CN209406974U - 一种芯片生产用超声波清洁装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及芯片生产的技术领域，特别是涉及一种芯片生产用超声波清洁装置，其方便后续对粘有清洁液的芯片进行清洁；并且方便对芯片进行取放，提高使用性；且可加快清洁后芯片表面液体的干燥速度，提高使用可靠性；包括外壳、内胆、两组超声波发射器、挡盖、输入管、输出管和四组支座，内胆底端左半区域和右半区域分别与两组超声波发射器的输出端连接；还包括进水管和单向阀，进水管连通设置在输入管上；还包括调节架、支撑网板和网盒，网盒放置在支撑网板顶端；还包括放置箱、风扇、电加热网和出风管，风扇和电加热网均设置在放置箱内，且风扇位于电加热网下方，放置箱底端设置有通风口。

Description

一种芯片生产用超声波清洁装置

技术领域

本实用新型涉及芯片生产的技术领域，特别是涉及一种芯片生产用超声波清洁装置。

背景技术

众所周知，芯片生产用超声波清洁装置是一种用于芯片生产过程中，对脏污的芯片进行超声波清洁的辅助装置，其在芯片生产领域中得到广泛的使用；现有的芯片生产用超声波清洁装置包括外壳、内胆、两组超声波发射器、挡盖、输入管、输出管和四组支座，四组支座分别设置在外壳底端左前侧、左后侧、右前侧和右后侧上，两组超声波发射器分别设置在外壳内底壁左半区域和右半区域上，内胆设置在外壳内部，且内胆底端左半区域和右半区域分别与两组超声波发射器的输出端连接，外壳顶端设置有取放口，挡盖设置在取放口上，输入管和输出管分别设置在外壳左端上侧和右端下侧，并在输入管和输出管上均设置有控制阀，且输入管输出端和输出管输入端均位于内胆内部；这种芯片生产用超声波清洁装置使用时只需打开挡盖并将芯片放入内胆中，之后通过输入管向内胆内部输入清洁液，直至清洁液没过芯片后停止输入，之后关闭挡盖并控制两组超声波发射器同时工作，超声波在液体中传播时的声压剧变使清洁液发生强烈的空化和乳化现象，使溶液每秒钟产生数百万计的微小空化气泡，这些气泡在声压作用下急速地大量产生，并不断地猛烈爆破，从而对芯片进行清洁，清洁完成后打开输出管控制阀并将污水排出，之后再将芯片从内胆中取出并对其进行冲洗即可；这种芯片生产用超声波清洁装置使用中发现，后续还需对芯片进行冲洗，较为麻烦；并且内胆较深而芯片体积较小，从而不方便对芯片进行取放，使用性有限；且取出的芯片表面还带有部分液体，易直接滴落到外界，后续还需进行清洁，劳动量较大，使用可靠性有限。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种方便后续对粘有清洁液的芯片进行清洁；并且方便对芯片进行取放，提高使用性；且可加快清洁后芯片表面液体的干燥速度，提高使用可靠性的芯片生产用超声波清洁装置。

本实用新型的一种芯片生产用超声波清洁装置，包括外壳、内胆、两组超声波发射器、挡盖、输入管、输出管和四组支座，四组支座分别设置在外壳底端左前侧、左后侧、右前侧和右后侧上，两组超声波发射器分别设置在外壳内底壁左半区域和右半区域上，内胆设置在外壳内部，且内胆底端左半区域和右半区域分别与两组超声波发射器的输出端连接，外壳顶端设置有取放口，挡盖设置在取放口上，输入管和输出管分别设置在外壳左端上侧和右端下侧，并在输入管和输出管上均设置有控制阀，且输入管输出端和输出管输入端均位于内胆内部；还包括进水管和单向阀，所述进水管连通设置在输入管上，且进水管输出端位于输入管控制阀右侧，所述单向阀设置在进水管上；还包括调节架、支撑网板和网盒，所述调节架设置在外壳内底壁上，支撑网板位于内胆内部，且调节架顶端穿过内胆并与支撑网板底端连接，所述网盒放置在支撑网板顶端；还包括放置箱、风扇、电加热网和出风管，所述放置箱设置在外壳右端上侧，放置箱内设置有放置腔，所述出风管连通设置在放置箱左端上侧，且出风管输出端穿过外壳并位于内胆内侧，所述风扇和电加热网均设置在放置箱内，且风扇位于电加热网下方，所述放置箱底端设置有通风口。

本实用新型的一种芯片生产用超声波清洁装置，所述调节架包括伸缩电机、支撑杆和支撑板，伸缩电机设置在外壳内底壁上，支撑板设置在支撑网板底端，所述支撑杆设置在支撑板底端，伸缩电机的顶部输出端上设置有驱动轴，且驱动轴顶端穿过内胆并与支撑杆底端连接。

