CN209481855U - 一种脱胶工序类单晶籽晶的保护装置 - Google Patents
一种脱胶工序类单晶籽晶的保护装置 Download PDFInfo
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Abstract
一种脱胶工序类单晶籽晶的保护装置，包括镶嵌式固定在金属框架内的保护框，所述保护框的4个侧壁以及底部端面均设有密排分布的细孔，所述保护框内装有类单晶籽晶，类单晶籽晶上端设有玻璃板，玻璃板上端设有晶拖，所述保护框和类单晶籽晶相接触的4个侧壁以及底部端面上还均设有软塑料网。本实用新型在金属框架中套一个保护框，保护框上具有密排分布的细孔，保护框内壁的四个侧面和底面上固定有网状软塑料，能够防止类单晶籽晶直接与保护框磕碰。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种脱胶工序类单晶籽晶的保护装置。
背景技术
将直拉单晶圆棒去除边皮得到单晶长棒，粘胶后通过切片机切成小长方体状类单晶籽晶，将其平铺在坩埚底部，再经过铸锭炉得到类单晶铸锭。类单晶籽晶是生产类单晶铸锭时最为重要的原材料，它的完整度直接影响到类单晶铸锭的质量，因为类单晶籽晶的尺寸分为很多种，边长不一定是156.75mm，和产线上的工装尺寸不匹配，其加工过程中很容易出现崩角、隐裂等损伤，目前脱胶工序出现损伤的概率很大。
实用新型内容
本实用新型其目的就在于提供一种脱胶工序类单晶籽晶的保护装置，解决了目前脱胶工序中出现类单晶籽晶崩角、隐裂等损伤概率很大的问题。
为实现上述目的而采取的技术方案是，一种脱胶工序类单晶籽晶的保护装置，包括镶嵌式固定在金属框架内的保护框，所述保护框的4个侧壁以及底部端面均设有密排分布的细孔，所述保护框内装有类单晶籽晶，类单晶籽晶上端设有玻璃板，玻璃板上端设有晶拖，所述保护框和类单晶籽晶相接触的4个侧壁以及底部端面上还均设有软塑料网。
有益效果
与现有技术相比本实用新型具有以下优点。
本实用新型的优点是，能够防止类单晶籽晶脱胶后因磕碰而造成崩角、隐裂等损伤，保证类单晶籽晶的完整性，提高类单晶籽晶铸锭的质量。
附图说明
以下结合附图对本实用新型作进一步详述。
图1为本实用新型的结构示意图；
图2为本实用新型中金属框架的结构示意图；
图3为本实用新型中保护框的结构示意图；
图4为本实用新型中软塑料网的结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图，对本实用新型作进一步的说明。
本装置包括镶嵌式固定在金属框架1内的保护框2，如图1-图4所示，所述保护框2的4个侧壁以及底部端面均设有密排分布的细孔7，所述保护框2内装有类单晶籽晶4，类单晶籽晶4上端设有玻璃板5，玻璃板5上端设有晶拖6，所述保护框2和类单晶籽晶4相接触的4个侧壁以及底部端面上还均设有软塑料网3。
所述保护框2和类单晶籽晶4之间的软塑料网3为单层或多层，以保证类单晶籽晶4的尺寸和保护框2内部的剩余空间相匹配。
本实用新型为常规产线上的脱胶工装，是针对边长为156.75mm的硅片设计，而类单晶籽晶的尺寸有很多种，边长一般在是100mm-156mm之间，类单晶籽晶4脱胶后会掉落在金属框架1中，与金属框架1磕碰，造成类单晶籽晶4崩角、隐裂；金属框架1底部只有两个支撑柱，类单晶籽晶4可能从金属框架1里掉落到脱胶机中，也会对类单晶籽晶4造成损伤；本装置在金属框架1中套一个保护框2，保护框2的尺寸与金属框架1的尺寸相匹配，保证保护框2在金属框架1中不晃动，保护框2可以是不锈钢、硬质塑料、PPE塑料等材质，保护框2上具有密排分布的细孔7，出脱胶机时，便于液体从细孔7中流出；保护框2内壁的四个侧面和底面固定有软塑料网3，防止类单晶籽晶4直接与保护框2磕碰；类单晶籽晶4的尺寸比较小时，在保护框2内壁的四个侧面和底面多固定几层软塑料网3，保证类单晶籽晶4的尺寸和保护框2内部剩余空间相匹配。
Claims (2)
1.一种脱胶工序类单晶籽晶的保护装置，包括镶嵌式固定在金属框架（1）内的保护框（2），其特征在于，所述保护框（2）的4个侧壁以及底部端面均设有密排分布的细孔（7），所述保护框（2）内装有类单晶籽晶（4），类单晶籽晶（4）上端设有玻璃板（5），玻璃板（5）上端设有晶拖（6），所述保护框（2）和类单晶籽晶（4）相接触的4个侧壁以及底部端面上还均设有软塑料网（3）。
2.根据权利要求1所述的一种脱胶工序类单晶籽晶的保护装置，其特征在于，所述保护框（2）和类单晶籽晶（4）之间的软塑料网（3）为单层或多层，以保证类单晶籽晶（4）的尺寸和保护框（2）内部的剩余空间相匹配。
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