CN209401610U - 限位件、工作平台组件及活化热退火设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种限位件、工作平台组件及活化热退火设备，属于设备制造技术领域，其可解决现有基板的限位结构容易造成基板损坏的问题。本实用新型的限位件，用于设置在工作平台的承载面上，以对置于承载面上的基板进行限位；限位件包括至少一个斜面部，斜面部具有用于与基板接触的第一表面，以及与第一表面相对的第二表面，第一表面为平面或弧面，第二表面为平面；斜面部具有第一端和第二端，在从第一端到第二端的方向上，第一表面与第二表面间的距离逐渐增大；斜面部至少靠近第一端的部分用于置于基板和承载面之间。

Description

限位件、工作平台组件及活化热退火设备

技术领域

本实用新型属于设备制造技术领域，具体涉及一种限位件、工作平台组件及活化热退火设备。

背景技术

基板的制备需要经过多道工序，有些工序需要在不同的设备中完成，或者，有些工序需要在同一设备中不同的制备区间完成，因此，基板需要在不同的设备之间传送，或者，在同一设备的不同制备区间之间传送。

一般地，采用传送装置进行基板的传送。参见图1，传送装置在传送基板时，基板2放置在传送装置的工作平台4上，在基板传送过程中，基板难免在外力作用下在工作平台上移动，例如，基板在快速热退火(rapid thermal annealing，简称RTA)设备中的高温腔室进入冷却腔室后，冷热气流相遇会造成基板在工作平台上的移动。为了防止基板在工作平台上大范围的移动，在工作平台上，对应基板2的每个直角的位置各外侧设置有两个圆柱凸起5，基板2的4个角共对应8个圆柱凸起5，8个圆柱凸起5组成对基板进行限位的限位结构。

但是，当基板在承载面上发生剧烈移动时，基板会撞到圆柱凸起上，圆柱凸起和基板的碰撞面积小，且碰撞冲击力中与基板垂直的分力较大，因此，容易造成基板的损坏。

实用新型内容

本实用新型针对现有的基板的限位结构容易造成基板损坏的不足，提供一种结构合理，限位效果好且生产工艺简单的限位件、工作平台组件及活化热退火设备。

解决本实用新型技术问题所采用的技术方案是一种限位件，用于设置在工作平台的承载面上，以对置于所述承载面上的基板进行限位；

所述限位件包括至少一个斜面部，所述斜面部具有用于与所述基板接触的第一表面，以及与所述第一表面相对的第二表面，所述第一表面为平面或弧面，所述第二表面为平面；

所述斜面部具有第一端和第二端，在从所述第一端到所述第二端的方向上，所述第一表面与所述第二表面间的距离逐渐增大；所述斜面部至少靠近所述第一端的部分用于置于所述基板和所述承载面之间。

