CN209991800U - 一种退火炉余热回收装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种退火炉余热回收装置，包括抽烟管道，抽烟管道的一端头与退火炉的排烟口相连通，抽烟管道的另一端固定连接有余热回收机构，余热回收机构包括换热箱、水分流盒、水集流盒、气分流盒、气集流盒和多个换热水管，水分流盒和水集流盒分别焊接在换热箱的底板和顶板上，气分流盒和气集流盒分别焊接在换热箱的左侧板和右侧板上，多个换热水管竖直设置在换热箱的内腔中，换热水管的两端分别联通水分流盒和水集流盒，气分流盒和气集流盒均通过多个均匀设置的通气孔与换热箱的内腔相连通，气分流盒与抽烟管道相连通。本实用新型可同时对多个退火炉进行预热回收，可充分进行余热回收利用，提高利用率，节约能源。

Description

一种退火炉余热回收装置

技术领域

本实用新型涉及退火炉余热利用技术领域，具体为一种退火炉余热回收装置。

背景技术

退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理是针对不同的效果而设计的。可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。

现有的退火炉在使用时排出有高温烟气，高温烟气经管道排出外接环境中，导致大量热能丧失，也存在一些换热装置对高温烟气进行换热，然而这些换热装置大都不能进行充分的换热。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种退火炉余热回收装置，可同时对多个退火炉进行预热回收，可对退火炉排出的高温烟气进行充分换热，进行余热回收利用，提高利用率，节约能源，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种退火炉余热回收装置，包括抽烟管道，所述抽烟管道的一端头与退火炉的排烟口相连通，所述抽烟管道的另一端固定连接有余热回收机构；

所述余热回收机构包括换热箱、水分流盒、水集流盒、气分流盒、气集流盒和多个换热水管，所述水分流盒和所述水集流盒分别焊接在所述换热箱的底板和顶板上，所述气分流盒和所述气集流盒分别焊接在所述换热箱的左侧板和右侧板上，多个所述换热水管竖直设置在所述换热箱的内腔中，所述换热水管的两端分别联通所述水分流盒和所述水集流盒，所述气分流盒和所述气集流盒均通过多个均匀设置的通气孔与所述换热箱的内腔相连通，所述气分流盒与所述抽烟管道相连通，所述水分流盒与进水管相连通，所述气集流盒通过管道连接有抽气泵，所述水集流盒通过管道连接有储水箱。

优选的，所述抽烟管道上固定安装有多个膨胀节。

优选的，所述换热水管设置有至少三个，且所述换热水管呈螺旋状结构。

优选的，所述储水箱为双层结构，且所述储水箱的夹层中设置有石棉保温层。

优选的，所述储水箱的底部设置有出水管，所述出水管上固定安装有阀门。

优选的，所述储水箱的底部固定焊接有支撑腿。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、通过抽烟管道通过多个分支连接管，可与多个退火炉相连通，可同时对多个退火炉进行预热回收；

2、通过换热箱、水分流盒、水集流盒、气分流盒、气集流盒和多个换热水管的配合，可对退火炉排出的高温烟气进行充分换热，换热后的热水储存在储水箱中，进行余热回收利用，提高利用率，节约能源。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型的余热回收机构的剖视示意图；

图3为本实用新型的储水箱的剖视示意图。

图中：1、抽烟管道；2、余热回收机构；3、换热箱；4、水分流盒；5、水集流盒；6、气分流盒；7、气集流盒；8、换热水管；9、抽气泵；10、储水箱；11、膨胀节；12、石棉保温层；13、出水管；14、支撑腿。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-3，本实用新型提供一种技术方案：

一种退火炉余热回收装置，包括抽烟管道1，抽烟管道1的一端头与退火炉的排烟口相连通，抽烟管道1上设置有多个分支管道，抽烟管道1的另一端固定连接有余热回收机构2，通过抽烟管道1通过多个分支连接管，可与多个退火炉相连通，可同时对多个退火炉进行预热回收。

