CN209945518U - 一种高端基准级的单缸活塞式气体流量标准装置 - Google Patents
一种高端基准级的单缸活塞式气体流量标准装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN209945518U CN209945518U CN201920512551.4U CN201920512551U CN209945518U CN 209945518 U CN209945518 U CN 209945518U CN 201920512551 U CN201920512551 U CN 201920512551U CN 209945518 U CN209945518 U CN 209945518U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- cylinder body
- standard device
- gas flow
- flow standard
- piston
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Actuator (AREA)
Abstract
本实用新型涉及高准确度流量标准装置,特别涉及一种高端基准级的单缸活塞式气体流量标准装置,解决了现有气体流量标准装置不具有保持准确度长期稳定性和适应高准确度要求的结构形式,且不具备对工作气体介质工况参数的实时高准确度的检测能力的技术问题。一种高端基准级的单缸活塞式气体流量标准装置,包括驱动及其相关机构、底座和缸体,缸体为无法兰的圆柱形构件,且设置在驱动及其相关机构与底座之间,驱动及其相关机构包括互相连接的伺服电机、减速器、齿形同步轮带、滚珠螺母丝杠副、缸体上盖和活塞,滚珠螺母丝杠副的回转螺母安装在缸体上盖中心,滚珠螺母丝杠副下端通过设置在活塞下方的活塞法兰紧固连接,缸体上盖设有球栅测量系统。
Description
技术领域
本实用新型涉及高准确度流量标准装置,特别涉及一种高端基准级的单缸活塞式气体流量标准装置。
背景技术
流量标准装置是流量计量领域实现量值传递的必备设备。近些年国内开始出现准确度较高的单缸活塞式气体流量标准装置。其中较早的专利有公告号为102175292A的专利与公告号为205620002U的专利。从这些专利表述的背景技术中可以看出实用新型人对其实用新型在所属的标准装置类型中的准确度的定位,按专业角度在0.2~0.3级,有关资料文献将此准确度等级划入标准装置的基准级低档。而在此类装置中,当其输出气体介质流量高达 0.05级要求时,单缸活塞式气体流量标准装置是一种中小流量气体流量量值传递的高档基准级贵重设备。这就要求所制作的装置具有适应高准确度要求的结构形式和对工作气体介质工况参数的实时高准确度的检测能力;同时,还需要有保持准确度长期稳定性的技术方案,以减少维护费用与延长使用寿命,但是现有的流量标准装置在结构和功能上并不能达到上述标准。
实用新型内容
本实用新型的目的在于:
本实用新型的目的是提供一种高端基准级的单缸活塞式气体流量标准装置,使之具有满足扩展不确定度可达0.05级要求的活塞缸体结构、活塞匀速驱动机构及其位移反馈检测的闭环测量以及确保气体工况参数满足实时高准确度要求的检测能力的分布式前端设备,特别提供了有别于现行同类装置的能保持长期稳定准确度的无法兰缸体结构方案。
本实用新型为了实现上述目的,具体采用以下技术方案:
一种高端基准级的单缸活塞式气体流量标准装置,包括驱动及其相关机构、底座和缸体、行程距离检测部件和实时高准确度的气体工况参数检测现场前端设备。缸体为无法兰的圆柱体形状构件,是一种采用晶相组织均匀的冷轧无缝钢管制成的无法兰、无内外阶梯圆柱面、无焊接接口和其他加工孔洞,仅只有内壁经过高精加工使圆度与圆柱度满足体积测量不确定度分量要求的圆筒式结构件,为立式安装结构,且采用四个外部光杠通过防松螺母组合拉紧在驱动及其相关机构与所述底座之间,底座为缸体的下端承担密封作用。驱动及其相关机构包括互相连接的伺服电机、减速器、齿形同步轮带、滚珠螺母丝杠副、缸体上盖和活塞,活塞上设置了密封环,由驱动及其相关机构带动在缸体的内部做上下匀速运动,并由缸体上盖上设置的球栅测量系统来测量行程距离并记录单位时间的移动量,滚珠螺母丝杠副的回转螺母安装在缸体上盖的中心,滚珠螺母丝杠副的下端通过设置在活塞下方的活塞法兰紧固连接。
