CN208965019U - 一种安全性高的数控真空镀膜机 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种安全性高的数控真空镀膜机，属于真空镀膜机领域，一种安全性高的数控真空镀膜机包括镀膜室和循环水冷却组，镀膜室的侧壁开设有冷却水腔，镀膜室的内侧壁固定有若干管壳，每个侧壁上相邻的两个管壳之间均通过连接管固定连接，管壳与冷却水腔之间通过通孔连通，冷却水腔与循环水冷却组相连通。本实用新型的安全性高的数控真空镀膜机安全性高。

Description

一种安全性高的数控真空镀膜机

技术领域

本实用新型属于真空镀膜机领域，尤其涉及一种安全性高的数控真空镀膜机。

背景技术

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。

真空镀膜机中存在许多安全隐患，在生产过程中需要重视这些安全隐患。其中，镀膜室的温度过高会造成成品合格率下降，并且损坏镀膜室及其内部件，轻则机器部件损坏，重则危及人身财产安全。目前对镀膜室进行冷却方式大多采用在镀膜室外设冷却管，在冷却管内通过冷却水进行冷却，这种在外冷却的方式冷却速度慢，安全性不高。

实用新型内容

为了克服现有技术的缺陷，本实用新型所要解决的技术问题在于提出一种安全性高的数控真空镀膜机，安全性高。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

本实用新型提供的一种安全性高的数控真空镀膜机，包括镀膜室和循环水冷却组，镀膜室的侧壁开设有冷却水腔，镀膜室的内侧壁固定有若干管壳，每个侧壁上相邻的两个管壳之间均通过连接管固定连接，管壳与冷却水腔之间通过通孔连通，冷却水腔与循环水冷却组相连通。

本实用新型优选地技术方案在于，循环水冷却组包括冷却水进水管、冷却塔、冷却水出水管、以及循环水泵，冷却水进水管的一端固定连通在镀膜室外侧壁的下方，冷却水进水管的另一端与冷却塔的出水端固定连通，冷却水出水管的一端固定连通在镀膜室外侧壁的上方，冷却水出水管的另一端与冷却塔的进水端固定连通，循环水泵设在冷却水出水管上。

本实用新型优选地技术方案在于，还包括抽真空组，抽真空组与镀膜室固定连通。

本实用新型优选地技术方案在于，抽真空组包括连接管和油扩散泵，连接管的一端与镀膜室固定连通，连接管的另一端与油扩散泵固定连通。

本实用新型优选地技术方案在于，抽真空组还包括用于防止油扩散泵返油的低温冷阱，低温冷阱固定在油扩散泵的泵口端。

本实用新型优选地技术方案在于，抽真空组还包括电磁加热组，电磁加热组固定在连接管上。

本实用新型优选地技术方案在于，还包括安装板和支腿，镀膜室、循环水冷却组、以及抽真空组均固定在安装板上，支腿固定在安装板的下表面。

本实用新型优选地技术方案在于，支腿的下表面胶接有防滑垫。

本实用新型优选地技术方案在于，防滑垫的下表面具有交叉设置的防滑纹。

本实用新型优选地技术方案在于，还包括观察窗，观察窗嵌设在镀膜室的侧壁上。

本实用新型的有益效果为：

本实用新型提供的安全性高的数控真空镀膜机，通过位于镀膜室的侧壁内部的冷却水腔，更接近镀膜室的内腔，且能储存大量冷却水，提高冷却效率，管壳设于镀膜室的内部，直接与镀膜室内部的热量接触，通过管壳内部的冷却水将镀膜室内部的热量带走，结合冷却水腔，冷却及时，提高镀膜室的安全性，连接管方便各个管壳之间的冷却水的流动，提高循环冷却的流动性，并且连接管与管壳一样具有带走镀膜室内部热量的功能。通过循环水泵结合冷却塔实现冷却水的循环利用，节省资源，更加环保。通过低温冷阱能有效防止油扩散泵返油，提高安全性。通过电磁加热组对连接管进行加热，有效防止连接管结冰，并且电磁加热组热损耗小，加热速度快，确保了作业过程的安全性。通过防滑垫的设置提高支腿的防滑效果，避免本设备收到外力和环境因素影响而发生偏移，进一步确保设备的安全性，交叉设置的防滑纹能进一步提高防滑垫的防滑能力。通过观察窗可方便观察镀膜室内部的情况。

