CN209867808U - 翻转装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种翻转装置，包括支撑架、驱动机构和翻转框架，其中，翻转框架包括相对设置的第一框边和第二框边、相对设置的第三框边和第四框边，第三框边与第一框边和第二框边分别活动连接，第四框边与第一框边和第二框边分别活动连接，第三框边和第四框边上均设置至少一个固定卡槽，固定卡槽与固定件连接；支撑架包括第一立架和第二立架，在第一立架和第二立架之间连接有转轴，转轴的靠近第一端的位置与第一框边的中部连接，转轴的靠近第二端的位置与第二框边的中部连接，转轴的第一端设置有从动轮；驱动机构用于驱动翻转框架翻转。本实用新型的翻转装置，更便于溅射靶材的放置，可以适用于更多尺寸的溅射靶材的翻转，应用更加广泛。

Description

翻转装置

技术领域

本实用新型属于镀膜配套设备领域，尤其涉及一种翻转装置，用于翻转靶材。

背景技术

在溅射靶材的机械加工、焊接等工序中，需要对溅射靶材进行翻转作业。例如，在通过钎焊技术将溅射靶材与大型水路背板焊合时，翻转溅射靶材，以将溅射靶材放置在背板上并将两者进行焊合，并且在焊合前，需要对焊接面进行超铟处理，溅射靶材焊接需要高温加热，即溅射靶材焊接时具有较高温度，并且焊合后溅射靶材的总体重量甚至可以重达几百甚至上千公斤，如果人工进行翻转作业，费事费力，甚至会烫伤，并且，随着溅射靶材的尺寸不断增大，人工翻转作业更是难以实现。

在现有技术中，通过翻转装置对溅射靶材进行翻转作业。现有的翻转装置包括翻转框架，将溅射靶材固定在该翻转框架上，通过驱动该翻转框架翻转即可实现对溅射靶材的翻转。但是，现有的翻转装置，一般通过肘节夹钳来固定溅射靶材，固定的不够稳固，容易晃动。

实用新型内容

本实用新型旨在至少在一定程度上解决翻转溅射靶材比较困难的技术问题，为此，本实用新型提出一种翻转装置，该翻转装置，便于溅射靶材的放置，更加稳固。

为了解决上述问题，本实用新型实施例的翻转装置，用于翻转溅射靶材，包括：

翻转框架，包括相对设置的第一框边和第二框边、相对设置的第三框边和第四框边，其中，所述第三框边与所述第一框边和所述第二框边分别活动连接，所述第四框边与所述第一框边和所述第二框边分别活动连接，所述第三框边和所述第四框边上均设置至少一个固定卡槽，所述固定卡槽与固定件连接，所述固定件用于固定所述溅射靶材；

支撑架，包括第一立架和第二立架，在所述第一立架和所述第二立架之间连接有转轴，所述转轴的靠近第一端的位置与所述第一框边的中部连接，所述转轴的靠近第二端的位置与所述第二框边的中部连接，所述转轴的第一端设置有从动轮；

驱动机构，包括动力源和传动件，所述动力源的输出端设置有主动轮，所述传动件与所述主动轮和所述从动轮分别传动连接。

在一些实施例中，所述固定卡槽与所述固定件螺纹连接。

在一些实施例中，所述第三框边与所述第一框边和所述第二框边分别滑动连接，所述第四框边与所述第一框边和所述第二框边分别滑动连接。

在一些实施例中，所述第一框边和所述第二框边上均设置滑轨或滑槽；所述第三框边的两端均设置第一锁定部以及与所述第一框边的所述滑轨或所述滑槽匹配的第一滑动部，所述第一锁定部用于锁定所述第三框边与所述第一框边和所述第二框边；所述第四框边的两端均设置第二锁定部以及与所述第二框边的所述滑轨或所述滑槽匹配的第二滑动部，所述第二锁定部用于锁定所述第四框边与所述第一框边和所述第二框边。

在一些实施例中，所述第一立架包括第一基座和设置在所述第一基座上的第一立柱，所述第一立柱上设置有第一连接部，所述第一连接部与所述转轴的第一端连接；所述第二立架包括第二基座和设置在所述第二基座上的第二立柱，所述第二立柱上设置有第二连接部，所述第二连接部与所述转轴的第二端连接。