进一步地,活塞的上方连接有三个内部光杠,所述的内部光杠的上方连接有丝杠上法兰,内部光杠的下方与活塞法兰相连,活塞及其驱动机构借用缸体上盖作为机座,设计了安装在缸体上盖轴线位置的螺母旋转式精密滚珠螺母丝杠副作为活塞位移执行机构;高性能交流伺服电机经精密减速器后通过齿形同步轮带驱动轴向固定的螺母旋转,带动滚珠螺母丝杠副使连接在丝杠下端的活塞作往复直线运动,在丝杠螺母安装平面的外圆周0°、90°、180°位置平行缸体轴线安装三组用于活塞移动导向的直线滚珠导套,三根与缸体轴线平行的导向内部光杠作为活塞移动导向杆与滚珠导套无间隙配合,内部光杠上端通过法兰盘与丝杠顶端固定,内部光杠的下端连同丝杠一起与活塞固定连接;活塞与缸体配合的外圆柱面分别在上下以及中部配置自润滑导向环与多层密封的组合式密封件。
进一步地,内部光杠1-8的外部套设有直线滚珠导套1-9。
进一步地,缸体上盖1-5上设置有指令控制开关1-12和断电保护开关1-11。
进一步地,活塞法兰1-6与丝杠上法兰1-10均设置有行程位置发讯杆1-13,行程位置发讯杆1-13为带有凸台1-14的阶梯形转轴。
进一步地,所述的行程距离检测部件为高准确度不锈钢球栅尺测量系统,采用读数头固定球栅尺移动方式工作,球栅测量系统包括相互连接的读数头1-16、球栅尺1-17和万向球轴承1-18,读数头1-16通过安装架固定在缸体上盖1-5上,读数头1-16上设置有配合孔,配合孔的内部套设了球栅尺1-17,万向球轴承1-18设置在球栅尺1-17的两端,测量系统读数头1-16固定在底座2上的活塞1-7导向内部光杠1-8同圆270°位置的专用支架上与缸体轴线平行安装,球栅尺1-17采用设计人申报的浮动安装结构专利,依附在导向内部光杠1-8上法兰与活塞1-7之间且与读数头1-16导向孔配合,随活塞1-7同步运动;读数头1-16通过球栅尺1-17采集到的活塞1-7移动数据直接输入设置在计算机内的时基接口卡内的计数器,获取准确的活塞1-7单位时间移动量,时基接口卡为可以独立对时间量传检定的高准确度计时计数部件。
进一步地,底座2为具有上凸缘的法兰结构,包括一体连接的上凸缘、底座法兰盘2-2 和三个均匀分布的地脚2-3,所述的地脚2-3的高度可调节。
进一步地,上凸缘外侧镶嵌有O型橡胶密封圈2-1,O型橡胶密封圈2-1与缸体3的内圆面接触配合。
进一步地,底座2的法兰边缘设置有气体出入口2-4、湿度智能传感器2-6、温度智能传感器2-7和压力智能传感器2-8,用于检测工作气体的工况,气体出入口2-4和缸体3上的通道处设置有多个压力监测开关2-5。
进一步地,湿度智能传感器2-6下方的设置有网罩2-10,温度智能传感器2-7的下方设置有开口式护套2-9,这种封装结构确保了检测的实时性,整机由计算机控制并配置安全保护。
本实用新型的工作原理为:
本实用新型在使用时,首先启动驱动及其相关机构,驱动及其相关机构由伺服电机、减速器、齿形同步轮带以及滚珠螺母丝杠副组成,丝杠副的回转螺母安装在以缸体上盖作为机座的缸体上盖中心,丝杠下端通过活塞法兰与活塞紧固连接。伺服电机启动后按控制系统指令回转,经减速器带动同步轮带使螺母旋转,活塞便可向上移动,使进出气口向气缸吸入介质气体备用。在此之后,活塞向下移动即输出介质气体作工作运行,活塞的运动由安装在丝杠螺母外侧的三根内部光杠为轨道,通过与其无间隙滚动配合且固定在机座上的直线滚珠导套导向,内部光杠的上下端分别与丝杠上法兰和活塞法兰固定连接,在机座上设置有行程终点指令控制开关和终点安全运行断电保护开关,指令控制开关为光电接近开关,以电平信号输出到控制系统。断电保护开关为触点式微动开关,直接串接在驱动电机电源回路中。在丝杠上法兰与活塞法兰上,分别安装了上下行程位置发讯杆与活塞同步运动,行程位置发讯杆为阶梯形轴有凸台,发讯杆端头用于触发控制指令保护的光电开关,发讯杆凸台则可挤压微动开关的触点切断驱动电机电源,从而分别实现对活塞行程终点的指令控制与行程失控的保护。
