CN209771796U - 一种废气处理系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供的一种废气处理系统，包括由下到上依次设置的液体回收组件、至少一个回收塔和至少一个碱中和塔，所述废气处理系统还包括与所述回收塔相互连通设置的进气组件、进水管组件和碱液循环组件，所述回收塔与所述碱中和塔之间还设有气体通道，所述液体回收组件包括位于回收塔底部的酸液回收箱，所述回收塔一端连接另一所述回收塔或碱中和塔，另一端与所述酸液回收箱相互贯通，所述酸液回收箱、所述回收塔及所述碱中和塔设置为一体式筒状结构，所述碱中和塔的顶部还设有风机组件。本实用新型通过设置至少一个的回收塔对废气中的盐酸实现收集及再利用，且通过一体化的设置，实现了节约用地，并减少了建设成本。

Description

一种废气处理系统

技术领域

本实用新型涉及废气处理系统设计技术领域，特别是指一种废气处理系统。

背景技术

本部分旨在为权利要求书中陈述的本实用新型的实施方式提供背景或上下文。此处的描述不因为包括在本部分中就承认是现有技术。

半导体及光纤行业生产过程中会产生大量含有氯化氢的酸性气体，对于此类废气的处理方法大多是采用碱液洗涤塔进行处理，即采用碱液与废气中的酸性气体进行中和，使废气能够达标排放。

上述技术方案在使用过程中，废气中可回收再利用资源盐酸失去利用价值。

实用新型内容

鉴于以上内容，有必要提供一种改进的废气处理系统。

本实用新型提供的技术方案为：

一种废气处理系统，包括由下到上依次设置的液体回收组件、至少一个回收塔和至少一个碱中和塔，所述废气处理系统还包括与所述回收塔相互连通设置的进气组件、进水管组件和碱液循环组件，所述废气处理系统还包括若干气体通道，所述回收塔与所述碱中和塔之间通过气体通道连通设置，所述液体回收组件包括位于回收塔底部的酸液回收箱，所述回收塔一端连接另一所述回收塔或碱中和塔，另一端与所述酸液回收箱相互贯通，所述酸液回收箱、所述回收塔及所述碱中和塔设置为一体式筒状结构，所述碱中和塔的顶部还设有风机组件。

优选的，所述液体回收组件还包括废液收集箱与酸收集罐，所述废液收集箱与所述酸液回收箱之间通过管道连通。

优选的，所述液体回收组件还包括第一循环管道、循环泵及检测装置，所述第一循环管道两端分别与所述酸液回收箱及酸收集罐贯通设置，所述检测装置位于所述第一循环管道与所述酸液回收箱相互贯通一端，所述循环泵位于所述管道上。

优选的，所述回收塔大体为筒状结构，其包括依次排列设置的气体分布器、填料及槽式分布器，所述气体分布器、填料及槽式分布器间隔设置，所述气体分布器位于所述填料靠近所述酸液回收箱一侧。

优选的，所述回收塔包括依次设置的填料、槽式分布器、泡罩层、除雾器及喷头组件，所述填料、槽式分布器、泡罩层、除雾器及喷头组件间隔设置，其中所述填料位于所述回收塔中靠近所述酸液回收箱一侧。

优选的，所述回收塔还包括液体循环组件，所述液体循环组件包括第二循环管道及降液管道，所述第二循环管道及所述降液管道的其中一端均位于所述回收塔的底部，所述第二循环管道另外一端连接于所述回收塔的侧壁且连接处介于所述泡罩层与第二槽式分布器之间，所述降液管道另外一端与所述酸液回收箱连接设置。

优选的，所述回收塔至少设有两个，且相邻所述回收塔之间设有气体通道。

优选的，所述碱中和塔包括填料、除雾器及若干喷头组件，其中一所述喷头组件位于所述填料与所述除雾器之间与所述进水管组件相互连通设置，其中所述填料位于所述碱中和塔靠近所述气体通道一侧，所述除雾器上方还设有另一喷头组件，位于除雾器上方的喷头组件与所述碱液循环组件相互连通。

优选的，所述碱液循环组件包括碱液循环箱、碱液储罐及若干碱液循环管，所述碱液循环管分别连接所述碱液循环箱与碱液储罐或所述碱液循环箱与碱中和塔。

优选的，所述气体通道包括隔板及气液分离器，所述隔板与外周筒体相互密封贴合设置，所述气液分离器包括位于隔板上方的出气管与挡罩；所述出气管内部中空设置并贯穿所述隔板设置，所述出气管与之相邻的回收塔或碱中和塔连通设置。

