CN209586623U - 一种连接位置可调的真空排气台 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开一种连接位置可调的真空排气台，涉及真空排气台的技术领域，其包括相连通的离子泵以及真空室，还包括若干个单向阀以及真空压力计，所述真空室外还设置有至少两根导管、所述导管连接有金属软管，所述金属软管背离导管的一端连接有连接管，所述连接管背离金属软管的一端设置有用于连接的法兰。本实用新型能够改变连接管位置，以同时联通多个不同的设备的效果。

Description

一种连接位置可调的真空排气台

技术领域

本实用新型涉及真空排气台的技术领域，尤其是涉及一种连接位置可调的真空排气台。

背景技术

真空排气台是一种用于抽气系统，离子泵是其核心部件。对于使用环境的不同，在真空排气台上还会设置有多种形式的导管或者是置物室，能够制造出真空环境。

在现代先进的实验室中，通常设置有多个需要真空环境的工位。但是现有的真空排气台通常是一对一的进行抽真空工作，当多个工位同时需要真空环境时，无法满足要求。而且，在实验室中的不同工位通常放置不同的设备，不同的设备的连接口的位置也不尽相同，而现有的真空排气台的连接管的位置通常固定不变。所以，当需要同时联通多个不同的设备时，现有的真空排气台难以适应。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种连接位置可调的真空排气台，其具有能够改变连接管位置，以同时联通多个不同的设备的效果。

本实用新型的上述目的是通过以下技术方案得以实现的：

一种连接位置可调的真空排气台，包括相连通的离子泵以及真空室，还包括若干个单向阀以及真空压力计，所述真空室外还设置有至少两根导管、所述导管连接有金属软管，所述金属软管背离导管的一端连接有连接管，所述连接管背离金属软管的一端设置有用于连接的法兰。

通过采用上述技术方案，连接管的位置可以随意的改变，以实现同时连接多个不同的设备的效果。

本实用新型进一步设置为：所述离子泵下方设置有行走小车，所述行走小车包括固定在所述离子泵底端的平板以及安装在所述平板底端面上的滚轮。

通过采用上述技术方案，可以使设备整体移动，便于在实验室的不同位置处工作，使设备整体具有更高的位置适应性。

本实用新型进一步设置为：所述平板上设置有调节连接管位置的调节机构，所述调节机构包括固定在所述平板顶端的套管，所述套管内滑动连接有滑杆，所述滑杆与所述套管亦旋转连接，位于滑杆的顶端固定有夹持所述连接管的管夹一，位于所述连接管与所述套管之间设置有能够固定连接管位置的固定件。

通过采用上述技术方案，在满足连接管能够改变位置的同时，还能够为连接管提供支撑，降低工人的劳动强度。

本实用新型进一步设置为：所述固定件为倾斜支撑在所述连接管以及套管之间的斜撑杆，所述斜撑杆朝向所述套管的一端固定有管夹二，所述管夹二夹持在所述套管的外壁上；所述斜撑杆朝向所述连接管的一端固定有管夹三，所述管夹三夹持在所述连接管的外壁上。

通过采用上述技术方案，管夹一可以控制连接管的伸出长度；斜撑杆可以为连接杆提供支撑；管夹二夹持套管之后便可以限制连接管的转动，并且管夹二夹持在套管的不同位置可以调节连接管与套管之间的间距。