可选地，所述限位件包括第一斜面部和第二斜面部；

所述第一斜面部和所述第二斜面部均与一连接部相连，所述第一斜面部的第二表面和所述第二斜面部的第二表面共面；

所述第一斜面部的所述第一端到所述第二端的方向与所述第二斜面部的所述第一端到所述第二端的方向相互垂直。

可选地，所述第一斜面部和所述第二斜面部的结构相同。

可选地，在所述第一斜面部和所述第二斜面部之间形成有缺失结构。

可选地，所述第一表面和所述第二表面之间的夹角为10°至15°。

可选地，每个所述斜面部中，所述第一表面和所述第二表面之间的最小距离不大于0.5mm，且最大距离至少为5mm。

可选地，所述第二表面上设有用于对所述限位件进行定位的定位柱。

可选地，所述第二表面上设有两个定位柱。

可选地，所述第一表面上设有防滑结构。

解决本实用新型技术问题所采用的技术方案是一种工作平台组件，包括工作平台以及多个上述的限位件；

所述工作平台具有用于承载所述基板的承载面；

所述限位件设于所述工作平台的承载面上。

可选地，所述工作平台的承载面具有用于承载所述基板的基板放置区，所述基板放置区为矩形，所述基板放置区的每个侧边设有至少一个所述斜面部。

可选地，所述限位件为上述的限位件，数量为4个，分别设置在所述基板放置区的4个角处，每个所述限位件的两个所述第一表面分别对应于所述基板放置区的相邻两侧边。

可选地，所述工作平台上设有用于供所述定位柱插入的安装孔。

解决本实用新型技术问题所采用的技术方案是一种活化热退火设备，包括上述的工作平台组件。

附图说明

图1为相关技术中基板的限位结构示意图；

图2为本实用新型实施例提供的一种限位件的结构示意图；

图3为本实用新型实施例提供的再一种限位件的结构示意图；

图4为本实用新型实施例提供的另一种限位件的结构示意图；

图5图4中的限位件的仰结构示意图；

图6为本实用新型实施例提供的再一种限位件的结构示意图；

图7为本实用新型实施例提供的一种工作平台的结构示意图。

其中，附图标记为：1、限位件；2、基板；3、平板；4、工作平台；5、圆柱凸起；01、斜面部；11、第一表面；12、第二表面；101、第一端；102、第二端；1a、第一斜面部；1b、第二斜面部；1c、连接部；1d、缺失结构；1e、定位柱；A、第一斜面部的斜面方向；B、第二斜面部的斜面方向；α、第一表面和第二表面之间的夹角。

具体实施方式

为使本领域技术人员更好地理解本实用新型的技术方案，下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细描述。

实施例1

如图1至7所示，本实施例提供一种限位件，用于设置在工作平台4的承载面上，以对置于承载面上的基板2进行限位。

限位件1包括至少一个斜面部01，斜面部01具有用于与基板2接触的第一表面11，以及与第一表面11相对的第二表面12，第一表面11为平面或弧面，第二表面12为平面。

斜面部01具有第一端101和第二端102，在从第一端101到第二端102的方向上，第一表面11与第二表面12间的距离逐渐增大；斜面部01至少靠近第一端101的部分用于置于基板2和承载面之间。

本实施例中，参见图2、7，当限位件1对设置在工作平台4的承载面上的基板2进行限位时，斜面部01靠近第一端101的部分置于承载面和基板2之间，限位件1的第一表面11和基板2接触，第二表面12设置在承载面上。在从第一端101到第二端102的方向A上，第一表面11和第二表面12之间的距离越来越大，也即第一表面11与承载面之间的距离越来越大。而由于限位件1与基板2的相对位置，使得基板2在向远离第一端101(靠近第二端102)方向的移动过程就是在第一表面11上爬坡的过程，因此，基板2自身的重力以及基板2在第一表面11上移动时所受的摩擦力，使得基板2较难运动，从而限位件1实现了对基板2的限位。

同时，基板2在承载面上进行移动时，基板2也可在一定范围内在限位件1的第一表面11上移动，故限位件1对基板2的限位不是刚性的阻挡，而是允许基板2在第一表面11上运动，从而通过第一表面11和基板2之间的摩擦以及基板2自身的重力缓冲了基板2和限位件1之间的碰撞力度，最终避免了因基板2和限位件1刚性碰撞而造成的基板2的损坏。

可选地，参见图3至6，限位件1包括两个斜面部01，即第一斜面部1a和第二斜面部1b。

第一斜面部1a和第二斜面部1b均与一连接部1c相连，第一斜面部1a的第二表面12和第二斜面部1b的第二表面12共面。

第一斜面部1a的第一端101到第二端102的方向A与第二斜面部1b的第一端101到第二端102的方向B相互垂直。

当采用上述方案中限位件1对基板2进行限位时，基板2设置在工作平台的承载面上，基板2与承载面的垂直的4个表面为基板2的竖面，限位件1可以放置在基板2的直角所在位置处，也即，第一斜面部1a和基板2的两个相邻的竖面中的一者相对，第二斜面部1b和基板2的两个相邻的竖面中的另一者相对。第一斜面部1a用于限制基板在向远离第一斜面部1a的第一端101(靠近第二端102)方向上的移动；第二斜面部1b用于限制基板在向远离第二斜面部1b的第一端101(靠近第二端102)方向移动的限制。如此，一个上述结构的限位件1即可对基板2在向两个方向上移动的限制，从而，若采用上述结构的限位件1对基板2进行限位，则可以减少限位件1的使用数量，例如，若要实现承载面上基板2向各个方向上的移动的限制，仅需在基板2的一对对角处各设置一个限位件1即可。

