CN209840665U - 一种烘烤箱和显示面板的制造设备 - Google Patents

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Abstract

一种烘烤箱和显示面板的制造设备。所述烘烤箱包括：位于烘烤箱内部的容纳装置，用于放置彩膜基板；用于输送气体到所述烘烤箱内的吸风装置；用于将热风送入所述容纳装置的进风通道；用于将所述容纳装置内送出的热风送回所述进风通道的回风通道；位于所述回风通道内的第一过滤装置。基板在经过高温气体烘烤后会产生并积累升华物，升华物顺着循环的气体来到回风通道，回风通道里的第一过滤装置能够吸收升华物，阻止升华物顺着循环的气体再次进入进风通道，避免升华物循环，保护基板。

Description

一种烘烤箱和显示面板的制造设备
技术领域
本实用新型涉及显示技术领域，尤其涉及一种烘烤箱和显示面板的制造设备。
背景技术
随着科技的发展和进步，平板显示器由于具备机身薄、省电和辐射低等热点而成为显示器的主流产品，得到了广泛应用。平板显示器包括薄膜晶体管液晶显示器(ThinFilm Transistor-Liquid Crystal Display，TFT-LCD)和有机发光二极管(OrganicLight-Emitting Diode，OLED)显示器等。其中，薄膜晶体管液晶显示器通过控制液晶分子的旋转方向，以将背光模组的光线折射出来产生画面，具有机身薄、省电、无辐射等众多优点。有机发光二极管显示器是利用有机电致发光二极管制成，具有自发光、响应时间短、清晰度与对比度高、可实现柔性显示与大面积全色显示等诸多优点。
在平板显示器的各基板制程中，一般在显影后均需进行烘烤箱(OVEN)加热，烘烤箱内会积累有机升华物，升华物会掉到基板上带来损坏(defect)，而且大多数面积较大，无法修补。
实用新型内容
本实用新型所要解决的技术问题是提供一种减少积累升华物的一种烘烤箱和显示面板的制造设备，
为实现上述目的，本实用新型提供了一种烘烤箱。所述烘烤箱包括：位于烘烤箱内部的容纳装置，用于放置彩膜基板；用于输送气体到所述烘烤箱内的吸风装置；用于将热风送入所述容纳装置的进风通道；用于将所述容纳装置内送出的热风送回所述进风通道的回风通道；位于所述回风通道内的第一过滤装置；
可选的，所述吸风装置包括进气口，所述进气口位于所述进风通道和所述回风通道的交界处，所述进风通道沿气体流动方向依次包括加热装置、送风装置和第二过滤装置，所述加热装置与所述进气口相邻，所述送风装置与所述加热装置相邻，所述第二过滤装置设置在所述容纳装置的进风位置。
可选的，所述容纳装置包括第一支撑架和隔板，所述第一支撑架层叠设置，相邻两层的所述第一支撑架之间形成放置所述彩膜基板的容纳空间；所述隔板设置在所述第一支撑架上。
可选的，所述隔板的材料为金属。
可选的，所述烘烤箱包括门板、抽风通道和排气孔，所述抽风通道位于所述回风通道的外侧，所述门板位于所述内抽风道的外侧，所述排气孔设置在所述抽风通道的侧壁上，用于将回风通道的气体排出烘烤箱外。
可选的，所述排气孔的形状为圆形。
可选的，所述第一过滤装置包括滤芯和第二支撑架，所述第二支撑架的数量为两个，所述第二支撑架平行设置，所述滤芯设置在两个所述第二支撑架之间，所述滤芯采用聚丙烯材料制成。
可选的，所述滤芯包括至少两层滤网，所述滤网层叠设置。
本实用新型还公开了一种烘烤箱。所述烘烤箱包括：所述烘烤箱包括：位于烘烤箱内部的容纳装置，用于放置彩膜基板；用于输送气体到所述烘烤箱内的吸风装置；用于将热风送入所述容纳装置的进风通道；用于将所述容纳装置内送出的热风送回所述进风通道的回风通道；位于所述回风通道内的第一过滤装置；位于所述回风通道外侧的门板；设置在所述抽风通道侧壁上的排气孔，用于将回风通道的气体排出烘烤箱外；
所述容纳装置包括第一支撑架和隔板，所述第一支撑架层叠设置，相邻两层的所述第一支撑架之间形成放置所述彩膜基板的容纳空间；所述隔板设置在所述第一支撑架上；所述第一过滤装置包括滤芯和第二支撑架，所述第二支撑架的数量为两个，所述第二支撑架平行设置，所述滤芯设置在两个所述第二支撑架之间，所述滤芯采用聚丙烯材料制成；所述滤芯包括至少两层滤网，所述滤网层叠设置。
