CN209508406U - 一种具有除尘功能的pecvd下料装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了PECVD下料装置技术领域的一种具有除尘功能的PECVD下料装置，包括下料本体与机械臂，下料本体顶部内壁设置有机械臂，机械臂底部外壁设置有连接板，连接板底部外壁设置有吸盘，下料本体左右两侧中央内壁之间设置有托板，托板顶部外壁设置有风刀，下料本体左侧底部内壁设置有支撑板，支撑板顶部外壁设置有鼓风机，装置中通过引风机工作，将下料本体内部空气抽入到收集箱中，使清理产生的氮化硅粉尘也被吸收到收集箱中，确保氮化硅粉尘不会四处飞溅，使周围环境不被污染，保证工作人员的身体健康。

Description

一种具有除尘功能的PECVD下料装置

技术领域

本实用新型涉及PECVD下料装置技术领域，具体为一种具有除尘功能的PECVD下料装置。

背景技术

硅片在传输下料的过程中，硅片的镀膜面会累积大量氮化硅粉尘，需要进行清理，以保证印刷时的质量，然而通过风刀将硅片的氮化硅粉尘吹走时，粉尘会四处飞溅，污染周围的环境，影响人们身体健康，为此，我们提出一种具有除尘功能的PECVD下料装置。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种具有除尘功能的PECVD下料装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种具有除尘功能的PECVD下料装置，包括下料本体与机械臂，下料本体顶部内壁设置有机械臂，机械臂底部外壁设置有连接板，连接板底部外壁设置有吸盘，下料本体左右两侧中央内壁之间设置有托板，托板顶部外壁设置有风刀，下料本体左侧底部内壁设置有支撑板，支撑板顶部外壁设置有鼓风机，鼓风机左侧外壁出口与电磁阀连接，电磁阀左侧外壁设置有通风管，通风管远离电磁阀的一端与风刀左侧外壁连接，下料本体右侧外壁开设有开槽，下料本体右侧外壁设置有连接管，开槽位于连接管的正左侧，连接管远离下料本体的一端与收集箱连接，收集箱左侧外壁与下料本体右侧底部外壁连接，收集箱底部右侧内壁设置有引风机，收集箱底部左侧外壁开设有出风口，出风口内腔设置有筛网。

优选的，出风口左右两侧内壁均设置有支撑块，支撑块底部外壁设置有弹簧，弹簧底端与筛网顶部外壁相贴合，收集箱底部外壁设置有两组转轴，两组转轴相互靠近的一端均设置有挡块，挡块顶部外壁与筛网底部外壁相贴合。

优选的，下料本体右壁开设有滑槽，滑槽底端与开槽顶端连接，滑槽顶部内壁设置有支撑弹簧，支撑弹簧底端设置有挡板，挡板底端延伸至开槽的内腔并与电生磁装置连接，开槽底部内壁设置有磁块，磁块顶部外壁与电生磁装置底部外壁相贴合。

优选的，收集箱左侧外壁设置有卡块，下料本体与收集箱的连接部位开设有与卡块相匹配的卡槽。

优选的，挡块顶部外壁设置有定位块，筛网底部左右两侧外壁均开设有定位槽，定位块顶端插接在定位槽的内腔，且定位块与定位槽的竖截面均呈半圆形。

优选的，吸盘个数共有八组，且八组吸盘呈矩形阵列排布。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1.装置中通过引风机工作，将下料本体内部空气抽入到收集箱中，使清理产生的氮化硅粉尘也被吸收到收集箱中，确保氮化硅粉尘不会四处飞溅，使周围环境不被污染，保证工作人员的身体健康；

2.电生磁装置停止工作使磁场消失，通过支撑弹簧扩张，使挡板向下移动将开槽堵住，避免收集箱中收集的粉尘飞出而造成环境污染，同时将挡块从筛网下方转走，通过弹簧扩张，使筛网从出风口处弹出，方便清理筛网，避免筛网堵塞而影响收集箱工作。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型挡块与筛网连接结构示意图。

图中：1、下料本体；2、机械臂；3、连接板；4、吸盘；5、托板；6、风刀；7、电磁阀；8、通风管；9、滑槽；10、挡板；11、电生磁装置；12、连接管；13、收集箱；14、引风机；15、出风口；16、筛网；17、弹簧；18、转轴；19、挡块；20、支撑块。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-2，本实用新型提供一种技术方案：一种具有除尘功能的PECVD下料装置，包括下料本体1与机械臂2，下料本体1顶部内壁设置有机械臂2，机械臂2底部外壁设置有连接板3，连接板3底部外壁设置有吸盘4，下料本体1左右两侧中央内壁之间设置有托板5，托板5顶部外壁设置有风刀6，风刀6是由钻孔的水管制成的，下料本体1左侧底部内壁设置有支撑板，支撑板顶部外壁设置有鼓风机，鼓风机左侧外壁出口与电磁阀连接，电磁阀左侧外壁设置有通风管8，通风管8远离电磁阀的一端与风刀6左侧外壁连接，下料本体1右侧外壁开设有开槽，下料本体1右侧外壁设置有连接管12，开槽位于连接管12的正左侧，连接管12远离下料本体1的一端与收集箱13连接，收集箱13左侧外壁与下料本体1右侧底部外壁连接，收集箱13底部右侧内壁设置有引风机14，引风机14工作，将下料本体1中的空气抽入到收集箱13中，也将粉尘吸入到收集箱13中，经过筛网16过滤，将粉尘留着收集箱13中，空气从出风口15处排出，确保氮化硅粉尘不会四处飞溅，使周围环境不被污染，保证工作人员的身体健康，收集箱13底部左侧外壁开设有出风口15，出风口15内腔设置有筛网16，鼓风机、机械臂2与引风机14通过导线和外部电源开关电性连接。

