CN209859919U - 一种具有等离子清洗功能的包封预热台 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种具有等离子清洗功能的包封预热台，它包括底座(1)，所述底座(1)上方设置有预热板(2)，所述底座(1)上设置有升降装置(4)，所述底座(1)与预热板(2)之间通过升降装置(4)相连接，所述预热板(2)上设置有加热装置(5)，所述预热板(2)上方设置有等离子清洗腔(3)，所述等离子清洗腔(3)内设置有保护气输入装置(6)、射频装置(7)和抽真空装置(8)，所述预热板(2)可向上运动与所述等离子清洗腔(3)结合形成一闭合腔体(9)。本实用新型一种具有等离子清洗功能的包封预热台，它能够解决传统包封前等离子因清洗效果差且容易发生二次污染从而所导致的产品分层问题。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种具有等离子清洗功能的包封预热台，属于半导体封装技术领域。
背景技术
常规半导体封装首先在高洁净度的环境中使用装片胶将芯片粘结到引线框架上，然后通过焊线焊接将芯片输出端连接到整条引线框架单元的对应引脚上，起到放大输出的目的，以上统称为组装。组装结束后，产品转入包封工序，使用环氧热固树脂将芯片、装片胶、金属线、引线框架内引脚等易受损的部分封装起来。从组装到包封，洁净等级也由1万级变到10万级，产品所处环境的外来颗粒物也随之增加，再加上引线框架和焊线表面氧化，这使得产品在包封时很容易发生分层及其它可靠性问题。为了防止这种情况发生，现有做法是在包封之前进行等离子清洗，把垂直盛放有多条完成组装产品的料盒放入等离子清洗机，在氢氮混合气的保护下，通过活性等离子对被产品表面进行物理轰击与化学反应双重作用，使料盒中产品表面的杂质变成粒子和气态物质后通过抽真空排出等离子清洗机。完成等离子清洗后，再通过人工把料盒搬运到包封设备上，再通过上料机构将料盒中的多条产品平铺放置在预热平台区进行预热，最后通过移载小车将预热好的产品输送到包封模具内进行包封。现有技术具有以下缺点：
1、在等离子清洗时，由于是直接把料盒放置在等离子清洗机的工作腔中进行清洗作业，而料盒中待清洗的产品是多条垂直放置的，这就导致了产品的部分表面位置由于被料盒阻挡而无法直接被活性等离子进行物理轰击，以至于产品表面污染物不能有效去除，还是会存在分层风险；
2、产品所处包封车间洁净程度较低，外来颗粒物及水汽与产品装片胶本身的挥发物极易掺杂在一起，由于现有的等离子清洗设备不具备加热功能，不易使其变成粒子状态和气态；
3、在包封作业时，要先对产品进行预热，加上包封车间的洁净度比较低，这就导致产品在包封预热过程中又会再次产生氧化物；
4、产品在等离子清洗前后的外观状态肉眼是无法直接分辨的，这就导致操作员不能有效的对已清洗和未清洗的产品进行辨别，操作员很容易直接把未清洗的产品直接进行包封作业，不利于防呆防错。
实用新型内容
本实用新型所要解决的技术问题是针对上述现有技术提供一种具有等离子清洗功能的包封预热台，它能够解决传统包封前等离子清洗效果差且容易发生二次污染从而所导致的产品分层问题。
本实用新型解决上述问题所采用的技术方案为：一种具有等离子清洗功能的包封预热台，它包括底座，所述底座上方设置有预热板，所述底座上设置有升降装置，所述底座与预热板之间通过升降装置相连接，所述预热板上设置有加热装置，所述预热板上方设置有等离子清洗腔，所述等离子清洗腔内设置有保护气输入装置、射频装置和抽真空装置，所述预热板可向上运动与所述等离子清洗腔结合形成一闭合腔体。
更进一步的，所述保护气输入装置用于对闭合腔体进行保护气体的加热和填充。
更进一步的，所述射频装置用于在闭合腔体内形成高频交变电场，使闭合腔体内的气体形成等离子体。
更进一步的，所述抽真空装置可以使被清洗物表面物质变成的粒子和气态物质经过抽真空从闭合腔体中排出。
更进一步的，所述预热板上设置有定位针，所述定位针与待加热的引线框架上的定位孔相对应。
更进一步的，所述预热板的进料一侧设置有上料平台和机械手，所述机械手用于抓取上料平台上的引线框架并放置到预热板的指定位置上。
更进一步的，所述预热板的出料一侧设置有移栽小车，所述移栽小车用于抓取预热后的引线框架并送入包封模具。
与现有技术相比，本实用新型的优点在于：
1、本实用新型一种具有等离子清洗功能的包封预热台，其通过保护气输入装置对氢氮混合气进行加热，再加上预热板对引线框架进行加热，干燥的保护气与干燥的污染物离子化后的相互作用下，更有利于粒子化或者气化排出，清洗效果会明显增强；
2、本实用新型一种具有等离子清洗功能的包封预热台，其对引线框架的清洗和预热是同时进行的，预热清洗完的产品直接输出到包封模具进行包封，避免了产品运输过程中的再次氧化，也可以避免来自空气中污染物的二次侵袭；
3、本实用新型一种具有等离子清洗功能的包封预热台，其对引线框架的清洗和预热是同时进行的，预热清洗完的产品直接输出到包封模具进行包封，进行包封作业的肯定是已清洗的产品，不会出现未清洗产品进行包封作业的情况产生，有流程防呆作用；
