CN209364398U - 一种化学机械抛光设备的分级过滤装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种化学机械抛光设备的分级过滤装置，包括过滤装置箱，所述过滤装置箱的底部固定安装有装置防滑脚垫，所述分级过滤板上固定安装有过滤网，所述过滤网上预留有过滤网孔，所述抛光液过滤罐的右侧下方活动安装有出水连接管，所述搅拌转轴上活动安装有搅拌叶轮，所述抛光液转运水箱的右侧上端活动安装有抛光液转运水管，所述过滤装置箱的左侧下端开设有排水口，所述过滤装置箱的外侧固定安装有罐体观察窗。该化学机械抛光设备的分级过滤装置，能够根据所加工零件的不同对罐体内的化学成分进行调整，将溶于抛光液内的化学物质分离出来，还能通过多层的过滤网，保证抛光液的使用效果，方便抛光液的反复循环利用和对抛光液的更换。

Description

一种化学机械抛光设备的分级过滤装置

技术领域

本实用新型涉及化学机械抛光设备技术领域，具体为一种化学机械抛光设备的分级过滤装置。

背景技术

化学机械研磨技术综合了化学研磨和机械研磨的优势，吸收了两者各自的优点，可以在保证材料去除效率的同时，获得较完美的表面，得到的平整度比单纯使用这两种研磨要高出1-2个数量级，并且可以实现纳米级到原子级的表面粗糙度，化学机械抛光技术是化学作用和机械作用相结合的技术，其过程相当复杂，影响因素很多，是一种通过化学反应，生成一层相对容易去除的软质层，然后在抛光液中的磨料和抛光垫的机械作用下去除软质层，使工件表面重新裸露出来，然后再进行化学反应，这样在化学作用过程和机械作用过程的交替进行中完成工件表面抛光。

然而，现有市场上的化学机械抛光设备是通过直接在设备的清洗槽内加入抛光液，直接对零件进行抛光，抛光液反复的使用，会让加工的效率变慢，并且被除去的软质层遗留在清洗槽的内部，清洗起来十分的不方便，也不方便对抛光液的更换。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种化学机械抛光设备的分级过滤装置，以解决上述背景技术中提出市场上的化学机械抛光设备是通过直接在设备的清洗槽内加入抛光液，直接对零件进行抛光，抛光液反复的使用，会让加工的效率变慢，并且被除去的软质层遗留在清洗槽的内部，清洗起来十分的不方便，也不方便对抛光液的更换的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种化学机械抛光设备的分级过滤装置，包括过滤装置箱，所述过滤装置箱的底部固定安装有装置防滑脚垫，所述过滤装置箱内侧的下端固定安装有过滤罐底座，所述过滤罐底座的上端固定安装有抛光液过滤罐，所述抛光液过滤罐的上端可拆卸安装有罐体密封盖，所述罐体密封盖上固定安装有进水口，所述抛光液过滤罐外侧的左上端固定安装有试剂加注口，所述抛光液过滤罐内侧开设有过滤腔室，所述过滤腔室和抛光液过滤罐之间固定安装有防腐蚀内衬，所述过滤腔室的上端活动安装有集水板，所述集水板中心位置预留有出水孔，所述过滤腔室的下端活动安装有分级过滤板，所述分级过滤板上固定安装有过滤网，所述过滤网上预留有过滤网孔，所述抛光液过滤罐的右侧下方活动安装有出水连接管，所述出水连接管上固定安装有连接接头，所述出水连接管活动安装在水箱接头上，所述水箱接头固定安装在抛光液转运水箱的左侧中端，所述抛光液转运水箱的外侧固定安装有加压水泵，所述抛光液转运水箱的上端固定安装有搅拌电机，所述搅拌电机的下端活动安装有搅拌转轴，所述搅拌转轴上活动安装有搅拌叶轮，所述抛光液转运水箱的右侧上端活动安装有抛光液转运水管，所述过滤装置箱的左侧下端开设有排水口，所述过滤装置箱的外侧固定安装有罐体观察窗。