本实用新型用于行程距离检测采用的是具有0.01mm距离检测能力的的高准确度球栅测量系统,球栅测量系统的读数头通过安装支架固定在机座上,并通过配合孔对球栅尺导向,球栅测量系统球栅尺的上、下端均设置了万向球轴承以满足对球栅尺体的轴向固定径向微量浮动的要求。当活塞上下移动带动球栅尺同步运动时,读数头内的通电线圈切割球栅尺内部高准确度测量球产生位移脉冲输出,可以准确报告出活塞的移动位置。
缸体采用材料晶相结构均匀的冷拉无缝钢管,是一个仅经过内壁精细加工的、无内外凸台的圆筒形的构件,结构工艺性好,尤其没有应力集中部位,经过实用新型人将近五年时间的测量跟踪,证明该构件能确保准确度的长期稳定。本实用新型的驱动、行程距离测量以及限位保护等结构的外露构件都设有防尘保护罩。本实用新型的底座为一具有上凸缘法兰结构,法兰上凸缘镶嵌O型橡胶密封圈与缸体配合,阻止工作介质气体的外泄漏。底座法兰盘均布三个可调高度的地脚支撑整机并用于整机安装水平调整。底座的法兰边缘安装有测量误差优于1.5%RH的湿度智能传感器、测量误差优于0.05℃的高准确度温度智能传感和测量误差优于0.01%的高准确度压力智能传感器用于检测输出气体工况参数。湿度智能传感器与温度智能传感器分别采用开口式护套与网罩使其敏感元件能与被测介质直接接触提高检测实时性。气体出入口设置在底座的法兰边缘,在外接输气管路上由控制系统的电动气阀实现工作介质气体出入交换。在气体出入口与气缸通道处设置有压力检测开关在气缸活塞下行工作及上行进气时的缸内压力进行检测,避免控制气阀失控可能出现的正负压过载损伤,以上就是本实用新型的工作原理。
本实用新型相比现有技术,本实用新型具有以下有益效果:
1、本实用新型设计了一种有别于现行法兰式气缸的无应力集中均称体缸体构件以及与之适应的配套结构,从而获得很好的结构工艺性与缸体内圆几何准确度的保持性,确保了气体体积输出参数的高准确度和长期稳定。
2、本实用新型采用无间隙且摩擦力小的滚珠丝杠传动,与高性能驱动机构结合,能很好克服低速爬行,提高低速运行平稳性,也即提高了低运行段气体流量的准确与稳定。
3、本实用新型采用球栅尺测量系统直接实时获取活塞移动位置的闭环测量,消除了传动误差影响;同时球栅尺测量系统的球栅基尺与缸体具有相同的线胀系数也减小了温度对行程测量带来的附加不确定度影响。
4、本实用新型采用了设计人申报的球栅尺径向浮动安装结构专利为目前球栅尺测量系统应用的创新导向形式,它有效地解决了球栅尺测量在移动部件无定位基准的情况下容易引起的球栅尺变形,从而避免对测量准确度保持性造成影响。
5、本实用新型配置的高准确度温度、压力、湿度的检测以及时间基准除了严格满足各被测参量的不确定度分量的要求,均设计成可供调校与量值溯源的分布式智能前端设备,尤其是将温度、湿度的敏感元件设计在开口式护套中能与被测气体介质直接接触,大大提高了检测参数的实时性从而保证量值的真实。
附图说明
本实用新型将通过例子并参照附图的方式说明,其中:
图1为本实用新型实施例的整体结构示意图;
图2为本实用新型实施例的活塞、驱动执行机构及其相关结构示意图;
图3为本实用新型实施例的无法兰缸体构件示意图;
图4为本实用新型的底座及前端检测设备安装结构示意图。
附图标记:1、驱动及其相关机构,1-1、伺服电机,1-2、减速器,1-3、齿形同步轮带,1-4、滚珠螺母丝杠副,1-5、缸体上盖,1-6、活塞法兰,1-7、活塞,1-8、外部光杠, 1-9、直线滚珠导套,1-10、丝杠上法兰,1-11、断电保护开关,1-12、指令控制开关,1-13、发讯杆,1-14、凸台,1-16、读数头,1-17、球栅尺,1-18、万向球轴承,2、底座,2-1、 O型橡胶密封胶圈,2-2、底座法兰盘,2-3、地脚,2-4、气体出入口,2-5、压力检测开关, 2-6、湿度智能传感器,2-7、温度智能传感,2-8、压力智能传感器,2-9、开口式护套, 2-10、网罩,3、缸体,4、外部光杠。