优选的，所述进气组件包括气流管道及降温塔，所述降温塔其中一端通过所述气流管道与废气输入端相互连通，其另外一端通过另外一个所述气流管道与酸回收塔相互连接。

优选的，所述进气组件还包括液体管道，所述液体管道一端与所述酸液回收箱连通设置，其另外一端与所述降温塔及所述回收塔相互连通设置，所述液体管道与所述降温塔连接一端端部设有喷头组件，所述喷头组件位于所述降温塔内部靠近所述废气输入端设置。

与现有技术相比，本实用新型提供的一种废气处理系统，包括由下到上依次设置的液体回收组件、至少一个回收塔和至少一个碱中和塔，所述废气处理系统还包括与所述回收塔相互连通设置的进气组件、进水管组件和碱液循环组件，所述废气处理系统还包括若干气体通道，所述回收塔与所述碱中和塔之间通过气体通道连通设置，所述液体回收组件包括位于回收塔底部的酸液回收箱，所述回收塔一端连接另一所述回收塔或碱中和塔，另一端与所述酸液回收箱相互贯通，所述酸液回收箱、所述回收塔及所述碱中和塔设置为一体式筒状结构，所述碱中和塔的顶部还设有风机组件。本实用新型通过设置至少一个的回收塔对废气中的盐酸实现收集及再利用，从而使得处理过程中可以有效地减少碱液的使用，且通过一体化的设置，在空间上实现了节约用地，能够有效地减少建设的成本。

附图说明

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明。

图1为本实用新型一实施方式中废气处理系统的整体示意图。

图2为本实用新型一实施方式中回收塔的整体示意图。

图3为本实用新型另一实施方式中回收塔的整体示意图。

图4为本实用新型中一实施方式中碱中和塔的整体示意图。

附图标记说明:

如下具体实施方式将结合上述附图进一步说明本实用新型实施例。

具体实施方式

为了能够更清楚地理解本实用新型实施例的上述目的、特征和优点，下面结合附图和具体实施方式对本实用新型进行详细描述。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请的实施方式中的特征可以相互组合。

在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型实施例，所描述的实施方式仅是本实用新型一部分实施方式，而不是全部的实施方式。基于本实用新型中的实施方式，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本实用新型实施例保护的范围。

除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型实施例的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施方式的目的，不是旨在于限制本实用新型实施例。

请参照图1，本实用新型关于一种废气处理系统100，包括由下到上依次设置的液体回收组件10、至少一个回收塔30和至少一个碱中和塔60，所述废气处理系统100还包括与所述回收塔30相互连通设置的进气组件70、进水管组件80和碱液循环组件90，所述进气组件70用于将废气传输到回收塔30中，所述进水管组件80用于对所述回收塔30及所述碱中和塔60提供水流，所述碱液循环组件90 用于对碱中和塔60提供碱液。所述回收塔30与所述碱中和塔60之间还设有气体通道40，所述液体回收组件10包括位于回收塔30底部的酸液回收箱12，所述回收塔30一端连接另一所述回收塔30或碱中和塔60，另一端与所述酸液回收箱12相互贯通，所述酸液回收箱12、所述回收塔30及所述碱中和塔60设置为一体式筒状结构，所述碱中和塔60的顶部还设有风机组件200。废气通过进气组件70 进入到回收塔30中，通过进水管组件80对回收塔30进行水流的输送，进水管组件80中水流与进入到回收塔30中的废气相互结合后流入到酸液回收箱12中，水流流通过程中，将废气中的酸性气体溶于水中并进行回收实现了对酸性气体的回收。本实施方式中，所述进水管组件80与市政给水相互连接设置，通过市政给水中的自来水对废气进行处理。

本实施方式中，所述液体回收组件10还包括废液收集箱14、酸收集罐16及若干第一循环管道18，所述废液收集箱14与所述酸液回收箱12连通设置，用于收集酸液回收箱12中产生的废液。所述液体回收组件还包括循环泵17及检测装置19，其中一所述第一循环管道18两端分别与所述酸液回收箱12及酸收集罐16贯通设置，所述循环泵17用于将第一循环管道18内的液体从酸液回收箱12中传输到酸收集罐16中。所述酸液回收箱12中还设有检测装置19，本实施方式中，所述检测装置19设置为浓度计。通过检测装置19对酸液回收箱12内溶液的浓度进行检测，当溶液达到可收集的浓度时，通过循环泵17将溶液传输到酸收集罐16中，实现对酸性气体的回收。

请参阅图2，本实施方式中，所述回收塔30大体为筒状结构，其包括依次排列设置的气体分布器31、填料32及槽式分布器35，所述气体分布器31、填料32及槽式分布器35间隔设置。所述气体分布器31位于所述填料32靠近所述酸液回收箱12一侧，所述气体分布器31用于将输送到回收塔30中的气体在回收塔30中均匀分布，以保证水流能够与气体之间充分接触；所述槽式分布器35位于所述填料32远离所述酸液回收箱12一侧，所述槽式分布器35用于使流入到回收塔30内的液体能够在回收塔30截面上均匀分布，从而进一步保证液体与气体之间的相互接触。本实施方式中，在所述填料 32靠近所述气体分布器31一侧还设有与之相互贴合设置的格栅34，通过所述格栅34对其进行支撑，所述填料32可以设置为鲍尔环、花环等其他形式的填料，其主要目的在于增大气液接触面积，提高废气中HCl的吸收率。所述进气组件70与所述回收塔30连通的位置位于所述气体分布器31与酸液回收箱12之间，所述进水管组件80 与回收塔30之间的连接处位于所述槽式分布器35背离所述填料32 一侧。在其他实施方式中，所述回收塔30设置为至少两个，且相邻两个所述回收塔30之间还设有气体通道40。

本实施方式中，所述碱中和塔60包括依次设置的填料61、喷头组件62、除雾器63及喷头组件65，其中所述填料61位于所述碱中和塔60靠近所述气体通道40一侧，所述喷头组件65位于所述碱中和塔60靠近所述风机组件200一侧，所述喷头组件65与进水管组件80相互连通设置，所述喷头组件62用于喷射碱液。在其他实施方式中，所述碱中和塔60至少设有两个，且相邻设置的碱中和塔60 之间还设有气体通道40，所述风机组件200位于最上层所述碱中和塔60中。

碱中和塔60使用过程中，需要对其进行碱液供给，本实施方式中，请参阅图1，所述碱液循环组件90与所述碱中和塔60上喷头组件62相互连通，用于对其供给碱液，所述碱液循环组件90还与所述进水管组件80相互连通设置。所述碱液循环组件90包括碱液循环箱91、碱液储罐93及碱液循环管97，所述碱液储罐93用于存储碱液，其内部为30％NaOH溶液；所述碱液循环箱91与所述碱液储罐93之间通过碱液循环管97连通设置，通过碱液循环管97将碱液储罐93内的碱液传输到碱液循环箱91中；所述碱液循环箱91与所述碱中和塔60之间的连接通过另外设置的碱液循环管97连接，这里的碱液循环管97用于对碱中和塔60与碱液循环箱97中的溶液进行循环置换，保证碱中和塔60中的碱液始终能够保证中和废气，位于所述碱液循环箱91与所述碱中和塔60之间的碱液循环管97至少设有两个，两个所述碱液循环管97内液体流向相反。在另一实施方式中，所述碱液循环管97还可用于将碱液循环箱91中的废液传输到废液收集箱14；在其他实施方式中，所述碱液循环管97上还设有隔膜泵95。

请参阅图3，本实施方式中，所述气体通道40包括隔板41及气液分离器42，所述隔板41与外周筒体相互密封贴合设置，所述气液分离器42包括位于隔板41上方的出气管421与挡罩423；所述出气管421内部中空设置并贯穿所述隔板41设置，所述挡罩423设置为椎体形状，所述挡罩423底面大于所述出气管421顶部的出气口，且与出气管421上出气口之间留有缝隙，本实施方式中，所述挡罩 423设置为圆锥状；在其他实施方式中，所述隔板41还可以设置在相邻设置的回收塔30或相邻设置的碱中和塔60之间。废气通过隔板41时，通过位于隔板41上的气液分离器42将废气中液体进行阻隔，并将废气中气体向上排出，且通过挡罩423的设置对顶部喷淋的水流进行阻隔，避免碱中和塔60中的碱性液体与回收塔30中的吸收液混合，对酸回收的过程造成影响。

废气通过进气组件70进入到回收塔30中，请参阅图1，所述进气组件70包括气流管道72及降温塔71，所述降温塔71其中一端通过所述气流管道72与废气输入端相互连通，其另外一端通过另外一个所述气流管道72与酸回收塔30相互连接，所述降温塔71用于对进入到气流管道72内的废气进行降温，保证废气温度降低，使废气能够与水流充分进行融合。在其他实施方式中，所述进气组件70 还包括管道73，所述管道73一端与所述第一循环管道18连通设置，其另外一端与所述降温塔71及所述回收塔30相互连通设置，所述管道73与所述降温塔71连接一端端部设有喷头组件74，所述喷头组件74位于所述降温塔71内部靠近所述废气输入端一侧，所述管道73与回收塔30的连接处高于回收塔30内部的槽式分布器35。

