CN209729881U - 带输送定位的硅片传输机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种带输送定位的硅片传输机构，包括并行设置的两组传送带，两组传送带分别支撑在各自的一对传送轮上，两组传送带上均安装有多个硅片定位部件；硅片定位部件具有连接为一体的定位主体和安装块，硅片定位部件通过安装块能够拆卸的固定在传送带上，定位主体上匹配硅片的边角设有定位导向部；当前传送带上硅片定位部件的定位主体向另一传送带方向延伸，两组传送带上的硅片定位部件配合定位支撑硅片。本实用新型的硅片传输机构，将硅片从之前工位传送至取料机械手取料位置的同时，通过分别设置在两组传送带上的多组硅片定位部件配合对硅片进行定位，使得传送带上的每个硅片被定点定位的传送至目标位置。

Description

带输送定位的硅片传输机构

技术领域

本实用新型涉及硅片自动化设备技术领域，具体涉及一种带输送定位的硅片传输机构。

背景技术

硅片的PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)工艺中，利用强电场或磁场使所需的气体源分子电离产生等离子体，等离子体中含有很多活性很高的化学基团，这些基团经过一系列化学和等离子体反应，在硅基片表面形成固态薄膜，其主要作用是在太阳能电池及硅晶片的表面镀一层SiN薄膜，这层薄膜可以减少太阳光的反射率，增加光电转换效率，同时具有良好的抗氧化和绝缘性能、良好的掩蔽金属和水离子扩散的能力。

位于之前工位上的硅基片借助传输机构送料，再借助取料机械手(或者带有吸盘的机械手)从传输机构上吸附硅基片并送入托盘，装载有硅基片的托盘送入PECVD设备中进行PECVD工艺。

现有的硅片传输机构由皮带轮支撑并传动的皮带构成，皮带将之前工位上的硅片输送至取料机械手的取料位置，为了取料机械手顺利的将皮带上的硅片移料至托盘，借助皮带传送的硅片要求具有一定的位置精度，现有的传输机构没有定位设计，取料机械手取料前需要采集各个硅片的位置，再对应硅片的位置适时调整取料末端的位置，不利于硅片PECVD工艺整体生产效率的提高。

发明内容

本实用新型要解决的技术问题是提供一种带输送定位的硅片传输机构，将硅片从之前工位传送至取料机械手取料位置的同时，通过分别设置在两组传送带上的多组硅片定位部件配合对硅片进行定位，使得传送带上的每个硅片定点定位的被传送至目标位置，使用后能够提高取料机械手的取料效率，利于硅片PECVD工艺整体生产效率的提高。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种带输送定位的硅片传输机构，包括并行设置的两组传送带，所述两组传送带分别支撑在各自的一对传送轮上，所述两组传送带在动力源的驱动下同步移动，所述两组传送带上均安装有多个硅片定位部件；所述硅片定位部件具有连接为一体的定位主体和安装块，所述硅片定位部件通过安装块能够拆卸的固定在传送带上，所述定位主体上匹配硅片的边角设有定位导向部；当前传送带上硅片定位部件的定位主体向另一传送带方向延伸，所述两组传送带上的硅片定位部件配合定位支撑所述硅片。

本实用新型一个较佳实施例中，进一步包括所述定位主体上设有用于支撑硅片的支撑柱。

本实用新型一个较佳实施例中，进一步包括所述定位主体上设有分隔筋，所述定位主体位于分隔筋的两侧对称形成两组定位部，所述两组定位部上均设有支撑柱，所述两组定位部上均定位导向部。

本实用新型一个较佳实施例中，进一步包括所述传送带上一体成型有多个连接块，所述多个连接块沿传送带的传送方向间隔均匀的配置；所述多个硅片定位部件一一对应的装配在所述多个连接块上；所述连接块上均设有第一装配孔；所述安装块上设有与第一装配孔配合的第一腰形孔，所述第一腰形孔沿传送带的传送方向延伸，紧固件穿过第一腰形孔后与第一装配孔紧配。

本实用新型一个较佳实施例中，进一步包括所述硅片传送机构通过型材架安装在设备上，所述型材架上安装有顶部开口的限位架，所述限位架具有彼此相对设置的一对立板、连接一对立板的横板，所述传送带穿设于一对立板之间；所述横板上设有第二装配孔，其中一立板上设有第二腰形孔，所述第二腰形孔沿传送带的宽度方向延伸，紧固件穿过第二腰形孔后与第二装配孔紧配。

