CN208976085U - 可调节式喷嘴 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了可调节式喷嘴，包括喷嘴外壳、调节圆板和密封卡件，所述喷嘴外壳包括安装套筒，所述安装套筒靠近开口端的外侧壁固定连接有两个对称设置的手柄杆，所述安装套筒远离开口端的侧壁固定连接有连接板的一端，所述连接板的另一端固定连接有挡板，所述安装套筒远离开口端的侧壁开设有出液孔。通过调节拨动齿轮，进而调节扇形通孔与扇形遮板的相对位置，以改变通流界面的大小，从而调节化学品喷出的速度，使所用的化学品得到充分的利用，还可以在一定程度上提高工作效率，适应范围更广。推动手柄杆，使整个喷嘴转动，可以调节喷嘴喷淋的角度，使用更方便。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体湿式制程设备领域，具体涉及可调节式喷嘴。
背景技术
在半导体湿式制程中晶圆的清洗和蚀刻都需要经过许多高纯度的化学品的清洗，通常是采用喷嘴喷洒或风刀流出化学品或水等处理液体。目前所用的喷嘴无法调节喷淋的角度和速度，水压难以控制，导致清洗效率较低，同时也会造成化学品的浪费。
实用新型内容
为了解决上述的技术问题，本实用新型的目的在于提供可调节式喷嘴，通过实现喷嘴角度和速度的调节，使化学品的利用率提高，同时让喷嘴可以更加方便的使用。
本实用新型的目的可以通过以下技术方案实现：
本实用新型提供了可调节式喷嘴，包括喷嘴外壳、调节圆板和密封卡件，所述喷嘴外壳包括安装套筒，所述安装套筒靠近开口端的外侧壁固定连接有两个对称设置的手柄杆，所述安装套筒远离开口端的侧壁固定连接有连接板的一端，所述连接板的另一端固定连接有挡板，所述安装套筒远离开口端的侧壁开设有出液孔，所述安装套筒的内壁固定连接有限位环形板，所述限位环形板与调节圆板的一侧相抵触，所述调节圆板的另一侧与密封卡件相抵触，所述密封卡件插接在安装套筒中，所述调节圆板的中心处开设有安装孔，所述调节圆板上开设有四个环形分布的扇形通孔。
所述密封卡件包括连接轴承和四个扇形遮板，所述连接轴承的内圈侧壁固定连接有两个对称设置的连接杆，其中两个所述扇形遮板分别与两个连接杆远离连接轴承的一端固定连接，四个所述扇形遮板固定连接在同一个安装环形板的外圈侧壁，且四个扇形遮板呈环形分布。
进一步的，所述安装套筒靠近挡板的内侧壁通过支撑杆连接有固定杆的一端，所述固定杆的另一端螺纹连接有螺母，所述调节圆板和安装环形板均活动套接在固定杆上。
进一步的，所述安装套筒开口端的内侧壁上开设有定位滑动槽，其中一个所述连接杆的侧壁固定连接有匹配定位滑动槽的定位块。
进一步的，所述调节圆板的外圈侧壁设置有轮齿，所述安装套筒的外侧壁固定连接有拨动组件，所述拨动组件包括安装矩形框，所述安装矩形框与安装套筒的外侧壁固定连接，所述安装矩形框的内侧壁固定连接有转轴，所述转轴转动套接有拨动齿轮，所述拨动齿轮靠近调节圆板的一侧贯穿安装套筒的侧壁后与调节圆板啮合，且拨动齿轮远离调节圆板的一侧位于安装矩形框的外部。
进一步的，所述安装矩形框的内侧壁固定连接有密封橡胶垫。
本实用新型的有益效果：
(1)通过调节拨动齿轮，进而调节扇形通孔与扇形遮板的相对位置，以改变通流界面的大小，从而调节化学品喷出的速度，使所用的化学品得到充分的利用，还可以在一定程度上提高工作效率，适应范围更广。
(2)通过推动手柄杆，使整个喷嘴转动，可以调节喷嘴喷淋的角度，使用更方便。
附图说明
下面结合附图对本实用新型作进一步的说明。
图1是本实用新型的立体装配图；
图2是本实用新型的调节圆板的A向视图；
图3是本实用新型的密封卡件的A向视图；
图4是本实用新型装配完成后的内部结构示意图。
图中：喷嘴外壳 1、安装套筒 11、手柄杆 12、连接板 13、挡板 14、支撑杆 15、固定杆16、螺母 17、定位滑动槽 18、限位环形板 19、调节圆板 2、安装孔 21、扇形通孔 22、轮齿 23、密封卡件 3、连接轴承 31、连接杆 32、安装环形板 33、扇形遮板 34、定位块 35、拨动组件 4、安装矩形框 41、拨动齿轮 42、转轴 43。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1、图3所示，本实施例提供了可调节式喷嘴，包括喷嘴外壳1、调节圆板2和密封卡件3，密封卡件3包括连接轴承31和四个扇形遮板34，连接轴承31的内圈侧壁固定连接有两个对称设置的连接杆32，其中两个扇形遮板 34分别与两个连接杆32远离连接轴承31的一端固定连接，四个扇形遮板34固定连接在同一个安装环形板33的外圈侧壁，且四个扇形遮板34呈环形分布。
如图1、图4所示，喷嘴外壳1包括安装套筒11，安装套筒11靠近开口端的外侧壁固定连接有两个对称设置的手柄杆12，便于转动喷嘴，安装套筒11远离开口端的侧壁固定连接有连接板13的一端，连接板13的另一端固定连接有挡板14，挡板14相对安装套筒11的端面倾斜设置，安装套筒11远离开口端的侧壁开设有出液孔，安装套筒11的内壁固定连接有限位环形板19，限位环形板 19与调节圆板2的一侧相抵触，调节圆板2的另一侧与密封卡件3相抵触，密封卡件3插接在安装套筒11中，安装套筒11靠近挡板14的内侧壁通过支撑杆 15连接有固定杆16的一端，固定杆16的另一端螺纹连接有螺母17，调节圆板 2和安装环形板33均活动套接在固定杆16上，可将调节圆板2和扇形遮板34 固定限位在螺母17与限位环形板19之间，安装套筒11开口端的内侧壁上开设有定位滑动槽18，其中一个连接杆32的侧壁固定连接有匹配定位滑动槽18的定位块35，使调节圆板2可转动，而密封卡件3无法转动。
