CN209460228U - 一种动态气敏特性检测装置 - Google Patents

一种动态气敏特性检测装置 Download PDF

Info

Publication number
CN209460228U
CN209460228U CN201920052972.3U CN201920052972U CN209460228U CN 209460228 U CN209460228 U CN 209460228U CN 201920052972 U CN201920052972 U CN 201920052972U CN 209460228 U CN209460228 U CN 209460228U
Authority
CN
China
Prior art keywords
upper cover
pedestal
detection device
sensitive characteristic
characteristic detection
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201920052972.3U
Other languages
English (en)
Inventor
陈栋梁
周睿颖
荣钱
邹子纯
曹立志
周文建
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hefei Micro And Nano Sensor Technology Co Ltd
Original Assignee
Hefei Micro And Nano Sensor Technology Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hefei Micro And Nano Sensor Technology Co Ltd filed Critical Hefei Micro And Nano Sensor Technology Co Ltd
Application granted granted Critical
Publication of CN209460228U publication Critical patent/CN209460228U/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Landscapes

  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)

Abstract

本实用新型提供一种动态气敏特性检测装置,其特征在于:包括底座、上盖;所述底座上固定有多个传感器芯片;所述上盖上设置有与传感器芯片位置和数量相匹配的探针,以及开设有进气口和排气口;所述上盖和底座固定配合后,探针与相对应的传感器芯片的触点接触,且上盖和底座之间形成测试腔,多个传感器芯片处于测试腔内,待测气体自进气口进入,经过测试腔后从排气口排出。本实用新型优点为:通过多通道的设置,同时对待测气体进行多组检测,能够得到多组检测信息,降低检测失误率,提高检测效果。

