CN209183499U - 一种可调式扫描电子显微镜 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种可调式扫描电子显微镜，包括工作台体，所述工作台体的顶部通过螺栓连接有箱体，且箱体的顶部通过螺栓连接有扫描箱体，所述工作台体的顶部滑动连接有四个等距离分布的滚轮，且滚轮的顶部通过转轴通过支撑杆，所述支撑杆的顶部通过螺栓连接有置物台，所述置物台的顶部通过螺栓连接有定位杆。本实用新型中，通过设置有电动机、螺纹杆、定位杆、样品放置台、置物台，将样品放置在样品放置台，通过滚轮将置物台推入箱体内部，处理器控制电动机带动螺纹杆转动，螺纹杆带动样品放置台进行高度调节，观察效果更佳，风扇支撑架上安装的伺服电机带动散热扇转动，可对电子枪进行降温，提高了电子枪的使用寿命。
Description
技术领域
本实用新型涉及显微镜技术领域，尤其涉及一种可调式扫描电子显微镜。
背景技术
扫描电子显微镜是1965年发明的较现代的细胞生物学研究工具，主要是利用二次电子信号成像来观察样品的表面形态，即用极狭窄的电子束去扫描样品，通过电子束与样品的相互作用产生各种效应，其中主要是样品的二次电子发射。二次电子能够产生样品表面放大的形貌像，这个像是在样品被扫描时按时序建立起来的，即使用逐点成像的方法获得放大像，扫描电镜是介于透射电镜和光学显微镜之间的一种微观形貌观察手段，可直接利用样品表面材料的物质性能进行微观成像。
但是传统的扫描电子显微镜的散热效果效果不佳，且扫描电子显微镜的样品放置装置不可调，传统的电子显微镜，其镜面与观察物体之间的距离仅能通过人手调节来控制，这种工作方式具有操作不方便、观察效率低的缺点。
实用新型内容
本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种可调式扫描电子显微镜。
为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：
一种可调式扫描电子显微镜，包括工作台体，所述工作台体的顶部通过螺栓连接有箱体，且箱体的顶部通过螺栓连接有扫描箱体，所述工作台体的顶部滑动连接有四个等距离分布的滚轮，且滚轮的顶部通过转轴通过支撑杆，所述支撑杆的顶部通过螺栓连接有置物台，所述置物台的顶部通过螺栓连接有定位杆，且定位杆的外壁滑动连接有样品放置台，所述置物台的底部通过螺栓连接有电动机，且电动机的顶部通过联轴器连接有螺纹杆，所述螺纹杆与样品放置台通过螺纹连接，所述扫描箱体的内部顶部通过螺栓连接有电子枪，且扫描箱体的内壁一侧通过螺栓连接有聚光镜头，所述扫描箱体的一侧通过螺栓连接有空气动力阀，所述扫描箱体的一侧通过螺栓连接有物镜光圈试片，所述工作台体的内壁开设有真空腔，且真空腔的内部通过螺栓连接有信号接收器，所述扫描箱体的顶部开设有空腔，且空腔的顶部通过螺栓连接有防护网，所述箱体的外壁通过螺栓连接有处理器，所述扫描箱体的内壁空腔通过螺栓连接有风扇支撑架。
优选的，所述工作台体的底部四角通过螺栓连接有支撑腿，且支撑腿的底部通过螺栓连接有万向轮。
优选的，所述箱体的一侧开设有矩形槽口，且矩型槽口的一侧铰接有进料门。
优选的，所述扫描箱体的内壁顶部卡接有物镜，且扫描箱体的内壁一侧通过螺栓连接有扫描箱体。
优选的，所述扫描箱体的一侧通过螺栓连接有物镜光圈试片，且扫描箱体的一侧顶部通过开关连接有电线。
优选的，所述风扇支撑架的底部通过螺栓连接有伺服电机，且伺服电机的顶部通过卡套连接有散热扇。
优选的，所述处理器与伺服电机、电动机、电子枪和空气动力阀通过开关电性连接，且处理器与信号接收器和电子枪对中控制器通过信号线电性连接。
本实用新型的有益效果为：
1、本实用新型提出的可调式扫描电子显微镜，通过设置有电动机、螺纹杆、定位杆、样品放置台、置物台，将样品放置在样品放置台，通过滚轮将置物台推入箱体内部，处理器控制电动机带动螺纹杆转动，螺纹杆带动样品放置台进行高度调节，观察效果更佳。