4、本实用新型一种具有等离子清洗功能的包封预热台，其对引线框架的清洗和预热是同时进行的，清洗时间将全部节省，包封产出效率将同步提升；
5、本实用新型一种具有等离子清洗功能的包封预热台，其对引线框架的清洗和预热是同时进行的，清洗和包封不再需要两道工序及设备之间运输及物理传递，产品handling(人为异常)所导致的一系列风险将彻底避免，尤其是倒装或CLIP(铜片)SolderCrack(焊点裂缝)风险较高的产品。
附图说明
图1～图7为本实用新型一种具有等离子清洗功能的包封预热台工作原理的流程示意图。
图1为上料平台上料的示意图。
图2为机械手从上料平台上抓取1条产品的示意图。
图3为机械手从上料平台上抓取另1条产品的示意图。
图4为机械手将框架放入腔体内的示意图。
图5为腔体关闭，开始清洗的示意图。
图6为打开腔体，移载小车抓取框架的示意图。
图7为移载小车推出腔体区域，机械手循环上料的示意图。
其中：
底座 1
预热板 2
等离子清洗腔 3
升降装置 4
加热装置 5
保护气输入装置 6
射频装置 7
抽真空装置 8
闭合腔体 9
定位针 10
上料平台 11
机械手 12
移栽小车 13。
具体实施方式
以下结合附图实施例对本实用新型作进一步详细描述。
如图1～图7所示，本实施例中的一种具有等离子清洗功能的包封预热台，它包括底座1，所述底座1上方设置有预热板2，所述底座1上设置有升降装置4，所述底座1与预热板2之间通过升降装置4相连接，所述升降装置4可使预热板2沿竖直方向上下运动，所述预热板2上设置有加热装置5，所述加热装置5用于对预热板2进行加热，所述预热板2上方设置有等离子清洗腔3，所述等离子清洗腔3内设置有保护气输入装置6、射频装置7和抽真空装置8，所述预热板2可向上运动与所述等离子清洗腔3结合形成一闭合腔体9；
所述保护气输入装置6用于对闭合腔体9进行保护气体的加热和填充；
所述射频装置7用于在闭合腔体9内形成高频交变电场，使闭合腔体9内的气体形成等离子体；
所述抽真空装置8可以使被清洗物表面物质变成的粒子和气态物质经过抽真空从闭合腔体9中排出；
所述预热板2上设置有定位针10，所述定位针10与待加热的引线框架上的定位孔相对应，用于对引线框架放置的位置和方向进行定位；
所述预热板2的进料一侧设置有上料平台11和机械手12，所述机械手12用于抓取上料平台11上的引线框架并放置到预热板2的指定位置上；
所述预热板2的出料一侧设置有移栽小车13，所述移栽小车13用于抓取预热后的引线框架并送入包封模具。
工作原理：
机械手12从上料平台11上抓取引线框架并放到预热板2上，引线框架沿着定位针10导向入位；预热板2通过升降装置4上升并与等离子清洗腔3闭合；保护气输入装置6对保护气体进行加热并输入进闭合腔体9，加热装置5对预热板2进行加热，射频装置7开启，区域内气体在交变电场的激荡下，形成等离子体，对引线框架进行等离子清洗；清洗完成，预热板2下降到原始位置；移载小车13进入预热板2上方区域，预热板2上升，移载小车13对引线框架进行抓取，移载小车13抓手抓取框架送往包封模具完成包封。
除上述实施例外，本实用新型还包括有其他实施方式，凡采用等同变换或者等效替换方式形成的技术方案，均应落入本实用新型权利要求的保护范围之内。
Claims (7)
1.一种具有等离子清洗功能的包封预热台，其特征在于：它包括底座(1)，所述底座(1)上方设置有预热板(2)，所述底座(1)上设置有升降装置(4)，所述底座(1)与预热板(2)之间通过升降装置(4)相连接，所述预热板(2)上设置有加热装置(5)，所述预热板(2)上方设置有等离子清洗腔(3)，所述等离子清洗腔(3)内设置有保护气输入装置(6)、射频装置(7)和抽真空装置(8)，所述预热板(2)可向上运动与所述等离子清洗腔(3)结合形成一闭合腔体(9)。
2.根据权利要求1所述的一种具有等离子清洗功能的包封预热台，其特征在于：所述保护气输入装置(6)用于对闭合腔体(9)进行保护气体的加热和填充。
3.根据权利要求1所述的一种具有等离子清洗功能的包封预热台，其特征在于：所述射频装置(7)用于在闭合腔体(9)内形成高频交变电场，使闭合腔体(9)内的气体形成等离子体。
4.根据权利要求1所述的一种具有等离子清洗功能的包封预热台，其特征在于：所述抽真空装置(8)可以使被清洗物表面物质变成的粒子和气态物质经过抽真空从闭合腔体(9)中排出。
5.根据权利要求1所述的一种具有等离子清洗功能的包封预热台，其特征在于：所述预热板(2)上设置有定位针(10)，所述定位针(10)与待加热的引线框架上的定位孔相对应。
6.根据权利要求1所述的一种具有等离子清洗功能的包封预热台，其特征在于：所述预热板(2)的进料一侧设置有上料平台(11)和机械手(12)，所述机械手(12)用于抓取上料平台(11)上的引线框架并放置到预热板(2)的指定位置上。
7.根据权利要求1所述的一种具有等离子清洗功能的包封预热台，其特征在于：所述预热板(2)的出料一侧设置有移栽小车(13)，所述移栽小车(13)用于抓取预热后的引线框架并送入包封模具。
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