CN208964131U - 定量卸料装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种定量卸料装置，包括卸料室，所述卸料室具有进料口和出料口，所述卸料室内设置有轴向贯穿所述卸料室的中心轴，所述中心轴上固定有多个分隔叶片，多个所述分隔叶片呈辐射状等圆心角的分布在所述中心轴上，所述中心轴一端伸出所述卸料室向外侧延伸，所述中心轴向外侧延伸的部分连接间歇传动机构；所述间歇传动机构包括底座、动力源和联动叉，所述底座中心固定安装在中心轴上，所述底座上以中心轴为中心圆周方向设置有多个销，所述联动叉一端设置叉口，另一端设置滑动槽，所述滑动槽套设在中心轴上，所述动力源驱动所述联动叉沿滑动槽直线往复运动，同时驱动联动叉的叉口进入或者远离所述销，所述联动叉带动所述底盘间歇转动。

Description

定量卸料装置

技术领域

本实用新型涉及定量卸料装置，尤其涉及一种CVD排气系统的定量卸料装置。

背景技术

CVD是Chemical Vapor Deposition的简称，是指高温下的气相反应，例如，金属卤化物、有机金属、碳氢化合物等的热分解，氢还原或使它的混合气体在高温下发生化学反应以析出金属、氧化物、碳化物等无机材料的方法。这种技术最初是作为涂层的手段而开发的，但不只应用于耐热物质的涂层，而且应用于高纯度金属的精制、粉末合成、半导体薄膜等，是一个颇具特征的技术领域。

CVD的装置由气化部分、载气精练部分、反应部分和排除气体处理部分所构成。此系统中的排气经过设备端POU装置处理后排气中会带有大量的粉尘，粉尘堆积在制程排气的风管中会严重影响整个排气系统的工作效率，粉尘堆积严重时会因为影响了排气压力及排气量导致设备无法正常运转使得制程中的设备发生当机，所以需要一种将粉尘排除的定量卸料装置。

市场存在的此类定量卸料装置主要有以下几种：1、依靠电机及减速机进行配合传动，致使阀门体积及占用安装空间过大；2、若使叶片间歇运转，则需要不停切换电机的启停，易造成电机的损坏；3、无密封机构，导致阀门漏风量较大。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是克服现有定量卸料装置的缺点，提供一种通过机械结构来实现定量卸料的装置。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种定量卸料装置，包括卸料室，所述卸料室具有进料口和出料口，所述卸料室内设置有轴向贯穿所述卸料室的中心轴，所述中心轴上固定有多个分隔叶片，多个所述分隔叶片呈辐射状等圆心角的分布在所述中心轴上，所述中心轴一端伸出所述卸料室向外侧延伸，所述中心轴向外侧延伸的部分连接间歇传动机构；所述间歇传动机构包括底座、动力源和联动叉，所述底座中心固定安装在中心轴上，所述底座上以中心轴为中心圆周方向设置有多个销，所述联动叉一端设置叉口，另一端设置滑动槽，所述滑动槽套设在中心轴上，所述动力源驱动所述联动叉沿滑动槽直线往复运动，同时驱动联动叉的叉口进入或者远离所述销，所述联动叉带动所述底盘间歇转动；所述动力源包括动力轴、联动块和联动轴，所述动力轴设置在两个相邻销的圆周方向的中心线上，所述联动块一端固定安装在动力轴上，另一端通过联动轴连接联动叉。

本实用新型一个较佳实施例中，进一步包括所述销的设置位置与所述分隔叶片的设置位置相对应。

本实用新型一个较佳实施例中，进一步包括所述分隔叶片的数量与所述销的数量相同。

本实用新型一个较佳实施例中，进一步包括所述分隔叶片和所述销的数量均为6个。

本实用新型一个较佳实施例中，进一步包括所述分隔叶片远离中心轴的一端延伸至与所述卸料室的内壁相接触。

本实用新型一个较佳实施例中，进一步包括所述分隔叶片远离中心轴的一端的边缘贴有密封胶条。

本实用新型一个较佳实施例中，进一步包括所述密封胶贴为EPDM密封条。

本实用新型一个较佳实施例中，进一步包括所述进料口和所述出料口均设置有与所述卸料室匹配的收口。

本实用新型的定量卸料装置，在使用过程中主要依靠外部间歇运动机构进行调节，使得分隔叶片始终可以间歇性可调节的进行转动，保证每次卸料量均匀；且边缘密封设计，保证卸料过程中系统中的风压稳定。

附图说明

图1是本实用新型的定量卸料装置的结构示意图。

图2是本实用新型的定量卸料装置卸料室内的结构示意图。

图3是本实用新型的定量卸料装置的间歇传动机构的结构示意图。

图4是本实用新型的定量卸料装置的间歇传机构的运动过程示意图。

其中：1-进料口，2-卸料室，21中心轴，22-分隔叶片，23-间歇传动机构，231-底座，232-动力轴，233-联动块，234-联动轴，235-联动叉，236-销，24-密封条，3-出料口，4-收口。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步说明，以使本领域的技术人员可以更好地理解本实用新型并能予以实施，但所举实施例不作为对本实用新型的限定。

实施例

如图1-3所示，本实施例公开了一种定量卸料装置，包括卸料室2，所述卸料室具有有进料口1和出料口3，所述卸料室2内设置有轴向贯穿所述卸料室2的中心轴21，所述中心轴21的外侧固定有多个分隔叶片22，所述分隔叶片22呈辐射状等圆心角的分布在所述中心轴21上，两个相邻的分隔叶片22形成了一个卸料仓，等圆心角分布后保证每个卸料仓的空间大小相同，所述分隔叶片22远离中心轴21的一端延伸至与所述卸料室2的内壁相接触，所述分隔叶片远离中心轴21的一边缘贴有密封胶条24，保证了分隔叶片22与卸料室2密封连接，从而保证了整个装置的气密性；所述中心轴21一端伸出所述卸料室2向外侧延伸，所述中心轴21的伸出部分连接间歇传动机构23，所述间歇传动机构包括底座231、动力轴232、联动块233、联动轴234和联动叉235，所述底座231中心固定安装在中心轴21上，所述底座231能够带动所述中心轴21转动，所述底座231上以中心轴为圆心圆周方向设置有多个销236，所述销236的设置位置与所述分隔叶片22的设置位置相对应，保证了每次分隔叶片22转动，相邻两个分隔叶片22形成的分隔仓位置正对进料口1和卸料口3，所述动力轴232设置在两个相邻销236的圆周方向的中心线上，所述联动块233一端固定安装在动力轴232上，另一端通过联动轴234连接联动叉235，所述联动叉一端设置有叉口，另一端设置有滑动槽，所述滑动槽套设在中心轴21上对所述联动叉235进行限位；所述动力轴232转动带动所述联动块233转动，所述联动块233带动联动轴234圆周运动，所述滑动槽限制所述联动叉235往复直线运动，所述叉口能够插入或者远离所述销，当联动叉235插住所述销236时，带动底盘231和中心轴21转动，随着联动块233的转动当联动叉235脱离所述销236时，底盘231和中心轴21停止转动。

本实施例中，所述分隔叶片22的数量与所述销236的数量相同，这样设置保证了底盘231转动角度对应分隔叶片22转动的角度相同。在本实施例中，优选地，在所述底盘231上设置了6个销236，在所述中心轴21上设置了6个分隔叶片22，这样相邻两个分隔叶片22之间的角度为60°，每次底盘231转动的角度也为60°。

为了保证所述联动叉235能够准确插住所述销236，且带动所述销236转动60°后离开所述销236，如图4所示，所述动力轴232在动力源的驱动下轴向转动，所述联动块233以动力轴232为圆心，自身的长度为半径进行圆周运动，在第一个状态的时候，所述联动叉235的叉口刚好插住所述销236上，因为所述动力轴232设置在两个相邻销236的圆周方向的中心线上，所以中心轴21和所述动力轴232的连线与所述中心轴21与和所述联动轴234的连线之间的角度为30°，这样能够底盘231转动60°后所述联动叉235能够脱离所述销236，所以应该设置中心轴21到动力轴232的长度为动力轴232到联动轴234的长度的√3倍；在第二状态的时候，所述联动叉235的叉口插住所述销236，带动所述销236转动，所述销转动60°，所述销236带动所述底盘231转动60°，所述分隔叶片22转动60°，所述进料口1对应的两个分隔叶片22形成的分隔仓也转动60°，所述进料口1对应下一个分隔仓；在第三个状态的时候，所述联动叉235的叉口离开所述销236，此时所述销236停止转动；在第四个状态的时候，所述联动叉235在动力轴232和联动块233的带动下重新返回到初始位置，重复第一状态的动作，此时所述分隔叶片22一直保持静止状态，动力轴232一直在转动，这样就实现了驱动装置在不停机的情况下，通过外部机械结构完成每次均匀卸料的要求。

优选地，所述密封胶贴24为EPDM密封条，此材料密封条具有良好的抗氧化性和耐腐蚀性。

优选地，所述进料口1和所述出料口3均设置有与所述卸料室2匹配的收口4。

以上所述实施例仅是为充分说明本实用新型而所举的较佳的实施例，本实用新型的保护范围不限于此。本技术领域的技术人员在本实用新型基础上所作的等同替代或变换，均在本实用新型的保护范围之内。本实用新型的保护范围以权利要求书为准。

Claims (8)

1.一种定量卸料装置，其特征在于，包括卸料室，所述卸料室具有进料口和出料口，所述卸料室内设置有轴向贯穿所述卸料室的中心轴，所述中心轴上固定有多个分隔叶片，多个所述分隔叶片呈辐射状等圆心角的分布在所述中心轴上，所述中心轴一端伸出所述卸料室向外侧延伸，所述中心轴向外侧延伸的部分连接间歇传动机构；所述间歇传动机构包括底座、动力源和联动叉，所述底座的中心固定安装在中心轴上，所述底座上以中心轴为中心圆周方向设置有多个销，所述联动叉一端设置叉口，另一端设置滑动槽，所述滑动槽套设在中心轴上，所述动力源驱动所述联动叉沿滑动槽直线往复运动，同时驱动联动叉的叉口进入或者远离所述销，所述联动叉带动所述底座间歇转动；所述动力源包括动力轴、联动块和联动轴，所述动力轴设置在两个相邻销的圆周方向的中心线上，所述联动块一端固定安装在动力轴上，另一端通过联动轴连接联动叉。

2.如权利要求1所述的定量卸料装置，其特征在于，所述销的设置位置与所述分隔叶片的设置位置相对应。

3.如权利要求1所述的定量卸料装置，其特征在于，所述分隔叶片的数量与所述销的数量相同。

4.如权利要求3所述的定量卸料装置，其特征在于，所述分隔叶片和所述销的数量均为6个。

5.如权利要求1所述的定量卸料装置，其特征在于，所述分隔叶片远离中心轴的一端延伸至与所述卸料室的内壁相接触。

6.如权利要求1所述的定量卸料装置，其特征在于，所述分隔叶片远离中心轴的一端的边缘贴有密封胶条。

7.如权利要求6所述的定量卸料装置，其特征在于，所述密封胶条为EPDM密封条。

8.如权利要求1所述的定量卸料装置，其特征在于，所述进料口和所述出料口均设置有与所述卸料室匹配的收口。