CN209525904U - 检测系统 - Google Patents

Abstract

本申请涉及一种检测系统，包含载台、探针装置、处理装置及压力感测单元。压力感测单元可以设置于载台或是整合于探针装置中。压力感测单元设置于载台的实施例中，处理装置控制探针抵压待测件前，将先控制探针抵压于压力感测单元，据以产生压力感测信息。压力感测单元整合于探针装置的实施例中，处理装置控制探针抵压于电性连接部时，压力感测单元将对应产生压力感测信息。处理装置通过探针对待测件完成检测作业后，可以对应产生包含检测结果、探针下压位移量及压力感测信息的检测信息，相关人员则可以通过检测信息，了解探针抵压于电性连接部的作用力。

Description

检测系统

技术领域

本实用新型涉及一种检测系统，特别是一种面板的检测系统。

背景技术

现有的软性显示面板，在制造过程中，会先利用探针抵压基板上的接点，以对面板进行相关的电气检测；处理装置及探针装置具体的作动大致是：处理装置控制探针移动至接点上方，而后处理装置控制探针于Z轴方向移动一预定位移量，据以使探针对应抵压于面板的接点。此作动方式，在具体的实施中，可能发生探针实际下压于面板的力量不符合预期，而导致面板或接点发生损伤或电性检测失准的问题。再者，由于探针在长期使用之情况下，导致探针本身产生微变形，使得探针之针尖位置变异，若仍使用原本之位置参数来控制探针位移，将影响其电性检测之结果。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于提供一种检测系统，用以改善现有技术中，探针实际下压于面板的接点的力量无法被量测，从而可能发生面板被探针过度抵压而损伤的问题。

为了实现上述目的，本实用新型提供一种检测系统，其用以对一待测件进行一检测作业，所述检测系统包含：一载台，其用以承载所述待测件；一探针装置，其包含有至少一探针；一处理装置，其电性连接所述探针装置，所述处理装置能控制所述探针装置作动，以使各个所述探针相对于所述待测件移动至一零点位置或一下压位置；各个所述探针位于所述零点位置时，所述处理装置能控制各个所述探针沿Z轴再移动一下压位移量，以使各个所述探针移动至所述下压位置，据以抵压所述待测件的电性连接部；当各个所述探针抵压于所述待测件的电性连接部时，所述处理装置能对所述待测件进行所述检测作业；一压力感测单元，其设置于所述载台；其中，所述处理装置能控制所述探针装置，以使各个所述探针接触所述压力感测单元的表面，且所述处理装置能控制各个所述探针沿Z轴移动所述下压位移量，而使所述压力感测单元对应产生一压力感测信息。

优选地，所述处理装置能通讯连接一外部电子设备，以接收所述下压位移量；所述处理装置能控制各个所述探针，于接触所述待测件前，先接触所述压力感测单元的表面，并使各个所述探针沿Z轴移动所述下压位移量，而使所述压力感测单元对应产生所述压力感测信息。

优选地，所述检测系统还包含一输入设备，所述输入设备电性连接所述处理装置，所述输入设备能提供使用者操作，以修改所述下压位移量。

优选地，所述检测系统还包含有一零点感知件，各个所述探针于所述零点位置时，所述零点感知件与各个所述探针分离，各个所述探针于所述待测件的上方时，所述零点感知件与至少一所述探针相接触；所述零点感知件与各个所述探针相接触时，所述零点感知件与所述探针短路连接，所述零点感知件与各个所述探针分离时，所述零点感知件与所述探针断路连接。

优选地，所述处理装置电性连接所述探针装置及所述零点感知件，而所述处理装置能感测所述零点感知件与其中一个所述探针彼此间的连接状态；当所述零点感知件与其中一个所述探针由短路连接转换为断路连接时，所述处理装置再控制各个所述探针沿Z轴移动所述下压位移量。