Description

一种动态气敏特性检测装置
技术领域
本实用新型涉及气体传感器气敏特性测试技术领域,具体来说是一种动态气敏特性检测装置。
背景技术
动态气敏特性测试装置一般是令测试气体不断通过含有气体传感器的容器,气体传感器表面有气敏材料,通过在气敏材料表面吸附测试气体及表面反应引起自身电阻的变化,从而检测到目标气体。使用数据采集器进行数据采集并通过电脑完成数据记录和处理,最终完成气体敏感性测试。
现有的动态气敏特性测试装置,利用探针接电结构将探针与芯片触点接触,实现电连接,进而检测气体传感器的电阻。探针接电结构包括四个独立的探针调整装置,围绕在气体传感器放置台的四周,每个探针调整装置需要单独接电,并分别调整一根探针与气体传感器的一个电极触点接触。探针调整装置上设有三个方向调节旋钮,分别旋转三个旋钮,可控制探针沿X轴、Y轴和Z轴方向移动,通过多次调整,最终使探针与传感器的电极触点接触,接通电源后,可实现电连接。
上述结构复杂,价格昂贵,芯片电极与探针对准效率低下,力度不均,操作繁琐。且现有动态气敏测试腔体容积较大,腔体内的气体分布不均匀,检测结果不够精确,测试速度有待进一步提高。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是现有技术中的动态气敏特性测试装置探头与触点对准时效率低下,力度不均,操作繁琐。
本实用新型通过以下技术方案来解决上述技术问题:
一种动态气敏特性检测装置,包括底座、上盖;所述底座上固定有至少一个传感器芯片;所述上盖上设置有与传感器芯片触点的位置和数量相匹配的探针,以及开设有进气口和排气口;所述上盖和底座固定配合后,探针与相对应的传感器芯片的触点接触,且上盖和底座之间形成测试腔,传感器芯片处于测试腔内,待测气体自进气口进入,经过测试腔后从排气口排出。
优选的,所述底座外周壁上竖向设置有凸条,所述上盖底端开口形成容纳底座的腔体,腔体内壁设置有与凸条数量、位置对应的插槽;底座与上盖插接装配后,探针与相对应的传感器芯片触点接触。
优选的,还包括外壳,所述外壳具有开口向上的腔体;所述外壳具有内螺纹,上盖底端具有外螺纹,外壳与上盖螺合固定后,底座限位在上盖与外壳之间形成的容纳腔内。
优选的,所述凸条有3个,3个凸条不均匀布置在底座外周。
优选的,所述上盖下表面固定探针的区域向上形成凹陷区域,凹陷区域与进气口、出气口连通。
优选的,所述凹陷区域为长槽型,其两端凹陷深度大于中间凹陷深度,以将凹陷区域按照气流方形依次分为进气区域、检测区域、排气区域;进气区域、检测区域、排气区域平滑过渡。
优选的,所述底座的上表面开设有第一限位槽,在第一限位槽内限位有芯片托盘;所述芯片托盘上开设有第二限位槽,每个第二限位槽内限位有一个传感器芯片;所述第二限位槽开设有贯穿槽底的通气孔。
优选的,所述第一限位槽和第二限位槽的相对两侧均开设有夹取槽。
优选的,所述夹取槽具有导向面,夹子的夹脚沿导向面滑至芯片托盘会传感器芯片的侧边处。
优选的,所述上盖与主板箱电性连接;所述主板箱与外部电源和设备电性连接。
本实用新型的优点在于:
1、通过将传感器芯片安装在底座上,并在上盖上设置与传感器芯片触点的位置及数量相对应的探针,使得上盖与底座固定配合后,每个探针与对应的传感器芯片的触点接触,迅速对准,对准效率高,并且力度均匀,延长探针及芯片的使用寿命。整体结构相对现有技术做了很大程度的简化,降低成本。
2、当底座上安装多个传感器芯片时,通入待测气体后,可同时检测多个传感器芯片的气敏特性,能够得到多组检测信息,大幅提高检测效率;
3、通过凸条、插槽限位配合,实现探头与芯片触点的快速精准对接;
4、通过3个凸条的不均匀布置,实现上盖与底座装配的方向唯一性;
5、通过外壳的进一步固定,使底座与上盖压紧,避免探头移位;
6、将测试强设置层中间低,两端高的结构,使检测区域为扁平状结构,确保待检测的气体在检测区域均匀分布,与每一个芯片上的气敏材料接触,提高检测结果的精确率;
7、通过第一限位槽和第二限位槽的设置,以及夹取槽的开设,实现快速装配或拿取小体积的芯片。
附图说明
图1为本实用新型实施例中动态气敏特性检测装置的俯视结构示意图;
图2为本实用新型实施例中动态气敏特性检测装置的仰视结构示意图;
图3为本实用新型实施例中动态气敏特性检测装置的主视结构示意图;
图4为图3中A-A剖面结构示意图;
图5为本实用新型实施例中动态气敏特性检测装置中底座的爆炸图。
具体实施方式
为使对本实用新型的结构特征及所达成的功效有更进一步的了解与认识,用以较佳的实施例及附图配合详细的说明,说明如下:
如图1、图2、图3所示,一种动态气敏特性检测装置,包括底座1、上盖2;底座1上固定有4个传感器芯片3;上盖2上设置有与传感器芯片3上触点的位置和数量相匹配的探针4,以及开设有进气口21和排气口22;当然,也可以根据实际需要,在底座1上设置其他数量的传感器芯片3,同时上盖2上的探针4的数量和位置与传感器芯片触点相对应。上盖2和底座1固定配合后,探针4与相对应的传感器芯片3的触点接触,且上盖2和底座1之间形成测试腔,多个传感器芯片3处于测试腔内,进气口21和排气口22通过测试腔连通。
结合图5所示,底座1和上盖2的具体配合关系为:
本实施例中底座1为圆饼状,其四周竖向设置有多根凸条11。上盖2整体为圆柱状,其下端开口形成容纳底座1的腔体,腔体内壁设置有与凸条11数量相同的插槽24,插槽24与凸条11插接匹配后,探针4与相对应的传感器芯片3触点接触。由于每个探针对应的芯片触点唯一,所以要求装配时上盖2的方向也唯一。本实施例通过设计3个凸条11,3个凸条11不均匀布置在底座1的外周,以便于与上盖2装配式方向唯一,3个不均匀布置的凸条11起到导向的作用。也可以通过在上盖2和底座1上设置标记,装配时通过标记对其来实现方向的确定。
为了能够将底座1与上盖2固定不脱落,本实施例还提供外壳10;外壳10同样为圆柱体,具有开口向上的腔体,外壳10内壁具有内螺纹,上盖2容纳底座1的一端外部具有外螺纹,底座1与上盖2插接配合后,外壳10与上盖2螺纹旋紧,将底座1与上盖2压紧,使探针4与传感器芯片3接触紧密不松动。外壳10腔体底部设置有密封圈100,上盖2与外壳10螺合后,上盖2底端与密封圈100抵接实现密封效果。
如图4所示,为了使气体与芯片充分接触,本实施例的测试腔的竖向剖面结构为两端高,中间低的模式,具体为:上盖2下表面固定探针4的区域向上形成凹陷区域,凹陷区域为长槽型,两端分别与进气口21、排气口22连通,且两端凹陷深度大于中间凹陷深度,以将凹陷区域按照气流方形依次分为进气区域51、检测区域52、排气区域53;进气区域51、检测区域52、排气区域53平滑过渡。气流在检测区域52流动时,通道变窄,速度快,与传感器芯片3接触均匀。
如图5所示,底座1的上表面开设有第一限位槽13,在第一限位槽13内限位有芯片托盘6;芯片托盘6上开设有多个第二限位槽61,多个第二限位槽61内分别限位有传感器芯片3。第一限位槽13和第二限位槽61的相对两侧均开设有夹取槽7。夹取槽7具有导向面,夹子的夹脚沿导向面滑至芯片托盘6或传感器芯片3的侧边处。本实施在第二限位槽61开设有贯穿槽底的通气孔,用来通气,防止芯片和第二限位槽61之间形成真空不好取出
上盖2大致为圆柱体,其下端与底座1连接,上端通过航空插头9与主板箱8连接,探针4与航空插头9电性连接,主板箱8与外部电源和设备电性连接。
具体工作原理:
将待测传感器芯片3放置在芯片托盘6上,然后将托盘连通芯片放置在第一限位槽13内。然后将上盖2与底座1插接固定后再通过外壳10压紧,上盖2与主板箱8连接,主板箱8与外部设备和电源连接,进气口21、排气口22分别通过管道与气罐和废气回收设备连接。最后开通电源和设备,打开气阀,即可检测。
以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解,本实用新型不受上述实施例的限制,上述实施例和说明书中描述的只是本实用新型的原理,在不脱离本实用新型精神和范围的前提下本实用新型还会有各种变化和改进,这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型的范围内。本实用新型要求的保护范围由所附的权利要求书及其等同物界定。