本实用新型一个较佳实施例中，进一步包括所述型材架上还安装有接近传感器，所述接近传感器用于检测定位主体上是否有硅片。

本实用新型的有益效果：本申请带输送定位的硅片传输机构，将硅片从之前工位传送至取料机械手取料位置的同时，通过分别设置在两组传送带上的多组硅片定位部件配合对硅片进行定位，使得传送带上的每个硅片被定点定位的传送至目标位置，使用后能够提高取料机械手的取料效率，利于硅片PECVD工艺整体生产效率的提高。

附图说明

图1是硅片的结构示意图；

图2是本实用新型优选实施例中硅片传输机构的结构示意图；

图3是图2所示硅片传输机构的俯视结构示意图；

图4是图2所示硅片传输机构中硅片定位部件的结构示意图；

图5是图2所示硅片传输机构中传送带的结构示意图；

图6是图2所示硅片传输机构中型材架的结构示意图；

图7是本实用新型优选实施例中硅片传输机构第二视角的结构示意图。

图中标号说明：1-硅片，2-传送带，4-传送轮，6-硅片定位部件，8-定位主体，10-安装块，12-定位导向部，14-支撑柱，16-分隔筋，18-定位部，20-连接块，22-第一装配孔，24-第一腰形孔，26-型材架，28-立板，30-横板，34-第二腰形孔，36-接近传感器，38-限位架。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步说明，以使本领域的技术人员可以更好地理解本实用新型并能予以实施，但所举实施例不作为对本实用新型的限定。

实施例

参照图1～7所示，本实施例公开一种带输送定位的硅片传输机构，配置在PECVD设备和其之前设备之间，将PECVD设备之前设备中出料的如图1所示的硅片输送至PECVD设备取料机械手的取料目标位置，其包括并行设置的两组传送带2，上述两组传送带2分别支撑在各自的一对传送轮4上，上述两组传送带2在动力源的驱动下同步移动。此处两组传送带2实现同步移动为现有技术，比如，两对传送轮2中，其中的两个为主动轮，另外两个为被动轮，两个主动轮由带有联轴器的主动轴连接，两个被动轮由带有联轴器的被动轴连接，主动轴连接动力源的输出端，动力源驱动主动轴转动从而带动两个主动轮同步同向转动，被支撑在传动轮上的传送带2带动两个被动轮同步同向转动，以此实现两组传送带2同步移动。本实施例优选技术方案中，上述传送带2优选使用皮带。

上述两组传送带2上均安装有多个硅片定位部件6；上述硅片定位部件6具有连接为一体的定位主体8和安装块10，上述硅片定位部件6通过安装块10能够拆卸的固定在传送带2上，硅片定位部件6相对于传送带2静止的跟随传送带2移动；上述定位主体8上匹配硅片1的边角设有定位导向部12；当前传送带上硅片定位部件6的定位主体8向另一传送带方向延伸，上述两组传送带上的硅片定位部件6配合定位支撑上述硅片1。

传送带2上对应硅片的宽度配置有多个硅片定位部件6，相邻两硅片定位部件6之间的间距与硅片的宽度相关，一组传送带2上相邻的两个硅片定位部件，以及另一组传送带上与之相对的相邻的两个硅片定位部件，也就是四个硅片定位部件6配合、分别从硅片的四个边角处定位撑托一个硅片1，借助定位导向部12将硅片顺利导入硅片定位部件6上的同时，定位导向部12与硅片的边角仿形，与硅片边角接触时更贴合。

本申请的传输机构，通过分别设置在两组传送带2上的多组硅片定位部件6配合对硅片1进行定位，使得传送带上的每个硅片1被定点定位的传送至目标位置，取料机械手只需要定点取料，而不用对应各硅片进行适时调整取料位置，使用后能够提高取料机械手的取料效率，利于硅片PECVD工艺整体生产效率的提高。

一个硅片1被配置在两组传送带2上的四个硅片定位部件6的定位主体8支撑，硅片1与定位主体8直接接触，为了减小硅片1与定位主体8直接接触时有可能带来的划伤，上述定位主体8上设有用于支撑硅片1的支撑柱14，定位支撑硅片时仅仅支撑柱14接触硅片，能够减少硅片1与硅片定位部件6的接触面积，从而减小硅片1与定位主体8直接接触时有可能带来的划伤。

