CN209985183U - 一种湿式处理装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种湿式处理装置，至少包括：处理槽及射流管。处理槽用以盛装洗涤液。射流管设于处理槽中，借由注入洗涤液以吸入气体，且使得洗涤液与气体混合后再注入处理槽所盛装的洗涤液中，借以形成多个微气泡溶解气体及捕捉气体中的固体颗粒。

Description

一种湿式处理装置

技术领域

本实用新型涉及一种气体及固体颗粒处理装置，尤其涉及一种尾气及微粒子的湿式处理装置。

背景技术

工业废气等气体通常被认为是各种环境问题的根源，例如臭氧层消耗，全球变暖和酸雨，尤其在受影响地区工作或居住的人的健康问题。例如，有机物质的焚烧经常导致二氧化碳和硝基氧化物的形成，其中更有导致城市地区烟雾问题的挥发性有机化合物等。这些污染会导致各种健康与环保的问题，例如肺病和癌症，以及对周围植物产生负面影响。随着环保意识的觉醒，政府开始制定更严格的排放要求，因此产业急需处理功能更强且在经济上可行的解决方案。

湿式洗涤装置是现行普遍使用的尾气净化系统之一。传统的湿式洗涤装置通常需要高压泵和鼓风机将溶液雾化以混合工业尾气，借以达到溶解尾气及捕捉其中的固体微粒子的功能。举例而言，台湾发明专利案第I644729号所揭示的“尘滤净装置”以及台湾发明专利案第I372075号所揭示的“直立型多平行平板洗涤塔”皆是属于湿式洗涤装置。此类型的湿式洗涤装置所使用的水通常被收集在容器中以便处理。然而，洗涤装置每小时运行超过250加仑水(或每天6,000加仑)的情况并不少见。因此，传统的湿式洗涤器不仅设备昂贵，而且操作费用高。

而且，工业制程中所产生的有毒气体会混杂微小粉尘等固体颗粒，因此传统的湿式处理装置会产生相当硬的粉末附着于尾气(废气)输送管的管壁，最终造成尾气输送管的出口被粉末所堵塞。因此，维修人员需要时常清理，清理时又需要拆除相当多构件，相当不方便且浪费人力物力。台湾新型专利案第M535595号虽提出一种“输送管组件及具有该组件的气液混合搅拌器”，其借由挠性管随着水流晃动而打落附着在挠性管管壁的粉末。然而，此种方式却会导致挠性管或杆棒断裂，甚至每隔几天就需清理或更换一次，不但需要时常维修，而且造成成本增加。

实用新型内容

此外，传统湿式洗涤器对于微小的固体粒子的捕捉能力不足的主要原因在于水雾中水珠的大小必须和微粒子大小接近，同时速度必须加大才能有好的捕捉效果。然而，但要达到这两项并不容易。有鉴于此，本实用新型主要目的是提供一种湿式处理装置，其可产生高负压吸收气体，不仅可避免粉尘等固体颗粒堵塞气体输送管的出口处且可有效产生气液混合。接着，气液混合后的流体因压力变化被切割为微气泡(平均直径小于约1.0毫米)，借由单位体积的表面积(表面积除以体积)大幅提升的微气泡，提高气体溶解度及固体颗粒捕捉率，尤其针对小于PM 2.5的固体微粒。

不同于传统的湿式洗涤器，本实用新型采用微气泡的技术提升气体及固体颗粒的处理效率。由于微气泡的表面积和体积比大幅提升，因此气体和洗涤液的反应效率也会提高。同时在微气泡中，气体分子及微粒子高速热运动，在微气泡空间大幅缩小下更可增加与洗涤液的反应机率。此外，微气泡的浮力小，所以停留于洗涤液中的时间也会增加许多。因此，基于以上因素，本实用新型的湿式处理装置可以大幅提高气体分子的溶解及粒子捕捉率。此外，此湿式处理装置相对便宜且操作简单。

为达前述目的，本实用新型提出一种湿式处理装置，用以去除气体及/或气体中的固体颗粒，至少包括处理槽及射流管，其中处理槽用以盛装洗涤液。射流管设于处理槽中，用以注入洗涤液以吸入气体，且使得洗涤液与气体混合后再注入处理槽所盛装的洗涤液中，借以形成多个微气泡溶解气体及捕捉气体中的固体颗粒。

