CN209328868U - 通用型高容量石英舟 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种通用型高容量石英舟，属于半导体硅片载具技术领域，解决了传统石英舟承载容量低、耗材量大、购进成本高、通用性差的问题。主要包括称式支撑体、连接板、连接杆；连接杆与连接板在空间上形成两片硅片置放区；连接杆的两侧设有挡板。本实用新型结构设计构思巧妙，打破常规设计思维，同样长度的产品却能使承载容量翻倍，大幅度提高产品利用率，有效节省原材料，大幅度降低企业对硅片载具的购进成本；操作方便快捷，通用性强，既能满足不同形状硅片的承载，又能满足同一形状不同规格的硅片承载；结构设计简化，耗材量低，实用性很强，能广泛应用于半导体硅片承载技术领域，在石英制品领域具有重要意义。

Description

通用型高容量石英舟

技术领域

本实用新型属于半导体硅片载具技术领域，具体地说，尤其涉及一种通用性强、承载容量大、有效降低硅片载具购进成本的通用型高容量石英舟。

背景技术

石英舟是一种半导体硅片承载工具，目前应用最为广泛有两个用途：1.太阳能电池片在制作过程中有一步很关键的步骤叫扩散，这个步骤中需要石英舟作为承载夹具在扩散炉固定硅太阳能电池片半成品；2.半导体硅片在制作过程中有多个工序步骤，从一道工序运输到下道工序需要石英舟承载半成品硅片，比如LED外延片生产过程中，需要多次硅片外观、产品性能检验，检验前、检验后的产品都需要石英舟承载。授权公告CN202695401U、授权公告日2013年 01月23日、发明创造名称为一种石英舟的发明创造公开的技术方案即为市面常见的石英舟结构，主要包括两个侧板和设置在两侧板之间的多根石英连接杆，多根石英连接杆构成一片硅片置放区，传统这种结构的石英舟硅片置放区小，承载容量低，要增加容量就得延长石英连接杆的长度，耗材严重；此外，传统石英舟通用性差，只能承载一种规格的硅片，并且只能承载单一形状的硅片。

发明内容

本实用新型的目的是针对现有技术存在的不足，提供了一种通用性强、承载容量大、有效降低企业对硅片载具的购进成本的通用型高容量石英舟。

本实用新型是通过以下技术方案实现的：

一种通用型高容量石英舟，包括对称式支撑体，设置在所述对称式支撑体之间的、用于承载硅片的连接板，用于定位硅片的连接杆；所述连接杆位于所述连接板的正上方，其轴线与所述连接板的横向中心线在同一竖直平面上，所述连接杆与所述连接板在空间上形成两片硅片置放区；所述连接杆的两侧设有用于防止放在所述硅片置放区上的硅片在连接杆径向方向上发生滑落的挡板，所述挡板沿所述对称式支撑体滑动连接；所述连接板、所述连接杆、所述挡板上均设有成排的硅片卡槽。

优选地，所述对称式支撑体包括侧面支撑板Ⅰ、侧面支撑板Ⅱ，所述侧面支撑板Ⅰ、所述侧面支撑板Ⅱ上均设有挡板滑槽；所述挡板的高度大于所述挡板滑槽的高度，但其厚度小于所述挡板滑槽的高度；所述挡板两端由加工中心加工出与所述挡板滑槽相匹配的、沿所述挡板滑槽滑动的凹槽。