本实施方式中，所述进水管组件80包括若干进水管81，通过进水管81对废气处理系统100内的各部件进行水流的增加。

请参阅图4，本实用新型中的另一实施方式中，提供了另外一种回收塔30的设置方式，所述回收塔30与上述实施方式中所述回收塔30位置相同，其不同之处在于：所述回收塔30包括依次设置的填料32、槽式分布器35、泡罩层36、除雾器37及喷头组件28，其中所述填料32位于所述回收塔30中靠近所述酸液回收箱12一侧；本实施方式中，所述除雾器37可以是折板除雾器或丝网除雾器，其材质可以为PP或FRP或耐腐蚀金属。所述喷头组件28与所述进水管组件80相互连通设置，水流通过喷头组件28向下流动，依次经过泡罩层36、槽式分布器35及填料32最终汇入到位于回收塔30 底部的水溶液中。

在其他实施方式中，请参阅图1，所述回收塔30还包括液体循环组件50，所述液体循环组件50包括第二循环管道52及降液管道 53，所述第二循环管道52及所述降液管道53的其中一端均位于所述回收塔30的底部，其中，所述第二循环管道52另外一端连接于所述回收塔30的侧壁且连接处介于所述泡罩层36与槽式分布器35 之间，所述降液管道53另外一端与所述酸液回收箱12连接设置。在其他实施方式中，所述第二循环管道52上还设有第二循环泵51。

本实用新型中的又一实施方式中，其与上述实施方式不同之处在于：所述废气处理系统100包括上述两种技术方案中的所述回收塔 30，其中，第一实施方式中的所述回收塔30与底部酸液回收箱12 连通设置，第二实施方式中所述回收塔30设置在第一实施方式中所述回收塔30与碱中和塔60之间，相邻所述回收塔30之间设有气体通道40。本实施方式中，所述进水管组件80连接设置在喷头组件 28，通过喷头组件28对回收塔30进行水流的供应。

本实施方式中，所述进气组件70与最底部的所述回收塔30相互连通设置，所述进气组件70上所述气流管道72连接在所述回收塔30上且位于所述回收塔30中填料32的下方。

本实用新型中的所述填料32、填料61及除雾器37和除雾器63 的下方均可以设置格栅34，通过格栅34对各部件进行支撑。且在其他实施方式中，所述填料32、填料32和填料61为PP填料，其可以是鲍尔环、花环等其他形式的填料，其主要目的在于增大气液接触面积，提高废气中HCl的吸收率。所述除雾器37和除雾器63可以是折板除雾器或丝网除雾器，其材质可以为PP或FRP或耐腐蚀金属。

本实用新型通过设置若干级回收塔30对废气中的盐酸实现收集及再利用，从而使得处理过程中可以有效地减少碱液的使用，且通过一体式的设置，在空间上实现了节约用地，能够有效地减少建设的成本。

上述实施方式中废气处理系统的使用方法，其具体步骤如下所示：

S1：通过进水管组件80对回收塔30、碱中和塔60及碱液循环组件90进行供水，水流在回收塔30流动过程中，通过回收塔30内部部件使其能够均匀分布在回收塔30截面上；

S2：当水流流入到酸回收箱12中时，通过进气组件70将废气排入到酸回收箱12及回收塔30之间，废气向上逸散与水流进行接触，且废气向上逸散过程中，水流保持流动；

S3：废气向上逸散过程中，通过回收塔30内部部件使其均匀分布在回收塔30内部，废气与水流进行接触，废气中的酸性气体溶于水流实现对废气中酸性气体的吸收，并在水流流动作用下流入到酸液回收箱12中；

S4：废气向上逸散至碱中和塔60中，通过碱中和塔60中的碱液对废气进行中和，使其能够符合排放标准，在此过程中，通过碱液循环箱90对碱中和塔60进行碱液的供给并将碱中和塔60中反应完成的碱液排放到碱液循环组件90中，保证碱液的循环使用。

