CN209640387U - 旋转组件及检测设备 - Google Patents

Abstract

一种旋转组件及检测设备，所述检设设备包括有所述旋转组件。所述旋转组件用于使一探针组件相对于一待测件旋转，探针组件的多个探针能抵压于待测件的多个电性连接部，以电性连接待测件并据以对待测件进行一检测作业，旋转组件包括：一弧形轨道、一滑动件及一驱动模块。弧形轨道的至少一部分区段围绕一纵向轴设置。滑动件用于与探针组件相连接，且滑动件能沿弧形轨道移动。驱动模块能受控制而使滑动件沿弧形轨道移动，以使探针组件相对于待测件旋转，据此，只要适当地控制驱动模块驱动滑动件的精度，即可精确地控制探针卡的移动距离。

Description

旋转组件及检测设备

技术领域

本实用新型涉及一种旋转组件及检测设备，特别是一种用来使探针卡旋转的旋转组件及检测设备。

背景技术

请参阅图1，其为现有常见具有旋转功能的探针卡装置P的示意图。探针卡装置P包括有一机械手臂P1、一旋转轴体P2、一辅助连接件P3及一探针卡P4。机械手臂P1与旋转轴体P2相连接，旋转轴体P2与辅助连接件P3相连接，而探针卡P4设置辅助连接件P3上。机械手臂P1能受控制以使探针卡P4进行多轴移动而至指定的位置。旋转轴体P2能受控制而旋转预定角度；当旋转轴体P2被控制旋转预定角度时，旋转轴体P2将带动辅助连接件P3旋转，从而使探针卡P4旋转预定角度，借此，可以调整探针卡P4与其所欲检测的待测件的相对位置。

然而，上述常见的探针卡装置P的设计方式，在实际应用中，存在有诸多问题。举例来说，请参阅图2，若探针卡P4与旋转轴体P2的旋转中心O的距离定义为r1，则旋转轴体P2旋转一预定角度θ1时，探针卡P4的摆动距离将为r1θ1；而不可讳言的是驱动旋转轴体P2转动的驱动机构，其本身是存在着转动误差，而此转动误差也会将随之被放大；也就是说，相关人员或是设备必需先取得所述距离r1，才可能精确地控制探针卡P4的摆动距离，否则将难以精确地控制探针卡P4的摆动距离。但是，在具体的应用中，依据各厂商的需求，辅助连接件P3上还可能设置有各种不同功能的电子装置，例如是影像撷取单元等，因此，所述距离r1难以被精准地量测，而探针卡的摆动距离则难以被精确地控制。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于提供一种旋转组件及检测设备，用于改善现有技术中，具有旋转功能的探针卡装置的摆动距离难以被精确地控制。

为了实现上述目的，本实用新型提供一种旋转组件，其用于使一探针组件相对于一待测件旋转，所述探针组件的多个探针能抵压于所述待测件的多个电性连接部，以电性连接所述待测件并据以对所述待测件进行一检测作业，所述旋转组件包括：一弧形轨道，所述弧形轨道的至少一部分区段绕一纵向轴设置；一滑动件，所述滑动件用于与所述探针组件相连接，且所述滑动件能沿所述弧形轨道移动；及一驱动模块，所述驱动模块能受控制而使所述滑动件沿所述弧形轨道移动，以使所述探针组件相对于所述待测件旋转。

优选地，所述驱动模块包括有一驱动器及一推抵件；所述驱动器能被控制而使所述推抵件推抵所述滑动件，据以使所述滑动件沿所述弧形轨道移动。

优选地，所述驱动器能被控制而使所述推抵件沿与所述弧形轨道的切线方向平行的方向推抵所述滑动件。

优选地，所述旋转组件还包括有一固定件及一弹性件，所述驱动器设置于所述固定件，所述弧形轨道固定设置于所述固定件，所述弹性件的一端固定设置于所述固定件，所述弹性件的另一端与所述滑动件相连接。

