CN209771435U - 扇出型晶圆级封装用封装材料脱泡装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种扇出型晶圆级封装用封装材料脱泡装置，包括桶主体和搅拌系统，桶主体包括桶体和桶盖；所述桶盖上设有抽真空口和进料口；所述进料口的下端口连接一弯管，弯管出口朝向桶体内壁，且弯管出口靠近桶体内壁；弯管出口下方设有一固定于桶体内壁的楔形档块，当浆料从弯管出口流出正好流到楔形档块上表面，之后浆料沿楔形档块的斜面被引流到桶体内壁，并沿桶体内壁流下。本实用新型通过设置导流的弯管和引流的楔形档块，将浆料引流至沿桶壁流下，以此来减缓浆料下流的流速，避免进料过程中产生新气泡；另外，沿桶壁流下的浆料与空气接触面积更大，负压作用的影响面更大，有利于将浆料内的气泡快速抽出，提高脱泡效率和脱泡效果。

Description

扇出型晶圆级封装用封装材料脱泡装置

技术领域

本实用新型涉及浆料的脱泡技术，具体为一种扇出型晶圆级封装用封装材料脱泡装置。

背景技术

目前，脱泡作业时，将珠磨后的浆料直接注入真空脱泡桶内，浆料自由滴下。待注完浆料后将脱泡桶内抽真空至-1atm，通过创造负压将藏于浆料内的气泡抽至液面，液面的气泡与空气接触后因表面张力的改变而破泡，从而达到除泡的效果。例如，公告号为CN206187645 U的中国实用新型专利《一种工业用真空脱泡桶》，其中所公开的真空脱泡桶就是这类。

采用这类脱泡桶对浆料进行脱泡作业时，是先注满浆料，之后再负压脱泡。待浆料注满后进行脱泡，存在于浆料内部和底部的气泡需要耗费较长时间才能抽至液面，而且气泡还难以完全抽出。因此，这类真空脱泡桶及其对应的脱泡方法存在脱泡时间长、脱泡效率低且脱泡效果差的问题。

发明内容

本实用新型的目的是提供一种脱泡效率高、脱泡效果优的扇出型晶圆级封装用封装材料脱泡装置。

本实用新型提供的扇出型晶圆级封装用封装材料脱泡装置，包括桶主体和搅拌系统，所述桶主体包括桶体和桶盖，桶体用来容纳浆料，搅拌系统用来对浆料进行搅拌；所述桶盖上设有抽真空口和进料口；所述进料口的下端口连接一弯管，弯管出口朝向桶体内壁，且弯管出口靠近桶体内壁；弯管出口下方设有一固定于桶体内壁的楔形档块，当浆料从弯管出口流出正好流到楔形档块上表面，之后浆料沿楔形档块的斜面被引流到桶体内壁，并沿桶体内壁流下。

作为优选，将楔形档块设为环型或半环型，可进一步增加浆料与空气的接触面积。

进一步的，桶体外侧壁设有锁扣，桶盖侧边设有与锁扣位置对应的螺纹孔，螺杆穿过螺纹孔且螺杆底端和锁扣固定连接。

作为优选，锁扣数量为2，且均布于桶体外侧壁；同样的螺杆数量也对应为2。

作为优选，螺杆端头和桶盖之间还设有垫片，用来增加桶体和桶盖之间的密封性。

进一步的，所述桶体底部设有出料口。

进一步的，搅拌系统包括设于桶体内的搅拌轴、设于搅拌轴上的搅拌浆、以及驱动搅拌轴的电机，电机设于桶盖顶部。

与现有技术相比，本实用新型具有如下优点和有益效果：

（1）本实用新型通过设置用来导流的弯管和用来引流的楔形档块，将浆料引流至沿桶壁流下，以此来减缓浆料下流的流速，从而避免进料过程中产生新气泡；另外，沿桶壁流下的浆料，与空气接触面积更大，负压作用的影响面更大，有利于将浆料内的气泡快速抽出，从而提高脱泡效率和脱泡效果。

（2）本实用新型的优选方案是，设计环型或半环型的楔形档块；当设计为环型，浆料将沿整壁桶壁流下；当设计为半环型，浆料将沿半壁桶壁流下；均增加了浆料与空气的接触面积，有利于进一步提高脱泡效率和脱泡效果。

附图说明

图1为实施例1中脱泡装置的外观示意图，该图中未画出由锁扣和螺杆构成的连接机构；

图2为实施例1中脱泡装置的剖视图；

图3为实施例1中弯管和楔形档块的局部示意图；

图4为图2中A处的局部放大图。

图中：101-桶体，102-桶盖，103-抽真空口，104-进料口，105-弯管，106-楔形档块，107-出料口，108-锁扣，109-螺杆，110-垫片，201-搅拌轴，202-搅拌浆，203-电机。

具体实施方式

为了更清楚地说明本实用新型和/或现有技术中的技术方案，下面将对照附图说明本实用新型的具体实施方式。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图，并获得其他的实施方式。

应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。此外，下面所描述的本实用新型各个实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互组合。

实施例1

本实施例将提供扇出型晶圆级封装用封装材料脱泡装置的一种具体方案。

请参见图1~2，真空脱泡桶主要包括桶主体和搅拌系统。桶主体包括桶体101和桶盖102，桶盖102设于桶体101端口，用来密封桶体101，桶体101用来容纳浆料；搅拌系统用来对浆料进行搅拌。所述搅拌系统包括设于桶体101内的搅拌轴201、设于搅拌轴201上的搅拌浆202、以及驱动搅拌轴201的电机203。电机203设于桶盖102顶部，用来驱动搅拌轴201转动，搅拌轴201转动带动搅拌浆202转动，从而对浆料进行搅拌。