本实用新型进一步设置为：所述套管垂直于所述连平板设置。

通过采用上述技术方案，在设备整体在水平面内更加节省空间。

本实用新型进一步设置为：所述套管与所述离子泵之间设置有支撑套管的连杆。

通过采用上述技术方案，连接在套管上的连杆能够为套管提供约束力，增加套管的稳定性。

本实用新型进一步设置为：所述单向阀安装在所述导管上。

通过采用上述技术方案，单向阀能够使工位保持负压状态，并且当一个设备使用完毕并将连接管拆卸之后，不会影响到其他保持负压状态的工位。

综上所述，本实用新型的有益技术效果为：

1.通过设置导管、金属软管以及连接管，连接管的位置可以随意的改变，以实现同时连接多个不同的设备的效果；

2.通过设置调节机构，在满足连接管能够改变位置的同时，还能够为连接管提供支撑，降低工人的劳动强度；

3.通过设置行走小车，可以使设备整体移动，便于在实验室的不同位置处工作，使设备整体具有更高的位置适应性。

附图说明

图1是一种多工位的真空排气台的等轴测试图；

图2是封堵系统的剖视图；

图3是封堵系统的结构示意图。

图中，1、离子泵；2、行走小车；21、平板；22、滚轮；4、真空室；51、导管；511、封闭部；52、金属软管；53、连接管；6、封堵系统；61、内凸缘；62、封盖件；621、翻边；63、推杆；64、把手；65、限位组件；651、限位件一；6511、垂直部；6512、水平部；652、限位件二；66、密封垫；7、调节机构；71、套管；72、滑杆；73、管夹一；74、斜撑杆；75、管夹二；76、管夹三；77、连杆；8、真空压力计；9、单向阀。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型作进一步详细说明。

参见图1，本实用新型公开的一种多工位的真空排气台，包括相连通的离子泵1以及真空室4。真空室4呈内部中空的圆柱体，在真空室4的外壁上安装有测量真空室4内部压强的真空压力计8。

真空室4固定在离子泵1外部的顶端，并且真空室4从开口伸入到离子泵1并且与离子泵1的相连。

位于真空室4的外部设置有四根导管51、四根金属软管52以及四根连接管53。四根导管51水平设置并且两两一组焊接在真空室4的相背离的两侧的侧壁。导管51与真空室4的内部相连通。在导管51上安装有单向阀9，限制气流只能够从导管51远离真空室4的一侧向真空室4流动。导管51背离真空室4的一端封闭形成封闭部511。金属软管52位于导管51以及连接管53之间，金属软管52的两端分别与相对的导管51以及连接管53通过法兰密封相连，金属软管52可以方便连接管53改变位置。其中，金属软管52与导管51的连接位置位于单向阀9与封闭部511之间的管壁上。连接管53背离金属软管52的一端开口并设置有用于连接的法兰。

参见图1和图2，并结合图3，在导管51的内部设置有能够封堵导管51的封堵系统6。封堵系统6包括位于导管51内的内凸缘61、能够封堵内凸缘61的封盖件62以及与推动封盖件62沿导管51的轴向移动推杆63。

内凸缘61焊接于单向阀9与金属软管52之间的导管51的管壁上，封盖件62位于内凸缘61背离真空室4的一侧，推杆63位于封盖件62背离内凸缘61的一端。推杆63的轴线与导管51的轴线重合，并且推杆63贯穿封闭部511的两端，同时，推杆63与封闭部511密封滑动连接。推杆63位于导管51内部的一端与封盖件62焊接相连；推杆63伸出到导管51外部的一端固定有方便把持的把手64。

封盖件62呈内部中空的半球体，开口朝向内凸缘61所在的一侧。在封盖件62的开口边缘设置有向外的翻边621。翻边621与半球体一体成型。翻边621的外径与导管51的管径一致，封盖件62的开口的直径与内凸缘61的直径一致。位于封盖件62以及内凸缘61之间还设置有圆环状的密封垫66。密封垫66粘接在翻边621上。密封垫66的外径与导管51的管径一致，密封垫66的内径与内凸缘61的直径一致。半球体的封盖件62具有较好的抗压能力，而且翻边621可以将密封垫66压紧在内凸缘61上，起到良好的密封作用。

位于封盖件62以及封闭部511之间还设置有能够限制封盖件62向内凸缘61移动的限位组件65。限位组件65包括限位件一651以及限位件二652。限位件一651为呈“L”形的块体，包括垂直于封闭部511的垂直部6511以及平行于封闭部511的平行部。垂直部6511与封闭部511焊接相连，平行部封闭部511之间留有间距。限位件二652焊接于封盖件62朝向封闭部511的端面上，在限位件二652上开设有供平行部插入的插口。

当需要将导管51封堵时，将限位件一651与限位件二652分离，推动推杆63使封盖件62贴在内凸缘61上。在离子泵1的作用下，所产生的负压能够将封盖件62紧紧的吸在内凸缘61上，密封垫66被挤压变形而起到密封作用。当需要导管51保持畅通时，拉动推杆63使封盖件62靠近封闭部511，并且使限位件一651与限位件二652位于同一竖直平面内。进一步旋转推杆63使水平部6512插入到限位件二652的插口中，水平部6512将能够限制封盖件62向内凸缘61的一侧移动。从而导管51保持畅通。