本实用新型还公开了一种显示面板的制造设备，包括上述所述烘烤箱。
相对于在回风通道内没有过滤装置的方案来说，本申请基板在经过高温气体烘烤后会产生并积累升华物，升华物顺着循环的气体来到回风通道，回风通道里的第一过滤装置能够吸收升华物，阻止升华物顺着循环的气体再次进入进风通道，避免升华物循环，保护基板。由于彩膜基板上有色阻，在烘烤过程中会产生更多的升华物，彩膜基板。
附图说明
所包括的附图用来提供对本申请实施例的进一步的理解，其构成了说明书的一部分，用于例示本申请的实施方式，并与文字描述一起来阐释本申请的原理。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。在附图中：
图1是一种彩膜基板黄光制程的示意图；
图2是本实用新型的其中一个实施例的一种烘烤箱的示意图；
图3是本实用新型的其中一个实施例的一种加有排气孔、隔板和过滤装置的烘烤箱示意图；
图4是本实用新型的其中一个实施例的一种排气孔的示意图；
图5是本实用新型的其中一个实施例的一种抽风通道侧壁的内外部示意图；
图6是本实用新型的其中一个实施例的一种门板开启的示意图；
图7是本实用新型的其中一个实施例的一种门板关闭的示意图；
图8是本实用新型的其中一个实施例的一种过滤装置的示意图；
图9是本实用新型的其中一个实施例的一种显示面板的制造设备的示意图。
其中，100、显示面板的制造设备；200、烘烤箱；210、容纳装置；211、隔板；212、第一支撑架；220、进风通道；221、第二过滤装置；222、加热装置；223、送风装置；230、回风通道；240、第一过滤装置；241、滤芯；242、第二支撑架；243、滤网；250、门板；260、抽风通道；261、抽风通道的侧壁；270、排气孔；280、吸风装置；281、进气口。
具体实施方式
这里所公开的具体结构和功能细节仅仅是代表性的，并且是用于描述本申请的示例性实施例的目的。但是本申请可以通过许多替换形式来具体实现，并且不应当被解释成仅仅受限于这里所阐述的实施例。
在本申请的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“横向”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本申请的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。另外，术语“包括”及其任何变形，意图在于覆盖不排他的包含。
在本申请的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。
这里所使用的术语仅仅是为了描述具体实施例而不意图限制示例性实施例。除非上下文明确地另有所指，否则这里所使用的单数形式“一个”、“一项”还意图包括复数。还应当理解的是，这里所使用的术语“包括”和/或“包含”规定所陈述的特征、整数、步骤、操作、单元和/或组件的存在，而不排除存在或添加一个或更多其他特征、整数、步骤、操作、单元、组件和/或其组合。
以彩膜基板黄光制程为例，其包括八个步骤，分别为玻璃基板清洗、光阻涂布、彩膜预烤、曝光、显影、红外线烘烤、自动光学检测和彩膜烘烤，参考图1的最后一步骤，每个彩膜基板均需进行烘烤箱200加热，以达到对彩膜基板上的光阻进行烘干、固化作用，但是因为光阻本身含有溶剂等，在经过烘烤时，长时间烘烤箱200内会积累有机升华物，当升华物凝结到一定程度时，升华物会掉到彩膜基板上带来损坏(defect)，而且大多数面积较大，无法修补。
下面参考附图和可选的实施例对本实用新型作进一步说明。如图2至图8所示，本实用新型实施例公布了一种烘烤箱200。烘烤箱200包括：位于烘烤箱200内部的容纳装置210，用于放置彩膜基板；用于输送气体到烘烤箱200内的吸风装置280；用于将热风送入容纳装置210的进风通道220；用于将容纳装置210内送出的热风送回进风通道220的回风通道230；位于回风通道230内的第一过滤装置240；
本方案中，相对于在回风通道内没有过滤装置的方案来说，本申请基板在经过高温气体烘烤后会产生并积累升华物，升华物顺着循环的气体来到回风通道，回风通道里的第一过滤装置能够吸收升华物，阻止升华物顺着循环的气体再次进入进风通道，避免升华物循环，保护基板。由于彩膜基板上有色阻，在烘烤过程中会产生更多的升华物，因此尤其适用于彩膜基板制程。
本实施例可选的，吸风装置280包括进气口，进气口位于进风通道220和回风通道230的交界处，进风通道220沿气体流动方向依次包括加热装置222、送风装置223和第二过滤装置221，加热装置222与进气口相邻，送风装置223与加热装置222相邻，第二过滤装置221设置在容纳装置210的进风位置。
本方案中，吸风装置280将气体从进风口送入进风通道220内，加热装置222将气体加热，送风装置223给予被加热气体动力，将被加热的气体送入到第二过滤装置221，一般情况下从进气口进入的气体为空气，所以含有一些杂质，第二过滤装置221可以过滤从进气口进入气体的杂质，使杂质不会影响到容纳装置210里的彩膜基板。
本实施例可选的，容纳装置210包括第一支撑架212和隔板211，第一支撑架212层叠设置，相邻两层的第一支撑架212之间形成放置彩膜基板的容纳空间；隔板211设置在第一支撑架212上。
本方案中，由于彩膜基板是层叠放置在第一支撑架212上的，容纳装置210较高，循环的气体在通过容纳装置210时不会水平的通过，而是有一定的角度，从而使循环的气流不稳定，使产生的升华物一直残留在容纳装置210而无法过滤出去，隔板211设置在第一支撑架212上，间接的降低了每层容纳装置210的高度，还不影响存放彩膜基板的数量，使循环气体相对平行的通过，从而使循环气体的气流更稳定，便于排除升华物，在彩膜基板破片时，隔板211还能阻挡碎片下落，保护隔板211下部的彩膜基板，减少破片带来的影响。
本实施例可选的，隔板211的材料为金属。
本方案中，金属的导热性质好，能够保持与所处环境温度相当的温度，能使容纳装置210的温度更加均匀，使彩膜基板充分烘烤，金属的强度和热稳定性也比较好，在彩膜基板破片时能够保证隔板211的强度，在100℃的温度下隔板211也能保持良好的稳定性。
本实施例可选的，隔板211的数量大于一。
本方案中，容纳装置210可以被分成更多的区域，每个区域的高度相比之前都会降低一些，使循环的气体在通过容纳装置210时尽可能的水平通过，使循环气体的气流更加稳定，便于排出升华物，在彩膜基板破片时，能够保护更多的彩膜基板，降低破片的影响。
本实施例可选的，烘烤箱200包括门板250、抽风通道260和排气孔270，抽风通道260位于回风通道230的外侧，门板250位于内抽风道的外侧，排气孔270设置在抽风通道的侧壁261上，用于将回风通道230的气体排出烘烤箱200外。
本方案中，门板250用于取放彩膜基板后将烘烤箱200密封，在抽风通道260的侧壁上设置排气孔270，能够在门板250关闭时利用负压将部分升华物带走，减少烘烤箱200内残留升华物的含量，减轻过滤装置的负担。
本实施例可选的，排气孔270的形状为圆形。
本方案中，由于长期的使用排气孔270内可能会残留升华物，不清理的话会影响过滤效率，所以要定期清理，在清理时只需要用无尘布加酒精即可，方便简单，而圆形的排气孔270无棱角便于无尘布的擦拭。
本实施例可选的，第一过滤装置240包括滤芯241和第二支撑架242，第二支撑架242的数量为两个，第二支撑架242平行设置，滤芯241设置在两个第二支撑架242之间，滤芯241采用聚丙烯材料制成。
本方案中，两个第二支撑架242将滤芯241固定在回风通道230内，防止滤芯241晃动，滤芯241采用聚丙烯材料制成，烘烤后产生的升华物为有机物，聚丙烯易吸收，而且聚丙烯的耐腐蚀和耐热性较好，熔点高达167℃，而烘烤箱200内部温度在100℃以下，所以在烘烤过程中聚丙烯能够保持良好的物理性质，不会影响其过滤效果。