为了实现上述目的，本实用新型还提供一种检测系统，其用以对一待测件进行一检测作业，所述检测系统包含：一载台，其用以承载所述待测件；一探针装置，其包含有至少一探针及一压力感测单元；一处理装置，其电性连接所述探针装置，所述处理装置能控制所述探针装置作动，以使各个所述探针相对于所述待测件移动至一零点位置或一下压位置；各个所述探针位于所述零点位置时，所述处理装置能控制各个所述探针沿Z轴再移动一下压位移量，以使各个所述探针移动至所述下压位置，据以抵压所述待测件的电性连接部；当各个所述探针抵压于所述待测件的电性连接部时，所述压力感测单元能对应产生一压力感测信息，且所述处理装置能对所述待测件进行所述检测作业。

优选地，所述处理装置能通讯连接一外部电子设备，以接收所述下压位移量。

优选地，所述检测系统还包含一输入设备，所述输入设备电性连接所述处理装置，所述输入设备能提供使用者操作，以修改所述下压位移量。

优选地，所述检测系统还包含有一零点感知件，各个所述探针于所述零点位置时，所述零点感知件与各个所述探针分离，各个所述探针于所述待测件的上方时，所述零点感知件与至少一所述探针相接触；所述零点感知件与各个所述探针相接触时，所述零点感知件与所述探针短路连接，所述零点感知件与各个所述探针分离时，所述零点感知件与所述探针断路连接。

优选地，所述处理装置电性连接所述探针装置及所述零点感知件，而所述处理装置能感测所述零点感知件与其中一个所述探针彼此间的连接状态；当所述零点感知件与其中一个所述探针由短路连接转换为断路连接时，所述处理装置再控制各个所述探针沿Z轴移动所述下压位移量。

本实用新型的有益效果可以在于：透过压力感测单元的设置，相关人员可以透过压力感测单元感测所产生的压力感测信息，了解各个探针抵压于待测件的电性连接部的作用力，借此调整各个探针沿Z轴向电性连接部的移动量，从而避免探针过度地抵压于电性连接部，而导致电性连接部或是待测件损坏的问题。

为使能更进一步了解本实用新型的特征及技术内容，请参阅以下有关本实用新型的详细说明与附图，然而所附图式仅提供参考与说明用，并非用来对本实用新型加以限制者。

附图说明

图1为本实用新型的检测系统的第一实施例的示意图。

图2为本实用新型的检测系统的第一实施例的方块示意图。

图3～5为本实用新型的检测系统的第一实施例的作动示意图。

图6为本实用新型的检测系统的第二实施例的示意图。

图7为本实用新型的检测系统的第二实施例的方块示意图。

具体实施方式

于以下说明中，如有指出请参阅特定图式或是如特定图式所示，其仅是用以强调于后续说明中，所述及的相关内容大部份出现于该特定图式中，但不限制该后续说明中仅可参考所述特定图式。

请一并参阅图1至图5，其为本实用新型的检测系统的第一实施例的示意图。检测系统S包含一载台10、一探针装置20、一压力感测单元30及一处理装置40。载台10用以承载一待测件D，压力感测单元30设置于载台10，处理装置40电性连接探针装置20及压力感测单元30，处理装置40能控制探针装置20移动，进而带动其上的探针21移动，以使探针21抵压压力感测单元30或设置于载台10上的待测件D。

在实际应用中，载台10的尺寸、外型及类型可以是依据需求变化，举例来说，载台10可以是仅用以承载、固定待测件D，或者，载台10也可以是具有载运待测件D的功能(例如，载台10可以是具有输送带等机构)。在载台10具有载运待测件D的功能的实施例中，处理装置40可以是电性连接载台10，而处理装置40能于控制探针装置20对设置于载台10上的待测件D完成检测作业后，控制载台10作动，以将完成检测的待测件D移动至下一检测站。在载台10不具有载运功能的实施例中，载台10可以是包含有一机械手臂(未图示)，机械手臂可以是受处理装置40控制，以将待测件D移动至载台10上，或是由载台10上将待测件D卸除。

探针装置20包含有至少一探针21。关于探针21的数量、外型等，可以是依据待测件D的种类而变化，于此不加以限制。在实际应用中，探针装置20可以是与一机械手臂或是多轴移动装置连接，而处理装置40能透过控制机械手臂或是多轴移动装置，以使多个探针21相对于载台10，于X轴、Y轴或Z轴方向移动，或是以Z轴为中心相对于载台10旋转。