在一些实施例中，所述支撑架还包括：第一连接件和第二连接件，所述第一连接件设置在所述第一基座和所述第二基座之间，所述第二连接件设置在所述第一基座和所述第二基座之间。

在一些实施例中，所述支撑架还包括用于放置所述动力源的水平支架和斜撑架，所述水平支架的一端设置在所述第一基座上，所述斜撑架倾斜固定在所述水平支架的下方，且所述斜撑架的上端与所述水平支架的另一端连接，所述斜撑架的下端与所述第一基座连接。

在一些实施例中，所述第一立柱上还设置第一定位部，所述第二立柱上还设置有第二定位部；所述第一框边上设置与所述第一定位部对应的第三定位部，所述第二框边上设置有与所述第二定位部对应的第四定位部；所述支撑架还包括第一定位件和第二定位件，所述第一定位件用于固定所述第一定位部和所述第三定位部，所述第二定位件用于固定所述第二定位部和所述第四定位部。

在一些实施例中，在所述第三框边和所述第四框边上分别设置至少一个垫片。

在一些实施例中，所述垫片包括增高层和缓冲层，所述缓冲层设置在所述增高层上。

本实用新型实施例的上述技术方案具有如下有益的技术效果：

1、翻转框架上设置固定卡槽，卡槽与溅射靶材形状更贴合，通过连接件固定溅射靶材在固定卡槽上，相较于肘节夹钳固定，更加稳固，并且，第三框架和第四框架之间的距离可以调节，从而可以适用于更多尺寸的靶材的翻转，更加灵活，适用性广泛。

2、支撑架上设置第一定位件和第二定位件，在将靶材固定在翻转框架上，通过定位件将翻转框架进行定位固定，可以避免翻转框架发生翻转，便于靶材放置。

3、在翻转框架的框边上设置垫片，可以避免翻转时溅射靶材晃动。

附图说明

图1是根据本实用新型的一个实施例的翻转装置的结构示意图；

图2是根据本实用新型的一个实施例的翻转装置的结构示意图；

图3是根据本实用新型的一个实施例的支撑架的部分结构示意图；

图4是根据本实用新型的一个实施例的垫片的示意图。

具体实施方式

为使本领域技术人员更好地理解本实用新型的技术方案，下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步详细描述。

图1是根据本实用新型的一个实施例的翻转装置的结构示意图，如图1所示，本实用新型实施例的翻转装置1000包括支撑架100、驱动机构200和翻转框架300。

其中，翻转框架300包括相对设置的第一框边301和第二框边302、相对设置的第三框边303和第四框边304，第三框边303与第一框边301和第二框边302分别活动连接，第四框边304与第一框边301和第二框边302分别活动连接，以调节第三框边303与第四框边304之间的距离，从而，可以适用于更多尺寸的溅射靶材的翻转。在实施例中，可以通过滑动或可拆卸的方式来调节第三框边303与第四框边304之间的距离。

以滑动调节为例，第三框边303与第一框边301和第二框边302分别滑动连接，第四框边304与第一框边301和第二框边302分别滑动连接，从而，可以根据翻转溅射靶材的尺寸来滑动调节第三框边303和第四框边304之间的距离，以适应溅射靶材的尺寸，便于翻转操作。

具体来说，第一框边301和第二框边302上均设置滑轨或滑槽，第三框边303的两端均设置第一锁定部以及与第一框边301的滑轨或滑槽匹配的第一滑动部，第一锁定部用于锁定第三框边303与第一框边301和第二框边302；第四框边304的两端均设置第二锁定部以及与第二框边302的滑轨或滑槽匹配的第二滑动部，第二锁定部用于锁定第四框边304与第一框边301和第二框边302。具体地，根据溅射靶材的尺寸，第三框边303通过第一滑动部例如匹配的滑槽或滑轨或滑轮沿第一框边301和第二框边302滑动，第四框边304通过第二滑动部沿第一框边301和第二框边302滑动，从而可以调节第三框边303与第四框边304之间的距离，适应溅射靶材的尺寸，并在调整距离后，通过第一锁定部和第二锁定部进行固定，例如锁扣锁定或螺栓固定，以更加稳定。