2、本实用新型提出的可调式扫描电子显微镜，通过设置有散热扇、风扇支撑架、伺服电机、防护网、风扇支撑架上安装的伺服电机带动散热扇转动，可对电子枪进行降温，提高了电子枪的使用寿命。
3、本实用新型提出的可调式扫描电子显微镜，通过设置有万向轮、电子枪、电子枪对中控制器、扫描线圈、信号接收器、处理器，电子枪发射电子束通过电子枪对中控制器进行对中，聚光镜头将电子束进行聚焦，通过扫描线圈对物体进行扫描，信息接收器将信息通过信号线传递至处理器，可将扫描信息显示出来，非常便于观察。
附图说明
图1为本实用新型提出的一种可调式扫描电子显微镜的主视结构示意图；
图2为本实用新型提出的一种可调式扫描电子显微镜的A结构示意图；
图3为本实用新型提出的一种可调式扫描电子显微镜的正视结构示意图。
图中：1万向轮、2支撑腿、3工作台体、4滚轮、5支撑杆、6置物台、7箱体、8物镜、9扫描线圈、10聚光镜头、11电子枪对中控制器、12电子枪、13扫描箱体、14空气动力阀、15物镜光圈试片、16定位杆、17样品放置台、18螺纹杆、19电动机、20信号接收器、21进料门、22防护网、23散热扇、24伺服电机、25风扇支撑架、26处理器。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。
参照图1-3，一种可调式扫描电子显微镜，包括工作台体3，工作台体3的顶部通过螺栓连接有箱体7，且箱体7的顶部通过螺栓连接有扫描箱体13，工作台体3的顶部滑动连接有四个等距离分布的滚轮4，且滚轮4的顶部通过转轴通过支撑杆5，支撑杆5的顶部通过螺栓连接有置物台6，置物台6的顶部通过螺栓连接有定位杆16，且定位杆16的外壁滑动连接有样品放置台17，置物台6的底部通过螺栓连接有电动机19，且电动机19的顶部通过联轴器连接有螺纹杆18，螺纹杆18与样品放置台17通过螺纹连接，扫描箱体13的内部顶部通过螺栓连接有电子枪12，且扫描箱体13的内壁一侧通过螺栓连接有聚光镜头10，扫描箱体13的一侧通过螺栓连接有空气动力阀14，扫描箱体13的一侧通过螺栓连接有物镜光圈试片15，工作台体3的内壁开设有真空腔，且真空腔的内部通过螺栓连接有信号接收器20，扫描箱体13的顶部开设有空腔，且空腔的顶部通过螺栓连接有防护网22，箱体7的外壁通过螺栓连接有处理器26，扫描箱体13的内壁空腔通过螺栓连接有风扇支撑架25。
本实用新型中，工作台体3的底部四角通过螺栓连接有支撑腿2，且支撑腿2的底部通过螺栓连接有万向轮1，箱体7的一侧开设有矩形槽口，且矩型槽口的一侧铰接有进料门21，扫描箱体13的内壁顶部卡接有物镜8，且扫描箱体13的内壁一侧通过螺栓连接有扫描箱体13，扫描箱体13的一侧通过螺栓连接有物镜光圈试片15，且扫描箱体13的一侧顶部通过开关连接有电线，风扇支撑架25的底部通过螺栓连接有伺服电机24，且伺服电机24的顶部通过卡套连接有散热扇23，处理器26与伺服电机24、电动机19、电子枪12和空气动力阀14通过开关电性连接，且处理器26与信号接收器20和电子枪对中控制器11通过信号线电性连接。
工作原理：将样品放置在样品放置台17，通过滚轮4将置物台6推入箱体7内部，型号为ARM9TEMIDE的处理器26控制电动机19带动螺纹杆18转动，螺纹杆18带动样品放置台17进行高度调节，观察效果更佳，风扇支撑架25上安装的伺服电机24带动散热扇23转动，可对电子枪12进行降温，提高了电子枪12的使用寿命，电子枪12发射电子束通过电子枪对中控制器11进行对中，聚光镜头10将电子束进行聚焦，通过扫描线圈9对物体进行扫描，信息接收器20将信息通过信号线传递至处理器26，可将扫描信息显示出来，非常便于观察。
以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
Claims (7)