优选的，所述过滤装置箱底部设置有六组装置防滑脚垫，且装置防滑脚垫分别关于抛光液过滤罐和抛光液转运水箱对称设置有两组。

优选的，所述抛光液过滤罐在过滤装置箱内对称设置有两个，且抛光液过滤罐上连接有抛光液转运水管的罐体下端连接有排水口。

优选的，所述集水板为L型设计，且集水板上的出水孔与进水口的圆心在同一竖直位置。

优选的，所述过滤网在分级过滤板上等间距安装有三个，且过滤网上的过滤网孔从上至下依次减小。

优选的，所述过滤装置箱上对称设置有两个和抛光液过滤罐相互一一对应的罐体观察窗，且罐体观察窗的长度大于集水板到分级过滤板的长度。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该化学机械抛光设备的分级过滤装置，在现有的抛光设备的基础上进行设计，通过两个体积大小相同的过滤罐对抛光液进行分级的过滤，让已经使用过的抛光液中的残留的软质层被分离出来，并且能够根据所加工零件的不同对罐体内的化学成分进行调整，将溶于抛光液内的化学物质分离出来，还能通过多层的过滤网，保证抛光液的使用效果，方便抛光液的反复循环利用和对抛光液的更换。

附图说明

图1为本实用新型正视透视结构示意图；

图2为本实用新型正视结构示意图；

图3为本实用新型抛光液转运水箱结构示意图；

图4为本实用新型分级过滤板结构示意图。

图中：1、过滤装置箱；2、装置防滑脚垫；3、抛光液过滤罐；4、进水口；5、罐体密封盖；6、试剂加注口；7、过滤腔室；8、防腐蚀内衬；9、过滤罐底座；10、出水连接管；11、连接接头；12、水箱接头；13、抛光液转运水箱；14、加压水泵；15、搅拌电机；16、抛光液转运水管；17、集水板；18、出水孔；19、分级过滤板；20、过滤网；21、过滤网孔；22、排水口；23、罐体观察窗；24、搅拌转轴；25、搅拌叶轮。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-4，本实用新型提供一种技术方案：一种化学机械抛光设备的分级过滤装置，包括过滤装置箱1，过滤装置箱1的底部固定安装有装置防滑脚垫2，过滤装置箱1内侧的下端固定安装有过滤罐底座9，过滤罐底座9的上端固定安装有抛光液过滤罐3，抛光液过滤罐3的上端可拆卸安装有罐体密封盖5，罐体密封盖5上固定安装有进水口4，抛光液过滤罐3外侧的左上端固定安装有试剂加注口6，抛光液过滤罐3内侧开设有过滤腔室7，过滤腔室7和抛光液过滤罐3之间固定安装有防腐蚀内衬8，过滤腔室7的上端活动安装有集水板17，集水板17中心位置预留有出水孔18，过滤腔室7的下端活动安装有分级过滤板19，分级过滤板19上固定安装有过滤网20，过滤网20上预留有过滤网孔21，抛光液过滤罐3的右侧下方活动安装有出水连接管10，出水连接管10上固定安装有连接接头11，出水连接管10活动安装在水箱接头12上，水箱接头12固定安装在抛光液转运水箱13的左侧中端，抛光液转运水箱13的外侧固定安装有加压水泵14，抛光液转运水箱13的上端固定安装有搅拌电机15，搅拌电机15的下端活动安装有搅拌转轴24，搅拌转轴24上活动安装有搅拌叶轮25，抛光液转运水箱13的右侧上端活动安装有抛光液转运水管16，过滤装置箱1的左侧下端开设有排水口22，过滤装置箱1的外侧固定安装有罐体观察窗23；

进一步的，过滤装置箱1底部设置有六组装置防滑脚垫2，且装置防滑脚垫2分别关于抛光液过滤罐3和抛光液转运水箱13对称设置有两组，使得过滤装置箱1的稳定性更高；

进一步的，抛光液过滤罐3在过滤装置箱1内对称设置有两个，且抛光液过滤罐3上连接有抛光液转运水管16的罐体下端连接有排水口22，使得对抛光液的过滤更加彻底；

进一步的，集水板17为L型设计，且集水板17上的出水孔18与进水口4的圆心在同一竖直位置，使得进入分级过滤板19的抛光液更加的均匀；

进一步的，过滤网20在分级过滤板19上等间距安装有三个，且过滤网20上的过滤网孔21从上至下依次减小，使得能对抛光液进行多层次的过滤；

进一步的，过滤装置箱1上对称设置有两个和抛光液过滤罐3相互一一对应的罐体观察窗23，且罐体观察窗23的长度大于集水板17到分级过滤板19的长度，使得工作人员能更方便的观察罐体内部的情况，并根据情况对抛光液过滤罐3进行相对应的处理。

