CN208992646U - 高精度的工作台 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种高精度的工作台，包括：Y轴平台，包括平台底板、导轨底座、滑块、驱动装置一和位移传感器一，导轨底座、驱动装置一和位移传感器一设于平台底板上，滑块滑动设于导轨底座上，驱动装置一可驱动导轨滑块，位移传感器一与驱动装置一电连接；中空旋转台，包括固定底板、旋转装置和位移传感器二，固定底板设于导轨滑块上，旋转装置可旋转设于固定底板上，位移传感器二与旋转装置电连接；真空载台，包括载台底板、支撑座、真空载板和至少两个驱动装置二，载台底板设于旋转装置上，真空载板通过支撑座与载台底板连接，真空载板上设有微孔，两个驱动装置二相对设于载台底板上；及料片，料片吸附于微孔上。这种工作台加工精度更高。

Description

高精度的工作台

技术领域

本实用新型涉及微加工工作台装置的技术领域，特别是涉及高精度的工作台。

背景技术

在微加工领域，特别是半导体产品的加工，对产品加工的尺寸要求非常高，精度甚至达到微米级。

以CSP发光芯片产品为例，CSP就是芯片尺寸封装，可实现发光芯片的最小尺寸封装(接近裸露芯片尺寸)，是高密度的封装形式。在整版产品切割前，颗粒状的芯片阵列排布在硅胶或树脂填充物中，芯粒间的间距一般小于1mm，切割时加工点要求位于芯粒间的切割到几何中心，精度要求偏差小于10微米。

然而，现有的加工工作台无法满足像CSP发光芯片这类产品的高精度微加工要求。

实用新型内容

基于此，有必要针对现有加工工作台无法满足高精度微加工要求的问题，提供一种可以对半导体产品进行微米级加工的高精度的工作台。

一种高精度的工作台，包括：

Y轴平台，包括平台底板、导轨底座、导轨滑块、第一驱动装置和第一位移传感器，所述导轨底座固定设于所述平台底板上，所述导轨滑块上贯穿设有滑动槽，所述滑动槽穿设于所述导轨底座上将所述导轨滑块与所述导轨底座滑动连接，所述第一驱动装置设于所述平台底板上，并驱动所述导轨滑块沿所述导轨底座滑动，所述第一位移传感器设于所述平台底板上，并与所述驱动装置电连接，所述第一驱动装置根据所述第一位移传感器的检测信号控制驱动位移；

中空旋转台，包括固定底板、旋转装置和第二位移传感器，所述固定底板固定设于所述导轨滑块上，所述旋转装置可旋转的设于所述固定底板上，所述第二位移传感器设于所述固定底板上，并与所述旋转装置电连接，所述旋转装置根据所述第二位移传感器的检测信号控制旋转位移；

真空载台，包括载台底板、支撑座、真空载板和至少两个第二驱动装置，所述载台底板固定设于所述旋转装置上，所述真空载板通过所述支撑座与所述载台底板固定连接，所述真空载板上设有多个微孔，两个所述第二驱动装置相对的设于所述载台底板上，且两个所述第二驱动装置的驱动端朝向所述真空载板的中部；及

料片，所述料片吸附设于多个所述微孔上，并用于安装待处理产品。

上述高精度的工作台，在具体应用时，可将待处理产品安装到料片上，并且通过第二驱动装置的驱动端对产品夹紧定位，真空压力开启后由真空载板将料片吸附。第一驱动装置和第一位移传感器形成闭环控制，且第一驱动装置驱动固定底板带动产品沿导轨底座滑动，完成固定的步距。滑动的行程与产品的切割尺寸相同，直至完成产品所有X向的切割，第一驱动装置驱动固定底板带动产品回到起始位置。然后，旋转装置和第二位移传感器形成闭环控制，且旋转装置带动产品旋转90°后，再次由第一驱动装置驱动固定底板带动产品沿导轨底座滑动，完成产品另一方向的切割。关闭真空压力，第二驱动装置的驱动端松开，完成对产品的整个加工流程。可以满足对产品加工时，高精度的步距要求和旋转要求。

