CN209987951U - 一种新型单晶转置车 - Google Patents

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武皓洋
高鹏
赵存凤
郝勇
王建平
王林
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Abstract

一种新型单晶转置车,包括底板。底板为长方形板,底板上表面设有限位装置,底板下表面设有移动装置,底板宽度方向两侧面设有连接装置。连接装置包括前连接装置和后连接装置,前连接装置和后连接装置分别置于底板两侧面中心处。前一车的后连接装置连接后一车的前连接装置,通过前连接装置与后连接装置的首尾相连,可将多个转置车连成一列,可实现一次性转运更多的单晶棒,提高了转运效率。本实用新型的有益效果是:结构简单、操作方便,前一车的后连接装置连接后一车的前连接装置,通过前连接装置与后连接装置的首尾相连,可将多个转置车连成一列,可实现一次性转运更多的单晶棒,提高了转运效率。

Description

一种新型单晶转置车
技术领域
本实用新型属于半导体材料技术领域,涉及一种单晶生产过程中的工作器具,尤其是涉及一种新型单晶转置车。
背景技术
单晶,即结晶体内部的微粒在三维空间呈有规律地、周期性地排列,或者说晶体的整体在三维方向上由同一空间格子构成,整个晶体中质点在空间的排列为长程有序。单晶整个晶格是连续的,具有重要的工业应用。
单晶生长制备方法大致可以分为气相生长、溶液生长、水热生长、熔盐法、熔体法。最常见的技术有提拉法、坩埚下降法、区熔法、定向凝固法等。
半导体单晶硅在生产过程中,首先需要将原料硅放到单晶炉中进行高温熔化,然后再使硅溶液结晶,形成单晶硅固体,生产出的单晶硅固体呈圆柱状,人们称其为单晶硅棒,单晶硅棒从单晶硅炉中取出以后,需要将其运输至检测车间以对其进行质量检测并等待破段、切片。
在类似于单晶硅棒的单晶棒运输的过程中,现有的运输方式是先将单晶棒放置在托盘上,然后再通过叉车移动托盘,实现单晶棒的运输。传统托盘包括支撑块和放置面,支撑块设置在放置面的底部,用来支撑放置面,以方便叉车移动至放置面的底部对其进行运输。放置面由几块条形板构成,任意相邻两个条形板之间设有间隙,单晶棒放置在间隙中,间隙的宽度小于单晶棒的直径,当单晶棒放置到两条相邻条形板之间时,间隙两侧的条形板边缘与单晶棒接触,进而支撑单晶棒。
现有的叉车运输方式,不仅稳定性不高,容易使棒料产生晃动,使得棒料碰撞影响棒料的质量,而且叉车运送效率低,周转移动不便,能耗高,运输成本高,不利于产业化发展,不适合推广应用。
实用新型内容
本实用新型要解决的问题是提供一种转置车;尤其是结构简单,操作方便,生产成本低,适合多种规格的单晶棒运输,应用范围广且可连续周转的一种新型单晶转置车。
为解决上述技术问题,本实用新型采用的技术方案是:一种新型单晶转置车,包括底板,所述底板为长方形板,所述底板上表面设有限位装置,所述底板下表面设有移动装置,所述底板宽度方向两侧面设有连接装置,所述连接装置包括前连接装置和后连接装置,所述前连接装置包括前安装板和连接销,所述前安装板由第一面、第二面和第三面构成U形卡,所述第一面与所述第三面平行,所述第二面两端分别垂直连接所述第一面和所述第三面形成凹槽,所述第一面和所述第三面上设有透孔,所述连接销置于所述透孔内,所述第二面置于所述底板一侧面中心处,所述第一面与所述底板上表面平行,所述后连接装置包括后连接板,所述后连接板上设有透孔,所述后连接板置于所述底板另一侧面中心处,所述后连接板与所述底板平行,所述后连接板的厚度小于所述凹槽厚度。
进一步的,所述后连接装置还包括减震装置,所述后连接板通过所述减震装置连接所述底板侧面。
