CN209998942U - 游星轮以及抛光机 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种游星轮以及抛光机，属于机械加工技术领域，其可解决现有的金属材质的游星轮对抛光产品有所伤害，从而造成抛光产品的良品率低的问题。本实用新型的游星轮，包括游星轮本体、保护结构，游星轮本体上设有多个通孔，保护结构覆盖在游星轮本体的端面和通孔的侧壁上，且保护结构的形状与其覆盖部分的游星轮本体的表面形状相同，其中，游星轮本体为金属材质，保护结构为非金属材质，且其对抛光介质的耐腐蚀性高于游星轮本体对抛光介质的耐腐蚀性的非金属材质。

Description

游星轮以及抛光机

技术领域

本实用新型涉及机械加工技术领域，具体地，涉及一种游星轮以及抛光机。

背景技术

双面抛光机是用于半导体硅片、磁性材料、蓝宝石、光学玻璃、金属材料及其它硬脆材料的双面高精度高效率的抛光加工设备。

游星轮作为双面抛光机的夹具，常用的材质有金属和非金属两种，金属材质的强度高、非金属材质的强度低。在对厚度较薄产品(如较薄的硅衬底)进行抛光时，如果选用非金属材质的游星轮，游星轮强度可能难以满足抛光工艺，如果选用金属游星轮，在加工过程中，游星轮会被抛光介质(抛光液)腐蚀而产生金属离子或游星轮与抛光垫摩擦而产生金属杂质，金属离子或金属杂质容易吸附在产品表面，难以清洗，对产品造成金属污染，从而产生大量的次品。

实用新型内容

本实用新型至少部分解决现有的金属材质的游星轮对抛光产品有所伤害，从而造成抛光产品的良品率低的问题，提供了一种能避免对被抛光产品造成金属污染，从而提高了被抛光产品的良品率的游星轮以及抛光机。

解决本实用新型技术问题所采用的技术方案是一种游星轮，包括：游星轮本体01、保护结构，所述游星轮本体01上设有多个通孔13，所述保护结构覆盖在所述游星轮本体01的端面和所述通孔13的侧壁上，且所述保护结构的形状与其覆盖部分的游星轮本体01的表面形状相同，其中，所述游星轮本体01为金属材质，所述保护结构为非金属材质，且其对抛光介质的耐腐蚀性高于游星轮本体01对所述抛光介质的耐腐蚀性的非金属材质。

可选地，所述保护结构包括第一保护部21、第二保护部22；

所述第一保护部21包括第一保护层211以及设置在所述第一保护层211上的多个第一保护套筒212；

所述第二保护部22包括第二保护层221以及设置在所述第二保护层221上的与所述通孔13一一对应的多个第二保护套筒222；

每个所述第一保护套筒212卡接在一所述通孔13内，且所述第一保护层211覆盖在所述游星轮本体01的第一端面上,所述第一保护套筒212覆盖在所述通孔13的侧壁上；

每个所述第二保护套筒222卡接在一所述通孔13内，且所述第二保护层221覆盖在所述游星轮本体01的第二端面上，所述第二保护套筒222覆盖在所述通孔13的侧壁上。

可选地，所述第一保护套筒212与所述通孔13一一对应；所述第二保护套筒222与所述通孔13一一对应；在每个所述通孔13中，所述第一保护套筒212远离第一保护层211的端面与第二保护套筒222远离第二保护层221的端面对合。

可选地，所述第一保护部21和所述第二保护部22的结构相同。

可选地，所述第一保护层211和所述游星轮本体01之间设有第一胶层31；

和/或，

所述第二保护层221和所述游星轮本体01之间设有第二胶层32。

可选地，所述第一胶层31的形状与所述游星轮本体01的第一端面的形状相同；

和/或，

所述第二胶层32的形状与所述游星轮本体01的第二端面的形状相同。

可选地，所述保护结构覆盖在所述通孔13的侧壁上的部分在远离所述通孔13的侧壁上的尺寸为0.05mm至0.1mm。

可选地，所述游星轮本体01的厚度占所述游星轮的厚度的70％至90％，所述游星轮本体01的厚度不小于0.15mm。

可选地，所述非金属材质包括聚丙烯、聚偏氟乙烯、树脂、木质纤维之一。

解决本实用新型技术问题所采用的技术方案是一种抛光机，其包括上述的游星轮。

本实用新型游星轮以及抛光机至少有如下有益效果：

在游星轮本体除齿纹面以外的表面上覆盖保护结构，避免了游星轮本体的齿轮受力后，造成保护结构从游星轮本体上剥离，同时，与抛光介质、抛光垫直接接触的是非金属材质的保护结构，从而既保留了金属材质游星轮的强度，又能避免金属材质游星轮对加工处理的产品(被抛光产品)的金属污染，进而提升了加工处理的产品的良品率。

