CN210001930U - 一种雾化装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及机械设备技术领域，公开一种雾化装置，其包括阀芯、阀体及弹簧，弹簧设于阀芯的一端，且处于压缩状态，使阀芯的另一端抵接于阀体，阀体内设有阀腔，阀芯穿过阀腔，阀腔内的液体能够推动阀芯压缩弹簧，使阀芯的另一端与阀体分离，阀芯与阀体分离而形成间隙，间隙连通阀腔和外界，液体经间隙雾化。本实用新型向阀腔内通入具有一定压力的液体时，液体对阀腔内的阀芯产生压力，若此压力在阀芯的轴线方向的分力大于弹簧被压缩时的弹簧力时，阀芯产生轴向移动，并继续压缩弹簧，阀芯的另一端与阀体分离，阀芯与阀体之间存在极小的间隙，该间隙与外界连通，液体经该间隙雾化。

Description

一种雾化装置

技术领域

本实用新型涉及机械设备技术领域，尤其涉及一种雾化装置。

背景技术

化学气相沉积(Chemical Vapor Deposition，简称CVD)是向保持特定压力、特定温度条件下的工艺腔室内通入两种以上气体，气体混合后发生反应从而在目标基片上沉积薄膜的工艺，由于其具有绕镀性好、可沉积复杂化合物等特性，在半导体行业有广泛应用。通常目标薄膜的组成元素由液态的药源提供，使用时需对其进行雾化。

目前CVD设备将液态源进行雾化一般有两种方式，一种是载气携带，另一种是通过加热蒸发实现液态源的汽化并向反应腔室供气。这两种方式受气流稳定性、温度、饱及蒸气压例等因素影响，无法精确控制携带出的前驱气体量，蒸发效率有限，大流量供应时容易出现供气不稳定等问题。

实用新型内容

基于以上所述，本实用新型的目的在于提供一种雾化装置，解决了现有技术存在的由于受气流稳定性、温度、饱和蒸气压力等因素影响，而无法精确控制气体量，使得大流量供应时容易产生供气不稳定。

为达上述目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种雾化装置，包括阀芯、阀体及弹簧，所述弹簧设于所述阀芯的一端，且处于压缩状态，使所述阀芯的另一端抵接于所述阀体，所述阀体内设有阀腔，所述阀芯穿过所述阀腔，所述阀腔内的液体能够推动所述阀芯压缩所述弹簧，使所述阀芯的另一端与所述阀体分离而形成间隙，所述间隙连通所述阀腔和外界，所述液体经所述间隙雾化。

作为一种雾化装置的优选方案，所述阀芯包括顶杆，所述弹簧抵接于所述顶杆，所述顶杆的一端抵接于所述弹簧。

作为一种雾化装置的优选方案，所述阀芯还包括阀杆，所述阀杆包括第一阀杆和第二阀杆，所述第一阀杆的一端与所述顶杆的另一端连接，所述第一阀杆的另一端位于所述阀腔内，且与第二阀杆的一端连接，所述第一阀杆的另一端的横截面积不小于所述第二阀杆的横截面积。

作为一种雾化装置的优选方案，所述阀体上设有气体口和液体口，所述气体口和所述液体口均与所述阀腔连通。

作为一种雾化装置的优选方案，所述气体口内设有单向阀，所述单向阀包括单向阀阀芯、与所述单向阀阀芯抵接的单向阀弹簧及套设于所述单向阀阀芯外的柱体，所述柱体上设有若干平衡孔，若干所述平衡孔沿所述柱体周向分布，且每个所述平衡孔的中心轴线均与所述单向阀阀芯的中心轴线垂直。

作为一种雾化装置的优选方案，所述雾化装置还包括弹簧座和旋钮，所述旋钮螺纹连接于所述弹簧座，所述旋钮能够相对于所述阀体转动，至少部分所述弹簧座位于所述旋钮内，所述旋钮转动时，所述弹簧座能够沿所述弹簧的中心轴线方向移动。

作为一种雾化装置的优选方案，还包括指针，所述指针安装于所述弹簧座上，所述指针用于显示所述弹簧的弹簧力。

作为一种雾化装置的优选方案，还包括固定于所述阀体上的阀盖，所述阀盖上设有导向槽，所述导向槽用于使所述弹簧座沿所述弹簧的中心轴线方向移动。

作为一种雾化装置的优选方案，所述雾化装置还包括固定于所述阀体上的波纹管，所述波纹管罩设于所述弹簧外，并位于所述阀盖和所述阀体之间。

本实用新型的有益效果为：本实用新型向阀腔内通入具有一定压力的液体时，液体能够对阀腔内的阀芯产生压力，若此压力在阀芯的轴线方向的分力大于弹簧被压缩时的弹簧力时，阀芯产生轴向移动，并继续压缩弹簧，阀芯的另一端与阀体分离，阀芯与阀体之间存在极小的间隙，间隙与外界连通，液体经间隙雾化。

若液体的压力过高或者过低，可通过旋转旋钮，增加或减小弹簧的压缩量，使得弹簧力增大或者减小，使液体经间隙雾化，从而适用不同压力的液体。本实用新型还设有气体口，吹扫气体通过气体口将阀体内的液体吹回至装有液体的容器内，在阀体上增设的单向阀，用于隔离吹扫气体和阀体内的液体。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对本实用新型实施例描述中所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据本实用新型实施例的内容和这些附图获得其他的附图。

图1是本实用新型具体实施例提供的雾化装置的剖面图；

图2是本实用新型具体实施例图1在A处的局部放大图；

图3是本实用新型具体实施例图2的第一种改进图；

图4是本实用新型具体实施例图2的第二种改进图。

图中：

11-阀本体，12-螺母，13-阀头，131-第一锥形面，132-针形孔，14-阀腔，21-顶杆，221-第一阀杆，2211-受压锥面，222-第二阀杆，2221-第二锥形面，2222-凸块，31-弹簧，32-弹簧座，41-液体口，42-液体管道，51-气体口，52-单向阀，521-平衡孔，53-气体管道，54-单向阀弹簧，6-导向槽，71-指针，72-挡圈，8-阀盖，81-螺钉，9-旋钮，10-波纹管。

具体实施方式

为使本实用新型解决的技术问题、采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚，下面将结合附图对本实用新型实施例的技术方案作进一步的详细描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。其中，术语“第一位置”和“第二位置”为两个不同的位置。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

如图1-图4所示，本实施例提供一种雾化装置，包括阀芯、阀体及弹簧31，弹簧31设于阀芯的一端，且处于压缩状态，使阀芯的另一端抵接于阀体，阀体内设有阀腔14，阀芯穿过阀腔14，位于阀腔14内的阀芯的横截面积不同，阀腔14内的液体能够推动阀芯压缩弹簧31，使阀芯的另一端与阀体分离，阀芯与阀体之间存在间隙，该间隙极小且连通阀腔14和外界，液体经间隙雾化。

本实施例的雾化装置是将具有一定压力的液体进行雾化，向该雾化装置的阀腔14内通入一定压力的液体时，液体能够对阀腔14内的阀芯产生压力，若此压力在阀芯的轴线方向的分力大于弹簧31被压缩时的弹簧力时，阀芯产生轴向移动，并继续压缩弹簧31，阀芯的另一端与阀体分离，阀芯与阀体之间存在极小的间隙，该间隙与外界连通，液体经间隙雾化。

本实施例的阀芯包括顶杆21和与顶杆21连接的阀杆，弹簧31抵接于顶杆21，阀体上设有第一锥形面131，阀杆的端部设有能够与第一锥形面131抵接的第二锥形面2221。阀杆包括第一阀杆221和与第一阀杆221连接的第二阀杆222，第一阀杆221的一端与顶杆21连接，第一阀杆221的另一端位于阀腔14内，第一阀杆221另一端的横截面积不小于第二阀杆222一端的横截面积，第二锥形面2221设于第二阀杆222的另一端。如图1所示，本实施例的阀体包括阀本体11和阀头13，阀本体11和阀头13为可拆卸连接，具体地，两者通过螺母12连接，其中，阀腔14位于阀头13内。

进一步地，第一阀杆221的另一端设有受压锥面2211，第二阀杆222的另一端设有凸块2222，该凸块2222的横截面为圆形，阀头13上设有与凸块2222配合的出液口。具体地，如图2所示，本实施例的凸块2222的横截面积逐渐变化，该凸块2222与第二阀杆222连接的一端的横截面积小于该凸块2222另一端的横截面积。当然，本实用新型第二阀杆222的另一端的形状并不限于本实施例的这种情况，如图3所示，该凸块2222还可以为圆柱状，亦或者凸块2222为其他形状，还或者不设置凸块2222，如图4所示，第二阀杆222的另一端与阀头13紧贴时，阀腔14内的液体不会向外喷出，通过在阀头13上增设的针形孔132，第一锥形面131与第二锥形面2221分离时，液体能够通过针形孔132雾化，图4中针形孔132的个数为三个，三个针形孔132向外辐射，且沿其自身中心轴线方向，针形孔132的横截面积向外逐渐减小，当然，针形孔132的个数并不限于图4中的三个，还可以是除三个之外的其他个数，具体根据实际需要设置。

本实施例的阀本体11上设有液体口41和气体口51，液体口41用于通入具有一定压力的液体，液体口41与阀腔14之间设有液体管道42，液体通过液体管道42进入阀腔14。气体口51用于通入吹扫气体，气体口51与阀腔14之间设有气体管道53，该吹扫气体通过气体管道53进入阀腔14。吹扫气体通过气体口51将阀体、气体管道53及液体管道42内的液体吹回至装有液体的容器内。

如图1所示，气体口51内还设有单向阀52，该单向阀52包括单向阀阀芯、与该单向阀阀芯抵接的单向阀弹簧54及套设于单向阀阀芯外的柱体，该柱体上设有若干平衡孔521，若干平衡孔521沿柱体周向分布，且每个平衡孔521的中心轴线均与单向阀阀芯的中心轴线垂直。由于柱体与该单向阀阀芯之间留有间隙，使用该雾化装置时，间隙内会进入液体，使用结束后，需将该间隙内的液体排出，从气体口51经单向阀向气体管道53内通入气体，该平衡孔521的设置能够使间隙内的液体尽快的排出。

本实施例的雾化装置还包括弹簧座32、旋钮9及设于弹簧座32上的指针71，指针71用于显示弹簧31的弹簧力。旋钮9能够相对于阀本体11转动，且至少部分弹簧座32位于旋钮9内，弹簧座32的一端抵接于弹簧31，旋钮9转动时，弹簧座32能够沿弹簧31的中心轴线方向往复移动，从而改变弹簧31的压缩量。具体地，本实施例的旋钮9螺纹连接于弹簧座32上，当旋钮9转动时，弹簧座32能够沿弹簧31的中心轴线方向移动，从而增加或减小弹簧31的压缩量，使得弹簧力增大或者减小，使液体经间隙雾化，从而适用不同压力的液体。

此外，该雾化装置还包括波纹管10和固定于阀本体11上的阀盖8，阀盖8可拆卸固定于阀本体11上，具体地，螺钉81将阀盖8固定于阀本体11上。阀盖8与旋钮9之间设有挡圈72，该挡圈72其限位作用，防止旋钮9沿弹簧31的中心轴线方向移动，旋钮9罩设于阀盖8上，阀盖8上设有导向槽6，导向槽6用于使弹簧座32沿弹簧31的中心轴线方向往复移动。波纹管10固定于阀本体11上且罩设于弹簧31外，并位于阀盖8和阀本体11之间，波纹管10起到密封的作用且不会影响上述弹簧31的调节，防止雾化装置内液体的泄露。

本实施例雾化装置的具体工作原理如下：

雾化装置不工作时，弹簧31将第二阀杆222的第二锥形面2221压紧在阀头13的第一锥形面131上，两个锥形面配合实现密封，此时雾化装置处于关闭状态。

当对液体口41供应液体时，具有一定压力的液体经过液体口41进入阀腔14，阀腔14内的液体对第一阀杆221的受压锥面2211产生压力，该压力沿第一阀杆221的轴线方向形成一个分力，该分力大于弹簧31被压缩而产生的弹簧力时，阀芯沿其自身中心轴线方向移动，第二阀杆222的第二锥形面2221与阀头13的第一锥形面131脱离，第二阀杆222和阀头13之间形成间隙，该间隙极小，液体通过间隙形成喷雾喷出。