本实用新型的湿式处理装置进一步包括喷雾组件设于处理槽中且位于处理槽所盛装的洗涤液上方，喷雾组件喷洒出雾化后的洗涤液，以溶解处理槽所盛装的洗涤液上方的气体及/或捕捉气体中的固体颗粒。

本实用新型的湿式处理装置进一步包括气液分离组件设于处理槽中，用以过滤并降低处理槽所盛装的洗涤液上方的气体中的水雾成分。

本实用新型的湿式处理装置进一步包括冷却组件用以降低处理槽所盛装的洗涤液的温度。

其中，处理槽由内槽及外槽组成，洗涤液经由射流管注入处理槽的内槽中且溢流至外槽。

本实用新型的湿式处理装置进一步包括循环管路，循环管路的一端连通处理槽以排出并过滤洗涤液，循环管路的另一端连通射流管，其中洗涤液经由循环管路注入射流管中。

本实用新型的湿式处理装置进一步包括注水组件以供应洗涤液至处理槽中。

本实用新型的湿式处理装置进一步包括至少一液面侦测组件侦测处理槽所盛装的洗涤液的液面。

本实用新型的湿式处理装置进一步包括控制组件，用以控制洗涤液注入射流管的流量及/或气体导入射流管的流量。

其中，处理槽进一步具有维修埠。

其中，射流管包括气液混合管及输送管组件。气液混合管包括连通的中空腔体及喉管，其中洗涤液由喉管的顶端的一注液口注入且由喉管的一开口射出至中空腔体中，中空腔体的侧面具有气体吸入口用以吸入气体。输送管组件连通中空腔体的底端，输送管组件包括连通的中空管体及中空扩散管，其中中空扩散管的射出口沉浸于处理槽所盛装的洗涤液中。

其中，内槽的顶侧具有槽口且侧面具有通孔连通至外槽。

其中，循环管路进一步设有过滤组件以过滤被排出处理槽的洗涤液。

其中，循环管路于过滤组件的两侧进一步连通有旁路管路。

其中，循环管路进一步利用泵浦将排出处理槽的洗涤液经由射流管回收至处理槽中。

为达前述目的，本实用新型另提出一种湿式处理装置，用以去除气体及/或气体中的固体颗粒，至少包括：一处理槽用以盛装洗涤液；一射流管设于处理槽中，射流管将气体与洗涤液混合后再注入处理槽所盛装的洗涤液中；一气液分离组件设于处理槽中且位于处理槽所盛装的洗涤液上方；以及一喷雾组件设于处理槽中，以喷洒出雾化后的洗涤液。

其中，处理槽由一内槽及一外槽组成，洗涤液经由射流管注入处理槽的内槽中且溢流至外槽。

本实用新型的湿式处理装置进一步包括一循环管路，循环管路的一端连通处理槽以排出并过滤洗涤液，循环管路的另一端连通射流管，其中洗涤液经由循环管路注入射流管中。

其中，循环管路进一步设有过滤组件以过滤被排出处理槽的洗涤液。

本实用新型的湿式处理装置进一步包括一冷却组件用以降低处理槽所盛装的洗涤液的温度。

承上所述，依本实用新型的湿式处理装置，其可具有一或多个下述优点：

(1)借由射流管可产生大量微气泡，以减小气体气泡的尺寸，可以显著增加气体与固体颗粒接触洗涤液的表面积，因此能够大幅提高气体及固体颗粒与周围洗涤液的反应效率。同时，因微气泡的浮力小，故在溶液中移动的速度减缓，可增加气体与固体颗粒停留在洗涤液中的时间，如此更能有效捕捉固体颗粒及使气体溶解于洗涤液。