附图说明

图1为本实用新型实施例1的游星轮的游星轮本体的一种示意图；

图2为本实用新型实施例1的游星轮的游星轮本体的另一种示意图；

图3为本实用新型实施例1的游星轮的一种分体结构示意图；

图4为本实用新型实施例1的游星轮的另一种分体结构示意图；

其中的附图标记说明：01、游星轮本体；11、第一端面；12、第二端面；13、通孔；21、第一保护部；211、第一保护层；212、第一保护套筒；22、第二保护部；221、第二保护层；222、第二保护套筒；31、第一胶层；32、第二胶层。

具体实施方式

为使本领域的技术人员更好地理解本实用新型的技术方案，下面结合附图和具体实施方式对本实用新型所提供的一种游星轮以及抛光机作进一步详细描述。

实施例1：

参加图1至4本实施例提供一种游星轮，包括：游星轮本体01、保护结构，游星轮本体01上设有多个通孔13，保护结构覆盖在游星轮本体01的端面和通孔13的侧壁上，且保护结构的形状与其覆盖部分的游星轮本体01的表面形状相同，其中，游星轮本体01为金属材质，保护结构为非金属材质，且其对抛光介质的耐腐蚀性高于游星轮本体01对抛光介质的耐腐蚀性的非金属材质。

上述方案中，游星轮本体01保证了游星轮的强度，保护结构避免了游星轮本体01与抛光介质(抛光液、抛光垫接触，从而避免了被抛光产品的金属污染，进而提升了被抛光产品的良品率。

可选地，保护结构包括第一保护部21、第二保护部22；

第一保护部21包括第一保护层211以及设置在第一保护层211上的多个第一保护套筒212；

第二保护部22包括第二保护层221以及设置在第二保护层221上的与通孔13一一对应的多个第二保护套筒222；

每个第一保护套筒212卡接在一通孔13内，且第一保护层211覆盖在游星轮本体01的第一端面11上；

每个第二保护套筒222卡接在一通孔13内，且第二保护层221覆盖在游星轮本体01的第二端面12上。

上述方案中，第一保护部21通过第一保护套筒212安装在游星轮本体01上，第二保护部22通过第二保护套筒222安装在游星轮本体01上，无需加工额外的安装结构，即可实现第一保护部21和第二保护部22安装在游星轮本体01上。

为了便于第一保护部21、第二保护部22安装在游星轮本体01上时的定位，可选地，第一保护套筒212与通孔13一一对应；第二保护套筒222与通孔13一一对应；在每个通孔13中，第一保护套筒212远离第一保护层211的端面与第二保护套筒222远离第二保护层221的端面对合。

为了简化保护结构的制备工艺，可选地，第一保护部21和第二保护部22的结构相同。

参见图4，为了使保护结构稳定的覆盖在游星轮本体01上，可选地，第一保护层211和游星轮本体01之间设有第一胶层31；

和/或，

第二保护层221和游星轮本体01之间设有第二胶层32。

为了提升保护结构和游星轮本体01的贴合度，可选地，第一胶层31的形状与游星轮本体01的第一端面的形状相同；

和/或，

第二胶层32的形状与游星轮本体01的第二端面的形状相同。

当然，上述方案中，第一胶层31和第二胶层32作用是将保护结构固定在游星轮本体01上，第一胶层31和第二胶层32可以选用双面胶等常用胶层，其厚度可以为0.01-0.02mm，。

可见，第一胶层31和第二胶层32非常薄，基本可以忽略，这样2个保护部、2层胶层和游星轮本体01可以刚好组合在一起，2个保护部将产品与游星轮本体01完全隔开。

可选地，保护结构覆盖在通孔13的侧壁上的部分在远离通孔13的侧壁上的尺寸为0.05mm至0.1mm。

上述方案中，通孔13的形状包括圆形、弧形、多边形之一或组合。

游星轮夹持产品时，产品置于保护套筒内，为了保证被抛光产品能放入套筒内进行正常加工，套筒的截面尺寸略大于被抛光产品的截面尺寸，例如，套筒的截面为圆形，则该圆形的直径大于被抛光产品的直径0.5mm。

为了保证游星轮的强度，可选地，游星轮本体01的厚度占游星轮的厚度的70％至90％，游星轮本体01的厚度不小于0.15mm。

可选地，金属材质包括不锈钢、碳钢等、非金属材质包括聚丙烯PP、聚偏氟乙烯PVDF、树脂、木质纤维等。

参见图1和图4，一个游星轮，其可用于用于厚度0.4mm的2寸硅圆片(φ51mm衬底的抛光，用在16B双面抛光机上，游星轮夹具结构设计如下：从上至下(图4中依次为第一保护部21、第一胶层31、游星轮本体01、第二胶层32、第二保护部22，第一保护部21、第一胶层31、第二胶层32、第二保护部22外齿形均采用与16B双面抛光机匹配的齿形。游星轮的多个分体的安装方式可以是：将第一保护部21与游星轮本体01粘在一起，然后，将第二保护部22与游星轮本体01粘在一起，游星轮的总体厚度为0.32mm。游星轮本体01为不锈钢材质，其厚度(图4中竖直方向上的尺寸为0.2mm；

