CN209843653U - 一种静电吸附样品用扫描电镜样品台 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种静电吸附样品用扫描电镜样品台，包括金属样品台，金属样品台的外围套设有一绝缘圈，金属样品台的正下方设有平行板电容器，平行板电容器与金属样品台之间设有绝缘垫，绝缘垫位于金属样品台下表面上，平行板电容器与绝缘垫电连接，平行板电容器与电池组电连接，电池组的正极与平行板电容器的上极板电连接。本实用新型结构构思巧妙、使用方便、便于操作，对于薄片、尺寸较小样品或粉末状样品能够很好的完成样品的取放，不会对样品造成损伤，有利于样品进一步回收，同时减少固定样品过程中引入其他污染，而且固定的更加牢固，大大提高了工作效率，节约了生产成本。

Description

一种静电吸附样品用扫描电镜样品台

技术领域

本实用新型涉及半导体制造辅助设备技术领域，特别涉及一种静电吸附样品用扫描电镜样品台。

背景技术

在科技高速发展的当下，扫描电镜因其简单、高效、高分辨率等特性，在各个领域都得到了广泛的应用。基于扫描电镜进行测试和研究的应用范围主要集中在薄膜、粉体、块体等样品，样品的多样性，也对扫描电镜样品台提出了更多要求。

目前对于样品的固定方式主要采用机械式、导电胶带或者银导电胶等方法固定样品。对于薄片和尺寸较小的样品，在取样时，很容易造成样品损伤，不利于样品的进一步回收。此外，针对粉末样品的固定，一种是需要先将导电胶或双面胶纸粘结在样品座上，再均匀地把粉末样品撒在胶上面，用洗耳球吹去未粘住的粉末；另一种是先将粉末样品撒在硅片上，利用硅片吸住粉末样品，再用洗耳球吹去未被吸住的粉末；两种固定方式对于导电性不好的样品需要再镀上一层导电膜，才可上电镜观察。但由于样品在进行测试前需要抽真空，一些胶粘或者吸附不牢固的样品很容易被抽走吸附到电镜极靴上，从而对电镜性能产生影响。

发明内容

本实用新型为解决公知技术中存在的技术问题而提供一种静电吸附样品用扫描电镜样品台，该样品台既可以很好的实现样品的固定，又有利于样品的进一步回收。

本实用新型为解决公知技术中存在的技术问题所采取的技术方案是：

一种静电吸附样品用扫描电镜样品台，包括金属样品台，所述金属样品台的外围套设有一绝缘圈，所述金属样品台的正下方设有平行板电容器，所述平行板电容器与金属样品台之间设有绝缘垫，所述绝缘垫位于金属样品台下表面上，所述平行板电容器与绝缘垫电连接，所述平行板电容器与电池组电连接，所述电池组的正极与平行板电容器的上极板电连接。

在上述技术方案中，优选的，所述电池组至少为一组。

在上述技术方案中，进一步优选的，所述电池组为多组时，各组电池组之间串联连接。

在上述技术方案中，优选的，所述绝缘圈与金属样品台的外围紧密贴合。

在上述技术方案中，优选的，所述绝缘圈的上下两端与金属样品台的上下表面平齐。

在上述技术方案中，优选的，所述绝缘垫位于金属样品台下表面中央位置。

在上述技术方案中，进一步优选的，所述绝缘圈和绝缘垫均由橡胶材质制成。

当给平行板电容器施加电压时，在平行板电容器上产生大量自由电荷，通过静电感应作用，使金属样品台下表面感生出负电荷，上表面聚集正电荷。金属样品台与样品之间也产生静电感应，金属样品台上表面的正电荷与样品感应的负电荷相互吸引，从而实现样品固定。

本实用新型具有的优点和积极效果是：

本实用新型通过静电吸附方法有利于薄片和尺寸较小的样品的取放，避免造成样品损伤，有利于样品的进一步回收，同时减少固定样品过程中引入其他污染；而且对于粉末状样品，静电吸附方法固定更加牢固，可减小粉末样品观测对极靴的影响；本实用新型结构构思巧妙、使用方便、便于操作，对于薄片、尺寸较小样品或粉末状样品能够很好的完成样品的取放，不会对样品造成损伤，利于样品进一步回收，而且固定的更加牢固，大大提高了工作效率，节约了生产成本。