其中，出风口15左右两侧内壁均设置有支撑块20，支撑块20底部外壁设置有弹簧17，弹簧17底端与筛网16顶部外壁相贴合，收集箱13底部外壁设置有两组转轴18，两组转轴18相互靠近的一端均设置有挡块19，挡块19顶部外壁与筛网16底部外壁相贴合，将挡块19从筛网16下方转走，通过弹簧17扩张，使筛网16从出风口15中弹出，避免清理筛网16表面累积的杂质，保证收集箱13正常工作；

下料本体1右壁开设有滑槽9，滑槽9底端与开槽顶端连接，滑槽9顶部内壁设置有支撑弹簧，支撑弹簧底端设置有挡板10，挡板10底端延伸至开槽的内腔并与电生磁装置11连接，开槽底部内壁设置有磁块，磁块顶部外壁与电生磁装置11底部外壁相贴合，引风机14停止工作断电时，电生磁装置11也断电停止工作使磁场消失，通过支撑弹簧扩张，使挡板10向下移动将开槽堵住，避免收集箱13中收集的粉尘飞出而造成环境污染；

收集箱13左侧外壁设置有卡块，下料本体1与收集箱13的连接部位开设有与卡块相匹配的卡槽，方便将收集箱13拆下来，便于清理收集箱13内部累积的杂质；

挡块19顶部外壁设置有定位块，筛网16底部左右两侧外壁均开设有定位槽，定位块顶端插接在定位槽的内腔，固定挡块19进行固定，避免挡块19发生移动而导致筛网16掉落，且定位块与定位槽的竖截面均呈半圆形，方便定位块从定位槽中移出；

吸盘4个数共有八组，且八组吸盘4呈矩形阵列排布，增加硅片固定的稳定性，避免硅片发生掉落。

工作原理：机械臂2工作，使吸盘4将硅片吸附住，将硅片移到风刀6的上方，通过鼓风机工作，使风刀6将风吹向硅片底部，将粉尘吹走，同时引风机14工作，使下料本体1中的空气抽入到收集箱13中，也将粉尘吸入到收集箱13中，经过筛网16过滤，将粉尘留着收集箱13中，空气从出风口15处排出，确保氮化硅粉尘不会四处飞溅，使周围环境不被污染，保证工作人员的身体健康。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (6)

1.一种具有除尘功能的PECVD下料装置，包括下料本体（1）与机械臂（2），其特征在于：下料本体（1）顶部内壁设置有机械臂（2），机械臂（2）底部外壁设置有连接板（3），连接板（3）底部外壁设置有吸盘（4），下料本体（1）左右两侧中央内壁之间设置有托板（5），托板（5）顶部外壁设置有风刀（6），下料本体（1）左侧底部内壁设置有支撑板，支撑板顶部外壁设置有鼓风机，鼓风机左侧外壁出口与电磁阀连接，电磁阀左侧外壁设置有通风管（8），通风管（8）远离电磁阀的一端与风刀（6）左侧外壁连接，下料本体（1）右侧外壁开设有开槽，下料本体（1）右侧外壁设置有连接管（12），开槽位于连接管（12）的正左侧，连接管（12）远离下料本体（1）的一端与收集箱（13）连接，收集箱（13）左侧外壁与下料本体（1）右侧底部外壁连接，收集箱（13）底部右侧内壁设置有引风机（14），收集箱（13）底部左侧外壁开设有出风口（15），出风口（15）内腔设置有筛网（16）。

2.根据权利要求1所述的一种具有除尘功能的PECVD下料装置，其特征在于：出风口（15）左右两侧内壁均设置有支撑块（20），支撑块（20）底部外壁设置有弹簧（17），弹簧（17）底端与筛网（16）顶部外壁相贴合，收集箱（13）底部外壁设置有两组转轴（18），两组转轴（18）相互靠近的一端均设置有挡块（19），挡块（19）顶部外壁与筛网（16）底部外壁相贴合。

3.根据权利要求1所述的一种具有除尘功能的PECVD下料装置，其特征在于：下料本体（1）右壁开设有滑槽（9），滑槽（9）底端与开槽顶端连接，滑槽（9）顶部内壁设置有支撑弹簧，支撑弹簧底端设置有挡板（10），挡板（10）底端延伸至开槽的内腔并与电生磁装置（11）连接，开槽底部内壁设置有磁块，磁块顶部外壁与电生磁装置（11）底部外壁相贴合。

4.根据权利要求1所述的一种具有除尘功能的PECVD下料装置，其特征在于：收集箱（13）左侧外壁设置有卡块，下料本体（1）与收集箱（13）的连接部位开设有与卡块相匹配的卡槽。

5.根据权利要求2所述的一种具有除尘功能的PECVD下料装置，其特征在于：挡块（19）顶部外壁设置有定位块，筛网（16）底部左右两侧外壁均开设有定位槽，定位块顶端插接在定位槽的内腔，且定位块与定位槽的竖截面均呈半圆形。

6.根据权利要求1所述的一种具有除尘功能的PECVD下料装置，其特征在于：吸盘（4）个数共有八组，且八组吸盘（4）呈矩形阵列排布。