CN209778984U - 一种磁材镀膜装置的旋转靶材 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及磁控溅射靶材技术领域，且公开了一种磁材镀膜装置的旋转靶材，包括第一靶材，第一靶材的右侧固定连接有第二靶材，第二靶材的右侧固定连接有第三靶材，第一靶材、第二靶材和第三靶材的底部活动连接有基座，基座顶部的两侧均开设有第一长槽，两个第一长槽内部的一侧均活动连接有L形板，L形板的数量为四个，且两个L形板为一组，两个L形板的底端均通过第一长槽活动套装于基座的内部。该磁材镀膜装置的旋转靶材，通过第一靶材、第二靶材和第三靶材之间的配合设置，同时通过靶材之间的四十五度斜角拼接技术，能够有效防止镀膜过程时出现整条缝隙没有靶材的现象，能够有效避免靶材提前损耗，从而提高靶材的利用率。
Description
技术领域
本实用新型涉及磁控溅射靶材技术领域，具体为一种磁材镀膜装置的旋转靶材。
背景技术
镀膜靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。
现有的磁控溅射的靶材是以多块直角拼接而成，使得直角连接处存在一条缝隙，在镀膜过程中会引起此处集弧，由于集弧处位于缝隙的上方，因此此处靶材会被提前损耗，降低了靶材的利用率，需要保证靶材不被提前损耗，为此我们提出一种磁材镀膜装置的旋转靶材。
实用新型内容
针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种磁材镀膜装置的旋转靶材，具备避免靶材被提前损耗的优点，解决了靶材直角连接处上方出现集弧，导致靶材提前损耗的问题。
本实用新型提供如下技术方案：一种磁材镀膜装置的旋转靶材，包括第一靶材，所述第一靶材的右侧固定连接有第二靶材，所述第二靶材的右侧固定连接有第三靶材，所述第一靶材、第二靶材和第三靶材的底部活动连接有基座，所述基座顶部的两侧均开设有第一长槽，两个所述第一长槽内部的一侧均活动连接有L形板，所述L形板的数量为四个，且两个L形板为一组，两个所述L形板的底端均通过第一长槽活动套装于基座的内部，所述L形板的顶端延伸至第一靶材的内部，两个所述L形板的相邻两侧通过第一弹簧的两端固定连接，所述第一弹簧的数量为两个，所述L形板顶端的一侧活动套装有支撑板，所述支撑板的右端延伸至另一个L形板的内部，所述支撑板的数量为两个，所述L形板底端的正面固定安装有调节块，所述调节块的正面延伸至基座的外部，所述基座的内部开设有位于第一长槽下方的第二长槽，所述第二长槽内部的一侧固定安装有第二弹簧，所述第二弹簧的顶端固定连接有活动板，所述活动板的顶端延伸至L形板的内部，所述活动板的底端通过第二长槽活动套装于基座的内部，所述活动板的正面固定安装有圆柱块，所述圆柱块的正面延伸至基座的外部。
优选的，所述第一靶材和第三靶材的内部分别开设有第一凹槽和第二凹槽，四个所述L形板的顶端分别通过第一凹槽和第二凹槽活动套装于第一靶材和第三靶材的内部。
优选的，所述第二靶材、第一靶材和第三靶材之间采用四十五度拼接技术。
优选的，两个所述L形板顶端相邻两侧的内部均开设有第三长槽，所述支撑板的两端通过第三长槽活动套装于L形板的内部。
优选的，两个所述支撑板以上方的第一弹簧的轴心为对称中心相互对称。
优选的，所述第二长槽的数量为两个，两个所述第二长槽以第一长槽的轴心为对称中心相互对称。
与现有技术对比，本实用新型具备以下有益效果：
1、该磁材镀膜装置的旋转靶材，通过第一靶材、第二靶材和第三靶材之间的配合设置，同时通过靶材之间的四十五度斜角拼接技术，能够有效防止镀膜过程时出现整条缝隙没有靶材的现象，能够有效避免靶材提前损耗，从而提高靶材的利用率。
2、该磁材镀膜装置的旋转靶材，通过第一长槽内部设置的L形板、基座、第一靶材和第三靶材之间的配合设置，实现将靶材和基座固定，通过第二长槽内部设置的第二弹簧和活动板之间的配合，能够利用第二弹簧的弹力，挤压活动板，防止L形板脱落，同时通过弹簧和L形板之间的配合，达到便于安装和拆卸靶材的效果。
附图说明
图1为本实用新型结构示意图；
图2为本实用新型的A处局部放大示意图。
图中：1、第一靶材；2、第二靶材；3、第三靶材；4、基座；5、第一长槽；6、L形板；7、第一弹簧；8、支撑板；9、调节块；10、第二长槽；11、第二弹簧；12、活动板；13、圆柱块。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-2，一种磁材镀膜装置的旋转靶材，包括第一靶材1，第一靶材1和第三靶材3的内部分别开设有第一凹槽和第二凹槽，四个L形板6的顶端分别通过第一凹槽和第二凹槽活动套装于第一靶材1和第三靶材3的内部，通过第一长槽5内部设置的L形板6、基座4、第一靶材1和第三靶材3之间的配合设置，实现将靶材和基座4固定，第一靶材1的右侧固定连接有第二靶材2，第二靶材2、第一靶材1和第三靶材3之间采用四十五度拼接技术，通过第一靶材1、第二靶材2和第三靶材3之间的配合设置，能够有效避免靶材提现损耗掉的现象，提高了靶材利用率，第二靶材2的右侧固定连接有第三靶材3，第一靶材1、第二靶材2和第三靶材3的底部活动连接有基座4，基座4顶部的两侧均开设有第一长槽5，两个第一长槽5内部的一侧均活动连接有L形板6，两个L形板6顶端相邻两侧的内部均开设有第三长槽，支撑板8的两端通过第三长槽活动套装于L形板6的内部，L形板6的数量为四个，且两个L形板6为一组，两个L形板6的底端均通过第一长槽5活动套装于基座4的内部，L形板6的顶端延伸至第一靶材1的内部，两个L形板6的相邻两侧通过第一弹簧7的两端固定连接，第一弹簧7的数量为两个，L形板6顶端的一侧活动套装有支撑板8，两个支撑板8以上方的第一弹簧7的轴心为对称中心相互对称，通过L形板6上设置的支撑板8和第一弹簧7之间的配合，能够有效防止第一弹簧7在移动的过程中发生偏移，支撑板8的右端延伸至另一个L形板6的内部，支撑板8的数量为两个，L形板6底端的正面固定安装有调节块9，调节块9的正面延伸至基座4的外部，基座4的内部开设有位于第一长槽5下方的第二长槽10，第二长槽10的数量为两个，两个第二长槽10以第一长槽5的轴心为对称中心相互对称，通过第二长槽10内部设置的第二弹簧11和活动板12之间的配合，能够利用第二弹簧11的弹力，挤压活动板12，能够有效将L形板6固定，第二长槽10内部的一侧固定安装有第二弹簧11，第二弹簧11的顶端固定连接有活动板12，活动板12的顶端延伸至L形板6的内部，活动板12的底端通过第二长槽10活动套装于基座4的内部，活动板12的正面固定安装有圆柱块13，圆柱块13的正面延伸至基座4的外部。
工作原理，使用时，向下拉动圆柱块13，圆柱块13带动活动板12，活动板12挤压第二弹簧11，带动活动板12的顶端移出到L形板6的外部，然后将靶材放置到基座4的顶部，第一凹槽和第二凹槽与L形板6的顶部接触，挤压L形板6，带动两个L形板6向内侧移动，带动第一弹簧7收缩，带动L形板6卡进第一凹槽和第二凹槽内部，即可。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (6)
1.一种磁材镀膜装置的旋转靶材，包括第一靶材(1)，其特征在于：所述第一靶材(1)的右侧固定连接有第二靶材(2)，所述第二靶材(2)的右侧固定连接有第三靶材(3)，所述第一靶材(1)、第二靶材(2)和第三靶材(3)的底部活动连接有基座(4)，所述基座(4)顶部的两侧均开设有第一长槽(5)，两个所述第一长槽(5)内部的一侧均活动连接有L形板(6)，所述L形板(6)的数量为四个，且两个L形板(6)为一组，两个所述L形板(6)的底端均通过第一长槽(5)活动套装于基座(4)的内部，所述L形板(6)的顶端延伸至第一靶材(1)的内部，两个所述L形板(6)的相邻两侧通过第一弹簧(7)的两端固定连接，所述第一弹簧(7)的数量为两个，所述L形板(6)顶端的一侧活动套装有支撑板(8)，所述支撑板(8)的右端延伸至另一个L形板(6)的内部，所述支撑板(8)的数量为两个，所述L形板(6)底端的正面固定安装有调节块(9)，所述调节块(9)的正面延伸至基座(4)的外部，所述基座(4)的内部开设有位于第一长槽(5)下方的第二长槽(10)，所述第二长槽(10)内部的一侧固定安装有第二弹簧(11)，所述第二弹簧(11)的顶端固定连接有活动板(12)，所述活动板(12)的顶端延伸至L形板(6)的内部，所述活动板(12)的底端通过第二长槽(10)活动套装于基座(4)的内部，所述活动板(12)的正面固定安装有圆柱块(13)，所述圆柱块(13)的正面延伸至基座(4)的外部。
2.根据权利要求1所述的一种磁材镀膜装置的旋转靶材，其特征在于：所述第一靶材(1)和第三靶材(3)的内部分别开设有第一凹槽和第二凹槽，四个所述L形板(6)的顶端分别通过第一凹槽和第二凹槽活动套装于第一靶材(1)和第三靶材(3)的内部。
3.根据权利要求1所述的一种磁材镀膜装置的旋转靶材，其特征在于：所述第二靶材(2)、第一靶材(1)和第三靶材(3)之间采用四十五度拼接技术。
4.根据权利要求1所述的一种磁材镀膜装置的旋转靶材，其特征在于：两个所述L形板(6)顶端相邻两侧的内部均开设有第三长槽，所述支撑板(8)的两端通过第三长槽活动套装于L形板(6)的内部。
5.根据权利要求1所述的一种磁材镀膜装置的旋转靶材，其特征在于：两个所述支撑板(8)以上方的第一弹簧(7)的轴心为对称中心相互对称。
6.根据权利要求1所述的一种磁材镀膜装置的旋转靶材，其特征在于：所述第二长槽(10)的数量为两个，两个所述第二长槽(10)以第一长槽(5)的轴心为对称中心相互对称。
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112593193A (zh) * | 2020-11-16 | 2021-04-02 | 中建材蚌埠玻璃工业设计研究院有限公司 | 一种真空磁控溅射镀膜设备及其镀膜方法 |
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2019
- 2019-03-28 CN CN201920408150.4U patent/CN209778984U/zh active Active
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| CN112593193A (zh) * | 2020-11-16 | 2021-04-02 | 中建材蚌埠玻璃工业设计研究院有限公司 | 一种真空磁控溅射镀膜设备及其镀膜方法 |
| CN112593193B (zh) * | 2020-11-16 | 2022-12-09 | 中建材玻璃新材料研究院集团有限公司 | 一种真空磁控溅射镀膜设备及其镀膜方法 |
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