31的端口与工作腔连通，冷却风自进气管路31进入到工作腔内，对工作腔内的硅片进行冷却。可选地，进气管路31远离工作腔的一端连接有制冷风机，由制冷风机向进气管路31内鼓入冷却风。

当然，在其他的实施例中，冷却风进气装置3的多个进气管路31也可以沿竖直方向平行且间隔设置，在此不做过多限制。

进一步地，进气管路31靠近电注入机台的端口连通有上支管路311和下支管路312，上支管路311和下支管路312与工作腔连通，进气管路31中的冷却风经过上支管路311和下支管路312的分流，分为上下两股冷却风，使得与冷却风对吹的硅片更多，进而对硅片的冷却速度更快；同时分为上下两股冷却风，能够减小冷却风的风力，避免冷却风对局部硅片的降温过快，影响电注入机台对硅片的抗光衰处理。

相应地，电注入机台的侧壁上设有与上支管路311和下支管路312一一对应的多个进气孔32。

进一步地，为了能够实时控制冷却风进气装置3对工作腔的降温效果，在电注入机台的侧壁上于上支管路311和下支管路312之间设有感温装置4，感温装置4能够反馈上支管路311和下支管路312附近的工作腔内的温度，以便操作人员实时调整冷却风进气装置3开启还是关闭。可选地，基于红外温度感应器灵敏度高且成本低的优势，上支管路311和下支管路312之间的感温装置4为红外温度感应器。红外温度感应器设置在电注入机台的侧面靠近冷却风进气装置3的装置，检测工作腔内冷却风进气装置3附近的温度。

进一步地，为了能够方便开启或者关闭冷却风进气装置3，每一进气管路31上均设有阀门313，阀门313开启时冷却风进气装置3的冷却风能够经由进气管路31进入到工作腔内，阀门313关闭时冷却风进气装置3关闭。可选地，本实施例中，阀门313为气动阀门。

可选地，设计人员可以根据需要，在冷却风进气装置3中加入控制装置，当感温装置4的检测温度低于设定温度时，气动阀门关闭，冷却风进气装置3无需启动；当感温装置4的检测温度高于设定温度时，感温装置4反馈给控制装置信息，控制装置控制气动阀门自动开启，冷却风进气装置3启动工作对工作腔进行冷却。如此设置，能够降低操作人员的工作强度。

进一步地，为了保证对硅片的均匀降温，电注入机台的相对的两个侧面均设有冷却风进气装置3，这样硅片层相对的两个侧面能够同时降温，避免单侧降温导致的硅片温度不均匀，影响电注入机台对硅片的抗光衰处理效果。

相应地，电注入机台还设有热排抽风口52，在工作腔内设有与热排抽风口52连通的热排风管。可选地，可在工作腔内设置风机，热排风管的一端与风机的出风口连通，另一端与热排抽风口52连通，风机启动后能够将工作腔内的热空气排出工作腔内，以对工作腔进行快速降温。

为了能够有效保证对工作腔的降温效果，电注入机台的侧面设有多个冷却风进气装置3，每个冷却风进气装置3独立控制。具体地，每个冷却风进气装置3设有控制装置。多个冷却风进气装置3独立控制，能够使得整个工作腔的温度更加均匀，不会出现局部过热或者局部过冷的情况。

具体地，本实施例中，沿高度方向，在电注入机台的相对的两个侧面各设有三个冷却风进气装置3。三个冷却风进气装置3分布于靠近工作腔底部的位置，工作腔中部的位置和靠近工作腔顶部的位置。

每个冷却风进气装置3的上支管路311和下支管路312之间均设有感温装置4，三个感温装置4能够实现对工作腔内的多点温度检测，方便控制工作腔内的各部分温度，实现对电注入机台的全方位的温度控制，能够及时发现电池片局部温差过大问题，进而能够保证工作腔内整叠硅片的温度均匀性，避免温度异常导致硅片大批量失效返工。

实施例二

参见图3，本实施例提供一种电注入机台，其与实施例一的不同之处在于，电注入机台的侧面设有一个冷却风进气装置3，该冷却风进气装置的上支管路311和下支管路312相对于工作腔的水平对称面对称分布，以能够对工作腔均匀散热。设置一个冷却风进气装置3，在满足对工作腔进行冷却的同时，也能够使得电注入机台的结构更为简单，成本更为低廉。

当然，在其他的实施例中，电注入机台的侧面设有一个冷却风进气装置3时，感温装置4的具体设置位置可根据需要进行选择，例如设置在靠近工作腔底部的位置或者设置在靠近工作腔顶部的位置，在此不做过多限制。

以上实施方式只是阐述了本实用新型的基本原理和特性，本实用新型不受上述实施方式限制，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还有各种变化和改变，这些变化和改变都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

Claims (10)

1.一种电注入机台，所述电注入机台内设有用于放置硅片的工作腔，其特征在于，所述电注入机台还包括：

上加热装置(1)，设于所述工作腔的顶部；

下加热装置(2)，设于所述工作腔的底部；

冷却风进气装置(3),设于所述电注入机台的侧面，用于对所述工作腔进行冷却。

2.根据权利要求1所述的电注入机台，其特征在于，所述冷却风进气装置(3)包括多个沿水平方向平行且间隔设置的进气管路(31)，所述进气管路(31)的端口与所述工作腔连通。

3.根据权利要求2所述的电注入机台，其特征在于，所述进气管路(31)的所述端口连通有上支管路(311)和下支管路(312)，所述上支管路(311)和所述下支管路(312)与工作腔连通。

4.根据权利要求3所述的电注入机台，其特征在于，所述电注入机台的侧壁上设有与所述上支管路(311)和所述下支管路(312)一一对应的多个进气孔(32)。

5.根据权利要求3所述的电注入机台，其特征在于，在所述电注入机台的侧壁上于所述上支管路(311)和所述下支管路(312)之间设有感温装置(4)。

6.根据权利要求2-4任一项所述的电注入机台，其特征在于，每一所述进气管路(31)上均设有阀门(313)。

7.根据权利要求1-5任一项所述的电注入机台，其特征在于，所述电注入机台的相对的两个侧面均设有所述冷却风进气装置(3)。

8.根据权利要求1-5任一项所述的电注入机台，其特征在于，所述电注入机台还设有热排抽风口(52)。

9.根据权利要求1-5任一项所述的电注入机台，其特征在于，所述电注入机台的部分侧面设有活动门(51)，所述冷却风进气装置(3)设于所述电注入机台未设有所述活动门(51)的侧面上。

10.根据权利要求1-5任一项所述的电注入机台，其特征在于，所述电注入机台的侧面设有多个所述冷却风进气装置(3)，每个所述冷却风进气装置(3)独立控制。

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