CN209829747U - 一种干冰清洗柔性oled显示面板导线区的装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种干冰清洗柔性OLED显示面板导线区的装置，包括机架，机架上设置有龙门架，所述龙门架上设置有吹气组件，所述机架对应龙门架下方处设置有载料平台，载料平台与机架之间设置有滑轨和滑块，所述载料平台上设置有动力机构，本实用新型能够快速对柔性OLED显示面板导线区进行清洁，清洁效果好，效率高。

Description

一种干冰清洗柔性OLED显示面板导线区的装置

技术领域

本实用新型属于柔性OLED显示面板处理领域，更具体的说涉及一种干冰清洗柔性OLED显示面板导线区的装置。

背景技术

随着各种半导体产品的广泛应用及半导体技术的发展，半导体产品的批量生产规模越来越大。同时半导体产品的尺寸也越来越大，导致半导体工艺日趋复杂，材料的使用也更加多样化。而产品的生产不仅要求高精度，也要求高效率及高自动化，因此，对生产半导体产品的生产系统和生产工艺也提出了更高的要求。对于半导体制品，例如有机发光显示器件、液晶显示器件、非晶硅太阳能电池板等，其生产都需要利用硅片、玻璃或柔性软板等作为基片，在基片上进行多种工序进而形成多层薄膜，工艺步骤中涉及的镀膜、光刻、蚀刻、干刻、切割、剥离等工艺会产生粉尘脏污附着在基片上，进而影响基片的清洁度，基片的清洁度对产品的质量有着重大影响。因此，在于镀膜、光刻、时刻、干刻、切割、剥离等工艺步骤中必须贯穿有清洗步骤，以维持基片在生产过程中的表面清洁度。

以OLED(Organic Light-Emitting Diode，即有机发光二极管)为例，OLED的制造一般都在玻璃、硅片或柔性基片上进行多次工艺步骤，进而在基片上相继沉积多层薄膜，其膜层主要包括在玻璃基片上形成的透明阳极，在阳极上依次沉积空穴注入层、空穴传输层、发光层、电子传输层和电子注入层，最后是金属阴极层以及薄膜多层封装，再经过激光切割后成独立面板，然后贴上驱动芯片与圆偏振片形成显示模块；在上述各个工艺步骤中若基片上沉积有粉尘或脏污，在下一个制程中会将其覆盖，从而影响后续的工艺质量，最终使OLED显示模块的良品率降低。可见所述基片的清洁起着举足轻重的作用，因此需要一种基片清洗装置，对所述基片进行高效清洗的同时也能保证所述基片在各个工艺制程中的高清洁度。

柔性OLED显示面板在激光切割后，在导线区容易有基片灰化或焦化的脏污附着，影响后续与芯片模块贴合的良品率。这种脏污是有机物，附着力较强，而且柔性基板比较软弱，不易用一般的清洗方法或擦拭去除。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种能够快速对柔性OLED显示面板导线区进行清洁，清洁效果好，效率高。

为实现上述目的，本实用新型提供了如下技术方案：一种干冰清洗柔性OLED显示面板导线区的装置，包括机架，机架上设置有龙门架，所述龙门架上设置有吹气组件，所述机架对应龙门架下方处设置有载料平台，载料平台与机架之间设置有滑轨和滑块，所述载料平台上设置有动力机构。

进一步的所述载料平台包括工作台平板和抽真空板，所述工作台平板上开设有若干气孔，所述抽真空板上开设有真空槽，工作台平板设置于抽真空板上，气孔与真空槽连通，抽真空板连接有抽负压机构。

进一步的所述吹气组件包括若干依次排列的吹气头，吹气组件连接有干冰发生器和吹风机。

进一步的所述动力机构为直线伺服电机，机架上设置有与直线伺服电机配合的轨道。

进一步的所述机架上对应滑轨的两侧均设置有放料盘，所述机架上还设置有抓取物料的抓手。

进一步的所述抓手为吸盘。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：通过载料平台负压吸附柔性OLED显示面板，无需额外的夹持即可固定，在清洗过程中利用干冰和干燥空气同时由吹气头吹出至柔性OLED显示面板导线区，效率高，且清洗面积大，可一次完全清洗，通过设置两个放料盘并且与抓手配合，实现自动化快速清洁过程。

附图说明

图1为本实用新型干冰清洗柔性OLED显示面板导线区的装置立体图一；

图2为本实用新型干冰清洗柔性OLED显示面板导线区的装置立体图二；

图3为本实用新型干冰清洗柔性OLED显示面板导线区的装置侧视图；

图4为本实用新型中抽真空板的立体结构图。

附图标记：1、机架；2、龙门架；3、吹气组件；31、吹气头；4、放料盘；5、抓手；6、载料平台；621、抽真空板；6211、独立腔室；622、挡条；6221、密封槽；627、气嘴。