余热回收机构2包括换热箱3、水分流盒4、水集流盒5、气分流盒6、气集流盒7和多个换热水管8，水分流盒4和水集流盒5分别焊接在换热箱3的底板和顶板上，气分流盒6和气集流盒7分别焊接在换热箱3的左侧板和右侧板上，多个换热水管8竖直设置在换热箱3的内腔中，换热水管8的两端分别联通水分流盒4和水集流盒5，气分流盒6和气集流盒7均通过多个均匀设置的通气孔与换热箱3的内腔相连通，气分流盒6与抽烟管道1相连通，水分流盒4与进水管相连通，气集流盒7通过管道连接有抽气泵9，水集流盒5通过管道连接有储水箱10，通过换热箱3、水分流盒4、水集流盒5、气分流盒6、气集流盒7和多个换热水管8的配合，可对退火炉排出的高温烟气进行充分换热，换热后的热水储存在储水箱10中，进行余热回收利用，提高利用率，节约能源。

具体的，抽烟管道1上固定安装有多个膨胀节11，多个膨胀节11能有效地起到补偿抽烟管道1的轴向变形的作用，避免因高温引起抽烟管道1受损。

具体的，换热水管8设置有至少三个，且换热水管8呈螺旋状结构，可增加水流经换热水管8的时间，可增加水和高温烟气的换热时间，进而进行充分换热。

具体的，储水箱10为双层结构，且储水箱10的夹层中设置有石棉保温层12，可增加储水箱10的保温能力。

具体的，储水箱10的底部设置有出水管13，出水管13上固定安装有阀门，方便对热水进行排放。

具体的，储水箱10的底部固定焊接有支撑腿14，对储水箱10起到良好的支撑作用。

工作原理：使用时，通过多个分支连接管将多个退火炉与抽烟管道1的排烟口相连通，通过换热箱3、水分流盒4、水集流盒5、气分流盒6、气集流盒7和多个换热水管8的配合，对退火炉排出的高温烟气进行充分换热，换热后的热水储存在储水箱10中，进行余热回收利用，提高利用率，节约能源。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (6)

1.一种退火炉余热回收装置，包括抽烟管道(1)，其特征在于：所述抽烟管道(1)的一端头与退火炉的排烟口相连通，所述抽烟管道(1)的另一端固定连接有余热回收机构(2)；

所述余热回收机构(2)包括换热箱(3)、水分流盒(4)、水集流盒(5)、气分流盒(6)、气集流盒(7)和多个换热水管(8)，所述水分流盒(4)和所述水集流盒(5)分别焊接在所述换热箱(3)的底板和顶板上，所述气分流盒(6)和所述气集流盒(7)分别焊接在所述换热箱(3)的左侧板和右侧板上，多个所述换热水管(8)竖直设置在所述换热箱(3)的内腔中，所述换热水管(8)的两端分别联通所述水分流盒(4)和所述水集流盒(5)，所述气分流盒(6)和所述气集流盒(7)均通过多个均匀设置的通气孔与所述换热箱(3)的内腔相连通，所述气分流盒(6)与所述抽烟管道(1)相连通，所述水分流盒(4)与进水管相连通，所述气集流盒(7)通过管道连接有抽气泵(9)，所述水集流盒(5)通过管道连接有储水箱(10)。

2.根据权利要求1所述的一种退火炉余热回收装置，其特征在于：所述抽烟管道(1)上固定安装有多个膨胀节(11)。

3.根据权利要求1所述的一种退火炉余热回收装置，其特征在于：所述换热水管(8)设置有至少三个，且所述换热水管(8)呈螺旋状结构。

4.根据权利要求1所述的一种退火炉余热回收装置，其特征在于：所述储水箱(10)为双层结构，且所述储水箱(10)的夹层中设置有石棉保温层(12)。

5.根据权利要求1所述的一种退火炉余热回收装置，其特征在于：所述储水箱(10)的底部设置有出水管(13)，所述出水管(13)上固定安装有阀门。

6.根据权利要求1所述的一种退火炉余热回收装置，其特征在于：所述储水箱(10)的底部固定焊接有支撑腿(14)。

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