CN209215245U - 反射式激光束线痕检测机构 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种反射式激光束线痕检测机构，涉及硅片线痕检测技术领域，包括底座、外壳、底板、相机、相机安装板、激光发射器、激光器支架、检测传感器、传感器支架；所述底座上设置有两块底板；所述每块底板上均设置有多个用于固定底板的底板固定孔；所述每块底板上均安装有相机安装板、激光器支架和激光反射板。本实用新型的检测机构通过在激光路径上设置的激光反射板将激光反射到待检硅片上，使得照射到待检硅片上的激光强度稳定均匀，解决了线痕检测图像不清晰的技术问题。
Description
技术领域
本实用新型涉及硅片线痕检测机构，尤其涉及一种反射式激光束线痕检测机构。
背景技术
线痕是硅片在切割过程中比较常见的一种缺陷，对后续工艺影响很大。线痕非常细小，无法凭借肉眼辨识，造成线痕缺陷的原因多种多样，使得线痕的方向、长度和深浅都没有任何规律。常用的检测线痕方法是激光检测，激光照射硅片表面，在硅片表面发射的光线通过专用相机进行捕捉，通过对采集的激光图像进行分析检测出硅片表面的线痕。中国专利CN105355578A公开了一种太阳能硅片线痕检测装置，包括硅片传送带、固定支架以及激光器组件和相机组件；实现了激光检测硅片表面线痕的功能，但是所述线痕检测装置采用激光直接照射，相机拍摄的线痕图像不够清晰。
实用新型内容
本实用新型解决的技术问题是提供一种反射式激光束线痕检测机构，线痕图像更加清晰。
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：一种反射式激光束线痕检测机构，包括底座、外壳、底板、相机、相机安装板、激光发射器、激光器支架、检测传感器、传感器支架；所述底座上设置有两块底板；所述每块底板上均设置有多个用于固定底板的底板固定孔；所述每块底板上均安装有相机安装板、激光器支架和用于反射激光的激光反射板；所述相机安装在相机安装板上；所述激光发射器安装在激光器支架上；所述传感器支架安装在底座上；所述检测传感器安装在传感器支架上。本检测机构的激光反射板将激光点转化成均匀的激光束，使得激光照射在待检硅片上的强度更加稳定均匀，相机捕捉到的线痕图像更加清晰。
进一步的是：所述底板通过螺钉固定在底座上。
进一步的是：所述相机为CCD相机。
进一步的是：所述相机安装板和激光器支架通过螺钉安装在底板上。
进一步的是：所述激光反射板为L形塑胶材料板。
进一步的是：所述激光反射板水平部分上设置有三个反射固定板；所述激光反射板通过螺钉安装在底板上。使用激光反射板将激光点转化为强度均匀的激光束，使得照射到待检硅片上的激光强度更加稳定均匀。
进一步的是：所述检测传感器是一种光电传感器。
附图说明
图1为反射式激光束线痕检测机构外观示意图；
图2为反射式激光束线痕检测机构结构示意图。
图中标号为：底座10、外壳20、底板30、相机40、相机安装板41、激光发射器50、激光器支架51、激光反射板60、检测传感器70、传感器支架71、待测硅片80。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施方式对本实用新型进一步说明。
如图1和图2所示的一种反射式激光束线痕检测机构：包括底座10、外壳20、底板30、相机40、相机安装板41、激光发射器50、激光器支架51、检测传感器70、传感器支架71；所述底座10上设置有两块底板30；所述每块底板30上均设置有多个用于固定底板30的底板固定孔31；所述每块底板30上均安装有相机安装板41、激光器支架51和用于反射激光的激光反射板60；所述相机40安装在相机安装板41上；所述激光发射器50安装在激光器支架51上；所述传感器支架71安装在底座10上；所述检测传感器70安装在传感器支架71上。
在上述基础上，如图2所示，所述底板30通过螺钉固定在底座10上。
在上述基础上，如图2所示，所述相机40为CCD相机。CCD相机是一种图像生成相机，其中CCD是电荷耦合元件的简称，CCD能够把光学影像转化成数字信号。所述相机40还可采用CMOS相机，也可以做到将光学影像转化成数字信号，但是CMOS相机使用过程中噪声大，在本实例中采用低噪的CCD相机。
在上述基础上，如图2所示，所述相机安装板41和激光支架51通过螺钉固定在底板30上。
在上述基础上，如图2所示，所述激光反射板60是L形的塑胶材料板，可以把激光点转换成均匀的激光束并将激光束反射到待测硅片80上。所述激光反射板60可选用镀膜玻璃材质、塑胶材料等；本实例中选用标准带衍射的塑胶材料，具有坚固不易碎的优点，能更好的将激光点转换成均匀的激光束。