具体实施方式

参照图1至图4对本实用新型干冰清洗柔性OLED显示面板导线区的装置实施例做进一步说明。

一种干冰清洗柔性OLED显示面板导线区的装置，包括机架1，机架1上设置有龙门架2，所述龙门架2上设置有吹气组件3，所述机架1对应龙门架2下方处设置有载料平台6，载料平台6与机架1之间设置有滑轨和滑块，所述载料平台6上设置有动力机构。

本实施例优选的如图4所示，所述载料平台6包括工作台平板和抽真空板621，所述工作台平板上开设有若干气孔，所述抽真空板621上开设有真空槽，工作台平板设置于抽真空板621上，气孔与真空槽连通，抽真空板621连接有抽负压机构，抽负压机构采用真空发生器。

优选的所述抽真空板621内的真空槽处设置有若干挡条622，挡条622将真空槽分割呈多个独立腔室6211，所述抽真空板621对应每个独立腔室6211均连接有气嘴627，且所述挡条622及抽真空板621边缘均开设有密封槽6221，所述密封槽6221内设置有密封条。

本实施例优选的如图1所示，所述吹气组件3包括若干依次排列的吹气头31，吹气组件3连接有干冰发生器和吹风机，其中吹风机采用可提供正压的装置即可，优选的在吹风机前设置有气体干燥机构，为空气进行干燥，使吹气头31处吹出干冰及干燥空气至柔性OLED显示面板导线区上。

本实施例优选的所述动力机构为直线伺服电机，机架1上设置有与直线伺服电机配合的轨道，利用直线伺服电机和轨道配合使载料平台6能够稳定的运行。

本实施例优选的所述机架1上对应滑轨的两侧均设置有放料盘4，所述机架1上还设置有抓取物料的抓手5，其中抓手5为吸盘，其具体的为采用多个负压吸盘，多个负压吸盘能够直接吸附在柔性OLED显示面板的多个位置。

抓手5的布置可如图2所示，利用一固定横梁和一可移动的组件。

采用上述装置利用干冰清洗柔性OLED显示面板导线区的方法，包括如下步骤：

1)将待清洗的柔性OLED显示面板放置在放料盘4上，并通过抓手5将柔性OLED显示面板抓取至载料平台6上；

2)载料平台6通过负压将柔性OLED显示面板吸附，随即通过直线伺服电机启动使载料平台6携带柔性OLED显示面板移动，通过吹气组件3下方；

3)吹气组件3同时吹出干冰和干燥空气，吹出的干冰和干燥空气直接作用在柔性OLED显示面板导线区的表面，对柔性OLED显示面板导线区经激光切割后的脏污进行清洗；

4)清洗完成后载料平台6放气，取下柔性OLED显示面板。

以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，本实用新型的保护范围并不仅局限于上述实施例，凡属于本实用新型思路下的技术方案均属于本实用新型的保护范围。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理前提下的若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。

Claims (6)

1.一种干冰清洗柔性OLED显示面板导线区的装置，其特征在于：包括机架，机架上设置有龙门架，所述龙门架上设置有吹气组件，所述机架对应龙门架下方处设置有载料平台，载料平台与机架之间设置有滑轨和滑块，所述载料平台上设置有动力机构。

2.根据权利要求1所述的干冰清洗柔性OLED显示面板导线区的装置，其特征在于：所述载料平台包括工作台平板和抽真空板，所述工作台平板上开设有若干气孔，所述抽真空板上开设有真空槽，工作台平板设置于抽真空板上，气孔与真空槽连通，抽真空板连接有抽负压机构。

3.根据权利要求1所述的干冰清洗柔性OLED显示面板导线区的装置，其特征在于：所述吹气组件包括若干依次排列的吹气头，吹气组件连接有干冰发生器和吹风机。

4.根据权利要求1所述的干冰清洗柔性OLED显示面板导线区的装置，其特征在于：所述动力机构为直线伺服电机，机架上设置有与直线伺服电机配合的轨道。

5.根据权利要求1所述的干冰清洗柔性OLED显示面板导线区的装置，其特征在于：所述机架上对应滑轨的两侧均设置有放料盘，所述机架上还设置有抓取物料的抓手。

6.根据权利要求5所述的干冰清洗柔性OLED显示面板导线区的装置，其特征在于：所述抓手为吸盘。