在另一些实施例中，也可以通过可拆卸的方式调节第三框边303和第四框边304之间距离，例如，在第一框边301和第二框边302上分别设置对应的调节部例如多个通孔，对于不同尺寸的溅射靶材，可以将第三框边303和第四框边304安装在对应的通孔，并进行固定，以适用溅射靶材的尺寸。

如图1所示，第三框边303和第四框边304上均设置至少一个固定卡槽400，例如设置一个、两个、三个或更多的固定卡槽400，固定卡槽400与固定件500连接，固定件500用于固定溅射靶材。在进行溅射靶材翻转作业时，将溅射靶材放置至翻转框架300，并通过固定件500将溅射靶材固定于固定卡槽。设置卡槽，与溅射靶材的形状更加贴合，方便溅射靶材的放置，相较于肘节夹钳固定，更加稳固。

在一些实施例中，固定卡槽400与固定件500可以固定连接，或者，固定卡槽400与固定件500螺纹连接，方便拆卸。

支撑架100包括第一立架101和第二立架102，其中，第一立架101和第二立架102可以是独立的支架也可以相互连接一体的支架，对翻转框架300具有支撑作用。在第一立架101和第二立架102之间连接有转轴103，转轴103的靠近第一端的位置与第一框边301的中部连接，转轴103的靠近第二端的位置与第二框边302的中部连接，转轴103的第一端设置有从动轮1031。

驱动机构200包括动力源201和传动件202，动力源201的输出端设置有主动轮2011，传动件202与主动轮2011和从动轮1031分别传动连接，从而，动力源201的驱动力可以通过传动件202、主动轮2011和从动轮1031传送至转轴103，进而驱动翻转框架300翻转，以实现对翻转框架300上溅射靶材的翻转操作。在实施例中，传动件202可以包括皮带或铰链等。

具体地，在对溅射靶材进行翻转作业时，将溅射靶材放置到翻转框架300，并通过固定件500将溅射靶材固定在固定卡槽400，启动驱动机构200，动力源201的驱动力通过传动件202、主动轮2011和从动轮1031传送至转轴103，进而驱动翻转框架300翻转，实现对翻转框架300上的溅射靶材的翻转作业。并且，对于不同尺寸的溅射靶材，可以通过调节第三框边303与第四框边304之间的距离，以适应溅射靶材的尺寸。

在实施例中，如图2所示，第一立架101包括第一基座1011和设置在第一基座1011上的第一立柱1012，第一立柱1012上设置有第一连接部例如安装孔或槽，第一连接部与转轴103的第一端连接；第二立架102包括第二基座1021和设置在第二基座1021上的第二立柱1022，第二立柱1022上设置有第二连接部例如安装孔或槽，第二连接部与转轴103的第二端连接。设置基座更加稳固，并在基座上设置立柱，可以更好地支撑翻转框架300。

进一步地，如图3所示，支撑架100还可包括第一连接件104和第二连接件105，第一连接件104设置在第一基座1011和第二基座1021之间，第二连接件104设置在第一基座1011和第二基座1021之间。作为示例，第一固定件103和第二固定件104可按照如图3所示的位置设置，例如，第一基座1011和第二基座1021可以为矩形方管焊接组成的对称三角结构，在其顶部及底部均通过方管实现连接固定。再例如，第一连接件103和第二连接件104也可以都设置在第一基座1011和第二基座1021的下部位置，或者，也可以都设置在第一基座1011和第二基座1021的上部位置，都可以对第一基座1011和第二基座1021进行稳定，更好地支撑翻转框架300，更加平稳。

进一步地，如图2所示，支撑架100还包括用于放置动力源201的水平支架106和斜撑架107，水平支架106的一端设置在第一基座1011上，斜撑架107倾斜固定在水平支架106的下方，且斜撑架107的上端与水平支架106的另一端连接，斜撑架107的下端与第一基座1011连接。将动力源201放置在水平支架106上，可以节省地面空间，更加整洁，设置斜撑架107可以更加稳固。

