CN209633492U - 一种冷却液回收效果好的硅片修复机 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种冷却液回收效果好的硅片修复机，包括安装板和活动块。通过设置有固定板，通过电机带动长板上的圆杆推动活动板左右摆动，使得活动板带动圆柱来回运动，圆柱通过矩形板带动活动块在凹槽内左右往复运动，使得固定板通过地面上行的毛刷对机器上的冷却液及残渣进行清扫，扫到凹槽内通过活动块向两侧的推动，有效的避免了杂质及冷却液的堆积造成的浪费；通过设置有固液分离装置，冷却液和杂质一同进入外壳，通过螺旋叶片的转动将杂质从矩形口排出到机器外，冷却液则从外壳上的圆孔排入到冷却液收集箱内循环使用，有效的减少了冷却液的浪费和避免了对冷却液管道的堵塞。

Description

一种冷却液回收效果好的硅片修复机

技术领域

本实用新型涉及硅片修复机，尤其涉及一种冷却液回收效果好的硅片修复机。

背景技术

硅片修复机是一种对硅片进行修复的机器。在实际的操作过程中需要用到冷却液对修复机的刀片进行降温操作，这样可以有效的延长修读机刀片的使用时间。在现有技术之中，修复机的冷却液时循环使用的，但是在实际的使用过程中会有很多的冷却液因为杂志的原因堆积在机器表面上，导致冷却液无法形成循环，造成冷却液的浪费，不利于生产的进行，这是现有技术的一大不足；还有就是，冷却液使用后会与硅片的杂质混合在一起参与到冷却液的循环之中，极易造成冷却液管道的堵塞和杂质堆积在冷却液收集箱内，给机器造成很大的危害，这是现有技术的另一不足。基于以上的原因，本实用新型提出一种冷却液回收效果好的硅片修复机来解决这些不足。

实用新型内容

为了克服现有技术的不足，本实用新型的目的之一在于提供一种冷却液回收效果好的硅片修复机。

本实用新型的目的之一采用如下技术方案实现：

一种冷却液回收效果好的硅片修复机，包括机壳，所述机壳的底部均匀分布固定连接有若干个支柱，所述机壳的顶面上固定连接有保护壳，所述保护壳内部左右两侧对称设置有安装板，所述安装板的顶面上开设有凹槽，所述凹槽贯穿安装板的左右侧壁，所述凹槽内活动连接有活动块，所述活动块的顶面中心固定连接有竖杆，所述竖杆远离活动块一端活动连接有圆板，所述圆板上固定连接有固定板，所述固定板的后端左右对称设置有两个立柱，所述立柱固定连接在活动块的顶面上，所述固定板的底面上固定连接有毛刷，所述活动块的后侧面左右对称固定连接有两个齿条，所述齿条延伸出活动块的左右侧面，所述安装板的后侧壁上开设有第一滑槽，所述第一滑槽贯穿安装板的后侧壁延伸到凹槽内，所述活动块的后侧面上固定连接有矩形板，所述矩形板插入到第一滑槽内，所述矩形板与第一滑槽之间活动连接，所述矩形板远离活动块一侧固定连接有圆柱，所述安装板的后侧面中心固定连接有连接板，所述连接板呈L形设置，所述连接板的后侧壁中心固定连接有电机，所述电机的转子上固定连接有主轴，所述主轴贯穿连接板固定连接有长板，所述主轴与连接板之间活动连接，所述主轴位于连接板和长板之间固定连接有第一齿轮，所述长板远离主轴一侧靠近右侧固定连接有圆杆，所述长板的前侧设置有活动板，所述活动板一侧活动连接有转轴，所述转轴固定连接在安装板的后侧外壁上，所述活动板远离转轴一侧的侧面上开设有矩形槽，所述圆杆插入到矩形槽内，所述圆杆与矩形槽之间活动连接，所述圆柱延伸出第一滑槽插入到矩形槽内，所述圆柱与矩形槽之间活动连接，所述安装板两侧均设置有固液分离装置。

进一步的，所述固液分离装置包括外壳，所述外壳固定连接在安装板的左右侧壁上，所述外壳倾斜设置，所述外壳靠近安装板一侧的侧壁上开设有通孔，所述通孔与凹槽的固定连接，所述外壳的后侧壁中心活动连接有圆轴，所述圆轴的两端均延伸出外壳的后侧壁，所述圆轴的后端固定连接有螺旋叶片，所述圆轴远离螺旋叶片一端固定连接有第二齿轮，两侧所述第二齿轮与第一齿轮之间通过链条传动连接，所述外壳底面靠近后侧开设有矩形口，所述外壳底面靠近前侧开设有若干个圆孔。

