CN209747465U - 贴膜机 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种贴膜机，其特征在于，包括贴膜装置、切膜装置、用于输送干膜的送膜机构、以及用于拉动干膜于贴膜装置移动至切膜装置的拉膜机构；拉膜机构包括拉膜固定座、拉膜滑动座、拉膜驱动组件、拉膜安装架、拉膜导辊、拉膜升降驱动件、以及拉膜压块。送膜机构将干膜输送至贴膜装置并位于晶圆的正上方，贴膜装置将干膜贴覆于晶圆表面使得晶圆与干膜粘接，拉膜机构将粘接有晶圆的干膜拉动至切膜装置，切膜装置沿晶圆的边界将多余的干膜切除，进而完成晶圆的贴膜，实现了干膜的自动输送、干膜的自动贴覆以及干膜的自动切割，实现了对晶圆进行贴膜处理，并将晶圆边界外的干膜切除的自动化以及连续性。

Description

贴膜机

技术领域

本实用新型涉及贴膜设备领域，尤其涉及一种贴膜机。

背景技术

晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能的集成电路产品。

晶圆等产品的生产过程中，需要对产品进行贴膜处理，并将产品边界外的干膜切除。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种贴膜机，旨在解决现有技术中，晶圆等产品的生产过程中，需要对产品进行贴膜处理，并将产品边界外的干膜切除的问题。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

贴膜机，包括贴膜装置、切膜装置、用于输送干膜的送膜机构、以及用于拉动干膜于所述贴膜装置移动至所述切膜装置的拉膜机构；所述拉膜机构包括拉膜固定座、与所述拉膜固定座滑动连接的拉膜滑动座、用于驱动所述拉膜滑动座移动的拉膜驱动组件、与所述拉膜滑动座相连的拉膜安装架、设于所述拉膜安装架的拉膜导辊、设于所述拉膜滑动座的拉膜升降驱动件、以及设于所述拉膜升降驱动件的输出端且与所述拉膜导辊相配合的拉膜压块。

进一步地，所述贴膜装置包括贴膜支架、固定设于所述贴膜支架的第一贴膜台、设于所述第一贴膜台的压膜机构、与所述第一贴膜台相对设置的第二贴膜台、用于驱动所述第二贴膜台运动的贴膜升降驱动机构、以及设于所述第一贴膜台与所述第二贴膜台之间且用于锁紧所述第一贴膜台与所述第二贴膜台的锁紧组件。

进一步地，所述贴膜装置还包括设于所述第二贴膜台且用于与所述第一贴膜台相接触的密封圈、以及用于对所述第一贴膜台与所述第二贴膜台之间进行抽真空的抽真空组件；所述抽真空组件包括真空泵、以及与所述真空泵相连的真空管；所述第一贴膜台和/或所述第二贴膜台开设有与所述真空管相通的真空孔。

进一步地，所述压膜机构包括与所述第一贴膜台相连且位于所述第一贴膜台与所述第二贴膜台之间的压膜气囊、以及用于为所述压膜气囊供气的压膜气泵；

或者，所述压膜机构包括设于所述第一贴膜台的压膜气缸、与所述压膜气缸的活动端相连且位于所述第一贴膜台与所述第二贴膜台之间的压膜板。

进一步地，所述锁紧组件包括设于所述第一贴膜台的第一锁紧块、与所述第二贴膜台滑动连接的第一锁紧杆、以及设于所述第二贴膜台且用于驱动所述第一锁紧杆移动的第一锁紧驱动件；所述第一锁紧块开设有与所述第一锁紧杆相配合的第一锁紧孔；所述锁紧组件还包括设于所述第二贴膜台的第一导向块，所述第一导向块开设有以供所述第一锁紧杆通过的第一导向孔；所述锁紧组件还包括设于所述第二贴膜台的第一固定块，所述第一固定块开设有与所述第一锁紧杆相对应的第一固定孔，所述第一固定块与所述第一导向块相对且间隔设置。

进一步地，所述送膜机构包括原料膜供应组件、与所述原料膜供应组件相配合的分膜辊、底膜收卷组件、以及废膜收卷组件。

进一步地，所述原料膜供应组件包括送膜支架、与所述送膜支架转动连接第一气涨轴、用于驱动所述第一气涨轴转动的第一转动驱动件、以及设于所述送膜支架的多个第一张紧辊；所述废膜收卷组件包括与所述送膜支架转动连接的第二气涨轴、用于驱动所述第二气涨轴转动的第二转动驱动件、以及设于所述拉膜固定座的第二张紧辊；所述底膜收卷组件包括与所述送膜支架转动连接第三气涨轴、用于驱动所述第三气涨轴转动的第三转动驱动件、以及设于所述送膜支架的多个第三张紧辊。

进一步地，所述拉膜升降驱动件的数量大于或等于两个，所述拉膜升降驱动件与所述拉膜滑动座滑动连接，所述拉膜滑动座上设有用于分别驱动各个所述拉膜升降驱动件滑动的拉平驱动组件。

进一步地，所述切膜装置包括切割台、切割组件、以及用于带动所述切割组件移动的移动驱动组件；所述切割台的中部设有真空吸盘，所述切割台开设有至少一个圆形的切割让位槽；所述切割组件包括与所述移动驱动组件的输出端相连的切割固定台、切刀组件、以及设于所述切割固定台且用于驱动所述切刀组件完成切割动作的切割驱动组件。