具体实施方式
本说明书中公开的所有特征,或公开的所有方法或过程中的步骤,除了互相排斥的特征和/或步骤以外,均可以以任何方式组合。
下面结合图1至图4对本实用新型作详细说明。
实施案例一:如图1至图4所示,例提供一种高端基准级的单缸活塞式气体流量标准装置,包括驱动及其相关机构1、底座2和缸体3、行程距离检测部件和实时高准确度的气体工况参数检测现场前端设备。缸体3为无法兰的圆柱体形状构件,是一种采用晶相组织均匀的冷轧无缝钢管制成的无法兰、无内外阶梯圆柱面、无焊接接口和其他加工孔洞,仅只有内壁经过高精加工使圆度与圆柱度满足体积测量不确定度分量要求的圆筒式结构件,为立式安装结构,且采用四个外部光杠1-8通过防松螺母组合拉紧在驱动及其相关机构1 与所述底座2之间,底座2为缸体3的下端承担密封作用。驱动及其相关机构1包括互相连接的伺服电机1-1、减速器1-2、齿形同步轮带1-3、滚珠螺母丝杠副1-4、缸体上盖1-5 和活塞1-7,活塞1-7上设置了密封环,由驱动及其相关机构1带动在缸体3的内部做上下匀速运动,并由缸体上盖1-5上设置的球栅测量系统来测量行程距离并记录单位时间的移动量,滚珠螺母丝杠副1-4的回转螺母安装在缸体上盖1-5的中心,滚珠螺母丝杠副1-4 的下端通过设置在活塞1-7下方的活塞法兰1-6紧固连接。
本实用新型的工作原理为:
本实用新型在使用时,首先启动驱动及其相关机构1,驱动及其相关机构1由伺服电机 1-1、减速器1-2、齿形同步轮带1-3以及滚珠螺母丝杠副1-4组成,丝杠副的回转螺母安装在以缸体上盖1-5作为机座的缸体上盖中心,丝杠下端通过活塞法兰1-6与活塞1-7紧固连接。伺服电机1-1启动后按控制系统指令回转,经减速器1-2带动同步轮带1-3使螺母旋转,活塞1-7便可向上移动,使进出气口2-4向气缸吸入介质气体备用。在此之后,活塞1-7向下移动即输出介质气体作工作运行,活塞1-7的运动由安装在丝杠螺母外侧的三根内部光杠1-8为轨道,通过与其无间隙滚动配合且固定在机座上的直线滚珠导套1-9 导向,内部光杠1-8的上下端分别与丝杠上法兰1-10和活塞法兰1-6固定连接,在机座1-5 上设置有行程终点指令控制开关1-12和终点安全运行断电保护开关1-11,指令控制开关 1-12为光电接近开关,以电平信号输出到控制系统。断电保护开关1-11为触点式微动开关,直接串接在驱动电机电源回路中。在丝杠上法兰1-10与活塞法兰1-6上,分别安装了上下行程位置发讯杆1-13与活塞同步运动,行程位置发讯杆1-13为阶梯形轴有凸台1-14,发讯杆1-13端头用于触发控制指令保护的光电开关,发讯杆凸台1-14则可挤压微动开关1-11 的触点切断驱动电机电源,从而分别实现对活塞行程终点的指令控制与行程失控的保护。
本实用新型用于行程距离检测采用的是具有0.01mm距离检测能力的的高准确度球栅测量系统,球栅测量系统的读数头1-16通过安装支架固定在机座1-5上,并通过配合孔对球栅尺1-17导向,球栅测量系统球栅尺1-17的上、下端均设置了万向球轴承1-18以满足对球栅尺体的轴向固定径向微量浮动的要求。当活塞1-7上下移动带动球栅尺1-17同步运动时,读数头1-16内的通电线圈切割球栅尺1-17内部高准确度测量球产生位移脉冲输出,可以准确报告出活塞1-7的移动位置。