进一步的，所述凹槽左右两侧靠近后侧面均设置有第一滚轴，所述第一滚轴上固定连接有两个第三齿轮，所述第三齿轮与齿条之间相互匹配，下侧所述第三齿轮与齿条高度相同，上侧所述第三齿轮远离安装板中心一侧设置有竖板，所述竖板靠近第三齿轮一侧固定连接有与第三齿轮相互匹配的卡齿，所述第三齿轮与卡齿之间相互啮合设置，所述竖板与安装板的顶面之间活动连接，两侧所述竖板的前侧相对固定连接有刮板，所述刮板的底面上固定连接有毛刷。

进一步的，所述活动块的顶面靠近右侧活动连接有方板，所述方板的中心活动连接有横板，所述横板的两侧均延伸出方板，所述横板的右侧固定连接有限位板，所述横板的左侧与圆板活动连接，所述横板上套设有第一弹簧，所述第一弹簧一端固定连接在方板上，所述第一弹簧的另一端固定连接在圆板上。

进一步的，所述凹槽的前侧壁上开设有第二滑槽，所述活动块的前侧面上固定连接有第二滑块，所述第二滑块插入到第二滑槽内，所述第二滑块与第二滑槽之间活动连接。

进一步的，所述刮板包括粗杆，所述粗杆一端固定连接在竖板上，所述粗杆远离竖板一端开设有活动槽，所述活动槽贯穿粗杆的底面，所述活动槽内插入有细杆，所述细杆与活动槽之间活动连接，所述细杆位于活动槽内的一端固定连接有第二弹簧，所述第二弹簧远离细杆一端固定连接在活动槽的侧壁上。

进一步的，所述竖板的底面上开设有第三滑槽，所述安装板的顶面上固定连接有第三滑块，所述第三滑块插入到第三滑槽内，所述第三滑块与第三滑槽之间活动连接。

相比现有技术，本实用新型的有益效果在于：

1、通过设置有固定板，通过电机带动长板上的圆杆推动活动板左右摆动，使得活动板带动圆柱来回运动，圆柱通过矩形板带动活动块在凹槽内左右往复运动，使得固定板通过地面上行的毛刷对机器上的冷却液及残渣进行清扫，扫到凹槽内通过活动块向两侧的推动，有效的避免了杂质及冷却液的堆积造成的浪费；

2、通过设置有固液分离装置，冷却液和杂质一同进入外壳，通过螺旋叶片的转动将杂质从矩形口排出到机器外，冷却液则从外壳上的圆孔排入到冷却液收集箱内循环使用，有效的减少了冷却液的浪费和避免了对冷却液管道的堵塞；

3、通过设置有竖板，当活动块运动带一侧固定板将杂质推到一旁，活动块上的齿条与下侧第三齿轮啮合转动，使得上侧第三齿轮与卡齿啮合带动竖板运动，通过刮板将两侧的杂质清除，清除效果好。

上述说明仅是本实用新型技术方案的概述，为了能够更清楚了解本实用新型的技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本实用新型的上述和其他目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举较佳实施例，并配合附图，详细说明如下。

附图说明

图1为本实施例的立体图；

图2为本实施例的内部结构示意图；

图3为本实施例的侧面结构示意图；

图4为本实施例的图2的A处侧面结构示意图；

图5为本实施例的图2的B处放大图；

图6为本实施例的图2的C处放大图。

图中：1a、机壳；1b 、支柱；1c、保护壳；1、安装板；2、凹槽；3、活动块；4、竖杆；5、圆板；6、固定板；7、立柱；8、毛刷；9、齿条；10、第一滑槽；11、矩形板；12、圆柱；13、连接板；14、电机；15、主轴；16、长板；17、第一齿轮；18、圆杆；19、活动板；20、转轴；21、矩形槽；22、固液分离装置；23、外壳；24、圆轴；25、螺旋叶片；26、第二齿轮；27、链条；28、矩形口；29、圆孔；30、第一滚轴；31、第三齿轮；32、竖板；33、卡齿；34、刮板；35、方板；36、横板；37、第一弹簧；38、第二滑槽；39、第二滑块；40、粗杆；41、细杆；42、第二弹簧；43、第三滑槽；44、第三滑块。

具体实施方式

下面，结合附图以及具体实施方式，对本实用新型做进一步描述，需要说明的是，在不相冲突的前提下，以下描述的各实施例之间或各技术特征之间可以任意组合形成新的实施例。

需要说明的是，当组件被称为“固定于”另一个组件，它可以直接在另一个组件上或者也可以存在居中的组件。当一个组件被认为是“连接”另一个组件，它可以是直接连接到另一个组件或者可能同时存在居中组件。当一个组件被认为是“设置于”另一个组件，它可以是直接设置在另一个组件上或者可能同时存在居中组件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的。

除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本实用新型。本文所使用的术语“及／或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。

请参阅图1至图6，一种冷却液回收效果好的硅片修复机，包括机壳1a，机壳1a的底部均匀分布固定连接有若干个支柱1b，机壳1a的顶面上固定连接有保护壳1c，保护壳1c内部左右两侧对称设置有安装板1，安装板1的顶面上开设有凹槽2，凹槽2贯穿安装板1的左右侧壁，凹槽2内活动连接有活动块3，凹槽2的前侧壁上开设有第二滑槽38，活动块3的前侧面上固定连接有第二滑块39，第二滑块39插入到第二滑槽38内，第二滑块39与第二滑槽38之间活动连接，活动块3的顶面中心固定连接有竖杆4，竖杆4远离活动块3一端活动连接有圆板5，圆板5上固定连接有固定板6，固定板6的后端左右对称设置有两个立柱7，立柱7固定连接在活动块3的顶面上，固定板6的底面上固定连接有毛刷8，活动块3的顶面靠近右侧活动连接有方板35，方板35的中心活动连接有横板36，横板36的两侧均延伸出方板35，横板36的右侧固定连接有限位板，横板36的左侧与圆板5活动连接，横板36上套设有第一弹簧37，第一弹簧37一端固定连接在方板35上，第一弹簧37的另一端固定连接在圆板5上，实现对固定板6的固定，便民固定板6来回摆动造成清扫不干净，活动块3的后侧面左右对称固定连接有两个齿条9，齿条9延伸出活动块3的左右侧面，安装板1的后侧壁上开设有第一滑槽10，第一滑槽10贯穿安装板1的后侧壁延伸到凹槽2内，活动块3的后侧面上固定连接有矩形板11，矩形板11插入到第一滑槽10内，矩形板11与第一滑槽10之间活动连接，矩形板11远离活动块3一侧固定连接有圆柱12，安装板1的后侧面中心固定连接有连接板13，连接板13呈L形设置，连接板13的后侧壁中心固定连接有电机14，电机14的转子上固定连接有主轴15，主轴15贯穿连接板13固定连接有长板16，主轴15与连接板13之间活动连接，主轴15位于连接板13和长板16之间固定连接有第一齿轮17，长板16远离主轴15一侧靠近右侧固定连接有圆杆18，长板16的前侧设置有活动板19，活动板19一侧活动连接有转轴20，转轴20固定连接在安装板1的后侧外壁上，活动板19远离转轴20一侧的侧面上开设有矩形槽21，圆杆18插入到矩形槽21内，圆杆18与矩形槽21之间活动连接，圆柱12延伸出第一滑槽10插入到矩形槽21内，圆柱12与矩形槽21之间活动连接，安装板1两侧均设置有固液分离装置22，固液分离装置22包括外壳23，外壳23固定连接在安装板1的左右侧壁上，外壳23倾斜设置，外壳23靠近安装板1一侧的侧壁上开设有通孔，通孔与凹槽2的固定连接，外壳23的后侧壁中心活动连接有圆轴24，圆轴24的两端均延伸出外壳23的后侧壁，圆轴24的后端固定连接有螺旋叶片25，圆轴24远离螺旋叶片25一端固定连接有第二齿轮26，两侧第二齿轮26与第一齿轮17之间通过链条27传动连接，外壳23底面靠近后侧开设有矩形口28，外壳23底面靠近前侧开设有若干个圆孔29，实现固体杂质与冷却液的分离操作，有效的减少冷却液的浪费和杂质堵塞冷却液管道的可能，凹槽2左右两侧靠近后侧面均设置有第一滚轴30，第一滚轴30上固定连接有两个第三齿轮31，第三齿轮31与齿条9之间相互匹配，下侧第三齿轮31与齿条9高度相同，上侧第三齿轮31远离安装板1中心一侧设置有竖板32，竖板32靠近第三齿轮31一侧固定连接有与第三齿轮31相互匹配的卡齿33，第三齿轮31与卡齿33之间相互啮合设置，竖板32与安装板1的顶面之间活动连接，竖板32的底面上开设有第三滑槽43，安装板1的顶面上固定连接有第三滑块44，第三滑块44插入到第三滑槽43内，第三滑块44与第三滑槽43之间活动连接，两侧竖板32的前侧相对固定连接有刮板34，刮板34的底面上固定连接有毛刷8，刮板34包括粗杆40，粗杆40一端固定连接在竖板32上，粗杆40远离竖板32一端开设有活动槽，活动槽贯穿粗杆40的底面，活动槽内插入有细杆41，细杆41与活动槽之间活动连接，细杆41位于活动槽内的一端固定连接有第二弹簧42，第二弹簧42远离细杆41一端固定连接在活动槽的侧壁上，通过刮板34的刮除，可以将杂质清除的更加彻底干净。

本实用新型装置在使用时，首先通过外部电源启动电机14，电机14带动主轴15转动，主轴15带动长板16上的圆杆18在活动板19上的矩形槽21内运动，使得活动板19以转轴20为中心来回摆动，活动板19带动圆柱12来回摆动，圆柱12通过矩形板11带动活动块3在凹槽2内做左右往复运动，使得活动块3上的固定板6底面上的毛刷8对机器内的杂质和冷却液进行清扫，将杂质扫到凹槽2内部，当固定板6运动到一侧与刮板34接触，推动固定板6转动转换方向，横板36将圆板5顶住，避免固定板6松动，与此同时，当活动块3运动到一侧，活动块3上的齿条9啮合第一滚轴30下侧的第三齿轮31，使得第一滚轴30带动上侧的第三齿轮31与卡齿33啮合，使得竖板32带动刮板34向凹槽2一侧运动，将杂质清除到凹槽2内，载通过活动块3的推动将杂质排到外壳23内腔，通过第一齿轮17与第二齿轮26通过链条27的传动连接，第二齿轮26带动圆轴24上的螺旋叶片25转动，将固体杂质从外壳23底部的矩形口28排出外壳23，冷却液则从圆孔29排出外壳23，实现对冷却液的固液分离操作，有效的避免了对冷却液管道的堵塞。

上述实施方式仅为本实用新型的优选实施方式，不能以此来限定本实用新型保护的范围，本领域的技术人员在本实用新型的基础上所做的任何非实质性的变化及替换均属于本实用新型所要求保护的范围。

Claims (7)

1.一种冷却液回收效果好的硅片修复机，包括机壳（1a），所述机壳（1a）的底部均匀分布固定连接有若干个支柱（1b），所述机壳（1a）的顶面上固定连接有保护壳（1c），所述保护壳（1c）内部左右两侧对称设置有安装板（1），其特征在于：所述安装板（1）的顶面上开设有凹槽（2），所述凹槽（2）贯穿安装板（1）的左右侧壁，所述凹槽（2）内活动连接有活动块（3），所述活动块（3）的顶面中心固定连接有竖杆（4），所述竖杆（4）远离活动块（3）一端活动连接有圆板（5），所述圆板（5）上固定连接有固定板（6），所述固定板（6）的后端左右对称设置有两个立柱（7），所述立柱（7）固定连接在活动块（3）的顶面上，所述固定板（6）的底面上固定连接有毛刷（8），所述活动块（3）的后侧面左右对称固定连接有两个齿条（9），所述齿条（9）延伸出活动块（3）的左右侧面，所述安装板（1）的后侧壁上开设有第一滑槽（10），所述第一滑槽（10）贯穿安装板（1）的后侧壁延伸到凹槽（2）内，所述活动块（3）的后侧面上固定连接有矩形板（11），所述矩形板（11）插入到第一滑槽（10）内，所述矩形板（11）与第一滑槽（10）之间活动连接，所述矩形板（11）远离活动块（3）一侧固定连接有圆柱（12），所述安装板（1）的后侧面中心固定连接有连接板（13），所述连接板（13）呈L形设置，所述连接板（13）的后侧壁中心固定连接有电机（14），所述电机（14）的转子上固定连接有主轴（15），所述主轴（15）贯穿连接板（13）固定连接有长板（16），所述主轴（15）与连接板（13）之间活动连接，所述主轴（15）位于连接板（13）和长板（16）之间固定连接有第一齿轮（17），所述长板（16）远离主轴（15）一侧靠近右侧固定连接有圆杆（18），所述长板（16）的前侧设置有活动板（19），所述活动板（19）一侧活动连接有转轴（20），所述转轴（20）固定连接在安装板（1）的后侧外壁上，所述活动板（19）远离转轴（20）一侧的侧面上开设有矩形槽（21），所述圆杆（18）插入到矩形槽（21）内，所述圆杆（18）与矩形槽（21）之间活动连接，所述圆柱（12）延伸出第一滑槽（10）插入到矩形槽（21）内，所述圆柱（12）与矩形槽（21）之间活动连接，所述安装板（1）两侧均设置有固液分离装置（22）。

2.如权利要求1所述的一种冷却液回收效果好的硅片修复机，其特征在于：所述固液分离装置（22）包括外壳（23），所述外壳（23）固定连接在安装板（1）的左右侧壁上，所述外壳（23）倾斜设置，所述外壳（23）靠近安装板（1）一侧的侧壁上开设有通孔，所述通孔与凹槽（2）的固定连接，所述外壳（23）的后侧壁中心活动连接有圆轴（24），所述圆轴（24）的两端均延伸出外壳（23）的后侧壁，所述圆轴（24）的后端固定连接有螺旋叶片（25），所述圆轴（24）远离螺旋叶片（25）一端固定连接有第二齿轮（26），两侧所述第二齿轮（26）与第一齿轮（17）之间通过链条（27）传动连接，所述外壳（23）底面靠近后侧开设有矩形口（28），所述外壳（23）底面靠近前侧开设有若干个圆孔（29）。

3.如权利要求1所述的一种冷却液回收效果好的硅片修复机，其特征在于：所述凹槽（2）左右两侧靠近后侧面均设置有第一滚轴（30），所述第一滚轴（30）上固定连接有两个第三齿轮（31），所述第三齿轮（31）与齿条（9）之间相互匹配，下侧所述第三齿轮（31）与齿条（9）高度相同，上侧所述第三齿轮（31）远离安装板（1）中心一侧设置有竖板（32），所述竖板（32）靠近第三齿轮（31）一侧固定连接有与第三齿轮（31）相互匹配的卡齿（33），所述第三齿轮（31）与卡齿（33）之间相互啮合设置，所述竖板（32）与安装板（1）的顶面之间活动连接，两侧所述竖板（32）的前侧相对固定连接有刮板（34），所述刮板（34）的底面上固定连接有毛刷（8）。

4.如权利要求1所述的一种冷却液回收效果好的硅片修复机，其特征在于：所述活动块（3）的顶面靠近右侧活动连接有方板（35），所述方板（35）的中心活动连接有横板（36），所述横板（36）的两侧均延伸出方板（35），所述横板（36）的右侧固定连接有限位板，所述横板（36）的左侧与圆板（5）活动连接，所述横板（36）上套设有第一弹簧（37），所述第一弹簧（37）一端固定连接在方板（35）上，所述第一弹簧（37）的另一端固定连接在圆板（5）上。

5.如权利要求1所述的一种冷却液回收效果好的硅片修复机，其特征在于：所述凹槽（2）的前侧壁上开设有第二滑槽（38），所述活动块（3）的前侧面上固定连接有第二滑块（39），所述第二滑块（39）插入到第二滑槽（38）内，所述第二滑块（39）与第二滑槽（38）之间活动连接。

6.如权利要求3所述的一种冷却液回收效果好的硅片修复机，其特征在于：所述刮板（34）包括粗杆（40），所述粗杆（40）一端固定连接在竖板（32）上，所述粗杆（40）远离竖板（32）一端开设有活动槽，所述活动槽贯穿粗杆（40）的底面，所述活动槽内插入有细杆（41），所述细杆（41）与活动槽之间活动连接，所述细杆（41）位于活动槽内的一端固定连接有第二弹簧（42），所述第二弹簧（42）远离细杆（41）一端固定连接在活动槽的侧壁上。

7.如权利要求3所述的一种冷却液回收效果好的硅片修复机，其特征在于：所述竖板（32）的底面上开设有第三滑槽（43），所述安装板（1）的顶面上固定连接有第三滑块（44），所述第三滑块（44）插入到第三滑槽（43）内，所述第三滑块（44）与第三滑槽（43）之间活动连接。