封堵系统6可以控制导管51的启闭，进而控制导管51联通的数量，以匹配不同数量的工位需求。具有更好的操作性，更加节能。

参见图1，位于离子泵1的下方设置有行走小车2。行走小车2包括固定在离子泵1底端的水平设置的平板21以及安装在平板21底端的四个滚轮22。平板21呈矩形，四个滚轮22分别固定在平板21的四角。

在行走小车2上设置有能够调节连接管53位置的调节机构7。调节机构7包括四根竖直固定在平板21顶端的圆柱体的套管71，四根套管71分置在离子泵1的四周。在套管71中滑动连接有圆柱体的滑杆72，同时滑杆72与套管71旋转连接。在滑杆72的顶端固定有管夹一73，管夹一73夹持在连接管53上使连接管53处于水平的状态。连接管53、管夹一73以及滑杆72能够共同沿套管71上下移动和旋转。在连接管53以及套管71之间还设置有倾斜设置的斜撑杆74。斜撑杆74的两端分别固定有管夹二75和管夹三76，管夹二75夹持在套管71的管壁上，管夹三76夹持在连接管53的管壁上。斜撑杆74不仅能够起到支撑连接管53的作用，而且，当管夹二75夹紧套管71时，还能够限制连接管53的上下移动以及转动。

位于套管71以及离子泵1之间还设置有连杆77。连杆77的两端分别与离子泵1以及套管71焊接相连。连杆77能够为套管71提供约束力，增加套管71的稳定性。

具体的实施方式为：在实验室中可以根据不同的位置需要推动行走小车2。根据需要真空环境的工位的数量可以通过封堵系统6控制联通的导管51的数量。根据不同的设备，可以调节连接管53的位置

本具体实施方式的实施例均为本实用新型的较佳实施例，并非依此限制本实用新型的保护范围，故：凡依本实用新型的结构、形状、原理所做的等效变化，均应涵盖于本实用新型的保护范围之内。

Claims (7)

1.一种连接位置可调的真空排气台，包括相连通的离子泵(1)以及真空室(4)，还包括若干个单向阀(9)以及真空压力计(8)，其特征在于：所述真空室(4)外还设置有至少两根导管(51)、所述导管(51)连接有金属软管(52)，所述金属软管(52)背离导管(51)的一端连接有连接管(53)，所述连接管(53)背离金属软管(52)的一端设置有用于连接的法兰。

2.根据权利要求1所述的连接位置可调的真空排气台，其特征在于：所述离子泵(1)下方设置有行走小车(2)，所述行走小车(2)包括固定在所述离子泵(1)底端的平板(21)以及安装在所述平板(21)底端面上的滚轮(22)。

3.根据权利要求2所述的连接位置可调的真空排气台，其特征在于：所述平板(21)上设置有调节连接管(53)位置的调节机构(7)，所述调节机构(7)包括固定在所述平板(21)顶端的套管(71)，所述套管(71)内滑动连接有滑杆(72)，所述滑杆(72)与所述套管(71)亦旋转连接，位于滑杆(72)的顶端固定有夹持所述连接管(53)的管夹一(73)，位于所述连接管(53)与所述套管(71)之间设置有能够固定连接管(53)位置的固定件。

4.根据权利要求3所述的连接位置可调的真空排气台，其特征在于：所述固定件为倾斜支撑在所述连接管(53)以及套管(71)之间的斜撑杆(74)，所述斜撑杆(74)朝向所述套管(71)的一端固定有管夹二(75)，所述管夹二(75)夹持在所述套管(71)的外壁上；所述斜撑杆(74)朝向所述连接管(53)的一端固定有管夹三(76)，所述管夹三(76)夹持在所述连接管(53)的外壁上。

5.根据权利要求3所述的连接位置可调的真空排气台，其特征在于：所述套管(71)垂直于所述平板(21)设置。

6.根据权利要求5所述的连接位置可调的真空排气台，其特征在于：所述套管(71)与所述离子泵(1)之间设置有支撑套管(71)的连杆(77)。

7.根据权利要求1所述的连接位置可调的真空排气台，其特征在于：所述单向阀(9)安装在所述导管(51)上。