压力感测单元30设置于载台10。如图1所示，在实际应用中，压力感测单元30可以是设置于载台10的一侧，而压力感测单元30的一感测表面301可以是与载台10用以承载待测件D的一承载表面101齐平。特别说明的是，在待测件D为软性显示面板的实施例中，所述压力感测单元30的感测表面301可以是高于承载表面101，而感测表面301与承载表面101的高度差，是大致等于软性显示面板的氧化层D1的厚度，但不以此为限，感测表面301与承载表面101两者可以齐平或是不等高，可依据实际需求变化。

如图3至图5所示，处理装置40能控制探针装置20或其所连接的机械手臂(或多轴移动装置)作动，以使探针装置20带动各个探针21相对于待测件D移动至待测件D的上方(如图3所示)、一零点位置(如图4所示)或一下压位置(如图5所示)。如图3所示，处理装置40在控制各个探针21抵压待测件D的电性连接部D2前，处理装置40是先控制探针21移动至待测件D的电性连接部D2的上方；而后，如图4所示，处理装置40将控制各个探针21移动至零点位置，以使各个探针21接触于待测件D的表面D11，图4中是以待测件D为软性显示面板为例，当各个探针21位于零点位置时，各个探针21是接触于软性显示面板的氧化层D1的表面D11。

如图5所示，处理装置40在控制各个探针21位于零点位置后，处理装置40将再控制各个探针21沿Z轴移动一下压位移量，以使各个探针21移动至下压位置(如图5所示)，据以使各个探针21抵压待测件D的电性连接部D2，于待测件D为软性显示面板的实施例中，各个探针21由零点位置(如图4所示)移动至下压位置(如图5所示)的过程中，各个探针21将破坏氧化层D1，从而抵压位于氧化层D1内的电性连接部D2。当各个探针21抵压于待测件D的电性连接部D2时，处理装置40将能对待测件D进行检测作业。

在实际应用中，处理装置40可以是利用影像捕获设备(图未标示)或是一零点感知件50等各种方式，来判断各个探针21是否位于所述零点位置；当处理装置40判断各个探针21位于零点位置时，处理装置40将控制探针装置20或是其所连接的机械手臂作动，以使各个探针21沿Z轴移动所述下压位移量。

具体来说，在处理装置40利用影像捕获设备来判断零点位置的实施例中，影像捕获设备可位于探针21之上方，处理装置40控制各个探针21移动至电性连接部D2的上方后，处理装置40可以是控制各个探针21沿Z轴方向移动一预定位移量，又，在探针21抵压待测件D过程中，因探针21主要是在Z轴方向承受抵压力道而产生微变形，进而相对待测件D在水平方向移动，借此处理装置40能控制影像捕获设备于各个探针21移动前及移动后，分别撷取各个探针21及其相对应的电性连接部D2影像之相对水平方向移动量，据以判断探针21是否相对于电性连接部D2移动，若处理装置40判断探针21相对于电性连接部D2移动时，处理装置40将可以判定探针21已经接触于待测件D的表面D11，借此，处理装置40将可以控制各个探针21沿Z轴方向移动所述下压位移量，以使各个探针21能对应抵压于相对应的电性连接部D2。换言之，当探针21接触于待测件D的表面时，探针21将些微变形，而处理装置40将可以透过影像捕获设备所撷取的影像来判断探针21于移动前及移动后是否变形，据以判断探针21是否已经接触于待测件D的表面D11，甚至可藉由探针21弹性之微变形而反推抵压力道。

如图3及图4，在实际应用中，检测系统S还可以是包含有零点感知件50，处理装置40(如图2所示)电性连接零点感知件50及探针21，而处理装置40能判断零点感知件50与其中一个探针21电性连接的状况。具体来说，如图3所示，当处理装置40控制探针21移动至待测件D的上方时，零点感知件50可以是与其中一探针21相接触，此时零点感知件50与其所接触的探针21彼此间可以是呈现为短路连接的状态。如图4所示，当探针21接触于待测件D的表面D11时，因探针21在Z轴方向承受接触反力，所以探针21将些微地变形，而探针21将据以与零点感知件50相互分离，此时，探针21与零点感知件50将呈现为断路连接的状态，而处理装置40能对应感测到探针21与零点感知件50由短路连接状态转换为断路连接状态，从而处理装置40能判断探针21已接触于待测件D的表面D11，而各个探针21已位于所述零点位置。