为了增强限位件1的稳定性以及简化制备工艺，优选地，第一斜面部1a、第二斜面部1b和连接部1c为一体结构。

可选地，第一斜面部1a和第二斜面部1b的结构相同。

采用上述方案，一方面，便于限位件1的制备；更重要的是，当基板2放置在限位件1上时，第一斜面部1a和第二斜面部1b与基板2的接触面积相同，将基板2抬起的高度相同，从而基板2因外力作用而发生移动过程中不易跑偏，比较容易维持平衡，且外力作用消失后，基板2比较容易复位。

通常而言，基板2的材质容易在外力作用下发生弯折、变形，尤其是在高温(500°以上)状态(如快速热退火工艺过程中的高温)下更容易被弯折、变形。

参见图2、3，越靠近基板2直角区域，第一表面11和第二表面12之间的距离越大，可见，当限位件1对基板2进行限位，基板2的直角区域放置在限位件1上时，基板2的直角区域被抬起的高度大于基板放置在限位件1上的其他区域被抬起的高度，因此，容易造成基板2的直角区域翘起(尤其是在高温环境中)。同时，基板2发生移动时，基板2的直角一旦撞上第一表面11，则容易造成基板2直角区域发生弯折。

为了防止限位件1造成基板2的直角区域翘起或者弯折，在限位件1的第一斜面部1a和第二斜面部1b之间形成有缺失结构1d(即该位置“缺少”了一块结构)。该缺失结构1d同时满足一下以下两个条件：其一，基板2放置在限位件上时，基板2的直角区域被抬起的高度不大于基板放置在限位件1上的其他区域被抬起的高度。其二，基板2在限位件1上运动时，基板2的直角不会撞上限位件1。具体的，缺失结构1c可以是图4、5所示的缺口，或者是图6所示的通孔，再或者是凹陷(图中未示出)。

为了兼顾限位件1对基板2的限位，且不影响承载面对基板2的承载，斜面部的具体结构可以为以下之一或组合。

可选地，第一表面11和第二表面12之间的夹角α为10°至15°。

上述方案中，第一表面11和第二表面12的夹角范围的能够更好的实现对基板2的限位。

可选地，第一表面11和第二表面12之间的最小距离不大于0.5mm，且最大距离至少为5mm。

上述方案中，第一表面11和第二表面12的距离范围不会影响承载面对基板2的承载。

可选地，第二表面12上设有用于对限位件1进行定位的定位柱1e。

上述方案中，工作平台上设有与定位柱1e相适配的定位孔，定位柱1e插入定位孔内，指示限位件在工作平台上的安装位置。

可选的，每个限位件1上的定位柱1e数量为2个。由于具有两个定位柱1e，故可防止限位件1发生转动，实现对其的完全定位。

尤其是，限位件1有两个斜面部01时优选也有两个定位柱1e，正好对应图1中现有的工作平台上的用于插入圆柱凸起5的圆形通孔，也就是，无需对工作平台4的结构进行改变即可将限位件1固定在工作平台4上。

定位柱与第二表面12平行的截面可以是圆形。当然，定位柱1e与第二表面12平行的截面也可以是多边形、弧形等形状。

可选地，第一表面11上设有防滑结构。

上述方案中，防滑结构可以增大基板2和第一表面11之间的摩擦力，从而，减小了基板2在第一表面11上的移动距离，进而，增强了限位件1对基板2的限位效果。防滑结构可以是与第一表面11一体成形的防滑图案，例如，波纹。防滑结构还可以是在第一表面11上设置弹性凸起。

其中，限位件1可由聚酰亚胺材料构成，聚酰亚胺具有耐高温、自润滑、低磨耗的特性，可用于高温环境，且尺寸稳定性好、热膨胀系数小，故特别适用于制造限位件1。

实施例2

如图7所示，本实施例提供一种工作平台组件，包括工作平台3以及多个上述的限位件1.

工作平台3具有用于承载基板2的承载面；

限位件1设于工作平台3的承载面上。

本实施例，限位件1的斜面部对基板2的限位方式为侧面限位，限位件1对基板2的限位不是刚性的阻挡，而是通过第一表面11和基板2之间的摩擦以及基板2自身的重力缓冲了基板2和限位件1之间的碰撞力度，从而避免了因基板2和限位件1刚性碰撞而造成的基板2的损坏。

可选地，工作平台3的承载面具有用于承载基板2的基板放置区，基板放置区为矩形，基板放置区的每个侧边设有至少一个斜面部。

上述方案中，参见图7(图中仅示出2个限位件1)，基板2的每一个竖面对应一个斜面部，由此可以限制基板从在向远离斜面部的第一端101(靠近第二端102)方向上的移动。