为了实现上述目的，本实用新型还提供一种检测设备，其用于对一待测件进行一检测作业，所述检测设备包括：一载台，所述载台用于承载所述待测件；一处理装置；一移动装置，所述移动装置电性连接所述处理装置；一探针装置，所述探针装置与所述移动装置连接，所述探针装置包括：一探针组件，所述探针组件包括有多个探针；一旋转组件，所述旋转组件包括：一固定件，所述固定件固定设置于所述移动装置；一弧形轨道，所述弧形轨道与所述固定件相连接，且所述弧形轨道的至少一部分区段绕一纵向轴设置；一滑动件，所述滑动件与所述探针组件相连接，且所述滑动件能沿所述弧形轨道移动；一驱动模块，所述驱动模块能受所述处理装置控制而使所述滑动件沿所述弧形轨道移动，以使所述探针组件相对于设置于所述载台的所述待测件旋转；其中，所述处理装置能控制所述移动装置以使所述探针装置相对于所述载台沿三维坐标系的至少一个维度方向移动；所述处理装置能控制所述移动装置及所述探针装置，以使多个所述探针对应抵压于所述待测件的多个电性连接部；当多个所述探针对应抵压于多个所述电性连接部时，所述处理装置能通过多个所述探针对所述待测件进行所述检测作业。

优选地，所述驱动模块包括有一驱动器及一推抵件；所述驱动器能被控制而使所述推抵件推抵所述滑动件，据以使所述滑动件沿所述弧形轨道移动。

优选地，所述驱动器能被控制而使所述推抵件沿与所述弧形轨道的切线方向平行的方向推抵所述滑动件。

优选地，所述旋转组件还包括一弹性件，所述弹性件的一端固定设置于所述固定件，所述弹性件的另一端与所述滑动件相连接。

优选地，所述检测设备还包括有一影像撷取组件，所述处理装置能控制所述影像撷取组件作动以进行影像撷取；所述处理装置能在多个所述探针邻近于所述待测件的多个所述电性连接部时控制所述影像撷取组件撷取多个所述探针及多个所述电性连接部的影像，据以产生至少一个影像撷取信息，而所述处理装置能根据所述影像撷取信息来控制所述旋转组件作动，以使所述探针组件以所述纵向轴为中心而相对于所述载台旋转。

优选地，所述移动装置为机械手臂，所述探针装置还连接有一微调组件，所述微调组件电性连接所述处理装置，所述处理装置能根据所述影像撷取信息来控制所述微调组件作动，以使多个所述探针相对于所述载台沿三维坐标系的至少一个维度方向移动。

本实用新型的有益效果可以在于：通过弧形轨道及滑动件的相互配合，驱动模块驱动滑动件相对于弧形轨道作动时，滑动件将直接带动探针卡移动，如此，只要适当地控制驱动模块驱动滑动件的精度，即可精确地控制探针卡的移动距离，而可有效改善现有具有旋转功能的探针卡装置，难以有效地控制探针卡摆动的距离的问题。

为使能更进一步了解本实用新型的特征及技术内容，请参阅以下有关本实用新型的详细说明与附图，然而所附图式仅提供参考与说明用，并非用来对本实用新型加以限制。

附图说明

图1为习知的探针卡装置的示意图。

图2为习知的探针卡装置的仰视图。

图3为本实用新型的旋转组件的示意图。

图4为本实用新型的旋转组件未显示有弧形轨道的上视图。

图5为本实用新型的检测设备的前视图。

图6为本实用新型的检测设备的示意图。

图7为本实用新型的检测设备的方框示意图。

图8为本实用新型的检测设备的另一实施例的方框示意图。

具体实施方式

以下系藉由特定的具体实例说明本实用新型之旋转组件及检测设备的实施方式，熟悉此技术之人士可由本说明书所揭示之内容轻易地了解本实用新型之其他优点与功效。本实用新型亦可藉由其他不同的具体实例加以施行或应用，本说明书中的各项细节亦可基于不同观点与应用，在不悖离本实用新型之精神下进行各种修饰与变更。又本实用新型之图式仅为简单说明，并非依实际尺寸描绘，亦即未反应出相关构成之实际尺寸，先予叙明。以下之实施方式系进一步详细说明本实用新型之观点，但并非以任何观点限制本实用新型之范畴。于以下说明中，如有指出请参阅特定图式或是如特定图式所示，其仅是用于强调于后续说明中，所述及的相关内容大部分出现于该特定图式中，但不限制该后续说明中仅可参考所述特定图式。

请一并参阅图3及图4，图3显示为本实用新型的旋转组件的示意图，图4显示为本实用新型的旋转组件10未绘示有弧形轨道11的示意图。如图所示，旋转组件10用于使一探针组件15相对于一待测件(图未示)旋转。于此所指的探针组件15包括有至少一个探针卡(Probe card)的组件。待测件可以依据需求选择，例如可以是显示面板、各式芯片等，于此不加以限制。