关于处理装置40控制各个探针21移动至待测件D的特定电性连接部D2的上方的具体实施方式，可以是处理装置40依据其所连接的储存器所储存的一坐标信息，或是，处理装置40能依据其通讯连接的一外部电子装置(图未示，例如各式计算机等)所传递的一坐标信息，来控制探针装置20的移动，且处理装置40还可以是由储存器或是外部电子装置取得所述下压位移量。

在具体的应用中，处理装置40可以是连接有一输入设备60，输入设备60能被使用者操作，以修改储存于储存器或是外部电子装置所传递的所述下压位移量。处理装置40例如可以是工业计算机等，而所述输入设备60例如可以是触控屏幕、键盘、鼠标等，于此不加以限制。当然，相关使用者也可以是透过输入设备60，输入所述下压位移量，以储存于储存器中。

特别说明的是，处理装置40在依据储存器或外部电子装置所储存或传递的坐标信息及下压位移量，以控制探针21移动并抵压待测件D1的电性连接部D2之前，处理装置40可以是先控制各个探针21移动至压力感测单元30的上方，处理装置40再透过上述影像捕获设备或零点感知件50的辅助，以使探针21移动并接触压力感测单元30的感测表面301后，再将使探针21移动所述下压位移量，据以使压力感测单元30对应产生一压力感测信息30A；处理装置40接收压力感测信息30A后，处理装置40将控制各个探针21先移动至相对应的电性连接部D2的上方，再移动至零点位置，最后沿Z轴移动下压位移量到下压位置，据以使各个探针21对应抵压相对应的电性连接部D2，从而处理装置40能对待测件D进行检测作业。

当待测件D完成相关检测作业后，处理装置40将会把待测件D的检测结果及其对应的压力感测信息30A一并储存为一检测信息40A，而后，相关人员可以透过相关计算机、屏幕等设备，读取检测信息40A以观看待测件D的检测结果及探针21抵压于电性连接部D2的作用力，借此可确保探针21抵压于电性连接部D2的力量是否过度。

请一并参阅图6及图7，图6显示为本实用新型的检测系统的第二实施例的示意图，图7显示为本实用新型的检测系统的第二实施例的方块示意图。如图所示，本实施例的检测系统S，与前述实施例最大不同之处在于：压力感测单元30可以是包含于探针装置20中，而压力感测单元30非如同前述实施例是设置于载台10。

处理装置40在控制探针装置20作动，以使多个探针21抵压待测件D的电性连接部D2的具体实施方式可以是：处理装置40先控制探针装置20移动至待测件D的电性连接部的上方，而后处理装置40透过零点感知件50或影像捕获设备(图未示)的辅助，以使各个探针21接触于待测件D的表面D11，最后处理装置40控制各个探针21沿Z轴移动所述下压位移量，据以使各个探针21抵压于相对应的电性连接部D2，从而处理装置40能对待测件D进行检测作业；其中，前述影像捕获设备可位于所述探针21之上方。

于本实施例中，由于压力感测单元30是设置于探针装置20中，因此，于探针21接触待测件D之表面D11至抵压于电性连接部D2之过程中，压力感测单元30将会对应产生所述压力感测信息30A。

处理装置40通过所述探针21对待测件D完成检测作业后，处理装置40可以是将检测结果、探针21沿Z轴移动的下压位移量及压力感测信息30A整合为一检测信息40A，而相关操作人员则可以通过观看检测信息40A，以得知待测件D的检测结果及探针21抵压于待测件D的电性连接部D2的压力，借此可确保探针21施予适当的压力于相对应的电性连接部D2。于本实施例中，未特别提及的构件及其连接关系，请参阅前述实施例，与此不再赘述。

以上所述仅为本实用新型的较佳可行实施例，非因此局限本实用新型的专利范围，故举凡运用本实用新型说明书及图式内容所做的等效技术变化，均包含于本实用新型的保护范围内。

Claims (10)