本实用新型的一种芯片生产用超声波清洁装置，所述风扇包括安装架、电动机和扇叶，安装架设置在放置箱下半区域内侧壁上，电动机设置在安装架上，所述电动机的顶部输出端上设置有传动轴，扇叶设置在传动轴上。

本实用新型的一种芯片生产用超声波清洁装置，还包括过滤网，所述过滤网设置在通风口上。

本实用新型的一种芯片生产用超声波清洁装置，还包括两组支撑架，所述两组支撑架分别设置在放置箱底端右前侧和右后侧上，且两组支撑架底端均与放置箱右端上半区域连接。

本实用新型的一种芯片生产用超声波清洁装置，还包括两组左滑块和两组右滑块，所述外壳内左侧壁前半区域和后半区域上均设置有左滑槽，两组左滑块分别设置在两组左滑槽内部，且左滑块可在左滑槽内上下滑动，所述支撑网板左端前半区域和后半区域分别与两组左滑块右端连接，外壳内右侧壁前半区域和后半区域上均设置有右滑槽，两组右滑块分别设置在两组右滑槽内部，且右滑块可在右滑槽内上下滑动，所述支撑网板右端前半区域和后半区域分别与两组右滑块左端连接。

本实用新型的一种芯片生产用超声波清洁装置，还包括限位框，所述限位框设置在支撑网板顶端外侧，且网盒底端插入至限位框内侧。

本实用新型的一种芯片生产用超声波清洁装置，还包括两组提手，所述两组提手分别设置在网盒顶端左右两侧上。

本实用新型的一种芯片生产用超声波清洁装置，还包括四组橡胶垫，所述四组橡胶垫分别设置在四组支座底端。

与现有技术相比本实用新型的有益效果为：其可通过进水管向内胆内部输入清水，从而通过清水直接对粘有清洁液的芯片进行清洁；并且可通过将芯片放在网盒内部，并通过将网盒从内胆中取出，从而方便对芯片进行取放，同时可通过调节架带动支撑网板进行上下移动，以便根据需求对网盒位置进行调整，提高使用性；且可通过电加热网对放置箱内部空气进行加热，并通过风扇将加热后的空气吹入内胆内部，从而对芯片进行烘干，加快清洁后芯片表面液体的干燥速度，提高使用可靠性。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图；

图2是图1的A部局部放大图；

图3是图1的B部局部放大图；

附图中标记：1、外壳；2、内胆；3、超声波发射器；4、挡盖；5、输入管；6、输出管；7、支座；8、控制阀；9、进水管；10、单向阀；11、支撑网板；12、网盒；13、放置箱；14、电加热网；15、出风管；16、伸缩电机；17、支撑杆；18、支撑板；19、安装架；20、电动机；21、扇叶；22、过滤网；23、支撑架；24、左滑块；25、限位框；26、提手；27、橡胶垫。

具体实施方式

下面结合附图和实施例，对本实用新型的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型，但不用来限制本实用新型的范围。

如图1至图3所示，本实用新型的一种芯片生产用超声波清洁装置，包括外壳1、内胆2、两组超声波发射器3、挡盖4、输入管5、输出管6和四组支座7，四组支座7分别设置在外壳1底端左前侧、左后侧、右前侧和右后侧上，两组超声波发射器3分别设置在外壳1内底壁左半区域和右半区域上，内胆2设置在外壳1内部，且内胆2底端左半区域和右半区域分别与两组超声波发射器3的输出端连接，外壳1顶端设置有取放口，挡盖4设置在取放口上，输入管5和输出管6分别设置在外壳1左端上侧和右端下侧，并在输入管5和输出管6上均设置有控制阀8，且输入管5输出端和输出管6输入端均位于内胆2内部；还包括进水管9和单向阀10，进水管9连通设置在输入管5上，且进水管9输出端位于输入管5控制阀8右侧，单向阀10设置在进水管9上；还包括调节架、支撑网板11和网盒12，调节架设置在外壳1内底壁上，支撑网板11位于内胆2内部，且调节架顶端穿过内胆2并与支撑网板11底端连接，网盒12放置在支撑网板11顶端；还包括放置箱13、风扇、电加热网14和出风管15，放置箱13设置在外壳1右端上侧，放置箱13内设置有放置腔，出风管15连通设置在放置箱13左端上侧，且出风管15输出端穿过外壳1并位于内胆2内侧，风扇和电加热网14均设置在放置箱13内，且风扇位于电加热网14下方，放置箱13底端设置有通风口；其可通过进水管向内胆内部输入清水，从而通过清水直接对粘有清洁液的芯片进行清洁；并且可通过将芯片放在网盒内部，并通过将网盒从内胆中取出，从而方便对芯片进行取放，同时可通过调节架带动支撑网板进行上下移动，以便根据需求对网盒位置进行调整，提高使用性；且可通过电加热网对放置箱内部空气进行加热，并通过风扇将加热后的空气吹入内胆内部，从而对芯片进行烘干，加快清洁后芯片表面液体的干燥速度，提高使用可靠性。

本实用新型的一种芯片生产用超声波清洁装置，调节架包括伸缩电机16、支撑杆17和支撑板18，伸缩电机16设置在外壳1内底壁上，支撑板18设置在支撑网板11底端，支撑杆17设置在支撑板18底端，伸缩电机16的顶部输出端上设置有驱动轴，且驱动轴顶端穿过内胆2并与支撑杆17底端连接；其可通过伸缩电机带动驱动轴进行伸缩，以便对支撑网板高度进行调整。

本实用新型的一种芯片生产用超声波清洁装置，风扇包括安装架19、电动机20和扇叶21，安装架19设置在放置箱13下半区域内侧壁上，电动机20设置在安装架19上，电动机20的顶部输出端上设置有传动轴，扇叶21设置在传动轴上；其可通过电动机带动传动轴上的扇叶进行转动，以便将热气吹出。

本实用新型的一种芯片生产用超声波清洁装置，还包括过滤网22，过滤网22设置在通风口上；其可对通风口进行遮挡，减少灰尘的进入。

本实用新型的一种芯片生产用超声波清洁装置，还包括两组支撑架23，两组支撑架23分别设置在放置箱13底端右前侧和右后侧上，且两组支撑架23底端均与放置箱13右端上半区域连接；其可增强放置箱与外壳间的稳固性。

本实用新型的一种芯片生产用超声波清洁装置，还包括两组左滑块24和两组右滑块，外壳1内左侧壁前半区域和后半区域上均设置有左滑槽，两组左滑块24分别设置在两组左滑槽内部，且左滑块24可在左滑槽内上下滑动，支撑网板11左端前半区域和后半区域分别与两组左滑块24右端连接，外壳1内右侧壁前半区域和后半区域上均设置有右滑槽，两组右滑块分别设置在两组右滑槽内部，且右滑块可在右滑槽内上下滑动，支撑网板11右端前半区域和后半区域分别与两组右滑块左端连接；其可增强支撑网板与内胆间的稳固性。

本实用新型的一种芯片生产用超声波清洁装置，还包括限位框25，限位框25设置在支撑网板11顶端外侧，且网盒12底端插入至限位框25内侧；其可保证网盒在支撑网板上的稳固性。

本实用新型的一种芯片生产用超声波清洁装置，还包括两组提手26，两组提手26分别设置在网盒12顶端左右两侧上；其可方便对网板进行拿取放置。

本实用新型的一种芯片生产用超声波清洁装置，还包括四组橡胶垫27，四组橡胶垫27分别设置在四组支座7底端；其可替换橡胶的柔软性增强外壳放置后的缓冲效果。

本实用新型的一种芯片生产用超声波清洁装置，其在使用时只需打开挡盖并将网盒从外壳内部取出，之后将芯片放入网盒中，放好后将网盒放回原位，之后通过输入管向内胆内部输入清洁液，直至清洁液没过芯片后停止输入，之后关闭挡盖并控制两组超声波发射器同时工作，超声波在液体中传播时的声压剧变使清洁液发生强烈的空化和乳化现象，使溶液每秒钟产生数百万计的微小空化气泡，这些气泡在声压作用下急速地大量产生，并不断地猛烈爆破，从而对芯片进行清洁，清洁完成后打开输出管控制阀并将污水排出，之后关闭输入管上的控制阀并打开单向阀，通过进水管向内胆内部输入清水，同时控制两组超声波发射器同时对清水进行震荡，通过清水对粘有清洁液的芯片进行清洁，清洁完成后控制电加热网对放置箱内部空气进行加热，并通过电动机带动传动轴上的扇叶进行转动，将加热后的空气吹入内胆内部，从而对芯片进行烘干，加快清洁后芯片表面液体的干燥速度；同时在上述过程中，可通过伸缩电机带动驱动轴进行伸缩，以便根据需求对支撑网板上网盒的高度位置进行调整，提高使用性。

本实用新型的一种芯片生产用超声波清洁装置，除非另有明确的规定和限制，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体的连接，可以是机械连接，也可以是电连接，可以是直接连接，也可以是通过中间媒介相连，可以是两个元件内部的连通，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用中的具体含义；并且上述各部件的型号不限，只要能够达成其有益效果的均可进行实施，且外壳、内胆、超声波发射器、挡盖、输入管、输出管和支座是现有设计和技术，本案对其没有任何的技术改进，电动机、电加热网和伸缩电机均为市面常见设备，自带控制模块和电线，安装后通电即可使用，未改变其内部结构。