工作原理：通过罐体观察窗23检查抛光液过滤罐3内部的情况，对集水板17和分级过滤板19进行相对应的更换，盖上罐体密封盖5，将进水口4和抛光设备连接，向抛光液过滤罐3内加入已经使用过的抛光液通过集水板17上的出水孔18向分级过滤板19上落下，在分级过滤板19上过滤网20的作用下对抛光液进行过滤，在遇到特殊的化学物质时，通过抛光液过滤罐3上的试剂加注口6改变抛光液过滤罐3的化学性质，帮助过滤，过滤之后的抛光液被输送到抛光液转运水箱13中，在搅拌电机15带动的搅拌叶轮25和加压水泵14的作用下，通过抛光液转运水管16进入下一抛光液过滤罐3中，重复过滤过程，最后从排水口22中排出，完成过滤工作。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (6)

1.一种化学机械抛光设备的分级过滤装置，包括过滤装置箱（1），其特征在于：所述过滤装置箱（1）的底部固定安装有装置防滑脚垫（2），所述过滤装置箱（1）内侧的下端固定安装有过滤罐底座（9），所述过滤罐底座（9）的上端固定安装有抛光液过滤罐（3），所述抛光液过滤罐（3）的上端可拆卸安装有罐体密封盖（5），所述罐体密封盖（5）上固定安装有进水口（4），所述抛光液过滤罐（3）外侧的左上端固定安装有试剂加注口（6），所述抛光液过滤罐（3）内侧开设有过滤腔室（7），所述过滤腔室（7）和抛光液过滤罐（3）之间固定安装有防腐蚀内衬（8），所述过滤腔室（7）的上端活动安装有集水板（17），所述集水板（17）中心位置预留有出水孔（18），所述过滤腔室（7）的下端活动安装有分级过滤板（19），所述分级过滤板（19）上固定安装有过滤网（20），所述过滤网（20）上预留有过滤网孔（21），所述抛光液过滤罐（3）的右侧下方活动安装有出水连接管（10），所述出水连接管（10）上固定安装有连接接头（11），所述出水连接管（10）活动安装在水箱接头（12）上，所述水箱接头（12）固定安装在抛光液转运水箱（13）的左侧中端，所述抛光液转运水箱（13）的外侧固定安装有加压水泵（14），所述抛光液转运水箱（13）的上端固定安装有搅拌电机（15），所述搅拌电机（15）的下端活动安装有搅拌转轴（24），所述搅拌转轴（24）上活动安装有搅拌叶轮（25），所述抛光液转运水箱（13）的右侧上端活动安装有抛光液转运水管（16），所述过滤装置箱（1）的左侧下端开设有排水口（22），所述过滤装置箱（1）的外侧固定安装有罐体观察窗（23）。

2.根据权利要求1所述的一种化学机械抛光设备的分级过滤装置，其特征在于：所述过滤装置箱（1）底部设置有六组装置防滑脚垫（2），且装置防滑脚垫（2）分别关于抛光液过滤罐（3）和抛光液转运水箱（13）对称设置有两组。

3.根据权利要求1所述的一种化学机械抛光设备的分级过滤装置，其特征在于：所述抛光液过滤罐（3）在过滤装置箱（1）内对称设置有两个，且抛光液过滤罐（3）上连接有抛光液转运水管（16）的罐体下端连接有排水口（22）。

4.根据权利要求1所述的一种化学机械抛光设备的分级过滤装置，其特征在于：所述集水板（17）为L型设计，且集水板（17）上的出水孔（18）与进水口（4）的圆心在同一竖直位置。

5.根据权利要求1所述的一种化学机械抛光设备的分级过滤装置，其特征在于：所述过滤网（20）在分级过滤板（19）上等间距安装有三个，且过滤网（20）上的过滤网孔（21）从上至下依次减小。

6.根据权利要求1所述的一种化学机械抛光设备的分级过滤装置，其特征在于：所述过滤装置箱（1）上对称设置有两个和抛光液过滤罐（3）相互一一对应的罐体观察窗（23），且罐体观察窗（23）的长度大于集水板（17）到分级过滤板（19）的长度。