在其中一个实施例中，所述第一驱动装置包括第一伺服电机、滚珠丝杠、支撑组件和第一配合块，所述第一伺服电机固定设于所述平台底板上，且其驱动端沿所述导轨底座的长度方向设置，所述第一伺服电机与所述第一位移传感器电连接，所述滚珠丝杠通过所述支撑组件可转动的设于所述平台底板上，且所述滚珠丝杠的一端与所述第一伺服电机的驱动端固定连接，所述第一配合块的第一侧与所述滚珠丝杠的螺母固定连接，第二侧与所述固定底板固定连接。第一伺服电机的驱动速度和位置精度非常精确，且配合滚珠丝杠的稳定传动，能使得第一伺服电机驱动固定底板沿导轨底座滑动的步距精确度更高，保证对产品加工精度。

在其中一个实施例中，还包括第一固定块，所述第一位移传感器为第一光栅尺组件，所述第一光栅尺组件的读数部分通过所述第一固定块固定锁紧在所述平台底板上，所述第一光栅尺组件的尺带部分与所述导轨底座的外侧连接。光栅尺的检测范围大，检测精度高，响应速度快，可以与第一驱动装置配合使得Y轴平台的步距精度更高。

在其中一个实施例中，所述旋转装置包括旋转台板、大齿轮、第二伺服电机和消隙齿轮组件，所述旋转台板可旋转的设于所述固定底板上，所述大齿轮固定套设于所述旋转台板的外侧上，所述第二伺服电机固定设于所述固定底板上，并与所述第二位移传感器电连接，所述消隙齿轮组件固定设于所述第二伺服电机的驱动端上，并与所述大齿轮啮合。通过第二伺服电机与第二位移传感器配合提供精确、稳定的驱动，并由消隙齿轮组件将动力传导到大齿轮上，使得大齿轮转动带动旋转台板旋转，来实现对产品的旋转驱动更加稳定、精确。并且，消隙齿轮组件与大齿轮的正反向转动啮合能消除反向间隙，保证产品的旋转位移更加精准。

在其中一个实施例中，所述消隙齿轮组件包括主齿轮、副齿轮和压缩弹簧，所述主齿轮和所述副齿轮的尺寸模数相同，并呈上下层叠设置，所述主齿轮与所述副齿轮的齿位错开，且与所述大齿轮啮合，所述压缩弹簧镶嵌设于所述主齿轮和所述副齿轮之间。主齿轮和副齿轮齿位错位后与大齿轮啮合，使得压缩弹簧被压缩。消隙齿轮组件在正反向转动时，由于压缩弹簧的弹性恢复力可以消除主齿轮、副齿轮与大齿轮啮合时的反向间隙，旋转驱动的精度更高。

在其中一个实施例中，还包括轴承、外圈压环和内圈压环，所述固定底板的一面向内凹陷形成有凹槽，所述轴承设于所述凹槽内，所述外圈压环套设于所述轴承的外侧上，并用于将所述轴承的外圈压紧，所述内圈压环与所述轴承的内侧抵接，并用于将所述轴承的内圈压紧，所述内圈压环与所述旋转台板固定连接。通过轴承的这种设置结构，能使得旋转台板相对于固定底板旋转更加稳定、顺畅。

在其中一个实施例中，还包括第二固定块，所述第二位移传感器为第二光栅尺组件，所述第二光栅尺组件的读数部分通过所述第二固定块固定锁紧在所述固定底板上，所述第二光栅尺组件的尺带部分与所述大齿轮的外侧连接。光栅尺的检测范围大，检测精度高，响应速度快，可以与第二驱动装置配合使得中空旋转台的旋转精度更高。

在其中一个实施例中，所述料片包括薄膜和环体，所述环体中部贯穿设有通槽，所述薄膜的外周与所述通槽的内壁连接，所述薄膜和所述环体吸附设于多个所述微孔上。产品可以贴附到薄膜上，安装更加稳定、方便。并且，由环体可以为薄膜提供稳定的承载，方便产品的安装设置和驱动压紧。

在其中一个实施例中，所述载台底板为方形板，所述第二驱动装置设有四个，四个所述第二驱动装置呈两两相对的设于所述载台底板的四条边上。由四个方向对产品进行驱动压紧，可以使得产品固定更加牢靠，避免由于产品定位偏移使得加工尺寸有误。