如图1、图2所示，调节圆板2的中心处开设有安装孔21，固定杆16插接在安装孔21中，调节圆板2上开设有四个环形分布的扇形通孔22，扇形通孔 22与扇形遮板34的面积相同，调节圆板2的外圈侧壁设置有轮齿23，安装套筒11的外侧壁固定连接有拨动组件4，拨动组件4包括安装矩形框41，安装矩形框41与安装套筒11的外侧壁固定连接，安装矩形框41的内侧壁固定连接有转轴43，转轴43转动套接有拨动齿轮42，拨动齿轮42靠近调节圆板2的一侧贯穿安装套筒11的侧壁后与调节圆板2啮合，且拨动齿轮42远离调节圆板2 的一侧位于安装矩形框41的外部，便于调节拨动齿轮42，安装矩形框41的内侧壁固定连接有密封橡胶垫，提升密封性能。
本实施例的具体工作过程如下：
1)连接轴承31插接在输送管道的出口处，推动手柄杆12，进而调节喷嘴相对输送管道转动，从而改变液体的喷淋方向。
2)转动拨动齿轮42，带动调节圆板2转动，以调节扇形通孔22和扇形遮板34的相对位置，从而改变通流界面的大小，调节化学品喷出的速度。
以上内容仅仅是对本实用新型结构所作的举例和说明，所属本技术领域的技术人员对所描述的具体实施例做各种各样的修改或补充或采用类似的方式替代，只要不偏离实用新型的结构或者超越本权利要求书所定义的范围，均应属于本实用新型的保护范围。
Claims (5)
1.可调节式喷嘴，包括喷嘴外壳(1)、调节圆板(2)和密封卡件(3)，其特征在于，所述喷嘴外壳(1)包括安装套筒(11)，所述安装套筒(11)靠近开口端的外侧壁固定连接有两个对称设置的手柄杆(12)，所述安装套筒(11)远离开口端的侧壁固定连接有连接板(13)的一端，所述连接板(13)的另一端固定连接有挡板(14)，所述安装套筒(11)远离开口端的侧壁开设有出液孔，所述安装套筒(11)的内壁固定连接有限位环形板(19)，所述限位环形板(19)与调节圆板(2)的一侧相抵触，所述调节圆板(2)的另一侧与密封卡件(3)相抵触，所述密封卡件(3)插接在安装套筒(11)中，所述调节圆板(2)的中心处开设有安装孔(21)，所述调节圆板(2)上开设有四个环形分布的扇形通孔(22)；
所述密封卡件(3)包括连接轴承(31)和四个扇形遮板(34)，所述连接轴承(31)的内圈侧壁固定连接有两个对称设置的连接杆(32)，其中两个所述扇形遮板(34)分别与两个连接杆(32)远离连接轴承(31)的一端固定连接，四个所述扇形遮板(34)固定连接在同一个安装环形板(33)的外圈侧壁，且四个扇形遮板(34)呈环形分布。
2.根据权利要求1所述的可调节式喷嘴，其特征在于，所述安装套筒(11)靠近挡板(14)的内侧壁通过支撑杆(15)连接有固定杆(16)的一端，所述固定杆(16)的另一端螺纹连接有螺母(17)，所述调节圆板(2)和安装环形板(33)均活动套接在固定杆(16)上。
3.根据权利要求1所述的可调节式喷嘴，其特征在于，所述安装套筒(11)开口端的内侧壁上开设有定位滑动槽(18)，其中一个所述连接杆(32)的侧壁固定连接有匹配定位滑动槽(18)的定位块(35)。
4.根据权利要求1所述的可调节式喷嘴，其特征在于，所述调节圆板(2)的外圈侧壁设置有轮齿(23)，所述安装套筒(11)的外侧壁固定连接有拨动组件(4)，所述拨动组件(4)包括安装矩形框(41)，所述安装矩形框(41)与安装套筒(11)的外侧壁固定连接，所述安装矩形框(41)的内侧壁固定连接有转轴(43)，所述转轴(43)转动套接有拨动齿轮(42)，所述拨动齿轮(42)靠近调节圆板(2)的一侧贯穿安装套筒(11)的侧壁后与调节圆板(2)啮合，且拨动齿轮(42)远离调节圆板(2)的一侧位于安装矩形框(41)的外部。
5.根据权利要求4所述的可调节式喷嘴，其特征在于，所述安装矩形框(41)的内侧壁固定连接有密封橡胶垫。
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|---|---|---|---|---|
| CN110524425A (zh) * | 2019-08-30 | 2019-12-03 | 郭召勋 | 一种磨砂玻璃制备磨砂处理工艺 |
| CN116493559A (zh) * | 2023-03-22 | 2023-07-28 | 盐城东皇铸造有限公司 | 连续铸造用喷嘴 |
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| CN110524425B (zh) * | 2019-08-30 | 2021-03-16 | 杭州畅翔玻璃有限公司 | 一种磨砂玻璃制备磨砂处理工艺 |
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