进一步的,所述减震装置包括减震筒,所述减震筒内设有减震伸缩杆和减震伸缩套筒,所述减震伸缩杆置于所述减震伸缩套筒内,所述减震伸缩杆和所述减震伸缩套筒外部套有减震弹簧,所述减震筒两端设有固定板。
进一步的,所述后连接板为U形连接杆,所述U形连接杆通过后限位板与所述底板侧面连接,所述后限位板包括两块,所述后限位板上设有限位孔,所述U形连接杆的两端分别置于所述限位孔内,所述U形连接杆为弹性材料。
进一步的,所述后限位板上设有限位凹槽,所述限位凹槽置于所述后限位板顶部,所述U形连接杆上设有第一限位杆,两块所述后限位板之间设有第二限位杆,所述限位孔为长孔,所述U形连接杆置于所述限位孔底部时,所述第一限位杆置于所述限位凹槽内,所述U形连接杆置于所述限位孔顶部时,所述U形连接杆下表面与所述第二限位杆相切。
进一步的,所述限位装置包括限位挡板,所述底板上表面设有挡板凹槽,所述限位挡板置于所述挡板凹槽内。
进一步的,所述限位挡板包括多组,每组所述限位挡板包括两块,两块所述限位挡板呈V形设置。
进一步的,所述底板宽度方向设有推杆,所述推杆成U形,所述底板侧面设有轴套,所述推杆两端置于所述轴套内。
进一步的,所述移动装置通过升降装置连接所述底板下表面。
进一步的,所述移动装置为万向轮,所述万向轮包括四个,所述万向轮分别置于所述底板四角,所述万向轮包括支架、滚轮、支架座、和刹车装置,所述滚轮安装在所述支架上,所述支架安装在所述支架座上,所述支架座上设有刹车装置,所述支架座连接所述底板底部。
本实用新型具有的优点和积极效果是:
1、本实用新型结构简单、操作方便,转置车上设有多组限位挡板,避免单晶棒在运输过程中因震动移动或摩擦产生磨损,限位挡板的距离可任意调节,每组限位挡板之间成V形设置,可适用于不同大小外径的棒料,生产成本低,应用范围广,且支撑牢固度高。
2、本实用新型底部设有连接装置,通过前、后连接装置的首尾相连,可将多个转置车连成一列,可实现一次性转运更多的单晶棒,提高了转运效率,连接装置内部设有减震装置,减震装置可有效避免转置车在运输过程中发生磕碰,减小了单晶棒外表面的磨损。
3、本实用新型端部设有推杆,推杆可活动置于转置车端部,可取下中间连接的转置车上的推杆,方便运输,通过转置车直接将加工成型的不同规格单晶棒放置于转置车上运输,还避免了使用叉车中转带来的不便,同时节约了能源。
附图说明
图1是本实用新型实施例的整体结构示意图
图2是本实用新型实施例的前连接装置的结构示意图
图3是本实用新型实施例的减震装置结构示意图
图4是本实用新型实施例的前连接装置与后连接装置装配图
图5是本实用新型实施例的移动装置的结构示意图
图中:
1、限位装置 2、底板 3、前连接装置
4、升降装置 5、移动装置 6、减震装置
7、后连接装置 8、推杆 9、前安装板
9-1、第一面 9-2、第二面 9-3、第三面
10、连接销 11、凹槽 12、透孔
13、固定板 14、减震伸缩杆 15、减震筒
16、减震伸缩套筒 17、减震弹簧 18、后限位板
19、限位凹槽 20、第二限位杆 21、第一限位杆
22、U形连接杆 23、刹车装置 24、滚轮
25、支架 26、支架座
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型实施例做进一步描述:
如图1所示,一种新型单晶转置车,包括底板2。底板2为长方形板,底板2上表面设有限位装置1,底板2下表面设有移动装置5,底板2宽度方向两侧面设有连接装置。连接装置包括前连接装置3和后连接装置7,前连接装置3和后连接装置7分别置于底板2两侧面中心处。前一车的后连接装置7连接后一车的前连接装置3,通过前连接装置3与后连接装置7的首尾相连,可将多个转置车连成一列,可实现一次性转运更多的单晶棒,提高了转运效率。