进一步地，所述切割组件还包括设于所述切割驱动组件与所述切刀组件之间的安装板，所述切刀组件与所述安装板转动连接；所述切割组件还包括用于驱动所述切刀组件相对所述安装板转动的破膜驱动组件；所述切刀组件包括与所述安装板转动连接的刀座、以及固定安装于所述刀座的刀具；所述破膜驱动组件包括与所述刀座转动连接的转动块、以及活动端与所述转动块相连的驱动气缸；所述驱动气缸的固定端与所述安装板转动连接。

进一步地，所述刀座上设有第一转动座；所述转动块与所述第一转动座转动连接；所述安装板上设有第二转动座；所述驱动气缸的固定端与所述第二转动座转动连接。

进一步地，所述切割让位槽的侧壁开设有下刀避让缺口。

进一步地，所述切割驱动组件与所述安装板之间设有连接板，所述连接板开设有连接通孔，所述安装板于长度方向开设有若干螺纹孔；所述连接板与所述安装板之间设有连接螺钉，所述连接螺钉贯穿所述连接通孔并与所述螺纹孔螺纹连接。

进一步地，所述移动驱动组件包括支撑台、设于所述支撑台的水平驱动模组、以及与所述水平驱动模组的输出端相连的竖直驱动模组；所述切割固定台与所述竖直驱动模组的输出端相连；所述水平驱动模组包括设于所述支撑台的水平电机、与所述水平电机的输出轴相连的水平丝杠轴、套设于所述水平丝杠轴的外部的水平丝杠螺母、以及与所述水平丝杠螺母相连的水平移动板；所述竖直驱动模组包括设于所述水平移动板的竖直电机、与所述竖直电机的输出轴相连的竖直丝杠轴、套设于所述竖直丝杠轴的外部的竖直丝杠螺母、以及与所述竖直丝杠螺母相连的竖直移动板，所述切割固定台与所述竖直移动板相连。

进一步地，所述拉膜压块靠近所述拉膜导辊的一侧的表面开设有与所述拉膜导辊相对应的拉膜凹槽；所述拉膜导辊设有与所述拉膜压块相接触的拉膜柔性件。

进一步地，贴膜升降驱动机构包括贴膜底座、以及设于所述贴膜底座的升降气缸；所述第二贴膜台与所述升降气缸的活动端相连；所述贴膜升降驱动机构还包括与所述贴膜底座滑动连接的贴膜导轨、以及用于驱动所述贴膜底座沿所述贴膜导轨滑动的贴膜滑动气缸；所述贴膜底座开设有贴膜导向孔，所述贴膜升降驱动机构还包括位于所述贴膜导向孔内的贴膜导向杆，所述贴膜导向杆于所述贴膜导向孔内与所述贴膜底座滑动连接。

进一步地，所述第一贴膜台设有第一加热组件，所述第一加热组件包括第一加热件、与所述第一加热件靠近所述第二贴膜台的一侧相连的第一导热件、以及与所述第一加热件远离所述第一导热件的一侧相连的第一隔热件。

进一步地，所述第二贴膜台设有第二加热组件，所述第二加热组件包括第二加热件、与所述第二加热件靠近所述第一贴膜台的一侧相连的第二导热件、以及与所述第二加热件远离所述第二导热件的一侧相连的第二隔热件。

进一步地，所述锁紧组件包括设于所述第二贴膜台的第二锁紧块、与所述第一贴膜台滑动连接的第二锁紧杆、以及设于所述第一贴膜台且用于驱动所述第二锁紧杆移动的第二锁紧驱动件；所述第二锁紧块开设有与所述第二锁紧杆相配合的第二锁紧孔；所述锁紧组件还包括设于所述第一贴膜台的第二导向块，所述第二导向块开设有以供所述第二锁紧杆通过的第二导向孔；所述锁紧组件还包括设于所述第一贴膜台的第二固定块，所述第二固定块开设有与所述第二锁紧杆相对应的第二固定孔，所述第二固定块与所述第二导向块相对且间隔设置。

进一步地，所述贴膜支架包括相对且间隔设置的两块贴膜立板，所述贴膜立板开设有贴膜让位孔。

本实用新型的有益效果：送膜机构将干膜输送至贴膜装置并位于晶圆的正上方，贴膜装置将干膜贴覆于晶圆表面使得晶圆与干膜粘接，拉膜机构将粘接有晶圆的干膜拉动至切膜装置，切膜装置沿晶圆的边界将多余的干膜切除，进而完成晶圆的贴膜，实现了干膜的自动输送、干膜的自动贴覆以及干膜的自动切割，实现了对晶圆进行贴膜处理，并将晶圆边界外的干膜切除的自动化以及连续性。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型的实施例中贴膜机的第一视角的结构示意图；