进一步地，为了避免在将靶材固定在翻转框架300上时翻转框架300发生翻转，在一些实施例中，如图2所示，第一立柱1012上还设置第一定位部0121，第二立柱1022上还设置有第二定位部0221；第一框边301上设置与第一定位部0121对应的第三定位部3011，第二框边302上设置有与第二定位部0221对应的第四定位部3021；支撑架100还包括第一定位件108和第二定位件109，第一定位件108用于固定第一定位部0121和第三定位部3011，第二定位件109用于固定第二定位部0221和第四定位部3021。具体地，在放置溅射靶材至翻转框架300上时，第三定位部3011与第一定位部0121对应，第四定位部3021与第二定位部0221对应，通过第一定位件108将第三定位部3011和第一定位部0121固定，以及通过第二定位件109将第四定位部3021和第二定位部0221固定，从而可以使得翻转框架300更加稳固，避免放置溅射靶材时晃动。

举例说明，在第一立柱1012靠近上方的位置设置通孔0121，在第一框边301上与通孔0121对应的位置设置有通孔3011，在将靶材放置到翻转框架200上时，可以通过定位杆108穿过通孔0121，并插入通孔3011，同样地，在第二连接件1022和第二框边302上分别设置通孔，并通过定位杆109进行固定，从而，在将溅射靶材固定在翻转框架300上时，可以防止翻转框架300晃动，便于溅射靶材的放置。在一些实施例中，翻转框架300的稳固，也可以采用螺孔和螺母配合的方式来实现。

进一步地，为了避免在翻转时溅射靶材晃动，在一些实施例中，如图2所示，在第三框边303和第四框边304上分别设置至少一个垫片305例如一个、两个或三个或更多，在将溅射靶材固定在翻转框架300上后，垫片305与在翻转框架300上的靶材紧实接触，以稳定靶材，减小靶材翻转时晃动。

在一些实施例中，垫片305可以设置为具有弹性的接触物例如海绵片体或橡胶片体，在将溅射靶材放置到翻转框架300上，接触物与溅射靶材紧实接触，减少溅射靶材的晃动。

在另一些实施例中，如图4所示，垫片305包括增高层3051和缓冲层3052，缓冲层3052设置在增高层3051上，在将溅射靶材放置到翻转框架300上，调节增高层3051，使得缓冲层3052与溅射靶材紧实接触，减少溅射靶材的晃动。例如，增高层3051包括弹簧，缓冲层3052包括弹性物例如泡沫或海绵或橡胶块，在将溅射靶材放置在翻转框架300上，在弹簧的作用下使得缓冲层3052与溅射靶材紧实接触，从而可以减小溅射靶材翻转时的晃动。再例如，垫片305可以包括螺栓和螺母配合的形式，在翻转框架300的框边上设置螺孔，在靶材固定在翻转框架300上后，调节螺母和螺栓，使得螺栓的头部与靶材面相抵，起到稳定靶材的作用。

总的来说，本实用新型实施例的翻转装置1000，翻转框架300上设置固定卡槽400，卡槽与溅射靶材形状更贴合，通过连接件500固定溅射靶材在固定卡槽400上，相较于肘节夹钳更加稳固，并且，第三框架303和第四框架304之间的距离可以调节，从而可以适用于更多尺寸的靶材的翻转，更加灵活，适用性广泛。

以及，支撑架100上设置第一定位件108和第二定位件109，在将靶材固定在翻转框架300上，通过定位件将翻转框架300进行定位固定，可以避免翻转框架300发生翻转，便于靶材放置。

以及，在翻转框架300的框边上设置垫片305，可以避免翻转时溅射靶材晃动。

需要说明的是，在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。

尽管上面已经示出和描述了本实用新型的实施例，可以理解的是，上述实施例是示例性的，不能理解为对本实用新型的限制，本领域的普通技术人员在本实用新型的范围内可以对上述实施例进行变化、修改、替换和变型。

Claims (10)

1.一种翻转装置(1000)，用于翻转溅射靶材，其特征在于，所述翻转装置(1000)包括：

翻转框架(300)，包括相对设置的第一框边(301)和第二框边(302)、相对设置的第三框边(303)和第四框边(304)，其中，所述第三框边(303)与所述第一框边(301)和所述第二框边(302)分别活动连接，所述第四框边(304)与所述第一框边(301)和所述第二框边(302)分别活动连接，所述第三框边(303)和所述第四框边(304)上均设置至少一个固定卡槽(400)，所述固定卡槽(400)与固定件(500)连接，所述固定件(500)用于固定所述溅射靶材；