如图2所示,前连接装置3包括前安装板9和连接销10。前安装板9由第一面9-1、第二面9-2和第三面9-3构成U形卡,第一面9-1与第三面9-3平行,第二面9-2两端分别垂直连接第一面9-1和第三面9-3形成凹槽11。第一面9-1和第三面9-3上对应设有透孔12,连接销10置于透孔12内。
后连接装置7包括后连接板,后连接板上设有透孔12,后连接板的厚度小于凹槽11厚度。前安装板9的第二面9-2置于底板2一侧面中心处,第一面9-1与底板2上表面平行,后连接板置于底板2另一侧面中心处,后连接板与底板2平行。后连接板可置于第一面9-1与第三面9-3之间的凹槽11内,通过连接销10置于透孔12内,实现前连接装置3与后连接装置7的连接。
后连接装置7还包括减震装置6,后连接板通过减震装置6连接底板2侧面。如图3所示,减震装置6包括减震筒15,减震筒15内设有减震伸缩杆14和减震伸缩套筒16。减震伸缩杆14置于减震伸缩套筒16内,减震伸缩杆14和减震伸缩套筒16外部套有减震弹簧17,减震筒15两端设有固定板13。
后连接装置7为与前连接装置3配合,实现前车与后车自由组装拆卸的装置,减震装置6可有效避免转置车在运输过程中发生磕碰,减小了单晶棒外表面的磨损。优选的,本实施例还提供一种减震功能与后连接功能为一体的后连接装置7。
如图4所示,后连接板为U形连接杆22,U形连接杆22通过后限位板18与底板2侧面连接,后限位板18包括两块,后限位板18上设有限位孔23,U形连接杆22的两端分别置于限位孔23内,U形连接杆22为弹性材料。
优选的,还可实现U形连接杆22的折叠。后限位板18上设有限位凹槽19,限位凹槽19置于后限位板18顶部。U形连接杆22上设有第一限位杆21,两块后限位板18之间设有第二限位杆20,限位孔23为长孔。当U形连接杆22两端置于限位孔23底部时,第一限位杆21置于限位凹槽19内,实现U形连接杆22的折叠。当U形连接杆22两端置于限位孔23顶部时,U形连接杆22下表面与第二限位杆20相切,实现U形连接杆22与前连接装置3的组合。
限位装置1包括限位挡板,底板2上表面设有挡板凹槽,限位挡板置于挡板凹槽内。限位挡板包括多组,每组限位挡板包括两块,两块限位挡板呈V形设置。可适用于不同大小外径的棒料,生产成本低,应用范围广,且支撑牢固度高。
底板2宽度方向设有推杆8,推杆8成U形,底板2侧面设有轴套,推杆8两端置于轴套内。推杆8可活动置于转置车端部,可取下中间连接的转置车上的推杆8,方便运输。
移动装置5可通过升降装置4连接底板2下表面。如图5所示,移动装置5为万向轮,万向轮包括四个,万向轮分别置于底板2四角。万向轮包括支架25、滚轮24、支架座26和刹车装置23,滚轮24安装在支架25上,支架25安装在支架座26上,支架座26上设有刹车装置23,支架座26连接底板2底部。
本实用新型实施例的工作原理是:
通过推杆8和万向轮将转置车移动到指定位置,通过刹车装置23固定转置车。根据单晶棒的尺寸,调节限位挡板的距离,将单晶棒放入两块限位挡板中间,避免单晶棒在运输过程中滚动,避免单晶棒之间彼此摩擦,在运输过程中增大磨损量。可通过调节升降装置4,方便将单晶棒置于底板2上。将前一车的后连接装置7连接后一车的前连接装置3,通过前连接装置3与后连接装置7的首尾相连,可将多个转置车连成一列,可实现一次性转运更多的单晶棒,提高了转运效率。转置车上设有减震装置6,使得转置车在转弯、急停、急进过程中,不会因为转置车的震动对单晶棒产生刚性损伤。
本实用新型具有的优点和积极效果是:
1、本实用新型结构简单、操作方便,转置车上设有多组限位挡板,避免单晶棒在运输过程中因震动移动或摩擦产生磨损,限位挡板的距离可任意调节,每组限位挡板之间成V形设置,可适用于不同大小外径的棒料,生产成本低,应用范围广,且支撑牢固度高。