附图说明

图1是本实用新型的主视结构示意图；

图2是本实用新型镀膜室的剖视结构示意图；

图3是本实用新型防护垫的仰视结构示意图。

图中：

1、镀膜室；2、循环水冷却组；21、冷却水进水管；22、冷却塔；23、冷却水出水管；24、循环水泵；3、冷却水腔；4、管壳；5、连接管；6、通孔；7、抽真空组；71、连接管；72、油扩散泵；73、低温冷阱；74、电磁加热组；8、安装板；9、支腿；10、防滑垫；11、防滑纹；12、观察窗。

具体实施方式

下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本实用新型的技术方案。

如图1至图3所示，本实施例中提供的一种安全性高的数控真空镀膜机，包括镀膜室1和循环水冷却组2，镀膜室1的侧壁开设有冷却水腔3，冷却水腔3位于镀膜室1的侧壁内部，更接近镀膜室1的内腔，且能储存大量冷却水，提高冷却效率，镀膜室1内部的左右两内侧壁均固定有5个管壳4，每个侧壁上最上方的管壳4和最下方的管壳4与冷却水腔3之间均通过通孔6连通，管壳4设于镀膜室1的内部，直接与镀膜室1内部的热量接触，通过管壳4内部的冷却水将镀膜室1内部的热量带走，结合冷却水腔3，冷却及时，提高镀膜室1的安全性，每个侧壁上相邻的两个管壳4之间均通过连接管5固定连接，连接管5方便各个管壳4之间的冷却水的流动，提高循环冷却的流动性，并且连接管5与管壳4一样具有带走镀膜室1内部热量的功能，冷却水腔3与循环水冷却组2相连通，镀膜室1内的热量被冷却水带走送入循环水冷却组2冷却后，形成低温的冷却水输送至冷却水腔3、管壳4、以及连接管5内对镀膜室1进行冷却，通过循环冷却的方式更加节约资源。

为了有效进行冷却水的循环，进一步地，循环水冷却组2包括冷却水进水管21、冷却塔22、冷却水出水管23、以及循环水泵24，循环水泵24型号为HQB-2200，冷却水进水管21的左端固定连通在镀膜室1右侧壁的下方，冷却水进水管21的右端与冷却塔22下方的出水端固定连通，冷却水出水管23的左端固定连通在镀膜室1右侧壁的上方，冷却水出水管23的右端与冷却塔22的上方的进水端固定连通，循环水泵24设在冷却水出水管23上，循环水泵24工作，使得镀膜室1上的冷却水通过冷却水出水管23流向冷却塔22进行冷却，经由冷却塔22冷却后的冷却水从冷却水进水管21流至镀膜室1，并充满冷却水腔3、管壳4、以及连接管5，如此，通过循环水泵24结合冷却塔22实现冷却水的循环利用，节省资源，更加环保。

为了对镀膜室1进行有效的抽真空，进一步地，还包括抽真空组7，抽真空组7与镀膜室1固定连通，抽真空组7包括连接管71和油扩散泵72，油扩散泵722型号为KT-600，连接管71的右端与镀膜室1固定连通，连接管71的左端与油扩散泵72固定连通。

为了防止油扩散泵72返油，进一步地，抽真空组7还包括用于防止油扩散泵72返油的低温冷阱73，低温冷阱73固定在油扩散泵72的泵口端，通过低温冷阱73表面的深低温冷凝能力，大大缩短抽真空的时间并获得洁净的真空环境，能有效防止油扩散泵72返油，提高安全性。

为了避免抽真空导致的连接管71结冰，为了进一步地，抽真空组7还包括电磁加热组74，电磁加热组74固定在连接管71上，电磁加热组74由多根电磁加热管组成，电磁加热管型号为XLD-JRT-6KW，通过电磁加热组74对连接管71进行加热，有效防止连接管71结冰，并且电磁加热组74热损耗小，加热速度快，确保了作业过程的安全性。