(2)借由射流管可产生吸力有效吸出气体输送管中的气体，避免气体所携带的固体颗粒沉积。

(3)借由设置冷却组件可降低洗涤液的温度，以提高气体的溶解度，同时确保洗涤液不会因为化学反应而持续升温。

(4)借由设置气液分离组件可将排出气体的水雾成分降低。

(5)借由设置喷雾组件可洗涤气液分离组件且可溶解气体及/或捕捉气体所携带的固体颗粒。

(6)借由设置旁路管路，维修人员替换过滤组件中的滤网时，可令洗涤液改变路径而流经旁路管路，因此不须中断整体洗涤过程。

(7)借由设置维修埠，维修人员不须拆卸整个结构，就可进行处理槽内维修或维护。

(8)借由组接式设计处理槽，可不受限于湿式处理装置的设置场地的高度限制。

现为使读者对本实用新型的技术特征及所能达到的技术效果有更进一步的了解与认识，结合较佳的实施例及配合详细的说明如下所述。

附图说明

图1为本实用新型的湿式处理装置的立体示意图：

图2为本实用新型的湿式处理装置的侧面示意图：

图3为本实用新型的湿式处理装置的俯视图：

图4为本实用新型中射流管的示意图：

图5为本实用新型中控制组件的电路方块图。

具体实施方式

为利了解本实用新型的技术特征、内容与优点及其所能达成的功效，兹将本实用新型配合附图，并以实施例的表达形式详细说明如下，而其中所使用的附图，其主旨仅为示意及辅助说明书之用，未必为本实用新型实施后的真实比例与精准配置，故不应就所附的附图的比例与配置关系解读、局限本实用新型于实际实施上的权利范围。此外，为使便于理解，下述实施例中的相同组件以相同的符号标示来说明。且附图所示的组件的尺寸比例仅为便于解释各组件及其结构，并非用以限定。

另外，在全篇说明书与权利要求所使用的用词，除有特别注明外，通常具有每个用词使用在此领域中、在此揭露的内容中与特殊内容中的平常意义。某些用以描述本实用新型的用词将于下或在此说明书的别处讨论，以提供本领域技术人员在有关本实用新型的描述上额外的引导。

其次，在本文中如使用用词“包含”、“包括”、“具有”、“含有”等，其均为开放性的用语，即意指包括但不限于。

本实用新型的湿式处理装置可产生高负压吸入气体，解决固体颗粒堵塞的问题，且能够有效产生微气泡。本实用新型借由单位体积的表面积(表面积除以体积)大幅提升的微气泡，能够提高气体溶解度及固体颗粒捕捉率。请一并参阅图1至图3，图1为本实用新型的湿式处理装置的立体示意图，图2为本实用新型的湿式处理装置的侧面示意图，图3为本实用新型的湿式处理装置的俯视图。

如图1至图3所示，本实用新型的湿式处理装置10至少包括处理槽20及射流管30。处理槽20用以盛装洗涤液，且洗涤液的液面高度或其占处理槽20的腔室体积比例可依据洗涤液的供应流量以及洗涤液的排出流量而调整。举例而言，洗涤液的体积例如约占处理槽20的腔室体积的50％至90％，较佳为约占60％至80％，更佳为约占70％。射流管30的一侧用以注入洗涤液，另一侧则连通外部的气体来源，借以混合气体与洗涤液。本实用新型的射流管30的特色在于，不仅可产生大量微气泡，且可将微气泡带入处理槽20的洗涤液的深处，使得微气泡通过洗涤液的时间例如约为1至20秒，较佳为约1至10秒，借以有效溶解气体及捕捉固体颗粒，且洗涤液流过射流管30的过程中可形成真空产生吸力有效吸出气体输送管70中的气体，避免固体颗粒累积在气体输送管70的出口处及/或中空腔体52的气体吸入口51处。

其中，洗涤液例如为水或其他洗涤液体，例如碱性溶液，而气体则例如为废气等尾气，且例如为半导体制程中所产生的制程气体。溶液的组成可以由需要被处理的气体来决定。举例而言，淡水所组成的洗涤液实际上已足以应用于捕捉许多灰尘或固体颗粒，其中洗涤液的水溶液可湿润并捕捉灰尘或颗粒。此外，由淡水和氢氧化钠或其他中和剂(如石灰)所组成的洗涤液，则可以有效地提取和中和大量的酸性物质，例如氢氯酸、硫酸或废气中的其他含酸成分。由于，氢氯酸及硫酸等酸性物质都非常容易溶于水，因此，水所组成的洗涤液中若存在合适的碱，例如可溶解于水的氢氧化钙(Ca(OH)2)、碳酸钙(CaCO3)和/或碳酸氢钠(NaHCO3)，则可吸收及中和各种生产来源中的酸性成分，以降低酸性溶液的形成。