图2为本实用新型的实施例中拉膜机构的结构示意图；

图3为图2中A处的局部放大图；

图4为本实用新型的实施例中贴膜机的第二视角的结构示意图；

图5为本实用新型的实施例中贴膜装置的结构示意图；

图6为图5中B处的局部放大图；

图7为本实用新型的实施例中锁紧组件的结构示意图；

图8为本实用新型的实施例中贴膜装置的剖视图；

图9为本实用新型的实施例中切膜装置的结构示意图；

图10为本实用新型的实施例中切割组件的结构示意图；

图11为本实用新型的实施例中切割台的结构示意图；

图中：

500、原料膜；5001、干膜；50011、废膜；5002、底膜；600、晶圆；

1、送膜机构；11、原料膜供应组件；111、送膜支架；112、第一气涨轴；113、第一张紧辊；12、分膜辊；13、底膜收卷组件；131、第三气涨轴；132、第三张紧辊；14、废膜收卷组件；141、第二气涨轴；142、第二张紧辊；

2、拉膜机构；21、拉膜固定座；22、拉膜滑动座；23、拉膜驱动组件；24、拉膜安装架；25、拉膜导辊；251、拉膜柔性件；26、拉膜升降驱动件；27、拉膜压块；271、拉膜凹槽；28、拉平驱动组件；

3、贴膜装置；31、贴膜支架；311、贴膜立板；3111、贴膜让位孔；32、第一贴膜台；33、压膜机构；331、压膜气缸；332、压膜板；34、第二贴膜台；35、贴膜升降驱动机构；351、贴膜底座；352、升降气缸；353、贴膜导轨；354、贴膜滑动气缸；355、贴膜导向杆；36、锁紧组件；361、第一锁紧块；3611、第一锁紧孔；362、第一锁紧杆；363、第一锁紧驱动件；364、第一导向块；365、第一固定块；3651、第一固定孔；37、密封圈；38、第一加热组件；381、第一加热件；382、第一导热件；383、第一隔热件；39、第二加热组件；391、第二加热件；392、第二导热件；393、第二隔热件；

4、切膜装置；41、切割台；411、切割让位槽；412、下刀避让缺口；42、切割组件；421、切割固定台；422、切刀组件；4221、刀座；42211、第一转动座；4222、刀具；423、切割驱动组件；424、安装板；4241、第二转动座；425、破膜驱动组件；4251、转动块；4252、驱动气缸；426、连接板；43、移动驱动组件；431、支撑台；432、水平驱动模组；4321、水平电机；433、竖直驱动模组；4331、竖直电机。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者间接在该另一个元件上。当一个元件被称为是“连接于”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或间接连接至该另一个元件上。

需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

以下结合具体实施例对本实用新型的实现进行详细的描述。

如图1-图11所示，本实用新型实施例提出了一种贴膜机，包括贴膜装置3、切膜装置4、用于输送干膜5001的送膜机构1、以及用于拉动干膜5001于贴膜装置3移动至切膜装置4的拉膜机构2；拉膜机构2包括拉膜固定座21、与拉膜固定座21滑动连接的拉膜滑动座22、用于驱动拉膜滑动座22移动的拉膜驱动组件23(可为电机与丝杠副配合的方式带动拉膜滑动座22沿拉膜固定座21滑动)、与拉膜滑动座22相连的拉膜安装架24、设于拉膜安装架24的拉膜导辊25、设于拉膜滑动座22的拉膜升降驱动件26(可为气缸)、以及设于拉膜升降驱动件26的输出端且与拉膜导辊25相配合的拉膜压块27。

在本实用新型的实施例中，贴膜机的贴膜过程为：晶圆600(或其他待贴膜产品产品)放置于贴膜装置3的贴膜位，送膜机构1将干膜5001输送至贴膜装置3并位于晶圆600的正上方，贴膜装置3将干膜5001贴覆于晶圆600表面使得晶圆600与干膜5001粘接，拉膜机构2将粘接有晶圆600的干膜5001拉动至切膜装置4，切膜装置4沿晶圆600的边界将多余的干膜5001切除，进而完成晶圆600的贴膜，实现了干膜5001的自动输送、干膜5001的自动贴覆以及干膜5001的自动切割，实现了对晶圆600进行贴膜处理，并将晶圆600边界外的干膜5001切除的自动化以及连续性。拉膜机构2拉动干膜5001(可为带状干膜5001)并带动晶圆600移动的过程为：拉膜驱动组件23带动拉膜滑动座22沿拉膜固定座21滑动至靠近贴膜装置3的位置，拉膜升降驱动件26带动拉膜压块27将干膜5001压紧于拉膜导辊25与拉膜压块27之间，然后拉膜驱动组件23带动拉膜滑动座22沿拉膜固定座21向靠近切膜装置4(也即远离贴膜装置3的方向)的方向移动，并最终将干膜5001粘接有有晶圆600的位置拉动至切膜装置4，以供切膜装置4对干膜5001进行切割。