缸体3采用材料晶相结构均匀的冷拉无缝钢管,是一个仅经过内壁精细加工的、无内外凸台的圆筒形的构件,结构工艺性好,尤其没有应力集中部位,经过实用新型人将近五年时间的测量跟踪,证明该构件能确保准确度的长期稳定。本实用新型的驱动、行程距离测量以及限位保护等结构的外露构件都设有防尘保护罩。本实用新型的底座2为一具有上凸缘法兰结构,法兰上凸缘镶嵌O型橡胶密封圈2-1与缸体3配合,阻止工作介质气体的外泄漏。底座法兰盘2-2均布三个可调高度的地脚2-3支撑整机并用于整机安装水平调整。底座2的法兰边缘安装有测量误差优于1.5%RH的湿度智能传感器2-6、测量误差优于0.05℃的高准确度温度智能传感2-7和测量误差优于0.01%的高准确度压力智能传感器2-8用于检测输出气体工况参数。湿度智能传感器2-6与温度智能传感器2-7分别采用开口式护套 2-9与网罩2-10使其敏感元件能与被测介质直接接触提高检测实时性。气体出入口2-4设置在底座2的法兰边缘,在外接输气管路上由控制系统的电动气阀实现工作介质气体出入交换。在气体出入口2-4与气缸通道处设置有压力检测开关2-5在气缸活塞下行工作及上行进气时的缸内压力进行检测,避免控制气阀失控可能出现的正负压过载损伤,以上就是本实用新型的工作原理。
实施案例二:如图1至图4所示,本实施是在实施例1的基础上进一步优化,本实施例重点阐述与实施例1相比的改进之处,相同之处不再赘述,所述的活塞1-7的上方连接有三个内部光杠1-8,所述的内部光杠1-8的上方连接有丝杠上法兰1-10,内部光杠1-8 的下方与活塞法兰1-6相连,活塞1-7及其驱动机构借用缸体上盖1-5作为机座,设计了安装在缸体上盖1-5轴线位置的螺母旋转式精密滚珠螺母丝杠副1-4作为活塞1-7位移执行机构;高性能交流伺服电机1-1经精密减速器1-2后通过齿形同步轮带1-3驱动轴向固定的螺母旋转,带动滚珠螺母丝杠副1-4使连接在丝杠下端的活塞1-7作往复直线运动;在丝杠螺母安装平面的外圆周0°、90°、180°位置平行缸体3轴线安装三组用于活塞1-7 移动导向的直线滚珠导套,三根与缸体轴线平行的导向内部光杠1-8作为活塞1-7移动导向杆与滚珠导套无间隙配合,内部光杠1-8上端通过法兰盘与丝杠顶端固定,内部光杠1-8 的下端连同丝杠一起与活塞1-7固定连接;活塞1-7与缸体3配合的外圆柱面分别在上下以及中部配置自润滑导向环与多层密封的组合式密封件。
实施案例三:如图1至图4所示,本实施是在实施例1的基础上进一步优化,本实施例重点阐述与实施例1相比的改进之处,相同之处不再赘述,所述的安全保护为活塞1-7 行程保护与气体出入口2-4正负压过载保护,活塞1-7上下行程设置有行程终点指令控制与行程终点安全运行断电保护机构,终点指令控制由安装在机座开关支架上的指令控制开关1-12获取信息,并将其传递给控制系统,指令伺服电机1-1断电停止运行。终点安全运行断电保护由安装在同一开关支架上的断电保护开关1-11获取信息,强制切断伺服电机1-1 的电源,使伺服电机1-1失电并制动停止运行;光电开关由安装在活塞法兰1-6与丝杠上法兰上随活塞1-7移动的上下行程位置发讯杆1-13触发,断电保护开关1-11则由同一发讯杆1-13的凸台挤压触发。气缸的进气口设置有压力检测开关,提供活塞1-7因进出气阀失控造成气缸内正行程过压及反行程负压的正负压过载信号,由计算机按设定值检测警示并控制停机。
实施案例四:如图1和图4所示,本实施是在实施例1的基础上进一步优化,本实施例重点阐述与实施例1相比的改进之处,相同之处不再赘述,所述的工作气体介质温度检测选用时间响应较快的膜片式高准确度铂电阻传感器制成,安装在开口的护套中,在检测电路配合下通过测试校准,温度智能传感器2-7确保秒级时间内能获得准确度可达0.05℃的温度量值;压力智能传感器2-8配置了毫秒级响应的绝对压力准确度为0.01%传感器;气体湿度检测装置配置1.5%HR准确度检测能力的湿度传感器2-6并设置网罩保护;温度、压力以及湿度传感器均设计成分布式智能前端设备,确保介质参数实时独立的检测。
尽管这里参照本实用新型的多个解释性实施例对本实用新型进行了描述,但是,应该理解,本领域技术人员可以设计出很多其他的修改和实施方式,这些修改和实施方式将落在本申请公开的原则范围和精神之内。更具体地说,在本申请公开和权利要求的范围内,可以对主题组合布局的组成部件和/或布局进行多种变型和改进。除了对组成部件和/或布局进行的变型和改进外,对于本领域技术人员来说,其他的用途也将是明显的。
Claims (10)