1.一种可调式扫描电子显微镜，包括工作台体(3)，其特征在于，所述工作台体(3)的顶部通过螺栓连接有箱体(7)，且箱体(7)的顶部通过螺栓连接有扫描箱体(13)，所述工作台体(3)的顶部滑动连接有四个等距离分布的滚轮(4)，且滚轮(4)的顶部通过转轴通过支撑杆(5)，所述支撑杆(5)的顶部通过螺栓连接有置物台(6)，所述置物台(6)的顶部通过螺栓连接有定位杆(16)，且定位杆(16)的外壁滑动连接有样品放置台(17)，所述置物台(6)的底部通过螺栓连接有电动机(19)，且电动机(19)的顶部通过联轴器连接有螺纹杆(18)，所述螺纹杆(18)与样品放置台(17)通过螺纹连接，所述扫描箱体(13)的内部顶部通过螺栓连接有电子枪(12)，且扫描箱体(13)的内壁一侧通过螺栓连接有聚光镜头(10)，所述扫描箱体(13)的一侧通过螺栓连接有空气动力阀(14)，所述扫描箱体(13)的一侧通过螺栓连接有物镜光圈试片(15)，所述工作台体(3)的内壁开设有真空腔，且真空腔的内部通过螺栓连接有信号接收器(20)，所述扫描箱体(13)的顶部开设有空腔，且空腔的顶部通过螺栓连接有防护网(22)，所述箱体(7)的外壁通过螺栓连接有处理器(26)，所述扫描箱体(13)的内壁空腔通过螺栓连接有风扇支撑架(25)。
2.根据权利要求1所述的一种可调式扫描电子显微镜，其特征在于，所述工作台体(3)的底部四角通过螺栓连接有支撑腿(2)，且支撑腿(2)的底部通过螺栓连接有万向轮(1)。
3.根据权利要求1所述的一种可调式扫描电子显微镜，其特征在于，所述箱体(7)的一侧开设有矩形槽口，且矩型槽口的一侧铰接有进料门(21)。
4.根据权利要求1所述的一种可调式扫描电子显微镜，其特征在于，所述扫描箱体(13)的内壁顶部卡接有物镜(8)，且扫描箱体(13)的内壁一侧通过螺栓连接有扫描箱体(13)。
5.根据权利要求1所述的一种可调式扫描电子显微镜，其特征在于，所述扫描箱体(13)的一侧通过螺栓连接有物镜光圈试片(15)，且扫描箱体(13)的一侧顶部通过开关连接有电线。
6.根据权利要求1所述的一种可调式扫描电子显微镜，其特征在于，所述风扇支撑架(25)的底部通过螺栓连接有伺服电机(24)，且伺服电机(24)的顶部通过卡套连接有散热扇(23)。
7.根据权利要求1所述的一种可调式扫描电子显微镜，其特征在于，所述处理器(26)与伺服电机(24)、电动机(19)、电子枪(12)和空气动力阀(14)通过开关电性连接，且处理器(26)与信号接收器(20)和电子枪对中控制器(11)通过信号线电性连接。
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| CN201821969975.5U CN209183499U (zh) | 2018-11-28 | 2018-11-28 | 一种可调式扫描电子显微镜 |
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| CN201821969975.5U CN209183499U (zh) | 2018-11-28 | 2018-11-28 | 一种可调式扫描电子显微镜 |
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112228494A (zh) * | 2020-09-24 | 2021-01-15 | 中国科学院微电子研究所 | 主动减震系统及具有其的扫描电子显微镜 |
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2018
- 2018-11-28 CN CN201821969975.5U patent/CN209183499U/zh not_active Expired - Fee Related
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