本实施例可选的，滤芯241包括至少两层滤网243，滤网243层叠设置。
本方案中，滤芯241是由滤网243组成的，为了加强滤芯241的过滤效果，滤网243为多层层叠设置，增加了升华物经过滤网243的距离，提高了滤芯241的过滤效果。
本实施例可选的，第一过滤装置240包括滤芯241和第二支撑架242，第二支撑架242的数量为两个，第二支撑架242平行设置，滤芯241设置在两个第二支撑架242之间，滤芯241采用聚砜超滤膜材料制成。
本方案中，两个第二支撑架242将滤芯241固定在回风通道230内，防止滤芯241晃动，滤芯241采用聚砜超滤膜材料制成，聚砜超滤膜是由有机物缩合而成的工程塑料膜，它可以在液相或气相中分离微粒、飘尘、气溶胶，由于光阻本身含有溶剂，在彩膜基板经过烘烤后溶剂会升华形成有机物杂质，而有机物易吸附有机物，所以聚砜超滤膜的吸附效果会大大提高，由于烘烤的温度是100℃，烘烤后溶剂升华形成有机物杂质的温度也接近100℃，所以过滤装置240的化学稳定性和耐热稳定性都得良好，而聚砜超滤膜的玻璃化温度(Tg)比较高为190℃，在烘烤的过程中能够保持良好的物理性质，不会影响其过滤效果。
作为本实用新型的另一实施例，参考图3至图8所示，公开了一种烘烤箱200。烘烤箱200包括：位于烘烤箱200内部的容纳装置210，用于放置彩膜基板；用于输送气体到烘烤箱200内的吸风装置280；用于将热风送入容纳装置210的进风通道220；用于将容纳装置210内送出的热风送回进风通道220的回风通道230；位于回风通道230内的第一过滤装置240；
容纳装置210包括第一支撑架212和隔板211，第一支撑架212层叠设置，相邻两层的第一支撑架212之间形成放置彩膜基板的容纳空间；隔板211设置在第一支撑架212上；隔板211的材料为金属；烘烤箱200包括门板250、抽风通道260和排气孔270，抽风通道260位于回风通道230的外侧，门板250位于内抽风道的外侧，排气孔270设置在抽风通道的侧壁261上，用于将回风通道230的气体排出烘烤箱200外；排气孔270的形状为圆形；第一过滤装置240包括滤芯241和第二支撑架242，第二支撑架242的数量为两个，第二支撑架242平行设置，滤芯241设置在两个第二支撑架242之间，滤芯241采用聚丙烯材料制成；滤芯241包括至少两层滤网243，滤网243层叠设置。
彩膜基板上的光阻在经过高温气体烘烤后会产生并积累升华物，升华物顺着循环的气体来到回风通道230，回风通道230里的过滤装置能够吸收升华物，阻止升华物顺着循环的气体再次进入进风通道220，避免升华物循环，保护彩膜基板。由于彩膜基板是层叠放置在第一支撑架212上的，容纳装置210较高，循环的气体在通过容纳装置210时不会水平的通过，而是有一定的角度，从而使循环的气流不稳定，使产生的升华物一直残留在容纳装置210而无法过滤出去，隔板211设置在第一支撑架212上，间接的降低了每层容纳装置210的高度，还不影响存放彩膜基板的数量，使循环气体相对平行的通过，从而使循环气体的气流更稳定，便于排除升华物，在彩膜基板破片时，隔板211还能阻挡碎片下落，保护隔板211下部的彩膜基板，减少破片带来的影响。金属的导热性质好，能够保持与所处环境温度相当的温度，能使容纳装置210的温度更加均匀，使彩膜基板充分烘烤，金属的强度和热稳定性也比较好，在彩膜基板破片时能够保证隔板211的强度，在100℃的温度下隔板211也能保持良好的稳定性。
门板250用于取放彩膜基板后将烘烤箱200密封，在抽风通道260的侧壁上设置排气孔270，能够在门板250关闭时利用负压将部分升华物带走，减少烘烤箱200内残留升华物的含量，减轻过滤装置的负担。由于长期的使用排气孔270内可能会残留升华物，不清理的话会影响过滤效率，所以要定期清理，在清理时只需要用无尘布加酒精即可，方便简单，而圆形的排气孔270无棱角便于无尘布的擦拭。