为了提高本设备的整体稳定性，进一步地，还包括安装板8和支腿9，镀膜室1、循环水冷却组2、以及抽真空组7均固定在安装板8的上表面，支腿9固定在安装板8的下表面，支腿9的下表面胶接有防滑垫10，通过防滑垫10的设置提高支腿9的防滑效果，避免本设备收到外力和环境因素影响而发生偏移，进一步确保设备的安全性。

为了提高防滑垫10的防滑能力，进一步地，防滑垫10的下表面具有交叉设置的防滑纹11，交叉设置的防滑纹11能进一步提高防滑垫10的防滑能力。

为了便于观察镀膜室1的内部情况，进一步地，还包括观察窗12，观察窗12嵌设在镀膜室1的侧壁上，通过观察窗12可方便观察镀膜室1内部的情况。

本说明书中未作详细描述的内容属于本领域专业技术人员公知的现有技术。本实用新型是通过优选实施例进行描述的，本领域技术人员知悉，在不脱离本实用新型的精神和范围的情况下，可以对这些特征和实施例进行各种改变或等效替换。本实用新型不受此处所公开的具体实施例的限制，其他落入本申请的权利要求内的实施例都属于本实用新型保护的范围。

Claims (10)

1.一种安全性高的数控真空镀膜机，其特征在于：

包括镀膜室(1)和循环水冷却组(2)；

所述镀膜室(1)的侧壁开设有冷却水腔(3)；

所述镀膜室(1)的内侧壁固定有若干管壳(4)，每个侧壁上相邻的两个所述管壳(4)之间均通过连接管(5)固定连接；

所述管壳(4)与所述冷却水腔(3)之间通过通孔(6)连通；

所述冷却水腔(3)与所述循环水冷却组(2)相连通。

2.根据权利要求1所述的安全性高的数控真空镀膜机，其特征在于：

所述循环水冷却组(2)包括冷却水进水管(21)、冷却塔(22)、冷却水出水管(23)、以及循环水泵(24)；

所述冷却水进水管(21)的一端固定连通在所述镀膜室(1)外侧壁的下方；

所述冷却水进水管(21)的另一端与所述冷却塔(22)的出水端固定连通；

所述冷却水出水管(23)的一端固定连通在所述镀膜室(1)外侧壁的上方；

所述冷却水出水管(23)的另一端与所述冷却塔(22)的进水端固定连通；

所述循环水泵(24)设在所述冷却水出水管(23)上。

3.根据权利要求1所述的安全性高的数控真空镀膜机，其特征在于：

还包括抽真空组(7)；

所述抽真空组(7)与所述镀膜室(1)固定连通。

4.根据权利要求3所述的安全性高的数控真空镀膜机，其特征在于：

所述抽真空组(7)包括连接管(71)和油扩散泵(72)；

所述连接管(71)的一端与所述镀膜室(1)固定连通；

所述连接管(71)的另一端与所述油扩散泵(72)固定连通。

5.根据权利要求4所述的安全性高的数控真空镀膜机，其特征在于：

所述抽真空组(7)还包括用于防止油扩散泵(72)返油的低温冷阱(73)；

所述低温冷阱(73)固定在所述油扩散泵(72)的泵口端。

6.根据权利要求4或5任一一项所述的安全性高的数控真空镀膜机，其特征在于：

所述抽真空组(7)还包括电磁加热组(74)；

所述电磁加热组(74)固定在所述连接管(71)上。

7.根据权利要求3所述的安全性高的数控真空镀膜机，其特征在于：

还包括安装板(8)和支腿(9)；

所述镀膜室(1)、循环水冷却组(2)、以及抽真空组(7)均固定在所述安装板(8)上；

所述支腿(9)固定在所述安装板(8)的下表面。

8.根据权利要求7所述的安全性高的数控真空镀膜机，其特征在于：

所述支腿(9)的下表面胶接有防滑垫(10)。

9.根据权利要求8所述的安全性高的数控真空镀膜机，其特征在于：

所述防滑垫(10)的下表面具有交叉设置的防滑纹(11)。

10.根据权利要求1所述的安全性高的数控真空镀膜机，其特征在于：

还包括观察窗(12)；

所述观察窗(12)嵌设在所述镀膜室(1)的侧壁上。