当回收塔30设置为至少两个时，废气进入到不同层级之间的回收塔30，通过液体循环组件50的设置，使得水流能够重复与废气进行接触并最终汇总到酸液回收箱12中。

以上实施方式仅用以说明本实用新型实施例的技术方案而非限制，尽管参照以上较佳实施方式对本实用新型实施例进行了详细说明，本领域的普通技术人员应当理解，可以对本实用新型实施例的技术方案进行修改或等同替换都不应脱离本实用新型实施例的技术方案的精神和范围。

Claims (12)

1.一种废气处理系统，其特征在于：包括由下到上依次设置的液体回收组件、至少一个回收塔和至少一个碱中和塔，所述废气处理系统还包括与所述回收塔相互连通设置的进气组件、进水管组件和碱液循环组件，所述废气处理系统还包括若干气体通道，所述回收塔与所述碱中和塔之间通过气体通道连通设置，所述液体回收组件包括位于回收塔底部的酸液回收箱，所述回收塔一端连接另一所述回收塔或碱中和塔，另一端与所述酸液回收箱相互贯通，所述酸液回收箱、所述回收塔及所述碱中和塔设置为一体式筒状结构，所述碱中和塔的顶部还设有风机组件。

2.根据权利要求1所述的废气处理系统，其特征在于：所述液体回收组件还包括废液收集箱与酸收集罐，所述废液收集箱与所述酸液回收箱之间通过管道连通。

3.根据权利要求2所述的废气处理系统，其特征在于：所述液体回收组件还包括第一循环管道、循环泵及检测装置，所述第一循环管道两端分别与所述酸液回收箱及酸收集罐贯通设置，所述检测装置位于所述第一循环管道与所述酸液回收箱相互贯通一端，所述循环泵位于所述管道上。

4.根据权利要求1所述的废气处理系统，其特征在于：所述回收塔大体为筒状结构，其包括依次排列设置的气体分布器、填料及槽式分布器，所述气体分布器、填料及槽式分布器间隔设置，所述气体分布器位于所述填料靠近所述酸液回收箱一侧。

5.根据权利要求1所述的废气处理系统，其特征在于：所述回收塔包括依次设置的填料、槽式分布器、泡罩层、除雾器及喷头组件，所述填料、槽式分布器、泡罩层、除雾器及喷头组件间隔设置，其中所述填料位于所述回收塔中靠近所述酸液回收箱一侧。

6.根据权利要求5所述的废气处理系统，其特征在于：所述回收塔还包括液体循环组件，所述液体循环组件包括第二循环管道及降液管道，所述第二循环管道及所述降液管道的其中一端均位于所述回收塔的底部，所述第二循环管道另外一端连接于所述回收塔的侧壁且连接处介于所述泡罩层与第二槽式分布器之间，所述降液管道另外一端与所述酸液回收箱连接设置。

7.根据权利要求4或5所述的废气处理系统，其特征在于：所述回收塔至少设有两个，且相邻所述回收塔之间设有气体通道。

8.根据权利要求1所述的废气处理系统，其特征在于：所述碱中和塔包括填料、除雾器及若干喷头组件，其中一所述喷头组件位于所述填料与所述除雾器之间与所述进水管组件相互连通设置，其中所述填料位于所述碱中和塔靠近所述气体通道一侧，所述除雾器上方还设有另一喷头组件，位于除雾器上方的喷头组件与所述碱液循环组件相互连通。

9.根据权利要求1所述的废气处理系统，其特征在于：所述碱液循环组件包括碱液循环箱、碱液储罐及若干碱液循环管，所述碱液循环管分别连接所述碱液循环箱与碱液储罐或所述碱液循环箱与碱中和塔。

10.根据权利要求1所述的废气处理系统，其特征在于：所述气体通道包括隔板及气液分离器，所述隔板与外周筒体相互密封贴合设置，所述气液分离器包括位于隔板上方的出气管与挡罩；所述出气管内部中空设置并贯穿所述隔板设置，所述出气管与之相邻的回收塔或碱中和塔连通设置。

11.根据权利要求1所述的废气处理系统，其特征在于：所述进气组件包括气流管道及降温塔，所述降温塔其中一端通过所述气流管道与废气输入端相互连通，其另外一端通过另外一个所述气流管道与酸回收塔相互连接。

12.根据权利要求11所述的废气处理系统，其特征在于：所述进气组件还包括液体管道，所述液体管道一端与所述酸液回收箱连通设置，其另外一端与所述降温塔及所述回收塔相互连通设置，所述液体管道与所述降温塔连接一端端部设有喷头组件，所述喷头组件位于所述降温塔内部靠近所述废气输入端设置。