桶盖102上设有抽真空口103和进料口104；抽真空口103可通过抽气管道连接抽真空设备，用来对桶体101内抽真空；抽真空口103处还设有一气阀。进料口104的上端口连接进料管道，通过泵取方式将浆料泵入进料管道内。参见图3，进料口104的下端口伸入桶体1内，且下端口连接一用来导流的弯管105，弯管105出口朝向且靠近桶体内壁。弯管105出口下方设有一固定于桶体内壁的楔形档块106，该楔形档块106有一向下的斜面；当浆料从弯管105出口流出正好流到楔形档块106上表面，之后浆料沿楔形档块106的斜面被引流到桶体内壁，并沿桶体内壁流下。桶体101底部设有出料口107，出料口107上安装有出料阀。

本实施例中，桶盖2通过螺杆固定于桶体1上，具体参见图4，桶体1外侧壁设置有锁扣108，螺杆109穿过桶盖102侧边的螺纹孔，将螺杆109旋至合适位置时，将螺杆109的底端和锁扣108固定连接。为增加密封性，在螺杆109端头和桶盖2之间还设置垫片110。本实施例设置了2个均布的锁扣108，两个穿过桶盖102的螺杆109的底端分别与两个锁扣108固定连接。

下面将结合本实施例提供脱泡装置的工作过程。

首先，将抽真空口103和进料口104分别与抽气管道和进料管道连接，抽气管道再连接抽真空设备，进料管道再连接浆料。

接着，打开进料泵，将浆料抽入进料管道，之后浆料从弯管105出口流出到楔形档块106上表面，之后又沿楔形档块106的斜面被引流到桶体内壁，并沿桶体内壁流下。与此同时，打开搅拌系统的电机203，打开抽真空口103处的气阀，打开抽真空设备，将桶体1内抽真空至-1atm。搅拌系统对浆料进行搅拌，抽真空设备对桶体101内抽真空，使桶体101内形成负压，在负压的作用下，浆料中的气泡开始逸出。

最后，脱泡完成，关闭抽真空设备和气阀，关闭搅拌系统，打开出料阀，从出料口107出料。

本实用新型通过设置弯管和楔形档块，弯管将浆料导流至楔形档块上表面，楔形档块又将浆料引流至桶壁，并沿桶壁流下，以此来减缓浆料下流的流速，从而避免进料过程中产生新气泡；另外，沿桶壁流下的浆料，与空气接触面积更大，负压作用的影响面更大，有利于将浆料内的气泡快速抽出，显著提高脱泡效率。

实施例2

本实施例为实施例1的优选实施例。

考虑到脱泡过程中，若能增加浆料与空气的接触面积，将有利于提高脱泡效率。基于此，本实施例对楔形档块106进行了优化，将楔形档块106设计为环型或半环型，当设计为环型，浆料将沿整壁桶壁流下；当设计为半环型，浆料将沿半壁桶壁流下；均增加了浆料与空气的接触面积。

虽然，上文中已经用一般性说明及具体实施方案对本实用新型作了详尽的描述，但在本实用新型基础上，可以对之作一些修改或改进，这对本领域技术人员而言是显而易见的。因此，在不偏离本实用新型精神的基础上所做的这些修改或改进，均属于本实用新型要求保护的范围。

Claims (7)

1.一种扇出型晶圆级封装用封装材料脱泡装置，包括桶主体和搅拌系统，所述桶主体包括桶体和桶盖，桶体用来容纳浆料，搅拌系统用来对浆料进行搅拌，其特征是：

所述桶盖上设有抽真空口和进料口；所述进料口的下端口连接一弯管，弯管出口朝向桶体内壁，且弯管出口靠近桶体内壁；弯管出口下方设有一固定于桶体内壁的楔形档块，当浆料从弯管出口流出正好流到楔形档块上表面，之后浆料沿楔形档块的斜面被引流到桶体内壁，并沿桶体内壁流下。

2.如权利要求1所述的一种扇出型晶圆级封装用封装材料脱泡装置，其特征是：

所述楔形档块为环型或半环型。

3.如权利要求1所述的一种扇出型晶圆级封装用封装材料脱泡装置，其特征是：

所述桶体外侧壁设有锁扣，所述桶盖侧边设有与锁扣位置对应的螺纹孔，螺杆穿过螺纹孔且螺杆底端和锁扣固定连接。

4.如权利要求3所述的一种扇出型晶圆级封装用封装材料脱泡装置，其特征是：

所述锁扣数量为2，且均布于桶体外侧壁；同样的螺杆数量也对应为2。

5.如权利要求3所述的一种扇出型晶圆级封装用封装材料脱泡装置，其特征是：

所述螺杆端头和桶盖之间还设有垫片。

6.如权利要求1所述的一种扇出型晶圆级封装用封装材料脱泡装置，其特征是：

所述桶体底部设有出料口。

7.如权利要求1所述的一种扇出型晶圆级封装用封装材料脱泡装置，其特征是：

所述搅拌系统包括设于桶体内的搅拌轴、设于搅拌轴上的搅拌浆、以及驱动搅拌轴的电机，电机设于桶盖顶部。