在其中一个实施例中，所述第二驱动装置包括气缸垫板、气缸、挡板和夹块，所述气缸垫板固定设于所述载台底板上，所述气缸固定设于所述气缸垫板上，且其推杆朝向所述真空载板的中部，所述挡板与所述气缸的推杆固定连接，所述夹块固定设于所述挡板上。通过气缸垫板可将气缸稳定的安装到载台底板上，并由气缸提供稳定的驱动力，驱动挡板带动夹块对产品压紧，驱动和压紧结构更加稳定。

附图说明

图1为本实用新型高精度的工作台一实施例的结构示意图；

图2为图1所示高精度的工作台中的Y轴平台与固定底板的安装结构示意图；

图3为图1所示高精度的工作台中的Y轴平台的结构示意图；

图4为图3所示Y轴平台的侧视图；

图5为图1所示高精度的工作台中的中空旋转台的结构示意图；

图6为图5所示中空旋转台沿A-A向的剖视图；

图7为图6所示局部B处的放大结构示意图；

图8为图5所示中空旋转台中的消隙齿轮组件的结构示意图；

图9为图8所示消隙齿轮组件沿C-C向的剖视图；

图10为图1所示高精度的工作台中的真空载台的结构示意图；

图11为图10所示真空载台中的第二驱动装置的结构示意图；

图12为图1所示高精度的工作台中的料片的结构示意图。

附图中，各标号所代表的部件列表如下：

10、高精度的工作台；1、Y轴平台；101、平台底板；102、导轨底座；103、导轨滑块；104、滚珠丝杠；105、支撑组件；106、联轴器；107、电机座；108、第一伺服电机；109、第一配合块；1010、第一固定块；1011、第一光栅尺组件；2、中空旋转台；201、固定底板；202、大齿轮；203、消隙齿轮组件；2031、主齿轮；2032、副齿轮；2033、压缩弹簧；204、第二固定块；205、第二光栅尺组件；206、电机固定板；207、第二伺服电机；208、轴承；209、外圈压环；2010、旋转台板；2011、内圈压环；3、真空载台；301、载台底板；302、第二驱动装置；3021、气缸垫板；3022、气缸；3023、挡板；3024、夹块；303、支撑座；304、真空载板；305、调节顶丝；4、料片；401、环体；402、薄膜；403、产品。

具体实施方式

为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型。但是本实用新型能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本实用新型内涵的情况下做类似改进，因此本实用新型不受下面公开的具体实施的限制。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。

除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本实用新型。以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

请参阅图1，在一实施例中，高精度的工作台10包括Y轴平台1、中空旋转台2、真空载台3以及料片4。Y轴平台1包括平台底板101、导轨底座102、导轨滑块103、第一驱动装置和第一位移传感器。导轨底座102固定设于平台底板101上。导轨滑块103上贯穿设有滑动槽，滑动槽穿设于导轨底座102上将导轨滑块103与导轨底座102滑动连接。第一驱动装置设于平台底板101上，并可驱动导轨滑块103沿导轨底座102滑动。第一位移传感器设于平台底板101上，并与驱动装置电连接，第一驱动装置根据第一位移传感器的检测信号控制对导轨滑块103的驱动位移。中空旋转台2包括固定底板201、旋转装置和第二位移传感器。固定底板201固定设于导轨滑块103上。旋转装置可旋转的设于固定底板201上。第二位移传感器设于固定底板201上，并与旋转装置电连接。旋转装置根据第二位移传感器的检测信号控制旋转位移。真空载台3包括载台底板301、支撑座303、真空载板304和至少两个第二驱动装置302。载台底板301固定设于旋转装置上。真空载板304通过支撑座303与载台底板301固定连接，且真空载板304上设有多个微孔。两个第二驱动装置302相对的设于载台底板301上。且两个第二驱动装置302的驱动端朝向真空载板304的中部设置。料片4吸附设于多个微孔上，并用于安装待处理产品403。

在具体应用时，可将待处理产品403安装到料片4上，并且通过第二驱动装置302的驱动端对产品403夹紧定位，真空压力开启后由真空载板304将料片4吸附。第一驱动装置和第一位移传感器形成闭环控制，且第一驱动装置驱动固定底板201带动产品403沿导轨底座102滑动，完成固定的步距。滑动的行程与产品的切割尺寸相同，直至完成产品所有X向的切割，第一驱动装置驱动固定底板201带动产品403回到起始位置。然后，旋转装置和第二位移传感器形成闭环控制，且旋转装置带动产品403旋转90°后，再次由第一驱动装置驱动固定底板201带动产品403沿导轨底座102滑动，完成产品另一方向的切割。关闭真空压力，第二驱动装置的驱动端松开，完成对产品403的整个加工流程。可以满足对产品加工时，高精度的步距要求和旋转要求。