优选地，所述凹槽为二，对称式分布在所述挡板的顶面与底面。

优选地，所述侧面支撑板Ⅰ、所述侧面支撑板Ⅱ上方均分别设有与之固定的连接的把手。

优选地，所述侧面支撑板Ⅰ、所述侧面支撑板Ⅱ的底面均分别设有与之固定连接的、起增强稳定性作用的底座。

优选地，所述连接杆、所述连接板均采用焊接的连接方式固定在所述侧面支撑板Ⅰ和侧面支撑板Ⅱ之间。

优选地，所述连接杆为石英棒，所述连接杆、所述挡板为石英板。

优选地，所述连接板上的卡槽开设在所述连接板的上表面，所述连接杆的卡槽开设在所述连接杆的外表面，所述挡板上的卡槽设置在所述挡板的内侧面上。

优选地，所述硅片为方形状硅片或者圆形状硅片。

优选地，所述硅片为太阳能电池片或LED外延片。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1.本实用新型结构设计构思巧妙，打破常规设计思维，同样长度的产品却能使承载容量翻倍，大幅度提高产品利用率，有效节省原材料，大幅度降低企业对硅片载具的购进成本；

2.本实用新型操作方便快捷，通用性强，既能满足不同形状硅片的承载，又能满足同一形状不同规格的硅片承载；

3.本实用新型结构设计简化，耗材量低，实用性很强，能广泛应用于半导体硅片承载技术领域，在石英制品领域具有重要意义。

附图说明

图1是本实用新型结构示意图(仅其中一根挡板示意出卡槽，另一根挡板卡槽未示意)；

图2是本实用新型俯视方向结构示意图；

图3是本实用新型主视方向结构示意图；

图4是本实用新型左视方向结构示意图；

图5是本实用新型挡板结构示意图(卡槽未示意)；

图6是本实用新型连接杆结构示意图；

图7是本实用新型连接板侧面结构示意图。

图中：1.连接板；2.连接杆；3.挡板；4.侧面支撑板Ⅰ；5.侧面支撑板Ⅱ； 6.挡板滑槽；7.凹槽；8.把手；9.底座。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型进一步说明：

一种通用型高容量石英舟，包括对称式支撑体，设置在所述对称式支撑体之间的、用于承载硅片的连接板1，用于定位硅片的连接杆2；所述连接杆2位于所述连接板1的正上方，其轴线与所述连接板1的横向中心线在同一竖直平面上，所述连接杆2与所述连接板1在空间上形成两片硅片置放区；所述连接杆2的两侧设有用于防止放在所述硅片置放区上的硅片在连接杆2径向方向上发生滑落的挡板3，所述挡板3沿所述对称式支撑体滑动连接；所述连接板1、所述连接杆2、所述挡板3上均设有成排的硅片卡槽。

优选地，所述对称式支撑体包括侧面支撑板Ⅰ4、侧面支撑板Ⅱ5，所述侧面支撑板Ⅰ4、所述侧面支撑板Ⅱ5上均设有挡板滑槽6；所述挡板3的高度大于所述挡板滑槽6的高度，但其厚度小于所述挡板滑槽6的高度；所述挡板3 两端由加工中心加工出与所述挡板滑槽6相匹配的、沿所述挡板滑槽6滑动的凹槽7。

