CN209304294U - 一种超精密高效硅片双面研磨加工设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种超精密高效硅片双面研磨加工设备，包括机壳和研磨盘，所述研磨盘固定连接在机壳表面，所述研磨盘一侧设有电动液压杆和吸尘罩，所述机壳内侧壁通过滑轨滑扣连接集尘箱，且集尘箱侧壁焊接拉手，所述集尘箱内部分别设有抽风机、活性炭过滤网和水液，所述机壳内部底端分别设有细沙层和陶瓷硅胶板，所述机壳内侧壁转动连接散热扇，且机壳表面粘接有凸点胶垫。本实用新型设计新颖，结构简单，便于操作且使用效果好，通过设有吸尘罩和集尘箱，便于在生产过程中定向吸除研磨粉尘，更加环保，通过电动液压杆推动吸尘罩，自动清洁研磨盘表面残留的粉尘，省时省力，适合被广泛推广和使用。

Description

一种超精密高效硅片双面研磨加工设备

技术领域

本实用新型涉及一种研磨加工设备，特别涉及一种超精密高效硅片双面研磨加工设备。

背景技术

地壳中含量达25.8%的硅元素，为单晶硅的生产提供了取之不尽的源泉。由于硅元素是地壳中储量最丰富的元素之一，对太阳能电池这样注定要进入大规模市场的产品而言，储量的优势也是硅成为光伏主要材料的原因之一。硅片的结构组成是硅元素。

现有的超精密高效硅片双面研磨加工设备在工作的过程中，产生大量的研磨粉尘，严重污染环境，工作完成之后，研磨盘表面残留的大量粉尘不便于清洁，费时费力。为此，我们提出一种超精密高效硅片双面研磨加工设备。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于提供一种超精密高效硅片双面研磨加工设备，设计新颖，结构简单，便于操作且使用效果好，通过设有吸尘罩和集尘箱，便于在生产过程中定向吸除研磨粉尘，更加环保，通过电动液压杆推动吸尘罩，自动清洁研磨盘表面残留的粉尘，省时省力，可以有效解决背景技术中的问题。

为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：

一种超精密高效硅片双面研磨加工设备，包括机壳和研磨盘，所述研磨盘固定连接在机壳表面，所述研磨盘一侧设有电动液压杆和吸尘罩，所述机壳内侧壁通过滑轨滑扣连接集尘箱，且集尘箱侧壁焊接拉手，所述集尘箱内部分别设有抽风机、活性炭过滤网和水液，所述机壳内部底端分别设有细沙层和陶瓷硅胶板，所述机壳内侧壁转动连接散热扇，且机壳表面粘接有凸点胶垫。

进一步地，所述电动液压杆两端分别与机壳和吸尘罩固定连接。

进一步地，所述吸尘罩通过吸尘管与抽风机的吸入端导通连接，所述机壳表面开设有穿管孔。

进一步地，所述抽风机的输出端导通连接导气管，所述导气管底端贯穿活性炭过滤网且贯穿端插接在水液内部。

进一步地，所述集尘箱顶端导通连接排气管，且集尘箱外侧壁靠近底端开设有排污口。

与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：

1.本实用新型设计新颖，结构简单，便于操作且使用效果好，通过设有吸尘罩和集尘箱，便于在生产过程中定向吸除研磨粉尘，更加环保，通过电动液压杆推动吸尘罩，自动清洁研磨盘表面残留的粉尘，省时省力。

2.本实用新型通过设有吸尘罩和集尘箱，集尘箱内部设有抽风机，便于在研磨的过程中定向吸除研磨粉尘，减少粉尘的飘飞，提高工作环境的舒适度，更加环保。

3.本实用新型通过设有电动液压杆，便于在工作完成之后，横向推动吸尘罩对研磨盘表面残留的粉尘定向吸收，方便自动清洁，节省人力。

4.本实用新型通过集尘箱内部分别设有水液和活性炭过滤网，便于对吸除的粉尘溶解，避免粉尘对环境二次污染，活性炭过滤网对气体过滤，更加环保。

5.本实用新型通过机壳内部底端分别设有细沙层和陶瓷硅胶板，具有优良的绝缘性能，防止电器元件漏电传递至机壳表面，提高使用的安全性。

附图说明

图1为本实用新型一种超精密高效硅片双面研磨加工设备的整体结构示意图。

图2为本实用新型一种超精密高效硅片双面研磨加工设备的集尘箱结构示意图。

图中：1、机壳；2、细沙层；3、陶瓷硅胶板；4、滑轨；5、集尘箱；6、排气管；7、凸点胶垫；8、研磨盘；9、吸尘罩；10、抽风机；11、电动液压杆；12、穿管孔；13、吸尘管；14、散热扇；15、拉手；16、排污口；17、水液；18、导气管；19、活性炭过滤网。

具体实施方式

为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本实用新型。

如图1-2所示，一种超精密高效硅片双面研磨加工设备，包括机壳1和研磨盘8，所述研磨盘8固定连接在机壳1表面，所述研磨盘8一侧设有电动液压杆11和吸尘罩9，所述机壳1内侧壁通过滑轨4滑扣连接集尘箱5，且集尘箱5侧壁焊接拉手15，所述集尘箱5内部分别设有抽风机10、活性炭过滤网19和水液17，所述机壳1内部底端分别设有细沙层2和陶瓷硅胶板3，所述机壳1内侧壁转动连接散热扇14，且机壳1表面粘接有凸点胶垫7。

本实施例中如图1和2所示，通过设有吸尘罩和集尘箱，便于在生产过程中定向吸除研磨粉尘，更加环保，通过电动液压杆推动吸尘罩，自动清洁研磨盘表面残留的粉尘，省时省力。

其中，所述电动液压杆11两端分别与机壳1和吸尘罩9固定连接。

本实施例中如图1所示，便于吸除研磨产生的粉尘。

其中，所述吸尘罩9通过吸尘管13与抽风机10的吸入端导通连接，所述机壳1表面开设有穿管孔12。

本实施例中如图1所示，便于对研磨产生的粉尘定向吸除，有利于环保。

其中，所述抽风机10的输出端导通连接导气管18，所述导气管18底端贯穿活性炭过滤网19且贯穿端插接在水液17内部。

本实施例中如图2所示，便于把吸除的粉尘溶解在水液内部，避免粉尘的二次污染，更加环保。

其中，所述集尘箱5顶端导通连接排气管6，且集尘箱5外侧壁靠近底端开设有排污口16。

本实施例中如图2所示，便于排放气体，便于排出污水。

需要说明的是，本实用新型为一种超精密高效硅片双面研磨加工设备，包括机壳1、细沙层2、陶瓷硅胶板3、滑轨4、集尘箱5、排气管6、凸点胶垫7、研磨盘8、吸尘罩9、抽风机10、电动液压杆11、穿管孔12、吸尘管13、散热扇14、拉手15、排污口16、水液17、导气管18、活性炭过滤网19，部件均为通用标准件或本领域技术人员知晓的部件，其结构和原理都为本技术人员均可通过技术手册得知或通过常规实验方法获知，工作时，研磨盘8一侧设有电动液压杆11和吸尘罩9，机壳1内侧壁通过滑轨4滑扣连接集尘箱5，且集尘箱5侧壁焊接拉手15，集尘箱5内部分别设有抽风机10、活性炭过滤网19和水液17，研磨过程中，启动抽风机10，吸尘罩9把研磨飘飞的粉尘定向吸除，粉尘沿着吸尘管13和导气管18进入水液17内部，有效的避免粉尘的二次飘飞，有利于环保，吸除的气体经过活性炭过滤网19通过排气管6排出，气体被清洁；在工作完成之后，启动电动液压杆11带动吸尘罩9移动，对残留在研磨盘8表面的粉尘定向清除；机壳1内部底端分别设有细沙层2和陶瓷硅胶板3，细沙层2和陶瓷硅胶板3具有优良的绝缘性能，有效的防止电器元件漏电传递至机壳1表面，提高使用的安全性；电动液压杆11的型号为TJC-C1-S-P-P。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

Claims (5)

1.一种超精密高效硅片双面研磨加工设备，包括机壳（1）和研磨盘（8），所述研磨盘（8）固定连接在机壳（1）表面，其特征在于：所述研磨盘（8）一侧设有电动液压杆（11）和吸尘罩（9），所述机壳（1）内侧壁通过滑轨（4）滑扣连接集尘箱（5），且集尘箱（5）侧壁焊接拉手（15），所述集尘箱（5）内部分别设有抽风机（10）、活性炭过滤网（19）和水液（17），所述机壳（1）内部底端分别设有细沙层（2）和陶瓷硅胶板（3），所述机壳（1）内侧壁转动连接散热扇（14），且机壳（1）表面粘接有凸点胶垫（7）。

2.根据权利要求1所述的一种超精密高效硅片双面研磨加工设备，其特征在于：所述电动液压杆（11）两端分别与机壳（1）和吸尘罩（9）固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种超精密高效硅片双面研磨加工设备，其特征在于：所述吸尘罩（9）通过吸尘管（13）与抽风机（10）的吸入端导通连接，所述机壳（1）表面开设有穿管孔（12）。

4.根据权利要求1所述的一种超精密高效硅片双面研磨加工设备，其特征在于：所述抽风机（10）的输出端导通连接导气管（18），所述导气管（18）底端贯穿活性炭过滤网（19）且贯穿端插接在水液（17）内部。

5.根据权利要求1所述的一种超精密高效硅片双面研磨加工设备，其特征在于：所述集尘箱（5）顶端导通连接排气管（6），且集尘箱（5）外侧壁靠近底端开设有排污口（16）。