需要说明的是，导轨底座102呈长条形设置，并沿平台底板101的长度方向设于平台底板101上。导轨底座102设置有两条，并间隔的设于平台底板101上，靠近平台底板101的两侧。每条导轨底座102上套设有多个导轨滑块103，固定底板201的底部与多个导轨滑块103固定连接，形成稳固的滑动结构。

请参阅图2和图3，第一驱动装置包括第一伺服电机108、滚珠丝杠104、支撑组件105和第一配合块109。第一伺服电机108通过电机座107固定设于平台底板101上，且其驱动端沿导轨底座102的长度方向设置，第一伺服电机108与第一位移传感器电连接。滚珠丝杠104通过支撑组件105可转动的设于平台底板101上，且滚珠丝杠104的一端通过联轴器106与第一伺服电机108的驱动端固定连接。支撑组件105可以设置两个，分别位于滚珠丝杠104的两端，使得滚珠丝杠104形成稳定转动。第一配合块109的第一侧与滚珠丝杠104的螺母固定连接，第二侧与固定底板201固定连接。请参阅图4，还包括第一固定块1010，第一位移传感器为第一光栅尺组件1011。第一光栅尺组件1011的读数部分通过第一固定块1010固定锁紧在平台底板101上，第一光栅尺组件1011的尺带部分黏贴到导轨底座102的外侧。第一光栅尺组件1011分辨率精度为0.1μm，与第一伺服电机108形成闭环控制。

第一伺服电机108的驱动速度和位置精度非常精确，且配合滚珠丝杠104的稳定传动，能使得第一伺服电机108驱动固定底板201沿导轨底座102滑动的步距精确度更高，保证对产品加工精度。光栅尺的检测范围大，检测精度高，响应速度快，可以与第一伺服电机108形成闭环控制，使得Y轴平台的步距精度更高。

当然，除了上述实施方式外，还提出了一种替代滚珠丝杠104传动的实施方式。直接通过设置螺杆与第一配合块109配合。螺杆通过支撑组件105可转动的设于平台底板101上，且螺杆的一端通过联轴器106与第一伺服电机108的驱动端固定连接。在第一配合块109上贯穿设有内螺纹孔，内螺纹孔与螺杆的外螺纹配合将第一配合块109与螺杆螺纹连接。第一配合块109外侧与固定底板201固定连接。

请参阅图5和图6，旋转装置包括旋转台板2010、大齿轮202、第二伺服电机207和消隙齿轮组件203。旋转台板2010可旋转的设于固定底板201上。大齿轮202固定套设于旋转台板2010的外侧上。第二伺服电机207通过电机固定板206固定设于固定底板201上，并与第二位移传感器电连接。消隙齿轮组件203固定设于第二伺服电机207的驱动端上，并与大齿轮202啮合。

还包括第二固定块204，第二位移传感器为第二光栅尺组件205。第二光栅尺组件205的读数部分通过第二固定块204固定锁紧在固定底板201上，第二光栅尺组件205的尺带部分贴附在大齿轮202的外侧。

第二光栅尺组件205的检测范围大，检测精度高，响应速度快，且分辨率精度为0.5μm。通过第二伺服电机207与第二光栅尺组件205形成闭环控制，提供精确、稳定的驱动，并由消隙齿轮组件203将动力传导到大齿轮202上，使得大齿轮202转动带动旋转台板2010旋转，对产品的旋转驱动更加稳定、精确。并且，消隙齿轮组件203与大齿轮202的正反向转动啮合能消除反向间隙，保证产品的旋转位移更加精准。

