CN209237685U - 一种尾气处理装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种尾气处理装置，通过将尾气输送管路连接冲洗装置，实现对尾气输送管路末端处附着的颗粒物进行冲洗；而且，在尾气输送管路末端设置负压发生装置，提供动力，保证冲洗装置的清洗液和尾气的流动速度；另外，在尾气输送管路的末端通过管路连接处理结构，方便对尾气中有毒气体进行处理，减少污染；同时，本实用新型整体在管路中自动进行，降低操作人员受污染的危险。

Description

一种尾气处理装置

技术领域

本实用新型涉及半导体领域，尤其涉及一种尾气处理装置。

背景技术

半导体行业需求，会产生一些有毒有害的尾气及颗粒副产物，所以需要对相应尾气进行处理，其中颗粒物会沉积到输运尾气管路内壁或者是阀件接口处，但目前的尾气处理设备在入口端因为并没有良好的加热系统，所以含砷、磷颗粒物容易沉积在接口处，难以处理，且每次维护周期较长；而且，由于尾气中有毒有害物质较多，操作人员在操作时易受到污染危险。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种尾气处理装置，以解决现有技术中的问题，对沉积在接口处的颗粒物及尾气中有害物质进行处理，且降低操作人员受污染的危险。

本实用新型提供一种尾气处理装置，所述尾气处理装置包括：尾气输送管路和处理结构，所述尾气输送管路用于向处理结构输送待处理的尾气，所述处理结构用于对所述尾气输送管路输入的尾气进行处理；

所述尾气输送管路的第一位置还设置有冲洗装置，所述冲洗装置穿过尾气输送管路连接，以冲洗所述尾气输送管路内的颗粒附着物。

可选择地，所述尾气处理装置还包括负压发生装置，所述尾气输送管路包括第一输送管路，所述负压发生装置设置在所述第一输送管路上，所述负压发生装置用于将第一输送管路中的尾气压入。

可选择地，所述尾气输送管路还包括第二输送管路，所述第二输送管路的第一端与尾气源连接，第二端与所述第一输送管路连接，所述第二输送管路通过所述第一输送管路将尾气输入处理结构。

可选择地，所述第一输送管路包括内管和套设在所述内管上的外管；所述第一输送管路与处理结构连接一侧，所述外管的长度长于内管的长度；所述内管包括向相连接的处理结构流动的高速流体；

所述第二输送管路与所述第一输送管路的外管连接。

可选择地，所述冲洗装置设置在所述第二输送管路的第一位置，且所述冲洗装置冲水方向与所述第二输送管路尾气输送方向之间的夹角为α度。

可选择地，所述冲洗装置包括：

储存有第一清洗液的第一储存罐，所述第一储存罐底部连接有第一管路；

储存有第二清洗液的第二储存罐，所述第二储存罐底部连接有第二管路；

分别与所述第一管路的出口、所述第二管路的出口连接的第三管路，所述第三管路还与所述第二输送管路连接。

可选择地，所述第一管路与所述第二管路上均设置有质量流量计和控制球阀，所述第三管路上设置有控制球阀。

可选择地，所述处理结构包括：第一处理腔和至少一个第二处理腔；

所述第一输送管路与所述第一处理腔连接，尾气通过第一处理腔传输至第二处理腔；

所述第二处理腔还包括中空的悬浮球，尾气经第二处理腔底部喷射至所述悬浮球，

所述第二处理腔顶部包括设置的喷淋头，所述喷淋头用于喷射与尾气反应的化学药液，所述喷淋头在所述第二处理腔内设置的位置能够使所述喷淋头喷出的化学药液喷淋至所述悬浮球。

可选择地，所述第二处理腔顶部还设置有出口和风机，所述风机与所述出口连接。

本实用新型提供的尾气处理装置，通过将尾气输送管路连接冲洗装置，实现对尾气输送管路末端处附着的颗粒物进行冲洗；而且，在尾气输送管路末端设置负压发生装置，提供动力，保证冲洗装置的清洗液和尾气的流动速度；另外，在尾气输送管路的末端通过管路连接处理结构，方便对尾气中有毒气体进行处理，减少污染；同时，本实用新型整体在管路中自动进行，降低操作人员受污染的危险。

附图说明

图1为本实用新型实施例提供的尾气处理装置的结构示意图；

附图标记说明：

11-第一储存罐，12-第一管路，21-第二储存罐，22-第二管路，31-第三管路，4-质量流量计，5-控制球阀，61-第一输送管路，62-第二输送管路，7-负压发生装置，8-处理结构，81-第一处理腔，82-喷淋头，83-悬浮球，84-第二处理腔。

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能解释为对本实用新型的限制。

如图1所示，本实用新型实施例提供一种尾气处理装置，所述尾气处理装置包括：尾气输送管路和处理结构8，所述尾气输送管路用于向处理结构8输送待处理的尾气，所述处理结构8用于对所述尾气输送管路输入的尾气进行处理；