旋转组件10包括有一弧形轨道11、一滑动件12及一驱动模块13。弧形轨道11绕一纵向轴C设置。弧形轨道11的长度、弧度等可依据需求变化；于此所指的纵向轴C例如平行于用于承载待测件的载台的法线方向，但不以此为限。在实际应用中，所述纵向轴C可以位于探针组件15的几何中心。

滑动件12可以通过一辅助连接件134与探针组件15相连接，且滑动件12能沿弧形轨道11移动。滑动件12的外型及其能相对于弧形轨道11移动的距离，可以依据需求变化，于此不加以限制。需说明的，所述弧形轨道11是指滑动件12相对于弧形轨道11移动时，滑动件12相对于弧形轨道11的动作路径呈弧线，也就是说，弧形轨道11实际的外型可以依据需求变化。

驱动模块13能受控制而使滑动件12沿弧形轨道11移动，由于探针组件15与滑动件12相连接，因此，滑动件12相对于弧形轨道11移动的同时，探针组件15将对应于待测件Q旋转一角度。关于驱动模块13驱动滑动件12的方式，可以依据需求变化，于此不加以限制。

如图4所示，驱动模块13可以包括有一驱动器131、一推抵件132及一弹性件133。驱动器131与推抵件132相连接，驱动器131能受控制而使推抵件132作动，举例来说，驱动器131可以包括有马达及多个齿轮组，当驱动器131受控制而作动时，马达将运转而带动多个齿轮组作动，从而带动推抵件132进行线性移动。

推抵件132与滑动件12彼此相连接，举例来说，推抵件132可以抵靠于滑动件12的预定位置，或者推抵件132可以固定设置于滑动件12的预定位置，于此不加以限制。关于推抵件132的外型及滑动件12的外型，皆可依据需求变化，图中所示仅为其中一示范态样。

弹性件133的一端固定于一固定件，所述固定件是指不会随滑动件12或推抵件132移动的构件，举例来说，固定件可以是驱动器131中固定不动的构件，或者驱动模块13可以是固定设置于机械手臂，而所述机械手臂则可以作为所述固定件。弹性件133的另一端则固定于滑动件12。关于弹性件133的两端的固定方式，以及弹性件133的尺寸、弹性系数等，皆可依据实际需求选择，于此不加以限制。

当驱动器131被驱动，而推抵件132推抵滑动件12时，弹性件133的一端将随滑动件12相对于弧形轨道11的移动而被拉伸，且弹性件133将对应产生弹性回复力。通过弹性件133的设置，将可有效地消除驱动模块13的齿轮组、马达、或是两者之间所存在的背隙(backlash)，如此，在驱动模块13驱动滑动件12相对于弧形轨道11作动时，推抵件132将随时与滑动件12保持相互接触的状态，从而可大幅降低上述这些背隙可能间接影响探针组件15最终的位置的机率。

值得一提的是，在具体的应用中，推抵件132受驱动器131驱动，可以大致沿平行于弧形轨道11的切线方向的方向推抵滑动件12，如此，将可大幅提升推抵件132作用于滑动件12的作用力的使用效率，也就是说，推抵件132作用于滑动件12的大部分作用力，将被转换为滑动件12相对于弧形轨道11滑动的动能。

此外，如图4及图6所示，弧形轨道11可以位于一圆形路径R的局部区段上，而探针组件15则可以对应设置于该圆形路径R所环绕的区域内，且探针组件15较佳地可以位于该圆形路径R圆心W的位置，而该推抵件132带动滑动件12作动时，滑动件12将沿圆形路径R移动，如此，该驱动器131本身的机构误差便可藉由r2θ2关系而有效缩小，进而有利于控制其精准度；其中，圆形路径R的半径为r2，θ2为滑动件12相对于圆心W的旋转角度。

请一并参阅图7及图8，其为本实用新型的检测设备的示意图。如图所示，检测设备200用于对一待测件Q进行一检测作业，检测设备200包括：一载台20、一处理装置30、一移动装置40及一探针装置50。载台20用于承载待测件Q，所述待测件Q可以依据需求为各式电子零组件，例如显示面板等，于此不加以限制。在实际应用中，载台20可以仅具有承载待测件Q的功能；或者，载台20可以具有多轴向移动的功能，而处理装置30则可适时地控制载台20移动，从而使待测件Q相对于探针组件15作动；又或者，载台20可以与类似于输送带等装置相互整合，而载台20则同时具有输送待测件Q的功能。

处理装置30电性连接移动装置40及探针装置50，而处理装置30能分别控制移动装置40及探针装置50作动。所述处理装置30可以具有默认程序的微处理器或者可以是计算机设备等，于此不加以限制。在具体实施中，处理装置30的设置位置可以依据需求化变，举例来说，处理装置30可以是独立于载台20、移动装置40及探针装置50的计算机设备，或者处理装置30可以是整合设置于载台20、移动装置40或探针装置50中的处理器。

移动装置40与探针装置50相连接，而移动装置40能受处理装置30控制，以沿三维坐标系的至少一个维度方向(X轴、Y轴或Z轴)移动，举例来说，移动装置40可以是机械手臂，或者移动装置40可以包括有三个线性滑轨，而处理装置30能分别控制各个线性滑轨作动，以使探针装置50对应于不同的维度方向移动。

探针装置50包括：一旋转组件10及多个探针组件15。各探针组件15包括有多个探针151；在实际应用中，探针组件15可以是探针卡(Probe card)。探针组件15所包括的多个探针151能用来与待测件Q的多个电性连接部Q1相接触，据以对待测件Q进行相关的检测作业。

旋转组件10包括：一固定件14(如图3、图5所示)、一弧形轨道11、一滑动件12及一驱动模块13。旋转组件10藉由固定件14而整体连设于移动装置40，而处理装置30控制移动装置40作动时，固定件14将随移动装置40移动，从而使得旋转组件10整体随移动装置40移动。弧形轨道11与固定件14相连接。滑动件12与探针组件15相连接，且滑动件12能沿弧形轨道11移动。关于旋转组件10所具有的各构件的详细说明，请参阅上述实施例的说明，于此不再赘述；另外，于此所指的旋转组件10也可以包括有前述实施例所载的弹性件133，关于弹性件133的详细说明如前述实施例所载。

请参阅图8，其显示为本实用新型的检测设备的第二实施例的方框示意图。如图所示，本实施例与前述实施例最大不同之处在于：检测设备还可以包括有一影像撷取组件60。影像撷取组件60例如可以包括有镜头、多轴向移动机构、照明单元等构件，可依据需求设计，所述多轴向移动机构可以用来使镜头沿三维轴向的任一方向(X轴、Y轴或Z轴)移动。

如图6及图8所示，影像撷取组件60可设于移动装置40且电性连接处理装置30，而处理装置30能控制影像撷取组件60作动，以对多个探针151及待测件Q进行影像撷取。影像撷取组件60受控制而对多个探针151及待测件Q进行影像撷取后，将对应产生一影像撷取信息601，而处理装置30则能依据影像撷取信息601，对应控制移动装置40作动，以使多个探针151相对于载台20移动，据以调整多个探针151相对于待测件Q的多个电性连接部Q1的位置。处理装置30亦能依据影像撷取信息601，对应控制旋转组件10的驱动模块13作动，以使探针组件15以前述纵向轴为中心，相对于载台20旋转，从而调整多个探针151相对于待测件Q的多个电性连接部Q1的位置。

在实际应用中，影像撷取组件60可以依据需求设置于检测设备200的任何位置，只要能撷取到至少一部分的探针151及其相对应的电性连接部Q1的影像的位置皆可，于此不多加限制。

在不同的应用中，探针装置50还可以连接一微调组件70。微调组件70用于更精细地调整探针组件15相对于载台20的位置，亦即，微调组件70的调整精度高于前述移动装置40的调整精度。在具体的应用中，微调组件70例如可以包括有三个高精度的线性滑轨，而微调组件70能受处理装置30控制，以分别通过不同的高精度的线性滑轨，使多个探针151相对于载台20沿三维坐标系的至少一个维度方向移动。

依上所述，相较于现有具有旋转功能的探针卡装置，本实用新型的旋转组件及检测设备，可以更精细地控制探针卡组件移动；且本实用新型的旋转组件及检测设备，在设置有弹性件的实施例中，可以大幅改善现有具有旋转功能的探针卡装置，容易因为各构件之间所存在的背隙问题，进而可能影响探针卡的位置的问题。

以上所述仅为本实用新型的较佳可行实施例，非因此局限本实用新型的专利范围，故举凡运用本实用新型说明书及图式内容所做的等效技术变化，均包括于本实用新型的保护范围内。

Claims (10)

1.一种旋转组件，其特征在于，所述旋转组件用于使一探针组件相对于一待测件旋转，所述探针组件的多个探针能抵压于所述待测件的多个电性连接部，以电性连接所述待测件并据以对所述待测件进行一检测作业，所述旋转组件包括：

一弧形轨道，所述弧形轨道的至少一部分区段绕一纵向轴设置；

一滑动件，所述滑动件用于与所述探针组件相连接，且所述滑动件能沿所述弧形轨道移动；及

一驱动模块，所述驱动模块能受控制而使所述滑动件沿所述弧形轨道移动，以使所述探针组件相对于所述待测件旋转。

2.根据权利要求1所述的旋转组件，其特征在于，所述驱动模块包括有一驱动器及一推抵件；所述驱动器能被控制而使所述推抵件推抵所述滑动件，据以使所述滑动件沿所述弧形轨道移动。

3.根据权利要求2所述的旋转组件，其特征在于，所述驱动器能被控制而使所述推抵件沿与所述弧形轨道的切线方向平行的方向推抵所述滑动件。

4.根据权利要求2所述的旋转组件，其特征在于，所述旋转组件还包括有一固定件及一弹性件，所述驱动器设置于所述固定件，所述弧形轨道固定设置于所述固定件，所述弹性件的一端固定设置于所述固定件，所述弹性件的另一端与所述滑动件相连接。

5.一种检测设备，其特征在于，所述检测设备用于对一待测件进行一检测作业，所述检测设备包括：

一载台，所述载台用于承载所述待测件；

一处理装置；

一移动装置，所述移动装置电性连接所述处理装置；

一探针装置，所述探针装置与所述移动装置连接，所述探针装置包括：

一探针组件，所述探针组件包括有多个探针；

一旋转组件，所述旋转组件包括：

一固定件，所述固定件固定设置于所述移动装置；

一弧形轨道，所述弧形轨道与所述固定件相连接，且所述弧形轨道的至少一部分区段绕一纵向轴设置；

一滑动件，所述滑动件与所述探针组件相连接，且所述滑动件能沿所述弧形轨道移动；及

一驱动模块，所述驱动模块能受所述处理装置控制而使所述滑动件沿所述弧形轨道移动，以使所述探针组件相对于设置于所述载台的所述待测件旋转；

其中，所述处理装置能控制所述移动装置以使所述探针装置相对于所述载台沿三维坐标系的至少一个维度方向移动；所述处理装置能控制所述移动装置及所述探针装置，以使多个所述探针对应抵压于所述待测件的多个电性连接部；当多个所述探针对应抵压于多个所述电性连接部时，所述处理装置能通过多个所述探针对所述待测件进行所述检测作业。

6.根据权利要求5所述的检测设备，其特征在于，所述驱动模块包括有一驱动器及一推抵件；所述驱动器能被控制而使所述推抵件推抵所述滑动件，据以使所述滑动件沿所述弧形轨道移动。

7.根据权利要求6所述的检测设备，其特征在于，所述驱动器能被控制而使所述推抵件沿与所述弧形轨道的切线方向平行的方向推抵所述滑动件。

8.根据权利要求6所述的检测设备，其特征在于，所述旋转组件还包括一弹性件，所述弹性件的一端固定设置于所述固定件，所述弹性件的另一端与所述滑动件相连接。

9.根据权利要求5所述的检测设备，其特征在于，所述检测设备还包括有一影像撷取组件，所述处理装置能控制所述影像撷取组件作动以进行影像撷取；所述处理装置能在多个所述探针邻近于所述待测件的多个所述电性连接部时控制所述影像撷取组件撷取多个所述探针及多个所述电性连接部的影像，据以产生至少一个影像撷取信息，而所述处理装置能根据所述影像撷取信息来控制所述旋转组件作动，以使所述探针组件以所述纵向轴为中心而相对于所述载台旋转。

10.根据权利要求9所述的检测设备，其特征在于，所述移动装置为机械手臂，所述探针装置还连接有一微调组件，所述微调组件电性连接所述处理装置，所述处理装置能根据所述影像撷取信息来控制所述微调组件作动，以使多个所述探针相对于所述载台沿三维坐标系的至少一个维度方向移动。