请参阅图7，在一实施方式中，旋转台板2010是通过设置轴承208，与固定底板201转动连接的。具体地，固定底板201的一面向内凹陷形成有凹槽，轴承208设于凹槽内。并且，轴承208的外侧上还套设有外圈压环209，内侧抵接有内圈压环2011。通过外圈压环209将轴承208的外圈压紧，内圈压环2011将轴承208的内圈压紧，形成轴承208的稳定安装结构。内圈压环2011通过螺栓与旋转台板2010固定连接。通过轴承208的这种设置结构，能使得旋转台板2010相对于固定底板201旋转更加稳定、顺畅。需要说明的是，轴承208可以为交叉滚子轴承。

请参阅图8和图9，在一实施方式中，消隙齿轮组件203包括主齿轮2031、副齿轮2032和压缩弹簧2033。主齿轮2031和副齿轮2032的尺寸模数相同，模数均为1，并呈上下层叠设置。主齿轮2031与副齿轮2032的齿轮错位几个齿，并与大齿轮202啮合。压缩弹簧2033镶嵌设于主齿轮2031和副齿轮2032之间。主齿轮2031和副齿轮2032齿位错位后与大齿轮202啮合，使得压缩弹簧2033被压缩。消隙齿轮组件203在正反向转动时，由于压缩弹簧2033的弹性恢复力可以消除主齿轮2031、副齿轮2032与大齿轮202啮合时的反向间隙，旋转驱动的精度更高。具体地，在主齿轮2031和副齿轮2032之间沿周向设置有容纳腔，压缩弹簧2033抵接设于容纳腔内。容纳腔可以沿主齿轮2031和副齿轮2032的周向等间距的间隔设置三个，压缩弹簧2033相应的也设有三个，均对应设于容纳腔内。

请参阅图10，在一实施方式中，载台底板301和真空载板304为方形板，第二驱动装置302设有四个，四个第二驱动装置302呈两两相对的设于载台底板301的四条边上。由四个方向对产品403进行驱动压紧，可以使得产品403固定更加牢靠，避免由于产品403定位偏移使得加工尺寸有误。支撑座303设有四个，用于连接载台底板301和真空载板304的四个角，并用螺丝锁紧。螺丝顶部设有调节顶丝305。锁紧前，可借助千分表测量并调节调节顶丝305，保证真空载板304的平面与Y轴平台2平行，使整个承载平面度小于3微米。多个微孔是开设于真空载板304的中间区域，并且呈矩形阵列排布，可便于吸附料片4。

请参阅图11，具体地，第二驱动装置302包括气缸垫板3021、气缸3022、挡板3023和夹块3024。气缸垫板3021固定设于载台底板301上。气缸3022固定设于气缸垫板3021上，且其推杆朝向真空载板304的中部。挡板3023与气缸3022的推杆固定连接。夹块3024固定设于挡板3023上。挡板3023可以为长条板，夹块3024可设置有多个。如图11所示，给出的实施方式中，夹块3024为三个，并沿挡板3023的长度方向等间距的间隔设于挡板3023上。通过气缸垫板3021可将气缸3022稳定的安装到载台底板301上，并由气缸3022提供稳定的驱动力，驱动挡板3023带动夹块3024对产品403压紧，驱动和压紧结构更加稳定。需要说明的是，夹块3024可以是弹弓胶块，具有一定缓冲作用，可以避免压坏产品403。

请参阅图12，料片4包括薄膜402和环体401。环体401中部贯穿设有通槽，薄膜402的外周与通槽的内壁黏贴。薄膜402和环体401吸附设于多个微孔上。环体401可以为铁环，产品403位于铁环正中心，并贴附于薄膜402上。产品403一般阵列排布着芯粒，待切割成大小相同的小颗粒。产品403可以贴附到薄膜402上，安装更加稳定、方便。并且，由环体401可以为薄膜402提供稳定的承载，方便产品403的安装设置和驱动压紧。

以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (10)

1.一种高精度的工作台，其特征在于，包括：

Y轴平台，包括平台底板、导轨底座、导轨滑块、第一驱动装置和第一位移传感器，所述导轨底座固定设于所述平台底板上，所述导轨滑块上贯穿设有滑动槽，所述滑动槽穿设于所述导轨底座上将所述导轨滑块与所述导轨底座滑动连接，所述第一驱动装置设于所述平台底板上，并驱动所述导轨滑块沿所述导轨底座滑动，所述第一位移传感器设于所述平台底板上，并与所述驱动装置电连接，所述第一驱动装置根据所述第一位移传感器的检测信号控制驱动位移；