附图说明

图1是本实用新型优选实施例提供的样品台的结构示意图；

图2是本实用新型优选实施例提供的样品台的俯视图。

图中：1-金属样品台；2-绝缘圈；3-绝缘垫；4-平行板电容器；5-电池组。

具体实施方式

为能进一步了解本实用新型的发明内容、特点及功效，兹例举以下实施例，并配合附图详细说明如下：

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“中央”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

实施例

请参见图1和图2，本实用新型实施例提供一种静电吸附样品用扫描电镜样品台，包括金属样品台，所述金属样品台的外围套设有一绝缘圈，所述金属样品台的正下方设有平行板电容器，所述平行板电容器与金属样品台之间设有绝缘垫，所述绝缘垫位于金属样品台下表面上，所述平行板电容器与绝缘垫电连接，所述平行板电容器与电池组电连接，所述电池组的正极与平行板电容器的上极板电连接。

当通过电池组给平行板电容器施加电压时，在平行板电容器上产生大量自由电荷，通过静电感应作用，使金属样品台下表面感生出负电荷，上表面聚集正电荷。金属样品台与样品之间也产生静电感应，金属样品台上表面的正电荷与样品感应的负电荷相互吸引，从而实现样品固定。

作为优选的实施例，所述电池组至少为一组，能够满足施加的电压要求即可。

作为进一步优选的实施例，为增大施加在平行板电容器两端的电压，各组电池组之间串联连接。

作为优选的实施例，为减少外界对样品台的干扰，所述绝缘圈与金属样品台的外围紧密贴合，且所述绝缘圈的上下两端与金属样品台的上下表面平齐。

作为优选的实施例，为保证金属样品台上下表面的电荷分布均匀，所述绝缘垫位于金属样品台下表面中央位置。

作为进一步优选的实施例，所述绝缘圈和绝缘垫均由橡胶材质制成，保证优良的绝缘性能。

本实用新型的具体使用方法为：

(1)将样品放置在金属样品台上，然后放入电镜传递仓；

(2)通过电池组给平行板电容器通电施加电压，以实现样品固定；

(3)将金属样品台传送到电镜样品仓，进行电镜观测；

(4)观测结束后，将金属样品台退回至电镜传递仓，断掉施加在平行板电容器上的电压，最后取下样品台上的样品即可。

以上仅是对本实用新型的较佳实施例而已，并非对本实用新型作任何形式上的限制，凡是依据本实用新型的技术实质对以上实施例所做的任何简单修改，等同变化与修饰，均属于本实用新型技术方案的范围内。

Claims (7)

1.一种静电吸附样品用扫描电镜样品台，其特征在于：包括金属样品台，所述金属样品台的外围套设有一绝缘圈，所述金属样品台的正下方设有平行板电容器，所述平行板电容器与金属样品台之间设有绝缘垫，所述绝缘垫位于金属样品台下表面上，所述平行板电容器与绝缘垫电连接，所述平行板电容器与电池组电连接，所述电池组的正极与平行板电容器的上极板电连接。

2.根据权利要求1所述的一种静电吸附样品用扫描电镜样品台，其特征在于：所述电池组至少为一组。

3.根据权利要求2所述的一种静电吸附样品用扫描电镜样品台，其特征在于：所述电池组为多组时，各组电池组之间串联连接。

4.根据权利要求1所述的一种静电吸附样品用扫描电镜样品台，其特征在于：所述绝缘圈与金属样品台的外围紧密贴合。

5.根据权利要求4所述的一种静电吸附样品用扫描电镜样品台，其特征在于：所述绝缘圈的上下两端与金属样品台的上下表面平齐。

6.根据权利要求1-5任一项所述的一种静电吸附样品用扫描电镜样品台，其特征在于：所述绝缘垫位于金属样品台下表面中央位置。

7.根据权利要求1所述的一种静电吸附样品用扫描电镜样品台，其特征在于：所述绝缘圈和绝缘垫均由橡胶材质制成。