CN209831430U - 一种混压工件微动吸盘装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供了一种混压工件微动吸盘装置，包括：吸盘主体，吸盘主体的顶部中心设置有多个呈环形分布的负压腔，负压腔的外侧设置有多个电容传感器，电容传感器的外侧设置有多个呈环形分布的正压腔，吸盘主体的侧端面上设置有正压级数调节螺孔，正压级数调节螺孔与多个正压腔分别连通，正压可调供气级数螺栓插放在正压级数调节螺孔内，吸盘主体的侧端面上还设置有负压级数调节螺孔，负压级数调节螺孔与多个负压腔分别连通，负压可调供气级数螺栓插放在负压级数调节螺孔内。本混压工件微动吸盘装置设计巧妙，可以在不影响对工件吸附状态的前提下，实现对吸附工件进行微米量级的主动微动调节。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种吸盘装置，具体涉及一种混压工件微动吸盘装置。
背景技术
随着高精密加工技术的不断发展，对于加工装备精度的要求越来越高，特别是微电子技术和微流控制系统的快速发展，零部件的结构尺寸急剧减小，对于精度的要求已经达到微米级甚至时纳米级，许多传统的而加工方法获得产品质量难以满足发展需要。而非接触方法以其非接触式特征在加工领域得到了广泛的应用，如激光非接触式加工等。在这种加工条件下，需要对加工工件进行夹持并能够进行微米量级调整工件位置的能力。现有的吸盘装置一般只能实现对工件的吸附，但是无法主动实现对吸附工件的微动调整。
实用新型内容
针对现有技术的不足，本实用新型提出了一种混压工件微动吸盘装置，可实现对吸附工件进行微米量级的主动微动调节。
为实现上述技术方案，本实用新型提供了一种混压工件微动吸盘装置，包括：吸盘主体，所述吸盘主体的顶部中心设置有多个呈环形分布的负压腔，所述负压腔的外侧设置有多个电容传感器，所述电容传感器的外侧设置有多个呈环形分布的正压腔，所述吸盘主体的侧端面上设置有正压级数调节螺孔，所述正压级数调节螺孔与多个正压腔分别连通，正压可调供气级数螺栓插放在正压级数调节螺孔内，所述吸盘主体的侧端面上还设置有负压级数调节螺孔，所述负压级数调节螺孔与多个负压腔分别连通，负压可调供气级数螺栓插放在负压级数调节螺孔内。
在上述技术方案中，工件放置在吸盘主体顶部，通过调节正压可调供气级数螺栓的旋进深度调整正压气体通入级数，通过调节负压可调供气级数螺栓旋进深度调整负压气体通入级数，通过控制正压数值和负压数值的比例可实现吸附工件的位移调整，吸附工件和吸盘主体之间的距离通过电容传感器来进行检测。通过采集大量的数值(正压数值：负压数值)和吸附工件微位移之间的关系建立其关系，最后通过模糊控制算法进行自动控制通入气体的压力值，实现对吸附工件进行微米量级的自动微动调节。
优选的，所述吸盘主体设置成圆柱形，吸盘主体顶部中心开设有四个独立呈环形分布的负压腔，四个环形负压腔同心，并且四个环形负压腔的直径向外逐渐变大。
优选的，所述吸盘主体顶部开设有四个独立呈环形分布的正压腔，四个环形正压腔同心，并且四个环形正压腔的直径向外逐渐变大，正压腔环绕在负压腔的外侧。
优选的，四个电容传感器成矩形分布在最外侧负压腔与最内侧正压腔之间的区域。
本实用新型提供的一种混压工件微动吸盘装置的有益效果在于：本混压工件微动吸盘装置设计巧妙，通过设置多个正压腔和负压腔，并通过调节正压可调供气级数螺栓和负压可调供气级数螺栓的旋进深度可以分别调整正压气体和负压气体的通入级数，在实际的操作过程中，通过控制正压数值和负压数值的比例实现对吸附工件的位移主动微调，从而可以在不影响对工件吸附状态的前提下，实现对吸附工件进行微米量级的主动微动调节，以满足加工要求。
附图说明
图1为本实用新型的俯视图。
图2为图1中A-A方向的剖视图。
图3为图1中B-B方向的剖视图。
图中：1、电容传感器；2、正压可调供气级数螺栓；3、吸盘主体；4、负压可调供气级数螺栓；5、负压腔；6、正压腔。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整的描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。本领域普通人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，均属于本实用新型的保护范围。
实施例：一种混压工件微动吸盘装置。