本实用新型的湿式处理装置10的处理槽20可由单槽组成，亦可由双槽或多槽组成，较佳为由内槽22及外槽24组成，且为了方便解释本实用新型的结构及其运作方式，以下将以双槽举例说明。其中，处理槽20的内槽22的剖面例如为U形，且内槽22的顶侧具有槽口23，底侧具有脚架21，且内槽22的侧面(即侧壁)具有至少一通孔25，使得洗涤液可经由通孔25由内槽22的内部流动至外槽24。而且，使用高压将洗涤液经由射流管30高速注入内槽22中时，将会产生大量体积缩小的微气泡搅动并扬起洗涤液，使得洗涤液由内槽22溢流至外槽24中。此外，处理槽20的外槽24的剖面同样例如为U形，且其顶侧具有盖体27，用以可拆式封闭外槽24的槽口。其中，射流管30及气体输送管70例如为穿过盖体27以进入处理槽20中，且处理槽20的排气口92例如为设于盖体27上。处理槽20的外槽24的侧面(即侧壁)进一步选择性具有维修埠29，借由开启维修埠29可使得外槽24的内部与外界连通，方便维修人员进行维修或维护。除此之外，处理槽20的外槽24可选择性设计为组接式，亦即由U型槽及至少一中空管组接而成，如图1及图2所示地由位于下方的U型槽及位于U型槽上方的中空管组接而成，借由组接式设计可不受限于湿式处理装置10的设置场地的高度限制。中空管的数量并不加以限定，可例如为一或二以上，使用者可视实际需求选用适当数量及长度/尺寸的中空管。

本实用新型的湿式处理装置10的一项技术特征在于将射流管30应用于制程废气等气体处理，射流管30纵向注入洗涤液以使洗涤液纵向流过射流管30，且射流管30从侧面吸入气体，其中射流管30使用开口缩小的喉管54，借由此设计可以加快流速以使周围环境产生真空负压现象而吸出气体输送管70中的气体，避免固体颗粒累积在气体输送管70的出口处。

详言之，本实用新型的湿式处理装置10的射流管30例如包括连通的气液混合管50以及输送管组件60。其中，气液混合管50例如包括连通的中空腔体52及喉管54，其中洗涤液由喉管54的顶端的注液口56(口径较大)注入且由喉管54的开口58(口径较小)导出至中空腔体52中，中空腔体52的侧面进一步具有气体吸入口51用以从气体输送管70导入气体。其中，喉管54的内部口径由注液口56往开口58逐渐缩小，因此当洗涤液由开口58输出时，依据流体力学原理可加快流速并借由真空负压现象在气体吸入口51产生吸力避免固体颗粒堵塞气体吸入口51。或者，如图4所示，喉管54的内部口径也可以在注液口56及开口58之间的一区段从注液口56往开口58处逐渐缩小。为了获得较佳的真空吸引效果，因此中空腔体52的气体吸入口51的位置较佳为对应于喉管54的开口58的位置。

此外，本实用新型的湿式处理装置10的射流管30的输送管组件60连通气液混合管50的底端，亦即输送管组件60连通中空腔体52的底端。其中，输送管组件60例如包括连通的中空管体62及中空扩散管64，其中部分的中空扩散管64例如沉浸于处理槽20的洗涤液中。详言之，由于处理槽20由内槽22与外槽24组成，因此中空扩散管64的射出口65例如沉浸于处理槽20的内槽22的洗涤液的液面下一深度。其中，此深度的数值例如依据洗涤液的液面高度而定。需要注意的是，上述仅为举例，并非用以限定本实用新型。详言之，在其他应用中，中空扩散管64的射出口65亦可选择性设置于洗涤液上方。