进一步地，请参阅图5-图8，作为本实用新型提供的贴膜机的另一种具体实施方式，贴膜装置3包括贴膜支架31、固定设于贴膜支架31的第一贴膜台32、设于第一贴膜台32的压膜机构33、与第一贴膜台32相对设置的第二贴膜台34、用于驱动第二贴膜台34运动的贴膜升降驱动机构35、以及设于第一贴膜台32与第二贴膜台34之间且用于锁紧第一贴膜台32与第二贴膜台34的锁紧组件36。贴膜装置3的贴膜过程为：将晶圆600放置于第二贴膜台34上，干膜5001位于第一贴膜台32与第二贴膜台34之间且位于晶圆600的正上方，然后贴膜升降驱动机构35带动第二贴膜台34上升并逐渐靠近第一贴膜台32，当第二贴膜台34与第一贴膜台32接触后，锁紧组件36将第一贴膜台32与第二贴膜台34锁紧，压膜机构33动作对干膜5001及晶圆600施力，使得干膜5001贴附于晶圆600的表面，进而完成晶圆600的贴膜，且由于锁紧组件36将第一贴膜台32与第二贴膜台34锁紧，因此压膜机构33动作对干膜5001及晶圆600施力时，第一贴膜台32与第二贴膜台34之间不会发生相对运动，压膜机构33可对干膜5001及晶圆600充分施力，保证干膜5001与晶圆600之间贴合的紧密性。

进一步地，请参阅图8，作为本实用新型提供的贴膜机的另一种具体实施方式，贴膜装置3还包括设于第二贴膜台34且用于与第一贴膜台32相接触的密封圈37、以及用于对第一贴膜台32与第二贴膜台34之间进行抽真空的抽真空组件；抽真空组件包括真空泵、以及与真空泵相连的真空管；第一贴膜台32或第二贴膜台34开设有与真空管相通的真空孔(第一贴膜台32或第二贴膜台34也可同时开设有真空孔)。贴膜升降驱动机构35带动第二贴膜台34上升并逐渐靠近第一贴膜台32，当第二贴膜台34上的密封圈37与第一贴膜台32密封接触后，锁紧组件36将第一贴膜台32与第二贴膜台34锁紧，抽真空组件对对第一贴膜台32与第二贴膜台34之间进行抽真空，使得第一贴膜台32与第二贴膜台34之间的空气被抽离，然后压膜机构33动作对干膜5001及晶圆600施力，由于第一贴膜台32与第二贴膜台34之间接近真空的状态，避免了干膜5001贴附于晶圆600后晶圆600与干膜5001之间存在气泡。真空泵通过真空管以及与真空管相通的真空孔将第一贴膜台32与第二贴膜台34之间的空气抽离，实现抽真空作用。真空孔设置在第二贴膜台34时，真空孔位于密封圈37的边界范围内；真空孔设置在第一贴膜台32时，真空孔位于第一贴膜台32与密封圈37接触的环形范围内。

进一步地，作为本实用新型提供的贴膜机的另一种具体实施方式，压膜机构33包括与第一贴膜台32相连且位于第一贴膜台32与第二贴膜台34之间的压膜气囊、以及用于为压膜气囊供气的压膜气泵(图中未示出)；压膜气泵通过压膜气管向压膜气囊充气，压膜气囊充气后体积膨胀并将干膜5001紧密压合于晶圆600上，由于压膜气囊内充满气体，因此压膜气囊各处对干膜5001及晶圆600施加的压力基本相同，使得干膜5001各处均与晶圆600较好的贴合，避免了局部贴合效果差的问题，进而提升了将干膜5001压合于晶圆600的效果。

于本实用新型的其他实施例中，如图8所示，压膜机构33包括设于第一贴膜台32的压膜气缸331、与压膜气缸331的活动端相连且位于第一贴膜台32与第二贴膜台34之间的压膜板332。压膜气缸331的活塞杆(也即活动端)带动压膜板332移动并对干膜5001与晶圆600施力，以完成对干膜5001与晶圆600之间的压紧作用，完成压膜动作。

进一步地，请参阅图7，作为本实用新型提供的贴膜机的另一种具体实施方式，锁紧组件36包括设于第一贴膜台32的第一锁紧块361、与第二贴膜台34滑动连接的第一锁紧杆362、以及设于第二贴膜台34且用于驱动第一锁紧杆362移动的第一锁紧驱动件363；第一锁紧块361开设有与第一锁紧杆362相配合的第一锁紧孔3611；锁紧组件36还包括设于第二贴膜台34的第一导向块364，第一导向块364开设有以供第一锁紧杆362通过的第一导向孔；锁紧组件36还包括设于第二贴膜台34的第一固定块365，第一固定块365开设有与第一锁紧杆362相对应的第一固定孔3651，第一固定块365与第一导向块364相对且间隔设置。锁紧组件36将第一贴膜台32与第二贴膜台34锁紧的过程为：第一锁紧驱动件363(可为气缸等驱动件)带动第一锁紧杆362移动并伸入第一贴膜台32上的第一锁紧块361的第一锁紧孔3611内，此时第一锁紧杆362将第一锁紧块361限位，因此第一贴膜台32无法相对第二贴膜台34移动。第一锁紧杆362于第一导向孔内与第二贴膜台34滑动连接。当第一锁紧杆362伸入第一贴膜台32上的第一锁紧块361的第一锁紧孔3611内后，第一锁紧杆362继续移动至第一固定块365上的第一固定孔3651内，此时第一锁紧块361位于第一固定块365与第一导向块364之间，第一锁紧杆362的两端分别位于第一固定块365与第一导向块364内，提升对第一锁紧块361的锁紧作用，保证对第一贴膜台32与第二贴膜台34之间的锁紧效果。

进一步地，请参阅图1，作为本实用新型提供的贴膜机的另一种具体实施方式，送膜机构1包括设于贴膜装置3远离切膜装置4以此的原料膜供应组件11、原料膜供应组件11与贴膜装置3之间且与原料膜供应组件11相配合的分膜辊12、底膜收卷组件13、以及设于切膜装置4远离贴膜装置3的一侧的废膜收卷组件14。原料膜供应组件11用于输送原料膜500，原料膜500于分膜辊12处被分离为带状的干膜5001与底膜5002；干膜5001继续运动至贴膜机构，与晶圆600贴覆后被切膜装置4切除部分形成废膜50011被废膜收卷组件14收卷，底膜收卷组件13用于收卷底膜5002。

进一步地，请参阅图1-图3，作为本实用新型提供的贴膜机的另一种具体实施方式，原料膜供应组件11包括送膜支架111、与送膜支架111转动连接第一气涨轴112、用于驱动第一气涨轴112转动的第一转动驱动件(可为电机)、以及设于送膜支架111的多个第一张紧辊113；废膜收卷组件14包括与送膜支架111转动连接的第二气涨轴141、用于驱动第二气涨轴141转动的第二转动驱动件(可为电机)、以及设于拉膜固定座21的第二张紧辊142；底膜收卷组件13包括与送膜支架111转动连接第三气涨轴131、用于驱动第三气涨轴131转动的第三转动驱动件(可为电机)、以及设于送膜支架111的多个第三张紧辊132。第一气涨轴112释放的原料膜500环绕多个第一张紧辊113后到达分膜辊12，底膜5002环绕多个第三张紧辊132后被第三气涨轴131收卷，废膜50011经过第二张紧辊142后被第二气涨轴141收卷。

进一步地，请参阅图2，作为本实用新型提供的贴膜机的另一种具体实施方式，拉膜升降驱动件26的数量大于或等于两个，拉膜升降驱动件26与拉膜滑动座22滑动连接，拉膜滑动座22上设有用于分别驱动各个拉膜升降驱动件26滑动的拉平驱动组件28(可为电机与丝杠副配合的方式带动拉膜升降驱动件26沿拉膜滑动座22滑动)。拉平驱动组件28的数量与拉膜升降驱动件26的数量相同且一一对应，可分别带动各个拉膜升降驱动件26于拉膜滑动座22上滑动。在干膜5001贴覆于晶圆600之前，当干膜5001具有一定的褶皱时，其中两个拉膜升降驱动件26在拉平驱动组件28的带动下于干膜5001的中部分别向两侧移动，并通过拉膜压块27将干膜5001拉平，提升贴膜的平整性。

进一步地，请参阅图9，作为本实用新型提供的贴膜机的另一种具体实施方式，切膜装置4包括切割台41、切割组件42、以及用于带动切割组件42移动的移动驱动组件43；切割台41的中部设有真空吸盘，切割台41开设有至少一个圆形的切割让位槽411；切割组件42包括与移动驱动组件43的输出端相连的切割固定台421、切刀组件422、以及设于切割固定台421且用于驱动切刀组件422完成切割动作的切割驱动组件423(可为电机等具有带动切刀组件422完成轨迹为圆形的切割动作的驱动机构)。切膜装置4的切膜过程为：当附着于带状干膜5001的晶圆600随着干膜5001带的移动并到达切割台41的正上方时，切割台41上的真空吸盘将晶圆600吸住定位，移动驱动组件43将切割组件42带动至晶圆600的正上方，切割驱动组件423带动切刀组件422沿着晶圆600的边界对干膜5001进行切割，使得晶圆600与干膜5001带整体分离，进而获得贴覆有干膜5001的成品晶圆600。真空吸盘可稳定的将晶圆600吸附固定，且对晶圆600进行固定时晶圆600表面不会受到损坏，切割让位槽411以供切刀组件422完成切割动作时的通过，避免刀具4222对切割台41的损坏或者切割台41对刀具4222的损坏。

进一步地，请参阅图10，作为本实用新型提供的贴膜机的另一种具体实施方式，切割组件42还包括设于切割驱动组件423与切刀组件422之间的安装板424，切刀组件422与安装板424转动连接；切割组件42还包括用于驱动切刀组件422相对安装板424转动的破膜驱动组件425；切割组件42在初始状态下，切刀组件422向远离待切割产品(为对晶圆600等产品上的干膜5001进行切割)的方向倾斜，且切刀组件422位于干膜5001的上方且间隙较小；破膜驱动组件425带动切刀组件422向靠近待切割产品的方向转动，切刀组件422转动过程具有水平及竖直方向的两个分运动，竖直分运动使得切刀组件422将干膜5001切破并使得切刀组件422的端部低于待切割产品，水平分运动使得切刀组件422向靠近待切割产品的方向运动直至与晶圆600的边界抵接；因此可实现切刀组件422在低于低于待切割产品后再与待切割产品的边界抵接，不会对待切割产品造成损坏。相对于切刀组件422直接从竖直方向向下运动将干膜5001切破并与待切割产品的边界抵接的方式，能避免切刀组件422直接从竖直方向向下运动时将待切割产品损坏。安装板424可通过连接板426与切割驱动组件423的输出端相连。切刀组件422包括与安装板424转动连接的刀座4221、以及固定安装于刀座4221的刀具4222；破膜驱动组件425包括与刀座4221转动连接的转动块4251、以及活动端与转动块4251相连的驱动气缸4252；驱动气缸4252的固定端与安装板424转动连接。刀座4221相对安装板424转动时带动刀具4222转动。切刀组件422也可为切刀直接与安装板424转动连接。刀具4222上设有倾斜的刀刃，刀具4222上设有与刀座4221相连多个安装位置，以实现刀具4222伸出刀座4221的长度的调节。破膜驱动组件425带动切刀组件422转动的过程为：驱动气缸4252的活动端的伸缩过程带动转动块4251的运动，转动块4251运动过程中带动切刀组件422转动。

进一步地，请参阅图10，作为本实用新型提供的贴膜机的另一种具体实施方式，刀座4221上设有第一转动座42211；转动块4251与第一转动座42211转动连接；安装板424上设有第二转动座4241；驱动气缸4252的固定端与第二转动座4241转动连接。第一转动座42211可为相对且间隔设置的两块导向板，转动块4251与第一转动座42211的导向板之间可设置转轴以实现转动连接。第二转动座4241可为相对且间隔设置的两块导向板，驱动气缸4252的固定端与第二转动座4241的导向板之间可设置转轴以实现转动连接。

进一步地，请参阅图11，作为本实用新型提供的贴膜机的另一种具体实施方式，切割让位槽411的侧壁开设有下刀避让缺口412。破膜驱动组件425带动切刀组件422向靠近晶圆600的方向转动并实现刀具4222低于晶圆600上表面的过程中，刀具4222通过下刀避让缺口412进入切割让位槽411内。

进一步地，请参阅图10，作为本实用新型提供的贴膜机的另一种具体实施方式，切割驱动组件423与安装板424之间设有连接板426，连接板426开设有连接通孔，安装板424于长度方向开设有若干螺纹孔；连接板426与安装板424之间设有连接螺钉，连接螺钉贯穿连接通孔并与螺纹孔螺纹连接。连接板426开设有连接通孔，安装板424于长度方向开设有若干螺纹孔；连接板426与安装板424之间设有连接螺钉，可调节安装板424伸出于连接板426的长度，进而调节设置在安装板424上的切刀组件422随着安装板424做圆周切割运动时，圆周的半径可调节，以适应不同尺寸的晶圆600。切割让位槽411的数量为多个，各个切割让位槽411的圆心相同，因此不同尺寸的产品可放置于切割台41时，只需调节安装板424伸出于连接板426的长度，无需移动切刀组件422整体的位置。连接板426开设有滑动槽，安装板424设有位于滑动槽内的滑动凸起。调节安装板424伸出于连接板426的长度时，可操作安装板424沿着连接板426滑动至预设长度，再用连接螺钉锁紧，操作便捷。

进一步地，请参阅图9，作为本实用新型提供的贴膜机的另一种具体实施方式，移动驱动组件43包括支撑台431、设于支撑台431的水平驱动模组432、以及与水平驱动模组432的输出端相连的竖直驱动模组433；切割固定台421与竖直驱动模组433的输出端相连；竖直驱动模组433用于带动切割固定台421沿竖直方向的上下运动，水平驱动模组432用于带动竖直驱动模组433于水平面内做前后运动，因此将支撑台431固定于与切割台41的中心共线的位置，即可通过竖直驱动模组433与水平驱动模组432的配合带动设置在切割固定台421上的切割驱动组件423及切刀组件422运动至切割台41的中部位置，以实现对晶圆600边缘额干膜5001进行切割。水平驱动模组432包括设于支撑台431的水平电机4321、与水平电机4321的输出轴相连的水平丝杠轴、套设于水平丝杠轴的外部的水平丝杠螺母、以及与水平丝杠螺母相连的水平移动板；竖直驱动模组433包括设于水平移动板的竖直电机4331、与竖直电机4331的输出轴相连的竖直丝杠轴、套设于竖直丝杠轴的外部的竖直丝杠螺母、以及与竖直丝杠螺母相连的竖直移动板，切割固定台421与竖直移动板相连。水平驱动模组432为由水平电机4321带动水平丝杠轴与水平丝杠螺母组成的丝杠副带动水平移动板移动，水平驱动模组432还包括现有技术中丝杠副工作必备的轴承等部件；竖直驱动模组433为由竖直电机4331带动竖直丝杠轴与竖直丝杠螺母组成的丝杠副带动竖直移动板移动，竖直驱动模组433还包括现有技术中丝杠副工作必备的轴承等部件。

进一步地，请参阅图6，作为本实用新型提供的贴膜机的另一种具体实施方式，拉膜压块27靠近拉膜导辊25的一侧的表面开设有与拉膜导辊25相对应的拉膜凹槽271；拉膜导辊25设有与拉膜压块27相接触的拉膜柔性件251。拉膜凹槽271使得拉膜压块27与干膜5001的接触面积显著增加，当拉膜压块27与拉膜导辊25配合将干膜5001压紧时能有效避免干膜5001相对拉膜压块27的滑动；拉膜凹槽271的设置相对于拉膜压块27与干膜5001的平面接触进一步避免干膜5001的滑动。拉膜柔性件251具有一定的摩擦力，能避免干膜5001相对拉膜导辊25滑动。拉膜柔性件251可为硅橡胶件等摩擦力较好的柔性件。