例如，限位件1可以是图2所示的结构，数量为4个，基板放置区的每个侧边设有一个斜面部01。

再例如，限位件1可以是图2至6所示的结构，数量为2个或4个，分别设置在基板放置区的4个角处，每个限位件1的两个第一表面11分别对应于基板放置区的相邻两侧边。

为了保证基板2限位的稳定性，更优选地，设于工作平台3的承载面上的限位件1包括多个图2所示结构的限位件1和多个图3至6所示结构的限位件1。

可选地，第二表面12上设有定位柱1e，工作平台3上设有用于供定位柱1e插入的安装孔。

上述方案中，安装孔的形状与定位柱1e的形状相适配，定位柱1e插入安装孔3中即可将限位件固定安装在工作平台3上，安装过程简单。

实施例3

本实施例提供一种活化热退火设备，包括上述工作平台组件。

上述方案中，当工作平台承载基板时，一旦基板因外力作用在工作平台的承载面上移动，则基板也在限位件上进行小范围的移动，限位件和基板之间的摩擦以及基板自身的重力缓冲了基板与限位件之间的碰撞力度，从而避免了因基板和限位件的碰撞，而造成基板的损坏，同时，限位件能够对基板进行稳定的限位。

可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本实用新型的原理而采用的示例性实施方式，然而本实用新型并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本实用新型的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本实用新型的保护范围。

Claims (14)

1.一种限位件，用于设置在工作平台的承载面上，以对置于所述承载面上的基板进行限位；其特征在于，

所述限位件包括至少一个斜面部，所述斜面部具有用于与所述基板接触的第一表面，以及与所述第一表面相对的第二表面，所述第一表面为平面或弧面，所述第二表面为平面；

所述斜面部具有第一端和第二端，在从所述第一端到所述第二端的方向上，所述第一表面与所述第二表面间的距离逐渐增大；所述斜面部至少靠近所述第一端的部分用于置于所述基板和所述承载面之间。

2.根据权利要求1所述的限位件，其特征在于，所述限位件包括第一斜面部和第二斜面部；

所述第一斜面部和所述第二斜面部均与一连接部相连，所述第一斜面部的第二表面和所述第二斜面部的第二表面共面；

所述第一斜面部的所述第一端到所述第二端的方向与所述第二斜面部的所述第一端到所述第二端的方向相互垂直。

3.根据权利要求2所述的限位件，其特征在于，所述第一斜面部和所述第二斜面部的结构相同。

4.根据权利要求2所述的限位件，其特征在于，在所述第一斜面部和所述第二斜面部之间形成有缺失结构。

5.根据权利要求1或2所述的限位件，其特征在于，所述第一表面和所述第二表面之间的夹角为10°至15°。

6.根据权利要求1或2所述的限位件，其特征在于，每个所述斜面部中，所述第一表面和所述第二表面之间的最小距离不大于0.5mm，且最大距离至少为5mm。

7.根据权利要求1或2所述的限位件，其特征在于，所述第二表面上设有用于对所述限位件进行定位的定位柱。

8.根据权利要求7所述的限位件，其特征在于，所述第二表面上设有两个定位柱。

9.根据权利要求1或2所述的限位件，其特征在于，所述第一表面上设有防滑结构。

10.一种工作平台组件，其特征在于，包括工作平台以及多个权利要求1至9中任一所述的限位件；

所述工作平台具有用于承载所述基板的承载面；

所述限位件设于所述工作平台的承载面上。

11.根据权利要求10所述的工作平台组件，其特征在于，所述工作平台的承载面具有用于承载所述基板的基板放置区，所述基板放置区为矩形，所述基板放置区的每个侧边设有至少一个所述斜面部。

12.根据权利要求11所述的工作平台组件，其特征在于，所述限位件为权利要求2至4中任一所述的限位件，数量为4个，分别设置在所述基板放置区的4个角处，每个所述限位件的两个所述第一表面分别对应于所述基板放置区的相邻两侧边。

13.根据权利要求10所述的工作平台组件，其特征在于，所述第二表面上设有用于对所述限位件进行定位的定位柱，所述工作平台上设有用于供所述定位柱插入的安装孔。

14.一种活化热退火设备，其特征在于，包括权利要求10至13任一所述的工作平台组件。