1.一种检测系统，其特征在于，所述检测系统用以对一待测件进行一检测作业，所述检测系统包含：

一载台，其用以承载所述待测件；

一探针装置，其包含有至少一探针；

一处理装置，其电性连接所述探针装置，所述处理装置能控制所述探针装置作动，以使各个所述探针相对于所述待测件移动至一零点位置或一下压位置；各个所述探针位于所述零点位置时，所述处理装置能控制各个所述探针沿Z轴再移动一下压位移量，以使各个所述探针移动至所述下压位置，据以抵压所述待测件的电性连接部；当各个所述探针抵压于所述待测件的电性连接部时，所述处理装置能对所述待测件进行所述检测作业；

一压力感测单元，其设置于所述载台；

其中，所述处理装置能控制所述探针装置，以使各个所述探针接触所述压力感测单元的表面，且所述处理装置能控制各个所述探针沿Z轴移动所述下压位移量，而使所述压力感测单元对应产生一压力感测信息。

2.依据权利要求1所述的检测系统，其特征在于，所述处理装置能通讯连接一外部电子设备，以接收所述下压位移量；所述处理装置能控制各个所述探针，于接触所述待测件前，先接触所述压力感测单元的表面，并使各个所述探针沿Z轴移动所述下压位移量，而使所述压力感测单元对应产生所述压力感测信息。

3.依据权利要求1所述的检测系统，其特征在于，所述检测系统还包含一输入设备，所述输入设备电性连接所述处理装置，所述输入设备能提供使用者操作，以修改所述下压位移量。

4.依据权利要求1所述的检测系统，其特征在于，所述检测系统还包含有一零点感知件，各个所述探针于所述零点位置时，所述零点感知件与各个所述探针分离，各个所述探针于所述待测件的上方时，所述零点感知件与至少一所述探针相接触；所述零点感知件与各个所述探针相接触时，所述零点感知件与所述探针短路连接，所述零点感知件与各个所述探针分离时，所述零点感知件与所述探针断路连接。

5.依据权利要求4所述的检测系统，其特征在于，所述处理装置电性连接所述探针装置及所述零点感知件，而所述处理装置能感测所述零点感知件与其中一个所述探针彼此间的连接状态；当所述零点感知件与其中一个所述探针由短路连接转换为断路连接时，所述处理装置再控制各个所述探针沿Z轴移动所述下压位移量。

6.一种检测系统，其特征在于，所述检测系统用以对一待测件进行一检测作业，所述检测系统包含：

一载台，其用以承载所述待测件；

一探针装置，其包含有至少一探针及一压力感测单元；

一处理装置，其电性连接所述探针装置，所述处理装置能控制所述探针装置作动，以使各个所述探针相对于所述待测件移动至一零点位置或一下压位置；各个所述探针位于所述零点位置时，所述处理装置能控制各个所述探针沿Z轴再移动一下压位移量，以使各个所述探针移动至所述下压位置，据以抵压所述待测件的电性连接部；当各个所述探针抵压于所述待测件的电性连接部时，所述压力感测单元能对应产生一压力感测信息，且所述处理装置能对所述待测件进行所述检测作业。

7.依据权利要求6所述的检测系统，其特征在于，所述处理装置能通讯连接一外部电子设备，以接收所述下压位移量。

8.依据权利要求6所述的检测系统，其特征在于，所述检测系统还包含一输入设备，所述输入设备电性连接所述处理装置，所述输入设备能提供使用者操作，以修改所述下压位移量。

9.依据权利要求6所述的检测系统，其特征在于，所述检测系统还包含有一零点感知件，各个所述探针于所述零点位置时，所述零点感知件与各个所述探针分离，各个所述探针于所述待测件的上方时，所述零点感知件与至少一所述探针相接触；所述零点感知件与各个所述探针相接触时，所述零点感知件与所述探针短路连接，所述零点感知件与各个所述探针分离时，所述零点感知件与所述探针断路连接。

10.依据权利要求9所述的检测系统，其特征在于，所述处理装置电性连接所述探针装置及所述零点感知件，而所述处理装置能感测所述零点感知件与其中一个所述探针彼此间的连接状态；当所述零点感知件与其中一个所述探针由短路连接转换为断路连接时，所述处理装置再控制各个所述探针沿Z轴移动所述下压位移量。