Claims (10)

1.一种动态气敏特性检测装置,其特征在于:包括底座、上盖;所述底座上固定有至少一个传感器芯片;所述上盖上设置有与传感器芯片触点的位置和数量相匹配的探针,以及开设有进气口和排气口;所述上盖和底座固定配合后,探针与相对应的传感器芯片的触点接触,且上盖和底座之间形成测试腔,传感器芯片处于测试腔内,待测气体自进气口进入,经过测试腔后从排气口排出。
2.根据权利要求1所述的一种动态气敏特性检测装置,其特征在于:所述底座外周壁上竖向设置有凸条,所述上盖底端开口形成容纳底座的腔体,腔体内壁设置有与凸条数量、位置对应的插槽;底座与上盖插接装配后,探针与相对应的传感器芯片触点接触。
3.根据权利要求2所述的一种动态气敏特性检测装置,其特征在于:还包括外壳,所述外壳具有开口向上的腔体;所述外壳具有内螺纹,上盖底端具有外螺纹,外壳与上盖螺合固定后,底座限位在上盖与外壳之间形成的容纳腔内。
4.根据权利要求2或3所述的一种动态气敏特性检测装置,其特征在于:所述凸条有3个,3个凸条不均匀布置在底座外周。
5.根据权利要求2或3所述的一种动态气敏特性检测装置,其特征在于:所述上盖下表面固定探针的区域向上形成凹陷区域,凹陷区域与进气口、出气口连通。
6.根据权利要求5所述的一种动态气敏特性检测装置,其特征在于:所述凹陷区域为长槽型,其两端凹陷深度大于中间凹陷深度,以将凹陷区域按照气流方形依次分为进气区域、检测区域、排气区域;进气区域、检测区域、排气区域平滑过渡。
7.根据权利要求1至3任一所述的一种动态气敏特性检测装置,其特征在于:所述底座的上表面开设有第一限位槽,在第一限位槽内限位有芯片托盘;所述芯片托盘上开设有第二限位槽,每个第二限位槽内限位有一个传感器芯片。
8.根据权利要求7所述的一种动态气敏特性检测装置,其特征在于:所述第一限位槽和第二限位槽的相对两侧均开设有夹取槽。
9.根据权利要求8所述的一种动态气敏特性检测装置,其特征在于:所述夹取槽具有导向面,夹子的夹脚沿导向面滑至芯片托盘会传感器芯片的侧边处。
10.根据权利要求1至3任一所述的一种动态气敏特性检测装置,其特征在于:所述上盖与主板箱电性连接;所述主板箱与外部电源和设备电性连接。
CN201920052972.3U 2019-01-03 2019-01-11 一种动态气敏特性检测装置 Active CN209460228U (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201920026076 2019-01-03
CN201920026076X 2019-01-03