进一步地，请参阅图5，作为本实用新型提供的贴膜机的另一种具体实施方式，贴膜升降驱动机构35包括贴膜底座351、以及设于贴膜底座351的升降气缸352；第二贴膜台34与升降气缸352的活动端相连；设置在贴膜底座351上的升降气缸352带动第二贴膜台34的升降运动以实现将第一贴膜台32与第二贴膜台34上的密封圈37相接触。贴膜升降驱动机构35还包括与贴膜底座351滑动连接的贴膜导轨353、以及用于驱动贴膜底座351沿贴膜导轨353滑动的贴膜滑动气缸354；贴膜滑动气缸354可带动贴膜底座351沿贴膜导轨353滑动，因此晶圆600在第二贴膜台34完成贴膜后可随着第二贴膜台34及贴膜底座351离开第一贴膜台32的正下方，人工和机械手可将晶圆600取出下料。贴膜底座351开设有贴膜导向孔，贴膜升降驱动机构35还包括位于贴膜导向孔内的贴膜导向杆355，贴膜导向杆355与第二贴膜台34相连，贴膜导向杆355于贴膜导向孔内与贴膜底座351滑动连接。升降气缸352带动第二贴膜台34于竖直方向运动时，与第二贴膜台34相连的贴膜导向杆355于贴膜导向孔内与贴膜底座351滑动，避免第二贴膜台34的横向偏移。

进一步地，请参阅图8，作为本实用新型提供的贴膜机的另一种具体实施方式，第一贴膜台32设有第一加热组件38，第一加热组件38包括第一加热件381、与第一加热件381靠近第二贴膜台34的一侧相连的第一导热件382、以及与第一加热件381远离第一导热件382的一侧相连的第一隔热件383。第一加热件381发热产生热量通过第一导热件382传导至压膜气囊(于其他实施例中也可为传导至压膜板332)并对干膜5001加热，以缓解干膜5001上的胶水的硬化。在第一加热件381远离第一导热件382的一侧设置第一隔热件383，避免第一加热件381产生的热量通过传递至其他位置，进而提升热量的利用率。

进一步地，请参阅图8，作为本实用新型提供的贴膜机的另一种具体实施方式，第二贴膜台34设有第二加热组件39，第二加热组件39包括第二加热件391、与第二加热件391靠近第一贴膜台32的一侧相连的第二导热件392、以及与第二加热件391远离第二导热件392的一侧相连的第二隔热件393。第二加热组件39可与第一加热组件38相配合对干膜5001加热，进一步缓解干膜5001上的胶水的硬化。第二加热件391发热产生热量通过第二导热件392传导至第二贴膜台34，使得放置在第二贴膜台34上的晶圆600及干膜5001受热。在第二加热件391远离第一贴膜台32的一侧设置第二隔热件393，避免热量向远离第一贴膜台32的方向传递，提升热量的利用率。

进一步地，作为本实用新型提供的贴膜机的另一种具体实施方式，锁紧组件36包括设于第二贴膜台34的第二锁紧块、与第一贴膜台32滑动连接的第二锁紧杆、以及设于第一贴膜台32且用于驱动第二锁紧杆移动的第二锁紧驱动件；第二锁紧块开设有与第二锁紧杆相配合的第二锁紧孔；锁紧组件36还包括设于第一贴膜台32的第二导向块，第二导向块开设有以供第二锁紧杆通过的第二导向孔；锁紧组件36还包括设于第一贴膜台32的第二固定块，第二固定块开设有与第二锁紧杆相对应的第二固定孔，第二固定块与第二导向块相对且间隔设置。锁紧组件36将第一贴膜台32与第二贴膜台34锁紧的过程为：第二锁紧驱动件(可为气缸等驱动件)带动第二锁紧杆移动并伸入第二贴膜台34上的第二锁紧块的第二锁紧孔内，此时第二锁紧杆将第二锁紧块限位，因此第二贴膜台34无法相对第一贴膜台32移动。第二锁紧杆于第二导向孔内与第一贴膜台32滑动连接。当第二锁紧杆伸入第二贴膜台34上的第二锁紧块的第二锁紧孔内后，第二锁紧杆继续移动至第二固定块上的第二固定孔内，此时第二锁紧块位于第二固定块与第二导向块之间，第二锁紧杆的两端分别位于第二固定块与第二导向块内，提升对第二锁紧块的锁紧作用，保证对第一贴膜台32与第二贴膜台34之间的锁紧效果。

进一步地，请参阅图5，作为本实用新型提供的贴膜机的另一种具体实施方式，贴膜支架31包括相对且间隔设置的两块贴膜立板311，贴膜立板311开设有贴膜让位孔3111。第一贴膜台32安装固定于两块贴膜立板311之间，第二贴膜台34位于第一贴膜台32的正下方，贴膜让位孔3111以供带状的干膜5001进入第一贴膜台32与第二贴膜台34之间，可持续为晶圆600提供干膜5001。