1.一种高端基准级的单缸活塞式气体流量标准装置,其特征在于,包括驱动及其相关机构(1)、底座(2)和缸体(3),所述的缸体(3)为无法兰的圆柱体形状构件,且采用四个外部光杠(4)通过防松螺母组合拉紧在所述驱动及其相关机构(1)与所述底座(2)之间,驱动及其相关机构(1)包括互相连接的伺服电机(1-1)、减速器(1-2)、齿形同步轮带(1-3)、滚珠螺母丝杠副(1-4)、缸体上盖(1-5)和活塞(1-7),所述的滚珠螺母丝杠副(1-4)的回转螺母安装在所述缸体上盖(1-5)的中心,滚珠螺母丝杠副(1-4)的下端通过设置在活塞(1-7)下方的活塞法兰(1-6)紧固连接,缸体上盖(1-5)上还设置有球栅测量系统。
2.根据权利要求1所述的高端基准级的单缸活塞式气体流量标准装置,其特征在于,所述的活塞(1-7)的上方连接有三个内部光杠(1-8),所述的内部光杠(1-8)的上方连接有丝杠上法兰(1-10),内部光杠(1-8)的下方与活塞法兰(1-6)相连。
3.根据权利要求2所述的高端基准级的单缸活塞式气体流量标准装置,其特征在于,所述的内部光杠(1-8)的外部套设有直线滚珠导套(1-9)。
4.根据权利要求1所述的高端基准级的单缸活塞式气体流量标准装置,其特征在于,所述的缸体上盖(1-5)上设置有指令控制开关(1-12)和断电保护开关(1-11)。
5.根据权利要求1所述的高端基准级的单缸活塞式气体流量标准装置,其特征在于,所述的活塞法兰(1-6)与丝杠上法兰(1-10)均设置有行程位置发讯杆(1-13),所述的行程位置发讯杆(1-13)为带有凸台(1-14)的阶梯形转轴。
6.根据权利要求1所述的高端基准级的单缸活塞式气体流量标准装置,其特征在于,所述的球栅测量系统包括相互连接的读数头(1-16)、球栅尺(1-17)和万向球轴承(1-18),所述的读数头(1-16)通过安装架固定在缸体上盖(1-5)上,读数头(1-16)上设置有配合孔,所述配合孔的内部套设了球栅尺(1-17),所述的万向球轴承(1-18)设置在球栅尺(1-17)的两端。
7.根据权利要求1所述的高端基准级的单缸活塞式气体流量标准装置,其特征在于,所述的底座(2)为具有上凸缘的法兰结构,包括一体连接的上凸缘、底座法兰盘(2-2)和三个均匀分布的地脚(2-3),所述的地脚(2-3)的高度可调节。
8.根据权利要求7所述的高端基准级的单缸活塞式气体流量标准装置,其特征在于,所述的上凸缘外侧镶嵌有O型橡胶密封圈(2-1),所述的O型橡胶密封圈(2-1)与缸体(3)接触配合。
9.根据权利要求1所述的高端基准级的单缸活塞式气体流量标准装置,其特征在于,所述底座(2)的法兰边缘设置有气体出入口(2-4)、湿度智能传感器(2-6)、温度智能传感器(2-7)和压力智能传感器(2-8),所述的气体出入口(2-4)和缸体(3)上的通道处设置有多个压力监测开关(2-5)。
10.根据权利要求9所述的高端基准级的单缸活塞式气体流量标准装置,其特征在于,所述的湿度智能传感器(2-6)下方的设置有网罩(2-10),所述的温度智能传感器(2-7)的下方设置有开口式护套(2-9)。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201920512551.4U CN209945518U (zh) | 2019-04-16 | 2019-04-16 | 一种高端基准级的单缸活塞式气体流量标准装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201920512551.4U CN209945518U (zh) | 2019-04-16 | 2019-04-16 | 一种高端基准级的单缸活塞式气体流量标准装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN209945518U true CN209945518U (zh) | 2020-01-14 |
Family
ID=69128709
