CN209963029U - 一种简易的抽真空装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种简易的抽真空装置，包括真空碗、真空管和真空泵，所述真空碗的上端面设有圆孔，所述真空碗的上方设有快接口母头，所述快接口母头的内部设有内螺纹，所述内螺纹从快接口母头的底部起始至快接口母头的中间位置，所述真空碗的上端面的下方设有快接口公头，所述快接口公头的上部设有第一缩小环，所述第一缩小环的外径小于快接口公头的外径，所述第一缩小环上设有外螺纹，所述第一缩小环的下方与快接口公头的交界处设有第一阶梯面，述快接口公头穿过圆孔拧入快接口母头内，所述快接口公头的下方设有滤布套，所述滤布套的上方设有第二缩小环。本实用新型结构简单，易安装，成本较低，效果显著。
Description
技术领域
本实用新型涉及真空装置技术领域，尤其是涉及一种简易的抽真空装置。
背景技术
半导体行业晶圆贴蜡工艺中，需经过贴蜡前加热、上蜡贴片、下蜡三个步骤，在上蜡贴片这一步骤中，晶圆与蜡层之间会出现气泡，影响贴蜡的平整性，如果此时对晶圆直接加压冷却，易造成晶圆破碎，导致晶圆贴蜡成品率低，增加企业成本，于是如何减小贴蜡过程中的气泡成为企业亟需解决的问题。实验证明如果在晶圆贴片过程中对晶圆抽真空处理，能极大地减少气泡，从而提高晶圆贴蜡的成品率，降低企业成本。
实用新型内容
本实用新型的目的在于克服上述现有技术的不足，提供一种简易的抽真空装置，结构简单，易安装，成本较低，效果显著。
为了实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：
一种简易的抽真空装置，包括真空碗、真空管和真空泵，所述真空碗的上端面设有圆孔，所述真空碗的上方设有快接口母头，所述快接口母头的内部设有内螺纹，所述内螺纹从快接口母头的底部起始至快接口母头的中间位置，所述真空碗的上端面的下方设有快接口公头，所述快接口公头的上部设有第一缩小环，所述第一缩小环的外径小于快接口公头的外径，所述第一缩小环上设有外螺纹，所述第一缩小环的下方与快接口公头的交界处设有第一阶梯面，述快接口公头穿过圆孔拧入快接口母头内，所述快接口公头的下方设有滤布套，所述滤布套的上方设有第二缩小环，所述第二缩小环的外径小于滤布套的外径，所述第二缩小环的下方与滤布套的交界处设有第二阶梯面，所述第二缩小环伸入快接口公头内部，所述快接口公头的下端面与第二阶梯面相贴合，所述快接口母头的上方内部套入有橡胶接口，所述橡胶接口与快接口母头过盈配合，所述橡胶接口的下端面位于内螺纹的上方，所述橡胶接口的上端面设有周向向外延伸的定位台，所述定位台的底部与快接口母头的上端面相贴合，所述橡胶接口内插入有真空管，所述真空管远离橡胶接口的一侧连接有真空泵，所述真空碗的底部设有向外延伸的碗沿，所述碗沿上套有密封圈。
所述快接口母头的下部与真空碗的接触处用胶带密封，所述第一阶梯面与真空碗的接触处用胶水密封。
本实用新型的有益效果是：1、快接口公头穿过真空碗的上方卡入快接头母头内固定，快接头母头的上方插入有橡胶接口，橡胶接口内插入真空管，真空管另一端连接真空泵，整个装置结构简单，安装方便，并且抽真空的效果显著；2、滤布覆盖在滤布套的下方及外周并随滤布套一起卡入快接口公头内，这样能对滤布起到更好的固定作用；3、需要更换快接口公头或快接口母头时，拆卸下胶带，将快接口公头拧出，对损坏的快接口公头或快接口母头进行更换，操作方便。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图；
图2为图1中A处的放大图；
图3为图1中B处的放大图；
图4为本实用新型的真空碗的结构示意图；
图5为本实用新型的快接口母头的结构示意图；
图6本实用新型的快接口公头的结构示意图；
图7实用新型的滤布套的结构示意图。
图中：真空碗1、碗沿11、圆孔12、密封圈2、真空管3、真空泵4、橡胶接口5、定位台51、快接口母头6、内螺纹61、快接口公头7、第一阶梯面71、第一缩小环72、外螺纹73、滤布套8、第二阶梯面81、第二缩小环82。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步描述：
如图1～图6示，一种简易的抽真空装置，包括真空碗1、真空管3和真空泵4，所述真空碗1的上端面设有圆孔12，所述真空碗1的上方设有快接口母头6，所述快接口母头6的内部设有内螺纹61，所述内螺纹61从快接口母头6的底部起始至快接口母头6的中间位置，所述真空碗1的上端面的下方设有快接口公头7，所所述快接口公头7的上部设有第一缩小环72，所述第一缩小环72的外径小于快接口公头7的外径，所述第一缩小环72上设有外螺纹73，所述第一缩小环72的下方与快接口公头7的交界处设有第一阶梯面71，所述快接口公头7过圆孔12拧入快接口母头6内，所述快接口公头7的下方设有滤布套8，所述滤布套8的上方设有第二缩小环82，所述第二缩小环82的外径小于滤布套8的外径，所述第二缩小环82的下方与滤布套8的交界处设有第二阶梯面81，所述滤布套8的下方贴合放置一块滤布，滤布超过滤布套8的外沿部分向上翻起并从上部塞入滤布套8中间的圆孔内，用手把滤布与滤布套8固定后将滤布套8塞入快接口公头7内固定，所述第二缩小环82伸入快接口公头7内部，所述快接口公头7的下端面与第二阶梯面81相贴合，所述快接口母头6的上方内部套入有橡胶接口5，所述橡胶接口5与快接口母头6过盈配合，所述橡胶接口5的下端面位于内螺纹61的上方，所述橡胶接口5的上端面设有周向向外延伸的定位台51，所述定位台51的底部与快接口母头6的上端面相贴合，所述橡胶接口5内插入有真空管3，所述真空管3远离橡胶接口5的一侧连接有真空泵4，所述真空碗1的底部设有向外延伸的碗沿11，所述碗沿11上套有密封圈2，当真空碗2倒扣放置在桌面上时，密封圈2可以对真空碗2和桌面的接触处起到很好的密封作用。
所述快接口母头6的下部与真空碗1的接触处用胶带密封，所述第一阶梯面71与真空碗1的接触处用胶带密封，当装置长时间使用时，快接口母头6和快接口公头7易出现损坏，此时可以拆下胶带进行更换，操作方便。
实际使用时，将真空管3的两端分别插入真空碗1和真空泵4中固定，真空碗2倒扣放置在桌面上，开启真空泵4，可以对真空碗2的内部抽取真空，当使用完毕时，关闭真空泵，从真空碗1上拔下真空管，解除真空作用；若在工作过程中出现停电情况，真空泵4自锁，真空碗1内仍能保持真空状态。
以上所述仅为本实用新型的较佳实施例，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (2)
1.一种简易的抽真空装置，包括真空碗(1)、真空管(3)和真空泵(4)，其特征在于：所述真空碗(1)的上端面设有圆孔(12)，所述真空碗(1)的上方设有快接口母头(6)，所述快接口母头(6)的内部设有内螺纹(61)，所述内螺纹(61)从快接口母头(6)的底部起始至快接口母头(6)的中间位置，所述真空碗(1)的上端面的下方设有快接口公头(7)，所述快接口公头(7)的上部设有第一缩小环(72)，所述第一缩小环(72)的外径小于快接口公头(7)的外径，所述第一缩小环(72)上设有外螺纹(73)，所述第一缩小环(72)的下方与快接口公头(7)的交界处设有第一阶梯面(71)，所述快接口公头(7)穿过圆孔(12)拧入快接口母头(6)内，所述快接口公头(7)的下方设有滤布套(8)，所述滤布套(8)的上方设有第二缩小环(82)，所述第二缩小环(82)的外径小于滤布套(8)的外径，所述第二缩小环(82)的下方与滤布套(8)的交界处设有第二阶梯面(81)，所述第二缩小环(82)伸入快接口公头(7)内部，所述快接口公头(7)的下端面与第二阶梯面(81)相贴合，所述快接口母头(6)的上方内部套入有橡胶接口(5)，所述橡胶接口(5)与快接口母头(6)过盈配合，所述橡胶接口(5)的下端面位于内螺纹(61)的上方，所述橡胶接口(5)的上端面设有周向向外延伸的定位台(51)，所述定位台(51)的底部与快接口母头(6)的上端面相贴合，所述橡胶接口(5)内插入有真空管(3)，所述真空管(3)远离橡胶接口(5)的一侧连接有真空泵(4)，所述真空碗(1)的底部设有向外延伸的碗沿(11)，所述碗沿(11)上套有密封圈(2)。
2.如权利要求1所述一种简易的抽真空装置，其特征在于：所述快接口母头(6)的下部与真空碗(1)的接触处用胶带密封，所述第一阶梯面(71)与真空碗(1)的接触处用胶带密封。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201921102861.5U CN209963029U (zh) | 2019-07-15 | 2019-07-15 | 一种简易的抽真空装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201921102861.5U CN209963029U (zh) | 2019-07-15 | 2019-07-15 | 一种简易的抽真空装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN209963029U true CN209963029U (zh) | 2020-01-17 |
Family
ID=69248489
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201921102861.5U Active CN209963029U (zh) | 2019-07-15 | 2019-07-15 | 一种简易的抽真空装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN209963029U (zh) |
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2019
- 2019-07-15 CN CN201921102861.5U patent/CN209963029U/zh active Active
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