两个第二支撑架242将滤芯241固定在回风通道230内，防止滤芯241晃动，滤芯241采用聚丙烯材料制成，烘烤后产生的升华物为有机物，聚丙烯易吸收，而且聚丙烯的耐腐蚀和耐热性较好，熔点高达167℃，而烘烤箱200内部温度在100℃以下，所以在烘烤过程中聚丙烯能够保持良好的物理性质，不会影响其过滤效果。滤芯241是由滤网243组成的，为了加强滤芯241的过滤效果，滤网243为多层层叠设置，增加了升华物经过滤网243的距离，提高了滤芯241的过滤效果。
作为本实用新型的另一实施例，参考图9所示，公开了一种显示面板的制造设备100，包括上述实施例的烘烤箱200。
本实用新型的技术方案可以广泛应用于薄膜晶体管液晶显示器(Thin FilmTransistor-Liquid Crystal Display，TFT-LCD)和有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode，OLED)显示器等平板显示器。
以上内容是结合具体的可选实施方式对本实用新型所作的进一步详细说明，不能认定本实用新型的具体实施只局限于这些说明。对于本实用新型所属技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干简单推演或替换，都应当视为属于本实用新型的保护范围。

Claims (9)

1.一种烘烤箱，其特征在于，所述烘烤箱包括：
容纳装置，位于烘烤箱的内部，用于放置彩膜基板；
吸风装置，用于输送气体到所述烘烤箱内；
进风通道，用于将热风送入所述容纳装置；
回风通道，用于将所述容纳装置内送出的热风送回所述进风通道；
第一过滤装置，位于所述回风通道内；
其中，所述吸风装置包括进气口，所述进气口位于所述进风通道和所述回风通道的交界处，所述进风通道沿气体流动方向依次包括加热装置、送风装置和第二过滤装置，所述加热装置与所述进气口相邻，所述送风装置与所述加热装置相邻，所述第二过滤装置设置在所述容纳装置的进风位置。
2.如权利要求1所述的一种烘烤箱，其特征在于，所述容纳装置包括第一支撑架和隔板，所述第一支撑架层叠设置，相邻两层的所述第一支撑架之间形成放置所述彩膜基板的容纳空间；所述隔板设置在所述第一支撑架上。
3.如权利要求2所述的一种烘烤箱，其特征在于，所述隔板的材料为金属。
4.如权利要求1所述的一种烘烤箱，其特征在于，所述烘烤箱包括门板、抽风通道和排气孔，所述抽风通道位于所述回风通道的外侧，所述门板位于所述抽风通道的外侧，所述排气孔设置在所述抽风通道的侧壁上，用于将回风通道的气体排出烘烤箱外。
5.如权利要求4所述的一种烘烤箱，其特征在于，所述排气孔的形状为圆形。
6.如权利要求1所述的一种烘烤箱，其特征在于，所述第一过滤装置包括滤芯和第二支撑架，所述第二支撑架的数量为两个，所述第二支撑架平行设置，所述滤芯设置在两个所述第二支撑架之间，所述滤芯采用聚丙烯材料制成。
7.如权利要求6所述的一种烘烤箱，其特征在于，所述滤芯包括至少两层滤网，所述滤网层叠设置。
8.一种烘烤箱，其特征在于，所述烘烤箱包括：
容纳装置，位于烘烤箱的内部，用于放置彩膜基板；
吸风装置，用于输送气体到所述烘烤箱内；
进风通道，用于将热风送入所述容纳装置；
回风通道，用于将所述容纳装置内送出的热风送回所述进风通道；
第一过滤装置，位于所述回风通道内；
抽风通道，位于所述回风通道的外侧；
门板，位于所述抽风通道的外侧；
排气孔，设置在所述抽风通道的侧壁上，用于将回风通道的气体排出烘烤箱外；
所述容纳装置包括第一支撑架和隔板，所述第一支撑架层叠设置，相邻两层的所述第一支撑架之间形成放置所述彩膜基板的容纳空间；所述隔板设置在所述第一支撑架上；所述过滤装置包括滤芯和第二支撑架，所述第二支撑架的数量为两个，所述第二支撑架平行设置，所述滤芯设置在两个所述第二支撑架之间，所述滤芯采用聚丙烯材料制成；所述滤芯包括至少两层滤网，所述滤网层叠设置。
9.一种显示面板的制造设备，其特征在于，包括如权利要求1-8任意一项所述的烘烤箱。
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