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN209460228U true CN209460228U (zh) 2019-10-01

Family

ID=68049732

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201920052972.3U Active CN209460228U (zh) 2019-01-03 2019-01-11 一种动态气敏特性检测装置

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN209460228U (zh)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111537670A (zh) * 2020-04-20 2020-08-14 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 一种顶接触式气体测试腔及应用其的动态气体测试系统
CN113484472A (zh) * 2021-07-05 2021-10-08 郑州水伟环境科技有限公司 智能多通道气体自适应标定检测芯片
CN114791447A (zh) * 2022-05-05 2022-07-26 杭州汇健科技有限公司 一种多通道气体传感器
CN115825161A (zh) * 2022-10-09 2023-03-21 宁波大学 一种车用薄膜电阻型气体传感器的测试装置

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111537670A (zh) * 2020-04-20 2020-08-14 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 一种顶接触式气体测试腔及应用其的动态气体测试系统
CN111537670B (zh) * 2020-04-20 2022-06-10 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 一种顶接触式气体测试腔及应用其的动态气体测试系统
CN113484472A (zh) * 2021-07-05 2021-10-08 郑州水伟环境科技有限公司 智能多通道气体自适应标定检测芯片
CN114791447A (zh) * 2022-05-05 2022-07-26 杭州汇健科技有限公司 一种多通道气体传感器
CN114791447B (zh) * 2022-05-05 2024-01-12 杭州汇健科技有限公司 一种多通道气体传感器
CN115825161A (zh) * 2022-10-09 2023-03-21 宁波大学 一种车用薄膜电阻型气体传感器的测试装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN209460228U (zh) 一种动态气敏特性检测装置
CN207601552U (zh) 空气质量集成检测装置
CN202119392U (zh) 光电千分尺装置
CN204027651U (zh) 试管样本量检测装置
CN107727697A (zh) 一种高通量材料芯片四探针原位电阻测量设备
CN105954340B (zh) 用于平板式工作电极的电信号采集和传输装置
CN100474577C (zh) 基板及其电测方法
CN108088955A (zh) 一种抗干扰气体传感器
CN111800724B (zh) 一种入耳式耳机佩戴检测装置和方法
CN206177506U (zh) 压力传感器
CN107144395A (zh) 一种气压测量装置
CN207703942U (zh) 一种自带流路稳态检测电导仪
CN206649051U (zh) 具有恒流源供电的数字加速度测量装置
CN113237526B (zh) 一种非接触式液体体积和质量自动测量装置及测量方法
CN205283819U (zh) 一种终端的硅晶麦克风检测治具
CN207379966U (zh) 一种高通量材料芯片四探针原位电阻测量设备
CN108226840A (zh) 一种微弱电荷校准系统
CN208818440U (zh) 高精度气密性测试系统
CN209144163U (zh) 细胞计数装置以及系统
CN205384297U (zh) 一种单层片式瓷介电容器高频s参数测试夹具
CN206223742U (zh) 可更换检测气体类型的空气污染物检测装置
CN206348350U (zh) 一种集成液面检测的微量进样装置
CN205353139U (zh) 一种用于单层片式瓷介电容器测试的夹具
CN220287949U (zh) 一种滤膜干燥器
CN110672793A (zh) 一种可快速精准检测的多参数微环境空气质量监测装置

Legal Events

Date Code Title Description
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant