CN209167810U - 光罩盒缓冲定位支撑装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及半导体制造领域，尤其涉及光罩盒缓冲定位支撑装置。光罩盒具有放置光罩的空间，光罩盒内设有定位件，定位件用于光罩的定位，定位件包括基部、抵压部、抵持部和安装部，抵压部为从基部延伸的C形弧结构，抵持部置于抵压部的侧上方的香蕉弧线结构。通过上下交叉式定位件的结构，使光罩可以稳定的固定于光罩盒内，避免了光罩的滑动，同时上下盖上的定位件同时对光罩进行压紧，避免了光罩的上下振动，同时抵压部和抵持部与光罩的接触面均为弧面，减少了产生粉尘的可能性。

Description

光罩盒缓冲定位支撑装置

技术领域

本实用新型半导体制造领域，尤其涉及光罩盒缓冲定位支撑装置。

背景技术

在光刻工艺中，光罩是半导体光刻机所用图形掩模板，作为光刻图形掩模 板要求极高，环境要求无尘等级较高。现有的光罩盒由于制造和安装的精度问题，光罩盒中，光罩盒缓冲定位支撑装置之间往往存在间隙，由于该间隙的存在，在搬运光罩盒的过程中，光罩盒内的光罩容易出现水平滑动和上下震动，产生位置偏移，位置偏离可能会造成以下后果：摩擦产生微尘，产生光罩污染，引起产品返工或报废；光罩震动，具有损害保护膜的风险，保护膜是指用于保护光罩底面的图形的一层薄膜，极易被损坏。一旦保护膜损坏，光罩就非常容易受损害，而光罩的损害对于光刻生产流程产生很大影响，甚至产生产品停线的风险；

因此，如何提供一种能够稳固地夹持住光罩，达到使光罩精确定位的目的， 避免光罩出现滑动、震动或摩擦现象，能避免产生微尘的光罩定位结构是本领域技术人员亟待解决的一个技术问题。

鉴于上述现有的定位件存在的缺陷，本发明人基于从事此类产品工程应用多年丰富的实务经验及专业知识，并配合学理的运用，积极加以研究创新，以期创设一种光罩盒缓冲定位支撑装置，使其更具有实用性。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是: 提供一种光罩盒缓冲定位支撑装置，达到使光罩精确定位的目的，避免光罩出现滑动和震动，无摩擦现象，防止产生微尘。

为了达到上述目的，本实用新型所采用的技术方案是：光罩盒缓冲定位支撑装置，光罩盒具有放置光罩的空间，所述光罩盒内设有定位件，所述定位件用于光罩的定位，所述定位件包括基部、抵压部、抵持部和安装部，所述抵压部为从基部延伸的C形弧结构，所述抵持部置于抵压部的侧上方的香蕉弧线结构。

进一步地，所述安装部下半部分为两管状结构，上半部分为与基部连接的圆柱体，包括支撑前柱和支撑后柱，所述支撑前柱截面为圆形，所述支撑后柱的截面为腰圆形。

进一步地，所述支撑前柱与支撑后柱之间还设有加强筋，所述加强筋与基部贴合。

进一步地，所述定位件安装于光罩盒的下盖和上盖的安装柱上。

进一步地，所述下盖和上盖上的定位件抵持部至少固定所述光罩的两个不同侧面，形成上下交叉式固定结构。

本使用新型的有益效果为：通过上下交叉式定位件的结构，使光罩可以稳定的固定于光罩盒内，避免了光罩的滑动，同时上下盖上的定位件同时对光罩进行压紧，避免了光罩的上下振动，同时抵压部和抵持部与光罩的接触面均为弧面，减少了产生粉尘的可能性。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型中光罩盒安装结构爆炸图；

图2为本实用新型中光罩盒的立体图；

图3为本实用新型中定位件结构的主视图；

图4为本实用新型中定位件结构的立体图；

图5为本实用新型中定位件压紧时的结构示意图（去除光罩盒上下盖）；

附图中标记的含义如下：1、光罩盒；2、定位件；3、光罩；11、下盖；12、上盖；13、安装柱；21、基部；22、抵压部；23、抵持部；24、安装部；241、支撑前柱；242、支撑后柱。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例，本实用新型中的实施例采用递进的方式撰写。

如图1~5所示的光罩盒缓冲定位支撑装置，光罩盒1具有放置光罩3的空间，所述光罩盒1内设有定位件2，所述定位件2用于光罩3的定位，所述定位件2包括基部21、抵压部22、抵持部23和安装部24，所述抵压部22为从基部21延伸的C形弧结构，所述抵压部22置于抵压部22的侧上方的香蕉弧线结构。抵压部22采用的C形弧结构，具有支撑的作用，C形弧结构与光罩的接触保持的最高点，不会造成颗粒物的产生，同时还具有缓冲的作用；抵持部采用的香蕉弧线结构，在光罩放入光罩盒时首先起到引导的作用，其次用香蕉弧线结构的最外侧与光罩的侧面接触，可以起到水平方向的定位作用。

作为上述实施例的优选，所述安装部24下半部分为两管状结构，上半部分为与基部21连接的圆柱体，包括支撑前柱241和支撑后柱242，所述支撑前柱241截面为圆形，所述支撑后柱242的截面为腰圆形。支撑后柱采用的腰圆形结构可以提高定位件的抗冲击性。

作为上述实施例的优选，所述支撑前柱241与支撑后柱242之间还设有加强筋，所述加强筋与基部21贴合。加强筋设置于支撑前柱241和支撑后柱242之间，同时上侧与基部21的底部相连，提高了安装部的强度，不会因为冲击导致定位件结构的开裂等现象。

作为上述实施例的优选，所述定位件2安装于光罩盒1的下盖11和上盖12的安装柱13上。光罩盒1的下盖11和上盖12内部设有安装柱13，每个定位件的支撑前柱241和支撑后柱242均设有对应的安装柱13，两对应安装柱13的方向即为定位柱的朝向，定位件可以通过胶粘接的方式固定在安装柱13上。

作为上述实施例的优选，所述下盖11和上盖12上的定位件2抵持部23至少固定所述光罩3的两个不同侧面，形成上下交叉式固定结构。本申请的附图5中显示了一种固定结构，通过上盖和下盖的压紧以及不同方向的抵持部23的定位使光罩稳定的固定在光罩盒内，同时也可以采取其他数量的定位件和其他方向的固定方式，只要能实现光罩的水平和竖直方向的固定，均落入本实用新型的保护范围内。

本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

Claims (5)

1.光罩盒缓冲定位支撑装置，光罩盒（1）具有放置光罩（3）的空间，所述光罩盒（1）内设有定位件（2），所述定位件（2）用于光罩（3）的定位，所述定位件（2）包括基部（21）、抵压部（22）、抵持部（23）和安装部（24），其特征在于，所述抵压部（22）为从基部（21）延伸的C形弧结构，所述抵持部（23）置于抵压部（22）的侧上方的香蕉弧线结构。

2.根据权利要求1所述的光罩盒缓冲定位支撑装置，其特征在于，所述安装部（24）下半部分为两管状结构，上半部分为与基部（21）连接的圆柱体，包括支撑前柱（241）和支撑后柱（242），所述支撑前柱（241）截面为圆形，所述支撑后柱（242）的截面为腰圆形。

3.根据权利要求2所述的光罩盒缓冲定位支撑装置，其特征在于，所述支撑前柱（241）与支撑后柱（242）之间还设有加强筋，所述加强筋与基部（21）贴合。

4.根据权利要求1所述的光罩盒缓冲定位支撑装置，其特征在于，所述定位件（2）安装于光罩盒（1）的下盖（11）和上盖（12）的安装柱（13）上。

5.根据权利要求4所述的光罩盒缓冲定位支撑装置，其特征在于，所述下盖（11）和上盖（12）上的定位件（2）抵持部（23）至少固定所述光罩（3）的两个不同侧面，形成上下交叉式固定结构。