如图5所示，上述定位主体8上设有分隔筋18，上述定位主体8位于分隔筋18的两侧对称形成两组定位部18，上述两组定位部18上均设有支撑柱14，上述两组定位部18上均定位导向部6。通过分隔筋18将定位主体8一分二，一个定位主体8可以定位支撑两个相邻硅片的边角。

具体的，上述传送带2上一体成型有多个连接块20，上述多个连接块20沿传送带2的传送方向间隔均匀的配置；上述多个硅片定位部件6一一对应的装配在上述多个连接块20上；上述连接块20上均设有第一装配孔22；上述安装块10上设有与第一装配孔22配合的第一腰形孔24，上述第一腰形孔24沿传送带2的传送方向延伸，紧固件穿过第一腰形孔24后与第一装配孔22紧配。设计第一腰形孔24，使得硅片定位部件6固定在连接块20上的同时，能够调整硅片定位部件6沿传送带传送方向上的位置，使得两相邻硅片定位部件6之间的间距可调，以适应不同宽度硅片传送的兼容性使用。

一组传送带2被支撑在具有一定跨度的一对传动轮上，为了避免传送带2移动过程中沿传动轮的轴向摆动或者窜动，本实施例的传输机构设计限位架，其具体结构如下：上述硅片传送机构通过型材架26安装在设备上，上述型材架26上安装有顶部开口的限位架，上述限位架具有彼此相对设置的一对立板28、连接一对立板28的横板30，上述传送带2穿设于一对立板28之间。

具体的，上述横板30上设有第二装配孔，其中一立板28上设有第二腰形孔34，上述第二腰形孔34沿传送带2的宽度方向延伸，紧固件穿过第二腰形孔34后与第二装配孔紧配。设计第二腰形孔34，使得一对立板28之间的间距能够调整，以适应不同宽度传送带的兼容性使用。

上述型材架26上还安装有接近传感器36，上述接近传感器36用于检测定位主体8上是否有硅片1。接近传感器36还用于给取料机械手信号，当检测到当前定位主体8上有料时，取料机械手正常工作取料；否则报错。

以上所述实施例仅是为充分说明本实用新型而所举的较佳的实施例，本实用新型的保护范围不限于此。本技术领域的技术人员在本实用新型基础上所作的等同替代或变换，均在本实用新型的保护范围之内。本实用新型的保护范围以权利要求书为准。

Claims (6)

1.一种带输送定位的硅片传输机构，包括并行设置的两组传送带，所述两组传送带分别支撑在各自的一对传送轮上，所述两组传送带在动力源的驱动下同步移动，其特征在于：所述两组传送带上均安装有多个硅片定位部件；所述硅片定位部件具有连接为一体的定位主体和安装块，所述硅片定位部件通过安装块能够拆卸的固定在传送带上，所述定位主体上匹配硅片的边角设有定位导向部；当前传送带上硅片定位部件的定位主体向另一传送带方向延伸，所述两组传送带上的硅片定位部件配合定位支撑所述硅片。

2.如权利要求1所述的带输送定位的硅片传输机构，其特征在于：所述定位主体上设有用于支撑硅片的支撑柱。

3.如权利要求2所述的带输送定位的硅片传输机构，其特征在于：所述定位主体上设有分隔筋，所述定位主体位于分隔筋的两侧对称形成两组定位部，所述两组定位部上均设有支撑柱，所述两组定位部上均定位导向部。

4.如权利要求1所述的带输送定位的硅片传输机构，其特征在于：所述传送带上一体成型有多个连接块，所述多个连接块沿传送带的传送方向间隔均匀的配置；所述多个硅片定位部件一一对应的装配在所述多个连接块上；所述连接块上均设有第一装配孔；所述安装块上设有与第一装配孔配合的第一腰形孔，所述第一腰形孔沿传送带的传送方向延伸，紧固件穿过第一腰形孔后与第一装配孔紧配。

5.如权利要求1所述的带输送定位的硅片传输机构，其特征在于：所述硅片传送机构通过型材架安装在设备上，所述型材架上安装有顶部开口的限位架，所述限位架具有彼此相对设置的一对立板、连接一对立板的横板，所述传送带穿设于一对立板之间；所述横板上设有第二装配孔，其中一立板上设有第二腰形孔，所述第二腰形孔沿传送带的宽度方向延伸，紧固件穿过第二腰形孔后与第二装配孔紧配。

6.如权利要求5所述的带输送定位的硅片传输机构，其特征在于：所述型材架上还安装有接近传感器，所述接近传感器用于检测定位主体上是否有硅片。