优选地，所述凹槽7为二，对称式分布在所述挡板3的顶面与底面。

优选地，所述侧面支撑板Ⅰ4、所述侧面支撑板Ⅱ5上方均分别设有与之固定的连接的把手8。

优选地，所述侧面支撑板Ⅰ4、所述侧面支撑板Ⅱ5的底面均分别设有与之固定连接的、起增强稳定性作用的底座9。

优选地，所述连接杆2、所述连接板1均采用焊接的连接方式固定在所述侧面支撑板Ⅰ4和侧面支撑板Ⅱ5之间。

优选地，所述连接杆2为石英棒，所述连接杆、所述挡板为石英板。

优选地，所述连接板1上的卡槽开设在所述连接板1的上表面，所述连接杆2的卡槽开设在所述连接杆2的外表面，所述挡板3上的卡槽设置在所述挡板3的内侧面上。

优选地，所述硅片为方形状硅片或者圆形状硅片。

优选地，所述硅片为太阳能电池片或LED外延片。

实施例1：

本实施例包括对称式支撑体，设置在对称式支撑体之间的、用于承载硅片的连接板1，用于定位硅片的连接杆2；连接杆2位于连接板1的正上方，其轴线与连接板1的横向中心线在同一竖直平面上，连接杆2与连接板1在空间上形成两片硅片置放区；连接杆2的两侧设有用于防止放在硅片置放区上的硅片在连接杆2径向方向上发生滑落的挡板3，挡板3沿对称式支撑体滑动连接；连接板1、连接杆2、挡板3上均设有成排的硅片卡槽。连接杆2的两侧均放置产品，产品一片片整体排布在两片硅片置放区上，由连接杆2上的卡槽和连接板1上的卡槽预先定位，再推动挡板3由挡板3对产品进行限位，防止产品在连接杆2径向方向上发生滑落；挡板3定位后用无尘净化胶带将挡板3端头粘在支撑体外侧面上，防止挡板3在搬运过程中发生位移。本实施例的挡板3在高度方向上位于连接杆2与连接板1中间位置处，既能承载方形状硅片，又能承载圆形状硅片。本实施例的挡板3能沿对称式支撑体滑动，能满足不同规格尺寸硅片的承载。本实施例结构设计构思巧妙，打破常规设计思维，同样长度的产品却能使承载容量翻倍，大幅度提高产品利用率，有效节省原材料，大幅度降低企业对硅片载具的购进成本；本实施例操作方便快捷，通用性强，既能满足不同形状硅片的承载，又能满足同一形状不同规格的硅片承载。

实施例2：

本实施例包括对称式支撑体，设置在对称式支撑体之间的、用于承载硅片的连接板1，用于定位硅片的连接杆2；连接杆2位于连接板1的正上方，其轴线与连接板1的横向中心线在同一竖直平面上，连接杆2与连接板1在空间上形成两片硅片置放区；连接杆2的两侧设有用于防止放在硅片置放区上的硅片在连接杆2径向方向上发生滑落的挡板3，挡板3沿对称式支撑体滑动连接；连接板1、连接杆2、挡板3上均设有成排的硅片卡槽。

本实施例对称式支撑体包括侧面支撑板Ⅰ、侧面支撑板Ⅱ，侧面支撑板Ⅰ、侧面支撑板Ⅱ上均设有挡板滑槽；挡板两端由加工中心加工出与挡板滑槽相匹配的、沿挡板滑槽滑动的凹槽，凹槽为二，对称式分布在挡板的顶面与底面，凹槽7能沿挡板滑槽6在连接杆2径向方向上前后滑动；挡板的高度大于挡板滑槽的高度，但其厚度小于挡板滑槽的高度，挡板3平躺时能插入挡板滑槽6 内，将挡板3旋转90°立起来时，两凹槽7卡住挡板滑槽6，使得挡板3无法在连接杆2轴线方向上产生位移，在连接杆2轴线方向上起到限位作用。挡板3 在连接杆2径向方向的限位通过无尘净化胶带实现，也就是挡板3定位后用无尘净化胶带将挡板3端头粘在支撑体外侧面上。

为了便于提携，侧面支撑板Ⅰ4、侧面支撑板Ⅱ5上方均分别设有与之固定的连接的把手8。

本实施例在侧面支撑板Ⅰ4、侧面支撑板Ⅱ5的底面均分别设有与之固定连接的、起增强稳定性作用的底座9。

本实施例连接杆2、连接板1均利用石英焊枪焊接固定在侧面支撑板Ⅰ4和侧面支撑板Ⅱ5之间。

本实施例连接杆2为石英棒，连接杆、挡板为石英板。

本实施例连接板1上的卡槽开设在连接板1的上表面，连接杆2的卡槽开设在连接杆2的外表面，挡板3上的卡槽设置在挡板3的内侧面上。

本实施例硅片为方形状硅片或者圆形状硅片，比如太阳能电池片或LED外延片。

挡板3的安装方法为，先将挡板3平躺，插入侧面支撑板Ⅰ4、侧面支撑板Ⅱ5上的挡板滑槽6，待凹槽7到达挡板滑槽6位置处时，旋转90度将挡板3 立起来，此时挡板3上高出凹槽7的部分就会限制住挡板3在连接杆2轴线方向上的产生位移，只能推动挡板3在连接杆2径向方向的移动。在装入硅片前，现将挡板3往外拉，使硅片置放区的空间尽可能大，放入第一片硅片，由连接杆2上的卡槽和连接板1上的卡槽预先定位，然后再推动挡板3，使硅片也卡入挡板3上的卡槽内，确定好挡板3的位置后，再在侧面支撑板Ⅰ4、侧面支撑板Ⅱ5外侧面上利用无尘净化胶带将挡板3固定在侧面支撑板上。随后，再将产品一片片依次整齐排布在两片硅片置放区上。本实施例的挡板3结构设计简单巧妙，滑动式结构设计，能满足不同规格尺寸硅片的承载。本实施例结构设计构思巧妙，打破常规设计思维，同样长度的产品却能使承载容量翻倍，大幅度提高产品利用率，有效节省原材料，大幅度降低企业对硅片载具的购进成本；本实施例操作方便快捷，通用性强，既能满足不同形状硅片的承载，又能满足同一形状不同规格的硅片承载。

综上所述，仅为本实用新型的较佳实施例而已，并非用来限定本实用新型实施的范围，凡依本实用新型权利要求范围所述的形状、构造、特征及精神所为的均等变化与修饰，均应包括于本实用新型的权利要求范围内。

Claims (10)

1.一种通用型高容量石英舟，其特征在于：包括对称式支撑体，设置在所述对称式支撑体之间的、用于承载硅片的连接板，用于定位硅片的连接杆；所述连接杆位于所述连接板的正上方，其轴线与所述连接板的横向中心线在同一竖直平面上，所述连接杆与所述连接板在空间上形成两片硅片置放区；所述连接杆的两侧设有用于防止放在所述硅片置放区上的硅片在连接杆径向方向上发生滑落的挡板，所述挡板沿所述对称式支撑体滑动连接；所述连接板、所述连接杆、所述挡板上均设有成排的硅片卡槽。

2.根据权利要求1所述的通用型高容量石英舟，其特征在于：所述对称式支撑体包括侧面支撑板Ⅰ、侧面支撑板Ⅱ，所述侧面支撑板Ⅰ、所述侧面支撑板Ⅱ上均设有挡板滑槽；所述挡板的高度大于所述挡板滑槽的高度，但其厚度小于所述挡板滑槽的高度；所述挡板两端由加工中心加工出与所述挡板滑槽相匹配的、沿所述挡板滑槽滑动的凹槽。

3.根据权利要求2所述的通用型高容量石英舟，其特征在于：所述凹槽为二，对称式分布在所述挡板的顶面与底面。

4.根据权利要求2所述的通用型高容量石英舟，其特征在于：所述侧面支撑板Ⅰ、所述侧面支撑板Ⅱ上方均分别设有与之固定的连接的把手。

5.根据权利要求2所述的通用型高容量石英舟，其特征在于：所述侧面支撑板Ⅰ、所述侧面支撑板Ⅱ的底面均分别设有与之固定连接的、起增强稳定性作用的底座。

6.根据权利要求2所述的通用型高容量石英舟，其特征在于：所述连接杆、所述连接板均采用焊接的连接方式固定在所述侧面支撑板Ⅰ和侧面支撑板Ⅱ之间。

7.根据权利要求2所述的通用型高容量石英舟，其特征在于：所述连接杆为石英棒，所述连接杆、所述挡板为石英板。

8.根据权利要求2所述的通用型高容量石英舟，其特征在于：所述连接板上的卡槽开设在所述连接板的上表面，所述连接杆的卡槽开设在所述连接杆的外表面，所述挡板上的卡槽设置在所述挡板的内侧面上。

9.根据权利要求1所述的通用型高容量石英舟，其特征在于：所述硅片为方形状硅片或者圆形状硅片。

10.根据权利要求9所述的通用型高容量石英舟，其特征在于：所述硅片为太阳能电池片或LED外延片。