CN209276624U - 一种偏心镀膜夹具 - Google Patents

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苏宇
刘希强
张爱民
刘新
翟亮
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Abstract

本实用新型属于光学镀膜技术,具体涉及一种偏心镀膜夹具。该镀膜夹具外部为圆形,内部为放置圆形光学零件的凹陷,镀膜夹具的偏心夹具中心线(1)和放置圆形光学零件凹陷的中心线(2)不在同一位置,在壁厚处设置用于安装尖端顶丝的螺纹孔(4),镀膜夹具的底部设置有镀膜孔(3);由于采用了镀膜夹具和零件的偏心设计,可以在放置相同零件的情况下减小镀膜夹具的整体尺寸。在镀膜夹具壁厚的最厚处设置顶丝,同时采用尖端顶丝固定,可防止零件在夹具内晃动,整个夹具采用纯钛或钛合金材料加工,可保证结构的强度,防止镀膜夹具壁厚的最薄处变形。所以在保证镀膜质量的前提下,提高镀膜的批次装载量。

Description

一种偏心镀膜夹具
技术领域
本实用新型属于光学镀膜技术,具体涉及一种偏心镀膜夹具。
背景技术
激光陀螺反射镜是由超光滑基底表面(Rq小于0.1nm)及在其上面镀制的极低损耗高反膜组成,其性能指标直接影响到激光惯导系统的精度和可靠性。镀膜工艺方面国际上均采用离子束溅射沉积的方法,在进行正式生产前一般要进行大量的试验,确保中心波长、损耗、均匀性、膜面疵病等参数均满足指标要求。为避免污染,其靶材和工件盘均为立式安装,工件盘安装工件的有效区域受到离子源口径和膜层均匀性的限制。同时,镀膜机附件及内衬每隔一段时间就需要喷砂清洁,并需要再次进行同样的试验。这些因素均严重影响了激光陀螺反射镜镀膜的产能。
传统上反射镜基片的装夹方式为:先将基片装入镀膜夹具中,再将其整体放入开有很多孔的工件盘中,最后将工件盘装入镀膜机中。为提高批次的装载量,就需要加大工件盘上有效镀膜环带的开孔数量。针对该问题,传统上的做法是采用高强度材料钛代替不锈钢材料,减少工件盘上孔孔之间的壁厚,从而提高工件盘开孔的数量。
发明内容
本实用新型的目的是:提供一种能够减小工件盘开孔尺寸的偏心镀膜夹具,从而提高工件盘的批次装载量。
本实用新型的技术方案:一种偏心镀膜夹具,其特征在于,该镀膜夹具外部为圆形,内部为放置圆形光学零件的凹陷,镀膜夹具的偏心夹具中心线1和放置圆形光学零件凹陷的中心线2不在同一位置,镀膜夹具的一端壁厚,壁厚为2mm到3mm之间,另一端壁薄,壁厚为0.2mm到0.8mm之间,在壁厚处设置用于安装尖端顶丝的螺纹孔4,镀膜夹具的底部设置有镀膜孔3。
所述镀膜夹具的偏心夹具中心线1和放置圆形光学零件凹陷的中心线2的距离不小于2mm。
所述薄壁端的壁厚0.5mm,厚壁端的壁厚2.5mm。
所述偏心镀膜夹具采用纯钛或钛合金材料。
本实用新型的有益效果:本实用新型一种偏心镀膜夹具,由于采用了镀膜夹具和零件的偏心设计,可以在放置相同零件的情况下减小镀膜夹具的整体尺寸。在镀膜夹具壁厚的最厚处设置顶丝,同时采用尖端顶丝固定,可防止零件在夹具内晃动,整个夹具采用纯钛或钛合金材料加工,可保证结构的强度,防止镀膜夹具壁厚的最薄处变形。所以在保证镀膜质量的前提下,提高镀膜的批次装载量。
附图说明
图1为本实用新型一种偏心镀膜夹具的结构示意图;
图2为本实用新型一种偏心镀膜夹具的装配示意图;
其中:1-偏心夹具中心线、2-放置圆形光学零件凹陷的中心线、3-镀膜孔、4-螺纹孔、5-圆形光学零件、6-尖端顶丝
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型作进一步的说明:
参阅图1,为本实用新型的结构示意图。
一种偏心镀膜夹具,该镀膜夹具外部为圆形,内部为放置圆形光学零件的凹陷,镀膜夹具的偏心夹具中心线1和放置圆形光学零件凹陷的中心线2不在同一位置,镀膜夹具的一端壁厚,壁厚为2mm到3mm之间,另一端壁薄,壁厚为0.2mm到0.8mm之间,在壁厚处设置用于安装尖端顶丝的螺纹孔4,镀膜夹具的底部设置有镀膜孔3。
所述镀膜夹具的偏心夹具中心线1和放置圆形光学零件凹陷的中心线2的距离不小于2mm。
所述薄壁端的壁厚0.5mm,厚壁端的壁厚2.5mm。
本实用新型一种偏心镀膜夹具在实际工作时,将零件放入镀膜夹具后,用螺刀将尖端顶丝拧紧,则顶丝的尖端会将零件牢牢的夹紧,使零件和镀膜夹具形成一个整体,然后再将一个个镀膜夹具装入工件盘的孔中。
本实用新型一种偏心镀膜夹具采用纯钛或钛合金材料加工,可保证结构的强度,防止镀膜夹具壁厚的最薄处变形。
以直径为25mm的光学零件为例,正常的掩膜夹具需要外径30mm壁厚2.5mm的镀膜夹具圈,采用偏心设计方法壁厚最薄处为0.5mm,最厚处为2.5mm,则整个偏心镀膜夹具圈的直径为28mm,这样在工件盘同样一个镀膜的环带内,可以设计更多的放置镀膜夹具圈的孔位。

Claims (4)

1.一种偏心镀膜夹具,其特征在于,该镀膜夹具外部为圆形,内部为放置圆形光学零件的凹陷,镀膜夹具的偏心夹具中心线(1)和放置圆形光学零件凹陷的中心线(2)不在同一位置,镀膜夹具的一端壁厚,壁厚为2mm到3mm之间,另一端壁薄,壁厚为0.2mm到0.8mm之间,在壁厚处设置用于安装尖端顶丝的螺纹孔(4),镀膜夹具的底部设置有镀膜孔(3)。
2.如权利要求1所述的一种偏心镀膜夹具,其特征在于,所述镀膜夹具的偏心夹具中心线(1)和放置圆形光学零件凹陷的中心线(2)的距离不小于2mm。
3.如权利要求1或2所述的一种偏心镀膜夹具,其特征在于,所述壁薄一端的壁厚0.5mm,壁厚一端的壁厚2.5mm。
4.如权利要求3所述的一种偏心镀膜夹具,其特征在于,所述偏心镀膜夹具采用纯钛或钛合金材料。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN111015277A (zh) * 2019-12-12 2020-04-17 西安诺博尔稀贵金属材料股份有限公司 一种银基合金棒材加工用夹具及加工方法
CN114774874A (zh) * 2022-04-13 2022-07-22 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 Fc型接头光纤端面镀膜夹具、系统及其使用方法

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