所述尾气输送管路的第一位置还设置有冲洗装置，所述冲洗装置穿过尾气输送管路连接，以冲洗所述尾气输送管路内的颗粒附着物；

其中，冲洗装置可设置在尾气输送管路上，通过冲洗液或者水与尾气混合后一同向末端冲洗，同时也加快尾气流动速度，防止颗粒物附着产生堵塞。

可选择地，所述尾气处理装置还包括负压发生装置7，所述尾气输送管路包括第一输送管路61，所述负压发生装置7设置在所述第一输送管路61上，所述负压发生装置7用于将尾气输送管路中的尾气压入。

其中，负压发生装置7可采用真空发生器，负压发生装置7与所述第一输送管路61连接，通过产生负压对尾气输送管路中的尾气进行驱动，使其顺利进入处理结构8进行尾气处理。

可选择地，所述尾气输送管路还包括与第一输送管路61连接的第二输送管路62，所述第二输送管路62的第一端与尾气源连接，第二端与所述第一输送管路61连接，所述第二输送管路62通过所述第一输送管路61将尾气输入处理结构8。

可选择地，所述冲洗装置设置在所述第二输送管路62的第一位置，且所述冲洗装置冲水方向与所述第二输送管路62尾气输送方向之间的夹角为α度。

其中，尾气输送管路的实现方式有多种，本实施例中，包括竖直设置的第一输送管路61，一般将负压发生装置7设置在其上部，下部与第二输送管路62连接，产生负压将第二输送管路62中的尾气压入第一输送管路61、处理结构8；第二输送管路62倾斜设置，与水平面的夹角一般大于等于30度，流通效果较好；冲洗装置冲水方向与所述第二输送管路62尾气输送方向之间的夹角为α度，α一般为30-80度，如此设置，在实际操作过程中，发现冲洗效果最好。

可选择地，所述第一输送管路61包括：

内管和套在内管外部的外管，所述负压发生装置7与所述内管连接；

所述第一输送管路61与处理结构8连接的一侧，外管的长度长于内管的长度，所述内管包括向相连接的处理结构8流动的高速流体；

第二输送管路62与第一输送管路61的外管连接，尾气通过外管输出。

其中，本实施例中，外管下端与处理结构8连接，上端密封，内管套设在其中，顶部连接负压发生装置7，由于整体短于外管长度，其下端悬空，尾气通过外管输出，负压发生装置7中有高速气体或液体，通过内管中的高速气体或液体使外管形成真空，方便外管中的尾气抽到处理结构8中。

可选择地，所述冲洗装置包括：

储存有第一清洗液的第一储存罐11，所述第一储存罐11底部连接有第一管路12；

储存有第二清洗液的第二储存罐21，所述第二储存罐21底部连接有第二管路22；

分别与所述第一管路12的出口、所述第二管路22的出口均连接的第三管路31，所述第三管路31还与第二输送管路62连接。

可选择地，所述第一清洗液的温度大于等于60℃，且所述第二清洗液的温度小于等于10℃。可选择地，所述第三管路31与所述第二输送管路62之间的夹角为30-80度。可选择地，所述第一管路12与所述第二管路22上均设置有质量流量计4和控制球阀5，所述第三管路31上设置有控制球阀5。

其中，冲洗装置的实现方式有多种，本实施例中，清洗液可采用水，也可采用其他清洗液体，两个储存罐中分别储存不同温度的水，用于不同阶段冲洗使用；通过质量流量计4灵活控制清洗液的流量，以针对不同的污垢；本实施例中，第二输送管路62与水平面的夹角大于等于30度，一般设置为45度，同时，第三管路31与所述第二输送管路62之间的夹角为30-80度，如此设置，在实际操作过程中，发现冲洗效果最好。

可选择地，所述处理结构88包括：

第一处理腔81和至少一个第二处理腔84；

所述第一输送管路61与所述第一处理腔81连接，尾气通过第一处理腔81传输至第二处理腔84；

所述第二处理腔84顶部包括设置的喷淋头82，喷淋头82用于喷射与尾气反应的化学药液；

所述第二处理腔84还包括中空设置的悬浮球83，尾气经第二处理腔84底部喷射至所述悬浮球83，所述化学药液经所述喷淋头82喷射至所述悬浮球83，所述喷淋头82在所述第二处理腔84内设置的位置能够使所述喷淋头82喷出的化学药液喷淋至所述悬浮球83，所述化学药液与所述尾气在所述悬浮球83处接触反应。

其中，本实施例的处理结构88通过化学药液与尾气中有毒气体进行反应，生成磷酸根变成溶于溶液的物质，从而使得有害物质去除；具体地，第一处理腔81通过管路和各个第二处理腔84分别连接，将配好的化学药液通过第二处理腔84顶部的喷淋头82进行喷洒，同时将尾气依次从第一处理腔81、第二处理腔84底部向上喷出，二者即可相遇反应；本实施例中，为了增加二者接触面积，使得反应更为充分，另外设置了中空的悬浮球，悬浮球本身为现有技术，其表面和内部均设置有网格，其具有生物附着力强、比表面积大、孔隙率高、化学和生物稳定性好、经久耐用、不溶出有害物、不引起二次污染、防紫外线、抗老化、亲水性能强等特点，因此，可充分附着尾气和化学药液，使得二者的接触面积和接触时间均得以拉长，反应更充分，去除有害物质效果更好。