其中，本实用新型的湿式处理装置10可选择性设有液面侦测组件26侦测处理槽20所盛装的洗涤液的液面的位置。液面侦测组件26的型式无特别限制，可例如采用槽内式或槽外式设计。举例而言，槽外式设计可例如运用连通管连通处理槽20的上方及下方，且在连通管上设置至少一个水位传感器，借此可得知处理槽20内的液面位置，以达到显示或提醒功效。

除此之外，本实用新型的湿式处理装置进一步可选择性设有电控装置等控制组件28(见图5)，此控制组件28例如采用电性连接的方式接收液面侦测组件26的感测讯号及/或控制泵浦42的运作，借以控制洗涤液经由循环管路40注入射流管30的流量及/或气体导入射流管30的流量，以达到控制处理槽20所盛装的洗涤液的液面的高度的效果。其中，泵浦42可采用防腐蚀材质，但不限定于此。同理，本实用新型的湿式处理装置进一步可选择性具有注水组件31，此注水组件31可例如由控制组件28控制，用以供应或补充处理槽20中的洗涤液(例如水)。注水组件31的一端可例如连通处理槽20的外槽24，另一端则连通一供水端，以供应或补充处理槽20中的洗涤液。

本实用新型的湿式处理装置10的循环管路40用以从处理槽20排出洗涤液，以及经由射流管30重复供应洗涤液注入处理槽20中，借以达到循环使用的目的。其中，循环管路40的一端连通处理槽20，例如连通处理槽20的外槽24的底部，借以利用泵浦42排出洗涤液。此外，循环管路40的另一端则由处理槽20的顶侧将洗涤液注入处理槽20中。详言之，循环管路40的另一端连通射流管30，且例如连通喉管54的的注液口56，借以利用泵浦42的高压将洗涤液高速注入射流管30中，且使得洗涤液重新进入处理槽20的内槽22中，借以进一步由气体输送管70中吸出气体并使洗涤液混合被吸入射流管30的中空腔体52中的气体。循环管路40进一步选择性设有过滤组件44用以过滤被排出处理槽20的外槽24的洗涤液，其中过滤组件44例如为过滤棉等过滤网，且较佳为Y型过滤器(见图3)，借以过滤出洗涤液中的固体颗粒。

本实用新型的另一技术特征在于循环管路40于过滤组件44的两侧进一步连通有至少一旁路(by pass)管路46，且循环管路40于过滤组件44的两侧进一步例如设有阀门，使得洗涤液改变路径而流经旁路管路46，借以使得维修人员可替换过滤组件44中的滤网，不须中断整体洗涤过程。

本实用新型的湿式处理装置的又一技术特征在于进一步选择性设有气液分离组件80设于处理槽20中的洗涤液上方，且较佳为设于内槽22的上方，借以过滤并阻隔内槽22中被大量微气泡所搅动而扬起的洗涤液，使得洗涤液经由内槽22的顶侧的槽口23顺利溢流至外槽24中。此外，气液分离组件80可过滤并降低处理槽20所盛装的洗涤液上方的气体中的水雾成分。其中，气液分离组件80例如由直径约为100微米至1微米玻璃纤维所组成的纤维床除雾器。

本实用新型的湿式处理装置进一步选择性设有喷雾组件82位于处理槽20中的洗涤液上方。喷雾组件82例如为喷雾器，且例如设于盖体27上，用以将洗涤液雾化，且朝着处理槽20所盛装的洗涤液上方的气体喷洒雾化后的洗涤液，借以溶解处理槽20所盛装的洗涤液上方的气体及/或捕捉气体中的固体颗粒。由于，喷雾组件82较佳位于气液分离组件80上方，且喷雾组件82朝着气液分离组件80的方向喷洒雾化后的洗涤液，因此也可同时洗涤气液分离组件80上的固体颗粒，并使其落入处理槽20中。其中，喷雾组件82的数量无特别限定。在传统技术中，纤维床除雾器不适合直接使用于处理含有微粒子的气流，其原因在于纤维床除雾器的玻璃纤维直径相当细小(直径约为100微米至1微米)，因此固体颗粒会迅速堵塞纤维床除雾器。相较之下，本实用新型的一技术特征在于利用喷雾组件82喷洒雾化的洗涤液以洗涤纤维床除雾器，因此能高效率去除大多数的固体颗粒，长期操作也不至于堵塞纤维床除雾器。基于相同理由，本实用新型的处理槽20的排气口92也可选择性设置另一气液分离组件(纤维床除雾器)，借以进一步降低排气口92所排出的气体中的水雾成分。

