CN210048498U - 一种新型三氯氢硅的合成生产装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种新型三氯氢硅的合成生产装置，包括合成塔、一级旋风除尘器、二级旋风除尘器、湿法喷淋装置和废气预处理装置，所述合成塔、废气预处理装置、一级旋风除尘器、二级旋风除尘器和湿法喷淋装置按照由左到右的顺序连接，废气预处理装置包括水泵、中和沉淀池、三氯氢硅检测报警器和箱体，箱体水平设置，箱体的左端为进气端，右端为排气端，箱体内设有多个活性炭吸附板和喷头，多个活性炭吸附板分别设于箱体的进气端和排气端，喷头设在箱体顶部，箱体底部设有凹陷的废水收集槽，废水收集槽、中和沉淀池、水泵和喷头依次通过输水管道相连接，三氯氢硅检测报警器设于箱体上部。本实用新型除尘效率高，经济效益好，安全可靠。

Description

一种新型三氯氢硅的合成生产装置

技术领域

本实用新型属于三氯氢硅的生产技术领域，具体地，涉及一种新型三氯氢硅的合成生产装置。

背景技术

在采用硅粉合成三氯氢硅的生产工艺时，会排放一定量的废硅粉和三氯氢硅气体，现有的三氯氢硅合成生产装置除尘系统包括干法除尘和湿法除尘两种，湿法除尘是由循环水泵将水分多层打入淋洗塔内，含硅粉气体从塔中下部进入，被从塔内多层喷淋装置喷淋下来的液体吸收，使硅粉沉积于塔底的池内。该方法因粉尘气体含有少量三氯氢硅，而三氯氢硅遇水生成二氧化硅固体和氯化氢气体。二氧化硅会堵塞塔内喷淋装置的喷头，严重时会导致淋洗塔无水喷淋，硅粉直接从淋洗塔顶部排出，造成严重环境污染。干法除尘系是含硅粉气体依次通过旋风分离器和布袋除尘器，除尘后的气体由布袋除尘器的出气口排出，该方法使废硅粉得到回收利用，降低了三氯氢硅生产成本，但是排放的废气在吹离生产系统时温度有100～200℃。硅粉颗粒很细且附着三氯氢硅气体，遇到空气极易燃烧，存在一定的安全隐患。

因此，亟需提供一种除尘效率高，运行稳定，安全可靠的新型三氯氢硅的合成生产装置。

实用新型内容

针对现有技术存在的上述不足，本实用新型提供了一种除尘效率高，运行稳定，安全可靠的新型三氯氢硅的合成生产装置。

为了达到上述目的，本实用新型是通过以下技术方案实现的：

一种新型三氯氢硅的合成生产装置，包括合成塔、一级旋风除尘器、二级旋风除尘器、湿法喷淋装置和废气预处理装置，所述合成塔、废气预处理装置、一级旋风除尘器、二级旋风除尘器和湿法喷淋装置按照由左到右的顺序依次通过排气管道相连接，所述废气预处理装置包括水泵、中和沉淀池、三氯氢硅检测报警器和箱体，所述箱体水平设置，所述箱体的左端为进气端，右端为排气端，所述箱体内设有多个活性炭吸附板和喷头，所述多个活性炭吸附板分别设于箱体的进气端和排气端，所述喷头设在箱体顶部，所述箱体底部设有凹陷的废水收集槽，所述废水收集槽、中和沉淀池、水泵和喷头依次通过输水管道相连接，所述三氯氢硅检测报警器设于箱体上部，所述三氯氢硅检测报警器的型号为SK-600-SiHCl3。

优选地，在箱体进气端连接的排气管道上设有止回阀，可有效防止发生燃烧事故后的废气回流到合成塔，提高合成装置的安全性。

优选地，所述活性炭吸附板固定在箱体壁上，且活性炭吸附板的顶端或底端与箱体的顶板或底板之间留有空隙，可以在吸附一定量的三氯氢硅气体时，保证含硅粉气体的通过风量。

优选地，所述箱体的进气端和排气端各设有两个活性炭吸附板，相邻的活性炭吸附板交叉固定在箱体的顶板或底板上，形成S型风道，可以更好地吸附三氯氢硅气体。

优选地，所述箱体为玻璃纤维材料制成，可以减少静电火花，降低火灾风险。

本实用新型还包括能够使新型三氯氢硅的合成生产装置正常使用的其它组件，均为本领域的常规技术手段。另外，本实用新型中未加限定的装置或组件均采用本领域中的常规技术手段。

本实用新型的工作原理是：当生产系统产生的含有废硅粉和少量三氯氢硅的废气进入到废气预处理装置时，首先经过箱体内的活性炭吸附板的吸附，去除废气中所含的三氯氢硅，使仅含废硅粉的气体进入到旋风除尘器进行下一步处理。当箱体内的三氯氢硅含量增高时，安装在箱体上部的三氯氢硅检测报警器发出警报，这时开启水泵，将中和沉淀池内的水抽出，经输水管道进入箱体内的喷头，向箱体内喷水，喷出的水与三氯氢硅反应，生产偏硅酸和稀盐酸，经箱体底部凹陷的废水收集槽收集后排入到中和沉淀池进行处理，在提高除尘效率的同时确保防止发生火灾事故。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果在于：

1、本实用新型的新型三氯氢硅的合成生产装置可有效处理三氯氢硅废气，降低发生火灾风险，安全可靠。

2、本实用新型的新型三氯氢硅的合成生产装置可有效回收废硅粉，经济效益较好。

3、本实用新型的新型三氯氢硅的合成生产装置可降低后续湿法喷淋装置中三氯氢硅的含量，防止湿法喷淋装置中的喷头堵塞，减少维修费用。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。

附图1为本实用新型实施例的整体结构示意图。

图中，1.合成塔、2.排气管道、3.水泵、4.中和沉淀池、5.废水收集槽、6.活性炭吸附板、7.喷头、8.三氯氢硅检测报警器、9.箱体、10.输水管、11.止回阀、12.一级旋风除尘器、13.二级旋风除尘器、14.湿法喷淋装置。

具体实施方式

下面将结合附图1，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“里面”、“外面”、“内”、“外”、“上”、“下”、“左”、“右”、“横向”、“竖向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

实施例

如图1所示，本实施例提供了一种新型三氯氢硅的合成生产装置，包括合成塔1、一级旋风除尘器12、二级旋风除尘器13、湿法喷淋装置14和废气预处理装置，所述合成塔1、废气预处理装置、一级旋风除尘器12、二级旋风除尘器13和湿法喷淋装置14按照由左到右的顺序依次通过排气管道2相连接，所述废气预处理装置包括水泵3、中和沉淀池4、三氯氢硅检测报警器8和箱体9，所述箱体9水平设置，所述箱体9的左端为进气端，右端为排气端，所述箱体9内设有喷头7，所述喷头7设在箱体9顶部，所述箱体9底部设有凹陷的废水收集槽5，所述废水收集槽5、中和沉淀池4、水泵3和喷头7依次通过输水管道10相连接，所述三氯氢硅检测报警器8设于箱体9上部，所述三氯氢硅检测报警器的型号为SK-600-SiHCl3。在进入所述箱体9处的排气管道2上安装一个止回阀11。所述箱体9的进气端和排气端各设有两个活性炭吸附板6，所述活性炭吸附板6固定在箱体9的壁上，活性炭吸附板6的顶端或底端与箱体9的顶板或底板之间留有空隙，相邻的活性炭吸附板6交叉固定在箱体9的顶板或底板上，形成S型风道。

当合成塔1产生的含有废硅粉和少量三氯氢硅的废气进入到废气预处理装置时，首先经过箱体9内的活性炭吸附板6的吸附，去除废气中所含的三氯氢硅，使仅含废硅粉的气体进入到旋风除尘器进行下一步处理。当箱体内的三氯氢硅含量增高时，安装在箱体9上部的三氯氢硅检测报警器8发出警报，这时开启水泵3，将中和沉淀池4内处理后的水抽出，经输水管道2进入箱体内的喷头7，向箱体内喷水，喷出的水与三氯氢硅反应，生产偏硅酸和稀盐酸，经箱体底部凹陷的废水收集槽5收集后排入到中和沉淀池4进行处理，在提高除尘效率的同时确保防止发生火灾事故。

以上已经描述了本实用新型的实施例，上述说明是示例性的，并非穷尽性的，并且也不限于所披露的实施例。在不偏离所说明实施例的范围和精神的情况下，对于本技术领域的普通技术人员来说许多修改和变更都是显而易见的。

Claims (5)

1.一种新型三氯氢硅的合成生产装置，包括合成塔、一级旋风除尘器、二级旋风除尘器和湿法喷淋装置，其特征在于：还包括废气预处理装置，所述合成塔、废气预处理装置、一级旋风除尘器、二级旋风除尘器和湿法喷淋装置按照由左到右的顺序依次通过排气管道相连接，所述废气预处理装置包括水泵、中和沉淀池、三氯氢硅检测报警器和箱体，所述箱体水平设置，所述箱体的左端为进气端，右端为排气端，所述箱体内设有多个活性炭吸附板和喷头，所述多个活性炭吸附板分别设于箱体的进气端和排气端，所述喷头设在箱体顶部，所述箱体底部设有凹陷的废水收集槽，所述废水收集槽、中和沉淀池、水泵和喷头依次通过输水管道相连接，所述三氯氢硅检测报警器设于箱体上部。

2.根据权利要求1所述的新型三氯氢硅的合成生产装置，其特征在于：所述箱体进气端连接的排气管道上设有止回阀。

3.根据权利要求1所述的新型三氯氢硅的合成生产装置，其特征在于：所述活性炭吸附板固定在箱体壁上，且活性炭吸附板的顶端或底端与箱体的顶板或底板之间留有空隙。

4.根据权利要求3所述的新型三氯氢硅的合成生产装置，其特征在于：所述箱体的进气端和排气端各设有两个活性炭吸附板，相邻的活性炭吸附板交叉固定在箱体的顶板或底板上，形成S型风道。

5.根据权利要求1所述的新型三氯氢硅的合成生产装置，其特征在于：所述箱体为玻璃纤维箱体。

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