参照图1至图3所示，一种混压工件微动吸盘装置，包括：吸盘主体3，所述吸盘主体3设置成圆柱形，吸盘主体3顶部中心开设有四个独立呈环形分布的负压腔5，四个环形负压腔5同心，并且四个环形负压腔5的直径向外逐渐变大，所述吸盘主体3顶部还开设有四个独立呈环形分布的正压腔6，四个环形正压腔6同心，并且四个环形正压腔6的直径向外逐渐变大，正压腔6环绕在负压腔5的外侧，四个电容传感器1成矩形分布在最外侧负压腔5与最内侧正压腔6之间的区域，所述吸盘主体3的侧端面上设置有正压级数调节螺孔，所述正压级数调节螺孔与四个正压腔6分别连通，正压可调供气级数螺栓2插放在正压级数调节螺孔内，通过调节正压可调供气级数螺栓2旋进的深度可以调节正压腔6开放的级数，所述吸盘主体3的侧端面上还设置有负压级数调节螺孔，所述负压级数调节螺孔与四个负压腔5分别连通，负压可调供气级数螺栓4插放在负压级数调节螺孔内，通过调节负压可调供气级数螺栓4旋进的深度可以调节负压腔5开放的级数。
本实施例中，具体工作时，工件放置在吸盘主体3顶部，通过调节正压可调供气级数螺栓2的旋进深度调整正压气体通入级数，通过调节负压可调供气级数螺栓4旋进深度调整负压气体通入级数，通过控制正压数值和负压数值的比例可实现吸附工件的位移调整，吸附工件和吸盘主体3之间的距离通过电容传感器1来进行检测。通过采集大量的数值(正压数值：负压数值)和吸附工件微位移之间的关系建立其关系，最后通过模糊控制算法进行自动控制通入气体的压力值，实现对吸附工件进行微米量级的自动微动调节。
本混压工件微动吸盘装置设计巧妙，通过设置四个正压腔6和负压腔5，并通过调节正压可调供气级数螺栓2和负压可调供气级数螺栓4的旋进深度可以分别调整正压气体和负压气体的通入级数，在实际的操作过程中，通过控制正压数值和负压数值的比例实现对吸附工件的位移主动微调，从而可以在不影响对工件吸附状态的前提下，实现对吸附工件进行微米量级的主动微动调节，以满足加工要求。
以上所述为本实用新型的较佳实施例而已，但本实用新型不应局限于该实施例和附图所公开的内容，所以凡是不脱离本实用新型所公开的精神下完成的等效或修改，都落入本实用新型保护的范围。
Claims (4)
1.一种混压工件微动吸盘装置，其特征在于包括：吸盘主体，所述吸盘主体的顶部中心设置有多个呈环形分布的负压腔，所述负压腔的外侧设置有多个电容传感器，所述电容传感器的外侧设置有多个呈环形分布的正压腔，所述吸盘主体的侧端面上设置有正压级数调节螺孔，所述正压级数调节螺孔与多个正压腔分别连通，正压可调供气级数螺栓插放在正压级数调节螺孔内，所述吸盘主体的侧端面上还设置有负压级数调节螺孔，所述负压级数调节螺孔与多个负压腔分别连通，负压可调供气级数螺栓插放在负压级数调节螺孔内。
2.如权利要求1所述的混压工件微动吸盘装置，其特征在于：所述吸盘主体设置成圆柱形，吸盘主体顶部中心开设有四个独立呈环形分布的负压腔，四个环形负压腔同心，并且四个环形负压腔的直径向外逐渐变大。
3.如权利要求2所述的混压工件微动吸盘装置，其特征在于：所述吸盘主体顶部开设有四个独立呈环形分布的正压腔，四个环形正压腔同心，并且四个环形正压腔的直径向外逐渐变大，正压腔环绕在负压腔的外侧。
4.如权利要求3所述的混压工件微动吸盘装置，其特征在于：四个电容传感器成矩形分布在最外侧负压腔与最内侧正压腔之间的区域。
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| CN201920634233.5U CN209831430U (zh) | 2019-05-06 | 2019-05-06 | 一种混压工件微动吸盘装置 |
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| CN201920634233.5U CN209831430U (zh) | 2019-05-06 | 2019-05-06 | 一种混压工件微动吸盘装置 |
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| CN (1) | CN209831430U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN115256219A (zh) * | 2022-08-30 | 2022-11-01 | 北京特思迪半导体设备有限公司 | 一种基于正负压耦合的防吸入抛磨基材固定装置及方法 |
-
2019
- 2019-05-06 CN CN201920634233.5U patent/CN209831430U/zh not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| CN115256219A (zh) * | 2022-08-30 | 2022-11-01 | 北京特思迪半导体设备有限公司 | 一种基于正负压耦合的防吸入抛磨基材固定装置及方法 |
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