需要声明的是，另一种具体实施方式中的方案可为在其他实施例的基础上进一步改进的实施方案。

显然，本实用新型的上述实施例仅仅是为了清楚说明本实用新型所作的举例，而并非是对本实用新型的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型权利要求的保护范围之内。

Claims (10)

1.贴膜机，其特征在于，包括贴膜装置、切膜装置、用于输送干膜的送膜机构、以及用于拉动干膜于所述贴膜装置移动至所述切膜装置的拉膜机构；所述拉膜机构包括拉膜固定座、与所述拉膜固定座滑动连接的拉膜滑动座、用于驱动所述拉膜滑动座移动的拉膜驱动组件、与所述拉膜滑动座相连的拉膜安装架、设于所述拉膜安装架的拉膜导辊、设于所述拉膜滑动座的拉膜升降驱动件、以及设于所述拉膜升降驱动件的输出端且与所述拉膜导辊相配合的拉膜压块。

2.根据权利要求1所述的贴膜机，其特征在于，所述贴膜装置包括贴膜支架、固定设于所述贴膜支架的第一贴膜台、设于所述第一贴膜台的压膜机构、与所述第一贴膜台相对设置的第二贴膜台、用于驱动所述第二贴膜台运动的贴膜升降驱动机构、以及设于所述第一贴膜台与所述第二贴膜台之间且用于锁紧所述第一贴膜台与所述第二贴膜台的锁紧组件。

3.根据权利要求2所述的贴膜机，其特征在于，所述贴膜装置还包括设于所述第二贴膜台且用于与所述第一贴膜台相接触的密封圈、以及用于对所述第一贴膜台与所述第二贴膜台之间进行抽真空的抽真空组件；所述抽真空组件包括真空泵、以及与所述真空泵相连的真空管；所述第一贴膜台和/或所述第二贴膜台开设有与所述真空管相通的真空孔。

4.根据权利要求2所述的贴膜机，其特征在于，所述压膜机构包括与所述第一贴膜台相连且位于所述第一贴膜台与所述第二贴膜台之间的压膜气囊、以及用于为所述压膜气囊供气的压膜气泵；

或者，所述压膜机构包括设于所述第一贴膜台的压膜气缸、与所述压膜气缸的活动端相连且位于所述第一贴膜台与所述第二贴膜台之间的压膜板。

5.根据权利要求2所述的贴膜机，其特征在于，所述锁紧组件包括设于所述第一贴膜台的第一锁紧块、与所述第二贴膜台滑动连接的第一锁紧杆、以及设于所述第二贴膜台且用于驱动所述第一锁紧杆移动的第一锁紧驱动件；所述第一锁紧块开设有与所述第一锁紧杆相配合的第一锁紧孔；所述锁紧组件还包括设于所述第二贴膜台的第一导向块，所述第一导向块开设有以供所述第一锁紧杆通过的第一导向孔；所述锁紧组件还包括设于所述第二贴膜台的第一固定块，所述第一固定块开设有与所述第一锁紧杆相对应的第一固定孔，所述第一固定块与所述第一导向块相对且间隔设置。

6.根据权利要求1-5任一项所述的贴膜机，其特征在于，所述送膜机构包括原料膜供应组件、与所述原料膜供应组件相配合的分膜辊、底膜收卷组件、以及废膜收卷组件。

7.根据权利要求6所述的贴膜机，其特征在于，所述原料膜供应组件包括送膜支架、与所述送膜支架转动连接第一气涨轴、用于驱动所述第一气涨轴转动的第一转动驱动件、以及设于所述送膜支架的多个第一张紧辊；所述废膜收卷组件包括与所述送膜支架转动连接的第二气涨轴、用于驱动所述第二气涨轴转动的第二转动驱动件、以及设于所述拉膜固定座的第二张紧辊；所述底膜收卷组件包括与所述送膜支架转动连接第三气涨轴、用于驱动所述第三气涨轴转动的第三转动驱动件、以及设于所述送膜支架的多个第三张紧辊。

8.根据权利要求1-5任一项所述的贴膜机，其特征在于，所述拉膜升降驱动件的数量大于或等于两个，所述拉膜升降驱动件与所述拉膜滑动座滑动连接，所述拉膜滑动座上设有用于分别驱动各个所述拉膜升降驱动件滑动的拉平驱动组件。

9.根据权利要求1-5任一项所述的贴膜机，其特征在于，所述切膜装置包括切割台、切割组件、以及用于带动所述切割组件移动的移动驱动组件；所述切割台的中部设有真空吸盘，所述切割台开设有至少一个圆形的切割让位槽；所述切割组件包括与所述移动驱动组件的输出端相连的切割固定台、切刀组件、以及设于所述切割固定台且用于驱动所述切刀组件完成切割动作的切割驱动组件。

10.根据权利要求9所述的贴膜机，其特征在于，所述切割组件还包括设于所述切割驱动组件与所述切刀组件之间的安装板，所述切刀组件与所述安装板转动连接；所述切割组件还包括用于驱动所述切刀组件相对所述安装板转动的破膜驱动组件；所述切刀组件包括与所述安装板转动连接的刀座、以及固定安装于所述刀座的刀具；所述破膜驱动组件包括与所述刀座转动连接的转动块、以及活动端与所述转动块相连的驱动气缸；所述驱动气缸的固定端与所述安装板转动连接。