本实用新型的湿式处理装置进一步选择性设有冷却组件90用以降低处理槽20所盛装的洗涤液的温度以提高气体在洗涤液中的溶解度，同时可确保洗涤液不会因为化学反应而持续升温，甚至达到沸点。其中，由于冷却组件90的设置目的为降低洗涤的温度，因此其设置位置与设置型态并无特别限定，只要可使处理槽20中的洗涤液温度降低即可。举例而言，冷却组件90可例如直接设于处理槽20的内部，借以直接降低洗涤液的温度。此外，冷却组件90亦可例如设于处理槽20的外部，且经由连通管连通至处理槽20的内部，使得处理槽20中的洗涤液通过冷却组件90再返回处理槽20中，借以降低洗涤液的温度。同理，冷却组件90亦可选择性设置于循环管路40上，且例如设于循环管路40的内部或外部。此外，冷却组件90可为任何形式的冷却装置，例如具有冷凝管借以冷却洗涤液的温度。

综上所述，依本实用新型的湿式处理装置，其可具有一或多个下述优点：(1)借由射流管可产生大量微气泡，以减小气体气泡的尺寸，可以显著增加气体与固体颗粒接触洗涤液的表面积，因此能够大幅提高气体及固体颗粒与周围洗涤液的反应效率。同时，因微气泡的浮力小，故在溶液中移动的速度减缓，可增加气体与固体颗粒停留在洗涤液中的时间，如此更能有效捕捉固体颗粒及使气体溶解于洗涤液。(2)借由射流管可产生吸力有效吸出气体输送管中的气体，避免气体所携带的固体颗粒沉积。(3)借由设置冷却组件可降低洗涤液的温度，以提高气体的溶解度，同时确保洗涤液不会因为化学反应而持续升温。(4)借由设置气液分离组件可将排出气体的水雾成分降低。(5)借由设置喷雾组件可洗涤气液分离组件且可溶解气体及/或捕捉气体所携带的固体颗粒。(6)借由设置旁路管路，维修人员替换过滤组件中的滤网时，可令洗涤液改变路径而流经旁路管路，因此不须中断整体洗涤过程。(7)借由设置维修埠，维修人员不须拆卸整个结构，就可进行处理槽内维修或维护。(8)借由组接式设计处理槽，可不受限于湿式处理装置的设置场地的高度限制。

以上所述仅为举例性，而非为限制性者。任何未脱离本实用新型的精神与范畴，而对其进行的等效修改或变更，均应包含于后附的权利要求中。

附图标记说明

10：湿式处理装置 46：旁路管路

20：处理槽 50：气液混合管

21：脚架 51：气体吸入口

22：内槽 52：中空腔体

23：槽口 54：喉管

24：外槽 56：注液口

25：通孔 58：开口

26：液面侦测组件 60：输送管组件

27：盖体 62：中空管体

28：控制组件 64：中空扩散管

29：维修埠 65：射出口

30：射流管 70：气体输送管

31：注水组件 80：气液分离组件

40：循环管路 82：喷雾组件

42：泵浦 90：冷却组件

44：过滤组件 92：排气口

Claims (20)

1.一种湿式处理装置，用以去除气体及/或气体中的固体颗粒，其特征在于，至少包括：

一处理槽，用以盛装洗涤液；以及

一射流管，设于所述处理槽中，所述射流管注入洗涤液以吸入气体，且使得洗涤液与气体混合后再注入所述处理槽所盛装的洗涤液中，借以形成多个微气泡溶解气体及捕捉气体中的固体颗粒。

2.如权利要求1所述的湿式处理装置，其特征在于，进一步包括：

一喷雾组件设于所述处理槽中且位于所述处理槽所盛装的洗涤液上方，所述喷雾组件喷洒出雾化后的洗涤液，以溶解所述处理槽所盛装的洗涤液上方的气体及/或捕捉气体中的固体颗粒。

3.如权利要求1所述的湿式处理装置，其特征在于，进一步包括：

一气液分离组件设于所述处理槽中，用以过滤并降低所述处理槽所盛装的洗涤液上方的气体中的水雾成分。

4.如权利要求1所述的湿式处理装置，其特征在于，进一步包括：

冷却组件用以降低所述处理槽所盛装的洗涤液的温度。

5.如权利要求1至4任一项所述的湿式处理装置，其特征在于，包括：

所述处理槽由一内槽及一外槽组成，洗涤液经由所述射流管注入所述处理槽的所述内槽中且溢流至所述外槽。

6.如权利要求1至4任一项所述的湿式处理装置，其特征在于，进一步包括：

一循环管路，所述循环管路的一端连通所述处理槽以排出并过滤洗涤液，所述循环管路的另一端连通所述射流管，其中洗涤液经由所述循环管路注入所述射流管中。

7.如权利要求1至4任一项所述的湿式处理装置，其特征在于，进一步包括：

一注水组件以供应洗涤液至所述处理槽中。

8.如权利要求1至4任一项所述的湿式处理装置，其特征在于，进一步包括：

至少一液面侦测组件侦测所述处理槽所盛装的洗涤液的液面。

9.如权利要求1至4任一项所述的湿式处理装置，其特征在于，进一步包括：

一控制组件，用以控制洗涤液注入所述射流管的流量及/或气体导入所述射流管的流量。

10.如权利要求1至4任一项所述的湿式处理装置，其特征在于，包括：所述处理槽进一步具有一维修埠。

11.如权利要求1至4任一项所述的湿式处理装置，其特征在于，所述射流管包括：

一气液混合管，包括连通的一中空腔体及一喉管，其中洗涤液由所述喉管的顶端的一注液口注入且由所述喉管的开口射出至所述中空腔体中，所述中空腔体的侧面具有一气体吸入口用以吸入气体；

一输送管组件，连通该中空腔体的底端，所述输送管组件包括连通的一中空管体及一中空扩散管，其中所述中空扩散管的一射出口沉浸于所述处理槽所盛装的洗涤液中。

12.如权利要求5所述的湿式处理装置，其特征在于，包括：

所述内槽的顶侧具有一槽口且侧面具有一通孔连通至所述外槽。

13.如权利要求6所述的湿式处理装置，其特征在于，包括：

所述循环管路进一步设有一过滤组件以过滤被排出所述处理槽的洗涤液。

14.如权利要求1³所述的湿式处理装置，其特征在于，包括：

所述循环管路于所述过滤组件的两侧进一步连通有一旁路管路。

15.如权利要求14所述的湿式处理装置，其特征在于，包括：

所述循环管路进一步利用一泵浦将排出所述处理槽的洗涤液经由所述射流管回收至所述处理槽中。

16.一种湿式处理装置，用以去除气体及/或气体中的固体颗粒，其特征在于，至少包括：

一处理槽，用以盛装洗涤液；

一射流管，设于所述处理槽中，所述射流管将气体与洗涤液混合后再注入所述处理槽所盛装的洗涤液中；

一气液分离组件，设于所述处理槽中，且位于所述处理槽所盛装的洗涤液上方；以及

一喷雾组件，设于所述处理槽中，以喷洒出雾化后的洗涤液。

17.如权利要求16所述的湿式处理装置，其特征在于，包括：

所述处理槽由一内槽及一外槽组成，洗涤液经由所述射流管注入所述处理槽的所述内槽中且溢流至所述外槽。

18.如权利要求17所述的湿式处理装置，其特征在于，进一步包括：

一循环管路，所述循环管路的一端连通所述处理槽以排出并过滤洗涤液，所述循环管路的另一端连通所述射流管，其中洗涤液经由所述循环管路注入所述射流管中。

19.如权利要求18所述的湿式处理装置，其特征在于，包括：

所述循环管路进一步设有一过滤组件以过滤被排出所述处理槽的洗涤液。

20.如权利要求16至19任一项所述的湿式处理装置，其特征在于，进一步包括：

一冷却组件用以降低所述处理槽所盛装的洗涤液的温度。

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