中空旋转台，包括固定底板、旋转装置和第二位移传感器，所述固定底板固定设于所述导轨滑块上，所述旋转装置可旋转的设于所述固定底板上，所述第二位移传感器设于所述固定底板上，并与所述旋转装置电连接，所述旋转装置根据所述第二位移传感器的检测信号控制旋转位移；

真空载台，包括载台底板、支撑座、真空载板和至少两个第二驱动装置，所述载台底板固定设于所述旋转装置上，所述真空载板通过所述支撑座与所述载台底板固定连接，所述真空载板上设有多个微孔，两个所述第二驱动装置相对的设于所述载台底板上，且两个所述第二驱动装置的驱动端朝向所述真空载板的中部；及

料片，所述料片吸附设于多个所述微孔上，并用于安装待处理产品。

2.根据权利要求1所述的高精度的工作台，其特征在于，所述第一驱动装置包括第一伺服电机、滚珠丝杠、支撑组件和第一配合块，所述第一伺服电机固定设于所述平台底板上，且其驱动端沿所述导轨底座的长度方向设置，所述第一伺服电机与所述第一位移传感器电连接，所述滚珠丝杠通过所述支撑组件可转动的设于所述平台底板上，且所述滚珠丝杠的一端与所述第一伺服电机的驱动端固定连接，所述第一配合块的第一侧与所述滚珠丝杠的螺母固定连接，第二侧与所述固定底板固定连接。

3.根据权利要求1所述的高精度的工作台，其特征在于，还包括第一固定块，所述第一位移传感器为第一光栅尺组件，所述第一光栅尺组件的读数部分通过所述第一固定块固定锁紧在所述平台底板上，所述第一光栅尺组件的尺带部分与所述导轨底座的外侧连接。

4.根据权利要求1所述的高精度的工作台，其特征在于，所述旋转装置包括旋转台板、大齿轮、第二伺服电机和消隙齿轮组件，所述旋转台板可旋转的设于所述固定底板上，所述大齿轮固定套设于所述旋转台板的外侧上，所述第二伺服电机固定设于所述固定底板上，并与所述第二位移传感器电连接，所述消隙齿轮组件固定设于所述第二伺服电机的驱动端上，并与所述大齿轮啮合。

5.根据权利要求4所述的高精度的工作台，其特征在于，所述消隙齿轮组件包括主齿轮、副齿轮和压缩弹簧，所述主齿轮和所述副齿轮的尺寸模数相同，并呈上下层叠设置，所述主齿轮与所述副齿轮的齿位错开，且与所述大齿轮啮合，所述压缩弹簧镶嵌设于所述主齿轮和所述副齿轮之间。

6.根据权利要求4所述的高精度的工作台，其特征在于，还包括轴承、外圈压环和内圈压环，所述固定底板的一面向内凹陷形成有凹槽，所述轴承设于所述凹槽内，所述外圈压环套设于所述轴承的外侧上，并用于将所述轴承的外圈压紧，所述内圈压环与所述轴承的内侧抵接，并用于将所述轴承的内圈压紧，所述内圈压环与所述旋转台板固定连接。

7.根据权利要求4所述的高精度的工作台，其特征在于，还包括第二固定块，所述第二位移传感器为第二光栅尺组件，所述第二光栅尺组件的读数部分通过所述第二固定块固定锁紧在所述固定底板上，所述第二光栅尺组件的尺带部分与所述大齿轮的外侧连接。

8.根据权利要求1所述的高精度的工作台，其特征在于，所述料片包括薄膜和环体，所述环体中部贯穿设有通槽，所述薄膜的外周与所述通槽的内壁连接，所述薄膜和所述环体吸附设于多个所述微孔上。

9.根据权利要求1所述的高精度的工作台，其特征在于，所述载台底板为方形板，所述第二驱动装置设有四个，四个所述第二驱动装置呈两两相对的设于所述载台底板的四条边上。

10.根据权利要求1至9任一项所述的高精度的工作台，其特征在于，所述第二驱动装置包括气缸垫板、气缸、挡板和夹块，所述气缸垫板固定设于所述载台底板上，所述气缸固定设于所述气缸垫板上，且其推杆朝向所述真空载板的中部，所述挡板与所述气缸的推杆固定连接，所述夹块固定设于所述挡板上。