支撑架(100)，包括第一立架(101)和第二立架(102)，在所述第一立架(101)和所述第二立架(102)之间连接有转轴(103)，所述转轴(103)的靠近第一端的位置与所述第一框边(301)的中部连接，所述转轴(103)的靠近第二端的位置与所述第二框边(302)的中部连接，所述转轴(103)的第一端设置有从动轮(1031)；

驱动机构(200)，包括动力源(201)和传动件(202)，所述动力源(201)的输出端设置有主动轮(2011)，所述传动件(202)与所述主动轮(2011)和所述从动轮(1031)分别传动连接。

2.根据权利要求1所述的翻转装置(1000)，其特征在于，所述固定卡槽(400)与所述固定件(500)螺纹连接。

3.根据权利要求1所述的翻转装置(1000)，其特征在于，所述第三框边(303)与所述第一框边(301)和所述第二框边(302)分别滑动连接，所述第四框边(304)与所述第一框边(301)和所述第二框边(302)分别滑动连接。

4.根据权利要求3所述的翻转装置(1000)，其特征在于，

所述第一框边(301)和所述第二框边(302)上均设置滑轨或滑槽；

所述第三框边(303)的两端均设置第一锁定部以及与所述第一框边(301)的所述滑轨或所述滑槽匹配的第一滑动部，所述第一锁定部用于锁定所述第三框边(303)与所述第一框边(301)和所述第二框边(302)；

所述第四框边(304)的两端均设置第二锁定部以及与所述第二框边(302)的所述滑轨或所述滑槽匹配的第二滑动部，所述第二锁定部用于锁定所述第四框边(304)与所述第一框边(301)和所述第二框边(302)。

5.根据权利要求1所述的翻转装置(1000)，其特征在于，

所述第一立架(101)包括第一基座(1011)和设置在所述第一基座(1011)上的第一立柱(1012)，所述第一立柱(1012)上设置有第一连接部，所述第一连接部与所述转轴(103)的第一端连接；

所述第二立架(102)包括第二基座(1021)和设置在所述第二基座(1021)上的第二立柱(1022)，所述第二立柱(1022)上设置有第二连接部，所述第二连接部与所述转轴(103)的第二端连接。

6.根据权利要求5所述的翻转装置(1000)，其特征在于，所述支撑架(100)还包括：

第一连接件(104)和第二连接件(105)，所述第一连接件(104)设置在所述第一基座(1011)和所述第二基座(1021)之间，所述第二连接件(105)设置在所述第一基座(1011)和所述第二基座(1021)之间。

7.根据权利要求5或6所述的翻转装置(1000)，其特征在于，所述支撑架(100)还包括用于放置所述动力源(201)的水平支架(106)和斜撑架(107)，所述水平支架(106)的一端设置在所述第一基座(1011)上，所述斜撑架(107)倾斜固定在所述水平支架(106)的下方，且所述斜撑架(107)的上端与所述水平支架(106)的另一端连接，所述斜撑架(107)的下端与所述第一基座(1011)连接。

8.根据权利要求5所述的翻转装置(1000)，其特征在于，

所述第一立柱(1012)上还设置第一定位部(0121)，所述第二立柱(1022)上还设置有第二定位部(0221)；

所述第一框边(301)上设置与所述第一定位部(0121)对应的第三定位部(3011)，所述第二框边(302)上设置有与所述第二定位部(0221)对应的第四定位部(3021)；

所述支撑架(100)还包括第一定位件(108)和第二定位件(109)，所述第一定位件(108)用于固定所述第一定位部(0121)和所述第三定位部(3011)，所述第二定位件(109)用于固定所述第二定位部(0221)和所述第四定位部(3021)。

9.根据权利要求1所述的翻转装置(1000)，其特征在于，在所述第三框边(303)和所述第四框边(304)上分别设置至少一个垫片(305)。

10.根据权利要求9所述的翻转装置(1000)，其特征在于，所述垫片(305)包括增高层(3051)和缓冲层(3052)，所述缓冲层(3052)设置在所述增高层(3051)上。