可选择地，所述第二处理腔84上设置有可视窗口。可选择地，所述第二处理腔84顶部还设置有出口。可选择地，所述尾气处理装置还包括风机，所述风机与所述出口连接。

可选择地，所述真空发生器设置在所述第一输送管路61内的顶部，所述第一输送管路61底部出口与所述处理结构88连接，所述第二输送管路62与所述第一输送管路61的连接处位于所述真空发生器下方。

其中，机罩包覆形成第二处理腔84，机罩上设置可视窗口，便于对其内部反应进行监控观察；而出口处与风机连接，风机的作用在于协助真空发生器，为尾气流动提供动力，使得此处的压力为负压，用于尾气中剩余氢气、氮气等无毒气体的排放，去除有害物质后的尾气通过风机排出至高处的大气中。

本实用新型提供的尾气处理装置，通过将第二输送管路62倾斜设置，同时连接冲洗装置，实现对第二输送管路62末端处附着的颗粒物进行冲洗；而且，在第二输送管路62末端设置真空发生器，提供动力，保证冲洗装置的清洗液和尾气的流动速度；另外，在第二输送管路62的末端通过第一输送管路61连接处理结构88，方便对尾气中有毒气体进行处理，减少污染；同时，本实用新型整体在管路中自动进行，降低操作人员受污染的危险。

另外，本实施例中，可增设控制器，如PLC，与各个控制球阀5、喷淋头82等部件连接，实现统一控制，实现远程自动冲水，避免人工冲水误操作，人员操作远离危险区域解决相应人员安全问题；冷热水交替冲洗，有效的解决尾气管壁颗粒物去除的问题；采用质量流量计4来控制相应流量切换，达到对流量精准控制、迅速切换的作用；减少部件清洗拆卸频次，有效的增加了生产时间，降低维护成本，降低人员操作风险。

以上依据图式所示的实施例详细说明了本实用新型的构造、特征及作用效果，以上所述仅为本实用新型的较佳实施例，但本实用新型不以图面所示限定实施范围，凡是依照本实用新型的构想所作的改变，或修改为等同变化的等效实施例，仍未超出说明书与图示所涵盖的精神时，均应在本实用新型的保护范围内。

Claims (7)

1.一种尾气处理装置，其特征在于，所述尾气处理装置包括：尾气输送管路和处理结构，所述尾气输送管路用于向处理结构输送待处理的尾气，所述处理结构用于对所述尾气输送管路输入的尾气进行处理；

所述尾气输送管路的第一位置还设置有冲洗装置，所述冲洗装置穿过尾气输送管路连接，以冲洗所述尾气输送管路内的颗粒附着物；

所述尾气处理装置还包括负压发生装置，所述尾气输送管路包括第一输送管路，所述负压发生装置设置在所述第一输送管路上，所述负压发生装置用于将第一输送管路中的尾气压入处理结构；

所述尾气输送管路还包括第二输送管路，所述第二输送管路的第一端与尾气源连接，第二端与所述第一输送管路连接，所述第二输送管路通过所述第一输送管路将尾气输入处理结构。

2.根据权利要求1所述的尾气处理装置，其特征在于，所述第一输送管路包括内管和套设在所述内管上的外管；所述第一输送管路与处理结构连接一侧，所述外管的长度长于内管的长度；所述内管包括向相连接的处理结构流动的高速流体；

所述第二输送管路与所述第一输送管路的外管连接。

3.根据权利要求1所述的尾气处理装置，其特征在于，所述冲洗装置设置在所述第二输送管路的第一位置，且所述冲洗装置冲水方向与所述第二输送管路尾气输送方向之间的夹角为α度。

4.根据权利要求1所述的尾气处理装置，其特征在于，所述冲洗装置包括：

储存有第一清洗液的第一储存罐，所述第一储存罐底部连接有第一管路；

储存有第二清洗液的第二储存罐，所述第二储存罐底部连接有第二管路；

分别与所述第一管路的出口、所述第二管路的出口连接的第三管路，所述第三管路还与所述第二输送管路连接。

5.根据权利要求4所述的尾气处理装置，其特征在于，所述第一管路与所述第二管路上均设置有质量流量计和控制球阀，所述第三管路上设置有控制球阀。

6.根据权利要求1所述的尾气处理装置，其特征在于，所述处理结构包括：第一处理腔和至少一个第二处理腔；

所述第一输送管路与所述第一处理腔连接，尾气通过第一处理腔传输至第二处理腔；

所述第二处理腔还包括中空的悬浮球，尾气经第二处理腔底部喷射至所述悬浮球，

所述第二处理腔顶部包括设置的喷淋头，所述喷淋头用于喷射与尾气反应的化学药液，所述喷淋头在所述第二处理腔内设置的位置能够使所述喷淋头喷出的化学药液喷淋至所述悬浮球。

7.根据权利要求6所述的尾气处理装置，其特征在于，所述第二处理腔顶部还设置有出口和风机，所述风机与所述出口连接。