在上述基础上，如图2所示，所述激光反射板60水平部分上设置有是三个反射板固定孔61；所述激光反射板(60)通过螺钉安装在底板30上。
在上述基础上，如图2所示，所述检测传感器70是一种光电传感器，用于感应该机构中是否有待检测硅片80；若检测传感器70检测到有待检测硅片80，则发出信号，触发激光发射器50发射激光和相机40工作。所述检测传感器70可选用西克IME12-02BPSZU3S型号光电传感器、欧姆龙E3Z-D81型号或者西克WTB2S-2N3130型号光电传感器；本实例中采用西克WTB2S-2N3130型号的传感器，感应灵敏度和精度都很高。
以上所述的具体实施例，对本实用新型的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本实用新型的具体实施例而已，并不用于限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (7)
1.一种反射式激光束线痕检测机构，包括底座(10)、外壳(20)、底板(30)、相机(40)、相机安装板(41)、激光发射器(50)、激光器支架(51)、检测传感器(70)、传感器支架(71)；其特征在于：所述底座(10)上设置有两块底板(30)；所述每块底板(30)上均设置有多个用于固定底板(30)的底板固定孔(31)；所述每块底板(30)上均安装有相机安装板(41)、激光器支架(51)和用于反射激光的激光反射板(60)；所述相机(40)安装在相机安装板(41)上；所述激光发射器(50)安装在激光器支架(51)上；所述传感器支架(71)安装在底座(10)上；所述检测传感器(70)安装在传感器支架(71)上。
2.根据权利要求1所述的一种反射式激光束线痕检测机构，其特征在于：所述底板(30)通过螺钉固定在底座(10)上。
3.根据权利要求1所述的一种反射式激光束线痕检测机构，其特征在于：所述相机(40)为CCD相机。
4.根据权利要求1所述的一种反射式激光束线痕检测机构，其特征在于：所述相机安装板(41)和激光器支架(51)通过螺钉固定在底板(30)上。
5.根据权利要求1所述的一种反射式激光束线痕检测机构，其特征在于：所述激光反射板(60)是L形的塑胶材料板。
6.根据权利要求5所述的一种反射式激光束线痕检测机构，其特征在于：所述激光反射板(60)水平部分上设置有三个反射板固定孔(61)；所述激光反射板(60)通过螺钉安装在底板(30)上。
7.根据权利要求1所述的一种反射式激光束线痕检测机构，其特征在于：所述检测传感器(70)是一种光电传感器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201821876236.1U CN209215245U (zh) | 2018-11-14 | 2018-11-14 | 反射式激光束线痕检测机构 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201821876236.1U CN209215245U (zh) | 2018-11-14 | 2018-11-14 | 反射式激光束线痕检测机构 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
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| CN209215245U true CN209215245U (zh) | 2019-08-06 |
Family
ID=67459821
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| CN201821876236.1U Active CN209215245U (zh) | 2018-11-14 | 2018-11-14 | 反射式激光束线痕检测机构 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN209215245U (zh) |
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2018
- 2018-11-14 CN CN201821876236.1U patent/CN209215245U/zh active Active
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