CN209264113U - 一种新型激光功率探头 - Google Patents
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Abstract
一种新型激光功率探头,包括衬底、耐高温保护层、吸光导热材料层及薄膜热电堆,所述吸光导热材料层的下表面位于所述衬底的上表面,所述薄膜热电堆位于所述衬底的下表面,所述吸光导热材料层的上表面覆盖所述耐高温保护层,所述薄膜热电堆的两端引出正负电极。本实用新型提供了一种新型激光功率探头,能够提高灵敏度,增加其响应速率,缩小体积。
Description
技术领域
本实用新型属于科学、教学或工业中的激光测量技术领域,涉及一种激光功率探头。
背景技术
随着激光技术的发展,激光的应用领域越来越广泛,涵盖了工业、医疗、商业、科研、信息和军事六个领域。无论是在哪个领域,在激光器的研发、制备和应用过程中,对激光器的功率进行检测和标定是必不可少的步骤。激光功率探测器通常有光电型和光热型两种,光电型的灵敏度高、响应快,但测量波段和测量功率有一定的限制,通常只能测mW级激光,测量强激光时通常要加衰减器;光热型的光谱测量范围广、稳定性好,可测量kW量级的激光,当激光照射在热电堆的探测器靶心时,产生的热量通过探测器转换为电势由中心沿着无源区向两边缘扩散,在热电偶的冷热端产生电势差,由电压表可读出,但由于无源区的存在,一般光热型激光功率探测器的响应速度较慢,灵敏度较低、体积较大。
发明内容
为了克服已有激光功率探头的灵敏度较低、响应速度较低的不足,本实用新型提供了一种新型激光功率探头,能够提高灵敏度,增加其响应速率,缩小体积。
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是:
一种新型激光功率探头,包括衬底、耐高温保护层、吸光导热材料层及薄膜热电堆,所述吸光导热材料层的下表面位于所述衬底的上表面,所述薄膜热电堆位于所述衬底的下表面,所述吸光导热材料层的上表面覆盖所述耐高温保护层,所述薄膜热电堆的两端引出正负电极。
进一步,所述耐高温保护层厚度为2-20um;所述吸光导热材料层厚度为20-500um,优选200um;所述薄膜热电堆厚度为10-1000nm,优选500nm。
再进一步,所述衬底为玻璃衬底、石英衬底或金属板衬底。该衬底的材料没有严格限制,优选金属铝板衬底。
更进一步,所述耐高温保护层为二氧化钒或五氧化二钒层。所述耐高温保护层的材料种类没有严格限制,优选二氧化钒。
所述吸光导热材料层为碳化硅或金刚砂层。所述吸光导热材料层的种类没有严格限制,优选碳化硅。
所述薄膜热电堆的材料为镍-铬、镍-硅、镍-铝、铜、镍、康铜。所述薄膜热电堆的材料种类没有严格限制,优选镍-铬和镍-硅。
本实用新型的有益效果主要表现在:
(1)本实用新型利用二氧化钒或五氧化二钒作为耐高温保护层,有效地降低高功率激光对吸光导热材料层的损坏率;
(2)本实用新型制备得到的激光功率探头的灵敏度高、响应速率快、体积小,且制作设备简单,操作方便,制作成本低;制得的探头具有良好重复性和稳定性。
附图说明
图1是新型激光功率探头的示意图,其中1为衬底,2为耐高温保护层,3为吸光导热材料层,4为薄膜热电堆。
图2是实施例中薄膜热电堆结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型作进一步描述。
参照图1和图2,一种新型激光功率探头,包括衬底1、耐高温保护层2、吸光导热材料层3及薄膜热电堆4,所述吸光导热材料层3的下表面位于所述衬底1的上表面,所述薄膜热电堆4位于所述衬底1的下表面,所述吸光导热材料层3的上表面覆盖所述耐高温保护层2,所述薄膜热电堆4的两端引出正负电极。
进一步,所述耐高温保护层2厚度为2-20um;所述吸光导热材料层3厚度为20-500um,优选200um;所述薄膜热电堆4厚度为10-1000nm,优选500nm。
再进一步,所述衬底1为玻璃衬底、石英衬底或金属板衬底。该衬底的材料没有严格限制,优选金属铝板衬底。
更进一步,所述耐高温保护层2为二氧化钒或五氧化二钒层。所述耐高温保护层的材料种类没有严格限制,优选二氧化钒。
所述吸光导热材料层3为碳化硅或金刚砂层。所述吸光导热材料层的种类没有严格限制,优选碳化硅。
所述薄膜热电堆的材料为镍-铬、镍-硅、镍-铝、铜、镍、康铜。所述薄膜热电堆的材料种类没有严格限制,优选镍-铬和镍-硅。
参照图2所示的一个热电偶,左边为一种上述提到的材料,右边为另一种上述提到的材料,很多个左右相邻串起来就形成了热电堆,相当于每一个热电偶产生的电动势相加起来,因而可提高灵敏度。
本实施例的衬底为直径45mm,厚度2mm的石英玻璃,利用涂层法将α相碳化硅粉末与导热胶通过酒精混合均匀,在上述石英衬底正面涂抹直径40mm,厚度200um的混合物薄膜,最后将其放入200℃烘箱中烘干30分钟,最终制备出碳化硅吸光导热材料层;利用压片机将二氧化钒粉末在20MPa压力下压成直径为50mm,厚度为30mm的圆柱靶材,并在0.1Pa的真空环境下利用1100℃高温煅烧12小时,最终形成二氧化钒陶瓷靶;利用电子束蒸发,将腔室本底气压抽至5.0×10-3Pa并在9.0×10-3Pa蒸镀气压下蒸镀5um二氧化钒耐高温保护层;利用磁控溅射在石英衬底背面蒸镀薄膜热电堆,将溅射室抽至本底气压为5.0×10-4Pa,通入流量为30sccm氩气后,溅射室气压调至3.0Pa,利用200W射频溅射分别蒸镀镍-铬和镍-硅合金,作为热电堆产生温差电动势的两种材料;最后利用铟将导线压在热电堆的两极最为激光功率探头的正负电极。
本实用新型碳化硅的比热容为670J/(kg·K),密度为3.2g/cm3,热扩散率为2.199mm2/s,因此其导热率为4.7W/(m·K),具有良好的导热率。通过测试,随着碳化硅表面温度的升高,热电堆的热电动势呈线性增加,温度为80℃时,热电动势为20mV,具有较高的灵敏度,其响应速率也较快,经测试有二氧化钒耐高温保护层的保护下,碳化硅耐激光功率显著提高。
因此本实用新型弥补了现有技术的不足,提供一种新型激光功率探头及其制备方法,能够提高光热型激光功率探测器的灵敏度,增加其响应速率,缩小体积。
Claims (6)
1.一种新型激光功率探头,其特征在于:所述激光功率探头包括衬底、耐高温保护层、吸光导热材料层及薄膜热电堆,所述吸光导热材料层的下表面位于所述衬底的上表面,所述薄膜热电堆位于所述衬底的下表面,所述吸光导热材料层的上表面覆盖所述耐高温保护层,所述薄膜热电堆的两端引出正负电极。
2.如权利要求1所述的一种新型激光功率探头,其特征在于:所述耐高温保护层厚度为2-20um;所述吸光导热材料层厚度为20-500um;所述薄膜热电堆厚度为10-1000nm。
3.如权利要求1或2所述的一种新型激光功率探头,其特征在于:所述衬底为玻璃衬底、石英衬底或金属板衬底。
4.如权利要求1或2所述的一种新型激光功率探头,其特征在于:所述耐高温保护层为二氧化钒或五氧化二钒层。
5.如权利要求1或2所述的一种新型激光功率探头,其特征在于:所述吸光导热材料层为碳化硅或金刚砂层。
6.如权利要求1或2所述的一种新型激光功率探头,其特征在于:所述薄膜热电堆的材料为镍-铬、镍-硅、镍-铝、铜、镍、康铜。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN112582528A (zh) * | 2020-12-28 | 2021-03-30 | 杭州博源光电科技有限公司 | 一种新型大功率激光探测器中热电堆的制备方法 |
EP4113079A4 (en) * | 2020-02-28 | 2024-03-13 | Shandong Xinyuan Photoelectric Technology Co., Ltd. | BLACK SILICON CARBIDE CERAMIC BASED THERMOELECTRIC PHOTODETECTOR, OPTICAL POWER METER AND OPTICAL ENERGY METER |
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2019
- 2019-01-31 CN CN201920173927.3U patent/CN209264113U/zh active Active
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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EP4113079A4 (en) * | 2020-02-28 | 2024-03-13 | Shandong Xinyuan Photoelectric Technology Co., Ltd. | BLACK SILICON CARBIDE CERAMIC BASED THERMOELECTRIC PHOTODETECTOR, OPTICAL POWER METER AND OPTICAL ENERGY METER |
CN112582528A (zh) * | 2020-12-28 | 2021-03-30 | 杭州博源光电科技有限公司 | 一种新型大功率激光探测器中热电堆的制备方法 |
CN112582528B (zh) * | 2020-12-28 | 2023-04-07 | 杭州博源光电科技有限公司 | 一种新型大功率激光探测器中热电堆的制备方法 |
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