以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型技术原理的前提下，还可以做出若干改进和变型，这些改进和变型也应视为本实用新型的保护范围。

Claims (9)

1.一种芯片生产用超声波清洁装置，包括外壳(1)、内胆(2)、两组超声波发射器(3)、挡盖(4)、输入管(5)、输出管(6)和四组支座(7)，四组支座(7)分别设置在外壳(1)底端左前侧、左后侧、右前侧和右后侧上，两组超声波发射器(3)分别设置在外壳(1)内底壁左半区域和右半区域上，内胆(2)设置在外壳(1)内部，且内胆(2)底端左半区域和右半区域分别与两组超声波发射器(3)的输出端连接，外壳(1)顶端设置有取放口，挡盖(4)设置在取放口上，输入管(5)和输出管(6)分别设置在外壳(1)左端上侧和右端下侧，并在输入管(5)和输出管(6)上均设置有控制阀(8)，且输入管(5)输出端和输出管(6)输入端均位于内胆(2)内部；其特征在于，还包括进水管(9)和单向阀(10)，所述进水管(9)连通设置在输入管(5)上，且进水管(9)输出端位于输入管(5)控制阀(8)右侧，所述单向阀(10)设置在进水管(9)上；还包括调节架、支撑网板(11)和网盒(12)，所述调节架设置在外壳(1)内底壁上，支撑网板(11)位于内胆(2)内部，且调节架顶端穿过内胆(2)并与支撑网板(11)底端连接，所述网盒(12)放置在支撑网板(11)顶端；还包括放置箱(13)、风扇、电加热网(14)和出风管(15)，所述放置箱(13)设置在外壳(1)右端上侧，放置箱(13)内设置有放置腔，所述出风管(15)连通设置在放置箱(13)左端上侧，且出风管(15)输出端穿过外壳(1)并位于内胆(2)内侧，所述风扇和电加热网(14)均设置在放置箱(13)内，且风扇位于电加热网(14)下方，所述放置箱(13)底端设置有通风口。

2.如权利要求1所述的一种芯片生产用超声波清洁装置，其特征在于，所述调节架包括伸缩电机(16)、支撑杆(17)和支撑板(18)，伸缩电机(16)设置在外壳(1)内底壁上，支撑板(18)设置在支撑网板(11)底端，所述支撑杆(17)设置在支撑板(18)底端，伸缩电机(16)的顶部输出端上设置有驱动轴，且驱动轴顶端穿过内胆(2)并与支撑杆(17)底端连接。

3.如权利要求2所述的一种芯片生产用超声波清洁装置，其特征在于，所述风扇包括安装架(19)、电动机(20)和扇叶(21)，安装架(19)设置在放置箱(13)下半区域内侧壁上，电动机(20)设置在安装架(19)上，所述电动机(20)的顶部输出端上设置有传动轴，扇叶(21)设置在传动轴上。

4.如权利要求3所述的一种芯片生产用超声波清洁装置，其特征在于，还包括过滤网(22)，所述过滤网(22)设置在通风口上。

5.如权利要求4所述的一种芯片生产用超声波清洁装置，其特征在于，还包括两组支撑架(23)，所述两组支撑架(23)分别设置在放置箱(13)底端右前侧和右后侧上，且两组支撑架(23)底端均与放置箱(13)右端上半区域连接。

6.如权利要求5所述的一种芯片生产用超声波清洁装置，其特征在于，还包括两组左滑块(24)和两组右滑块，所述外壳(1)内左侧壁前半区域和后半区域上均设置有左滑槽，两组左滑块(24)分别设置在两组左滑槽内部，且左滑块(24)可在左滑槽内上下滑动，所述支撑网板(11)左端前半区域和后半区域分别与两组左滑块(24)右端连接，外壳(1)内右侧壁前半区域和后半区域上均设置有右滑槽，两组右滑块分别设置在两组右滑槽内部，且右滑块可在右滑槽内上下滑动，所述支撑网板(11)右端前半区域和后半区域分别与两组右滑块左端连接。

7.如权利要求6所述的一种芯片生产用超声波清洁装置，其特征在于，还包括限位框(25)，所述限位框(25)设置在支撑网板(11)顶端外侧，且网盒(12)底端插入至限位框(25)内侧。

8.如权利要求7所述的一种芯片生产用超声波清洁装置，其特征在于，还包括两组提手(26)，所述两组提手(26)分别设置在网盒(12)顶端左右两侧上。

9.如权利要求8所述的一种芯片生产用超声波清洁装置，其特征在于，还包括四组橡胶垫(27)，所述四组橡胶垫(27)分别设置在四组支座(7)底端。