当停止对液体口41供应液体时，阀腔14内液面迅速下降，液体对受压锥面2211的压力减小，当该压力沿第一阀杆221的轴线方向形成一个分力，该分力小于弹簧31由于压缩而产生的压力，阀芯在弹簧31的作用下快速回位，第二阀杆222的第二锥形面2221与阀头13的第一锥形面131紧贴，雾化装置工作停止。

停止对液体口41供应液体后，向气体口51通入吹扫气体时，吹扫气体的压力大于单向阀弹簧54的弹簧力，单向阀52被打开，吹扫气体通过气体管道53进入阀腔14，然后再进入液体管道42将阀体和液体管道42内的液体吹回至装有该液体的容器内。

注意，上述仅为本实用新型的较佳实施例及所运用技术原理。本领域技术人员会理解，本实用新型不限于这里所述的特定实施例，对本领域技术人员来说能够进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本实用新型的保护范围。因此，虽然通过以上实施例对本实用新型进行了较为详细的说明，但是本实用新型不仅仅限于以上实施例，在不脱离本实用新型构思的情况下，还可以包括更多其他等效实施例，而本实用新型的范围由所附的权利要求范围决定。

Claims (9)

1.一种雾化装置，其特征在于，包括阀芯、阀体及弹簧(31)，所述弹簧(31)设于所述阀芯的一端，且处于压缩状态，使所述阀芯的另一端抵接于所述阀体，所述阀体内设有阀腔(14)，所述阀芯穿过所述阀腔(14)，所述阀腔(14)内的液体能够推动所述阀芯压缩所述弹簧(31)，使所述阀芯的另一端与所述阀体分离而形成间隙，所述间隙连通所述阀腔(14)和外界，所述液体经所述间隙雾化。

2.根据权利要求1所述的雾化装置，其特征在于，所述阀芯包括顶杆(21)，所述顶杆(21)的一端抵接于所述弹簧(31)。

3.根据权利要求2所述的雾化装置，其特征在于，所述阀芯还包括阀杆，所述阀杆包括第一阀杆(221)和第二阀杆(222)，所述第一阀杆(221)的一端与所述顶杆(21)的另一端连接，所述第一阀杆(221)的另一端位于所述阀腔(14)内，且与第二阀杆(222)的一端连接，所述第一阀杆(221)的另一端的横截面积不小于所述第二阀杆(222)的横截面积。

4.根据权利要求1所述的雾化装置，其特征在于，所述阀体上设有气体口(51)和液体口(41)，所述气体口(51)和所述液体口(41)均与所述阀腔(14)连通。

5.根据权利要求4所述的雾化装置，其特征在于，所述气体口(51)内设有单向阀(52)，所述单向阀(52)包括单向阀阀芯、与所述单向阀阀芯抵接的单向阀弹簧(54)及套设于所述单向阀阀芯外的柱体，所述柱体上设有若干平衡孔(521)，若干所述平衡孔(521)沿所述柱体周向分布，且每个所述平衡孔(521)的中心轴线均与所述单向阀阀芯的中心轴线垂直。

6.根据权利要求1至5任一项所述的雾化装置，其特征在于，所述雾化装置还包括弹簧座(32)和旋钮(9)，所述旋钮(9)螺纹连接于所述弹簧座(32)，所述旋钮(9)能够相对于所述阀体转动，至少部分所述弹簧座(32)位于所述旋钮(9)内，所述旋钮(9)转动时，所述弹簧座(32)沿所述弹簧(31)的中心轴线方向移动。

7.根据权利要求6所述的雾化装置，其特征在于，还包括指针(71)，所述指针(71)安装于所述弹簧座(32)上，所述指针(71)用于显示所述弹簧(31)的弹簧力。

8.根据权利要求7所述的雾化装置，其特征在于，还包括固定于所述阀体上的阀盖(8)，所述阀盖(8)上设有导向槽(6)，所述导向槽(6)用于使所述弹簧座(32)沿所述弹簧(31)的中心轴线方向移动。

9.根据权利要求8所述的雾化装置，其特征在于，雾化装置还包括固定于所述阀体上的波纹管(10)，所述波纹管(10)罩设于所述弹簧(31)外，并位于所述阀盖(8)和所述阀体之间。

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