游星轮本体01的通孔13为圆形，其直径为53.6mm；

第一保护套筒212和第二保护套筒222的内径均为51.5mm,外径均为53.5mm；

第一保护套筒212和第二保护套筒222的高度(图4中竖直方向上的尺寸均为0.1mm；

第一保护层211和第二保护层221的厚度均为0.05mm；

第一胶层31和第二胶层32的厚度均为0.01mm。

实施例2：

本实施例提供一种抛光机，其包括上述实施例1中所记载的游星轮。

上述方案中的抛光机包括上述实施例1中的游星轮，故其既保留了金属材质游星轮的强度，又能避免金属材质游星轮对加工处理的产品的金属污染，进而提升了加工处理的产品的良品率。

应当说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其它变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其它要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。

依照本实用新型的实施例如上文所述，这些实施例并没有详尽叙述所有的细节，也不限制该实用新型仅为所述的具体实施例。显然，根据以上描述，可作很多的修改和变化。本说明书选取并具体描述这些实施例，是为了更好地解释本实用新型的原理和实际应用，从而使所属技术领域技术人员能很好地利用本实用新型以及在本实用新型基础上的修改使用。本实用新型仅受权利要求书及其全部范围和等效物的限制。

Claims (10)

1.一种游星轮，其特征在于，包括：游星轮本体(01)、保护结构，所述游星轮本体(01)上设有多个通孔(13)，所述保护结构覆盖在所述游星轮本体(01)的端面和所述通孔(13)的侧壁上，且所述保护结构的形状与其覆盖部分的游星轮本体(01)的表面形状相同，其中，所述游星轮本体(01)为金属材质，所述保护结构为非金属材质，且其对抛光介质的耐腐蚀性高于游星轮本体(01)对所述抛光介质的耐腐蚀性的非金属材质。

2.根据权利要求1所述的游星轮，其特征在于，所述保护结构包括第一保护部(21)、第二保护部(22)；

所述第一保护部(21)包括第一保护层(211)以及设置在所述第一保护层(211)上的多个第一保护套筒(212)；

所述第二保护部(22)包括第二保护层(221)以及设置在所述第二保护层(221)上的与所述通孔(13)一一对应的多个第二保护套筒(222)；

每个所述第一保护套筒(212)卡接在一所述通孔(13)内，且所述第一保护层(211)覆盖在所述游星轮本体(01)的第一端面上,所述第一保护套筒(212)覆盖在所述通孔(13)的侧壁上；

每个所述第二保护套筒(222)卡接在一所述通孔(13)内，且所述第二保护层(221)覆盖在所述游星轮本体(01)的第二端面上，所述第二保护套筒(222)覆盖在所述通孔(13)的侧壁上。

3.根据权利要求2所述的游星轮，其特征在于，所述第一保护套筒(212)与所述通孔(13)一一对应；所述第二保护套筒(222)与所述通孔(13)一一对应；在每个所述通孔(13)中，所述第一保护套筒(212)远离第一保护层(211)的端面与第二保护套筒(222)远离第二保护层(221)的端面对合。

4.根据权利要求3所述的游星轮，其特征在于，所述第一保护部(21)和所述第二保护部(22)的结构相同。

5.根据权利要求2所述的游星轮，其特征在于，所述第一保护层(211)和所述游星轮本体(01)之间设有第一胶层(31)；

和/或，

所述第二保护层(221)和所述游星轮本体(01)之间设有第二胶层(32)。

6.根据权利要求5所述的游星轮，其特征在于，所述第一胶层(31)的形状与所述游星轮本体(01)的第一端面的形状相同；

和/或，

所述第二胶层(32)的形状与所述游星轮本体(01)的第二端面的形状相同。

7.根据权利要求1所述的游星轮，其特征在于，所述保护结构覆盖在所述通孔(13)的侧壁上的部分在远离所述通孔(13)的侧壁上的尺寸为0.05mm至0.1mm。

8.根据权利要求1所述的游星轮，其特征在于，所述游星轮本体(01)的厚度占所述游星轮的厚度的70％至90％，所述游星轮本体(01)的厚度不小于0.15mm。

9.根据权利要求1所述的游星轮，其特征在于，所述非金属材质包括聚丙烯、聚偏氟乙烯、树脂、木质纤维之一。

10.一种抛光机，其特征在于，其包括权利要求1至9任一所述的游星轮。

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