2、本实用新型底部设有连接装置,通过前、后连接装置的首尾相连,可将多个转置车连成一列,可实现一次性转运更多的单晶棒,提高了转运效率,连接装置内部设有减震装置,减震装置可有效避免转置车在运输过程中发生磕碰,减小了单晶棒外表面的磨损。
3、本实用新型端部设有推杆,推杆可活动置于转置车端部,可取下中间连接的转置车上的推杆,方便运输,通过转置车直接将加工成型的不同规格单晶棒放置于转置车上运输,还避免了使用叉车中转带来的不便,同时节约了能源。
以上对本实用新型的一个实施例进行了详细说明,但所述内容仅为本实用新型的较佳实施例,不能被认为用于限定本实用新型的实施范围。凡依本实用新型申请范围所作的均等变化与改进等,均应仍归属于本实用新型的专利涵盖范围之内。

Claims (10)

1.一种新型单晶转置车,包括底板,其特征在于:所述底板为长方形板,所述底板上表面设有限位装置,所述底板下表面设有移动装置,所述底板宽度方向两侧面设有连接装置,所述连接装置包括前连接装置和后连接装置,所述前连接装置包括前安装板和连接销,所述前安装板由第一面、第二面和第三面构成U形卡,所述第一面与所述第三面平行,所述第二面两端分别垂直连接所述第一面和所述第三面形成凹槽,所述第一面和所述第三面上设有透孔,所述连接销置于所述透孔内,所述第二面置于所述底板一侧面中心处,所述第一面与所述底板上表面平行,所述后连接装置包括后连接板,所述后连接板上设有透孔,所述后连接板置于所述底板另一侧面中心处,所述后连接板与所述底板平行,所述后连接板的厚度小于所述凹槽厚度。
2.根据权利要求1所述的一种新型单晶转置车,其特征在于:所述后连接装置还包括减震装置,所述后连接板通过所述减震装置连接所述底板侧面。
3.根据权利要求2所述的一种新型单晶转置车,其特征在于:所述减震装置包括减震筒,所述减震筒内设有减震伸缩杆和减震伸缩套筒,所述减震伸缩杆置于所述减震伸缩套筒内,所述减震伸缩杆和所述减震伸缩套筒外部套有减震弹簧,所述减震筒两端设有固定板。
4.根据权利要求1至3任一所述的一种新型单晶转置车,其特征在于:所述后连接板为U形连接杆,所述U形连接杆通过后限位板与所述底板侧面连接,所述后限位板包括两块,所述后限位板上设有限位孔,所述U形连接杆的两端分别置于所述限位孔内,所述U形连接杆为弹性材料。
5.根据权利要求4所述的一种新型单晶转置车,其特征在于:所述后限位板上设有限位凹槽,所述限位凹槽置于所述后限位板顶部,所述U形连接杆上设有第一限位杆,两块所述后限位板之间设有第二限位杆,所述限位孔为长孔,所述U形连接杆置于所述限位孔底部时,所述第一限位杆置于所述限位凹槽内,所述U形连接杆置于所述限位孔顶部时,所述U形连接杆下表面与所述第二限位杆相切。
6.根据权利要求1至3任一所述的一种新型单晶转置车,其特征在于:所述限位装置包括限位挡板,所述底板上表面设有挡板凹槽,所述限位挡板置于所述挡板凹槽内。
7.根据权利要求6所述的一种新型单晶转置车,其特征在于:所述限位挡板包括多组,每组所述限位挡板包括两块,两块所述限位挡板呈V形设置。
8.根据权利要求1至3任一所述的一种新型单晶转置车,其特征在于:所述底板宽度方向设有推杆,所述推杆成U形,所述底板侧面设有轴套,所述推杆两端置于所述轴套内。
9.根据权利要求1至3任一所述的一种新型单晶转置车,其特征在于:所述移动装置通过升降装置连接所述底板下表面。
10.根据权利要求1至3任一所述的一种新型单晶转置车,其特征在于:所述移动装置为万向轮,所述万向轮包括四个,所述万向轮分别置于所述底板四角,所述万向轮包括支架、滚轮、支架座、和刹车装置,所述滚轮安装在所述支架上,所述支架安装在所述支架座上,所述支架座上设有刹车装置,所述支架座连接所述底板底部。
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