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201920512551.4U Active CN209945518U (zh) | 2019-04-16 | 2019-04-16 | 一种高端基准级的单缸活塞式气体流量标准装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN209945518U (zh) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110068385A (zh) * | 2019-04-16 | 2019-07-30 | 宜宾机电一体化研究所 | 一种高端基准级的单缸活塞式气体流量标准装置 |
-
2019
- 2019-04-16 CN CN201920512551.4U patent/CN209945518U/zh active Active
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110068385A (zh) * | 2019-04-16 | 2019-07-30 | 宜宾机电一体化研究所 | 一种高端基准级的单缸活塞式气体流量标准装置 |
CN110068385B (zh) * | 2019-04-16 | 2024-05-07 | 宜宾机电一体化研究所 | 一种单缸活塞式气体流量标准装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN103697819B (zh) | 一种微位移传感器标定装置 | |
CN110068385B (zh) | 一种单缸活塞式气体流量标准装置 | |
CN102735174B (zh) | 一种螺旋埋弧焊管周长自动测量装置 | |
CN103543010A (zh) | 一种高速丝杠及丝杠副综合检查试验台 | |
CN209945518U (zh) | 一种高端基准级的单缸活塞式气体流量标准装置 | |
CN103175568A (zh) | 一种高速编码器测试装置 | |
CN102998043A (zh) | 用于监测悬浮状态下直线电机动态推力的装置及方法 | |
CN102735612A (zh) | 一种光源位置检测及定位系统 | |
CN102658504B (zh) | 伺服电机系统及基于该伺服电机系统的厚度测量方法 | |
CN115164999A (zh) | 一种探针式水渠渠道流量探测装置及其探测方法 | |
CN117346627B (zh) | 一种模具精度检测设备 | |
CN107024307B (zh) | 滚珠丝杠副力矩检测仪 | |
CN203908493U (zh) | 一种高效光栅尺检测平台 | |
CN202092622U (zh) | 爪极凸台高度测量装置 | |
CN202255307U (zh) | 轧辊辊形误差在线测量装置 | |
CN205620002U (zh) | 一种高精度活塞式气体流量标准装置 | |
CN116242231A (zh) | 一种法兰平面度检具 | |
CN203224215U (zh) | 一种薄膜宽度自动测量装置 | |
CN204831261U (zh) | 密封圈测量装置 | |
CN113138082B (zh) | 一种多源信息融合轴承故障诊断装置及方法 | |
CN210375035U (zh) | 平面度检测装置 | |
CN206756127U (zh) | 一种高精度自复位探针式位移测量装置 | |
CN208333867U (zh) | 一种轴承跳动量的检测校验装置 | |
CN112407840A (zh) | 一种皮带跑偏检测装置及检测方法 | |
CN2633937Y (zh) | 便携式自动钢轨直线测量同位图形显示仪 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant |