CN208938941U - 一种用于晶圆片盒子的开盒机构 - Google Patents
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Abstract
一种用于晶圆片盒子的开盒机构,第一工作台上设置有用于放置盒子的旋转台,旋转台一侧设置有用于打开盒子的夹紧模组;夹紧模组包括与第二电机传动连接的转轴,转轴的两端均固定有摆臂组件,摆臂组件包括支撑臂,支撑臂的内侧沿其长度方向移动设置有伸缩臂,伸缩臂与支撑臂之间设置有缓冲件,伸缩臂的前端固定有安装座,安装座的内侧设置有沿盒子方向来回运动的压轮,压轮与第一气缸连接,支撑臂上端固定有沿安装座方向来回运动的第二气缸,安装座上端固定有第二气缸可以触及并推动的挡板,支撑臂上设置有可以检测盒子位置的对射光纤。本实用新型可实现自动开盒,并且在旋转半径不同的情况下实现自动调节,提高了开盒效率。
Description
技术领域
本实用新型属于自动化技术领域,具体涉及一种用于晶圆片盒子的开盒机构。
背景技术
现有一种用于放置晶圆片的盒子,形状如图1所示,该盒子03包括上壳体0301和下壳体0302,上壳体0301的一侧与下壳体0302的一侧通过合页转动连接。目前,需要先将这种盒子打开后再放入晶圆片,传统的方式为人工开盒,效率低,影响企业效益。
因此,需要设计一种用于晶圆片盒子的开盒机构来提高开盒效率。
发明内容
为克服上述现有技术中的不足,本实用新型目的在于提供一种用于晶圆片盒子的开盒机构。
为实现上述目的及其他相关目的,本实用新型提供的技术方案是:一种用于晶圆片盒子的开盒机构,该盒子包括上壳体和下壳体,所述上壳体的一侧与所述下壳体的一侧通过合页转动连接,所述开盒机构包括第一工作台,所述第一工作台上设置有用于放置所述盒子的旋转台,所述旋转台一侧设置有用于打开所述盒子的夹紧模组;所述夹紧模组包括与第二电机传动连接的转轴,所述转轴的两端均固定有摆臂组件,所述摆臂组件包括支撑臂,所述支撑臂的内侧沿其长度方向移动设置有伸缩臂,所述伸缩臂与所述支撑臂之间设置有缓冲件,所述伸缩臂的前端固定有安装座,所述安装座的内侧设置有沿所述盒子方向来回运动的压轮,所述压轮与第一气缸连接,所述支撑臂上端固定有沿所述安装座方向来回运动的第二气缸,所述安装座上端固定有所述第二气缸可以触及并推动的挡板,所述支撑臂上设置有可以检测所述盒子位置的对射光纤。
优选的技术方案为:所述转轴两端均设有一支撑,所述第二电机通过同步带与所述转轴传动连接,所述支撑与所述第二电机均设置在所述第一工作台上。
优选的技术方案为:所述旋转台四周设置有若干可以通过伸缩夹住所述盒子的下壳体的夹爪。
优选的技术方案为:所述支撑臂与所述伸缩臂之间通过导轨移动连接。
优选的技术方案为:所述摆臂组件的内侧设置有防护罩。
由于上述技术方案运用,本实用新型与现有技术相比具有的优点是:
本实用新型设计了一种用于晶圆片盒子的开盒机构,可实现自动开盒,并且在旋转半径不同的情况下实现自动调节,大大提高了开盒效率,自动化程度高,与其他设备对接程度也高,为产品的全自动化生产做好了充分的技术准备。
附图说明
图1为晶圆片盒子立体示意图。
图2为本实用新型整体示意图。
图3为夹紧模组示意图一。
图4为夹紧模组示意图二(不含防护罩)。
图5为旋转台示意图。
图6为摆臂组件示意图。
以上附图中,盒子03,上壳体0301,下壳体0302,第一工作台04,旋转台05,夹爪0501,夹紧模组06,第二电机0601,转轴0602,摆臂组件0603,支撑臂0604,伸缩臂0605,缓冲件0606,安装座0607,压轮0608,第一气缸0609,第二气缸0610,挡板0611,对射光纤0612,支撑0613,导轨0614,防护罩0615。
具体实施方式
以下由特定的具体实施例说明本实用新型的实施方式,熟悉此技术的人士可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本实用新型的其他优点及功效。
请参阅图1~图6。须知,本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等,均仅用以配合说明书所揭示的内容,以供熟悉此技术的人士了解与阅读,并非用以限定本实用新型可实施的限定条件,故不具技术上的实质意义,任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整,在不影响本实用新型所能产生的功效及所能达成的目的下,均应仍落在本实用新型所揭示的技术内容得能涵盖的范围内。同时,本说明书中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中间”及“一”等的用语,亦仅为便于叙述的明了,而非用以限定本实用新型可实施的范围,其相对关系的改变或调整,在无实质变更技术内容下,当亦视为本实用新型可实施的范畴。
实施例:如图1 ~图6所示,一种用于晶圆片盒子的开盒机构,该盒子03包括上壳体0301和下壳体0302,上壳体0301的一侧与下壳体0302的一侧通过合页转动连接,开盒机构包括第一工作台04,第一工作台04上设置有用于放置盒子03的旋转台05,旋转台05一侧设置有用于打开盒子03的夹紧模组06;夹紧模组06包括与第二电机0601传动连接的转轴0602,转轴0602的两端均固定有摆臂组件0603,摆臂组件0603包括支撑臂0604,支撑臂0604的内侧沿其长度方向移动设置有伸缩臂0605,伸缩臂0605与支撑臂0604之间设置有缓冲件0606,伸缩臂0605的前端固定有安装座0607,安装座0607的内侧设置有沿盒子03方向来回运动的压轮0608,压轮0608与第一气缸0609连接,支撑臂0604上端固定有沿安装座0607方向来回运动的第二气缸0610,安装座0607上端固定有第二气缸0610可以触及并推动的挡板0611,支撑臂0604上设置有可以检测盒子03位置的对射光纤0612。
注:盒子03放置在旋转台05上,开盒前需使得上壳体0301和下壳体0302连接的一侧对着夹紧模组06;当夹紧模组06处于初始状态时,摆臂组件0603摆动至竖直方向,如图2所示;当夹紧模组06处于带夹取状态时,摆臂组件0603摆动至水平方向,两个摆臂组件0603分别位于盒子03的两侧。
原理:首先,将来料(盒子03)送至旋转台05,盒子03方向调整准确后,令夹紧模组06动作,控制第二气缸0610动作,第二气缸0610推动挡板0611,使得挡板0611带着伸缩臂0605向前伸出;令第二电机0601动作,使摆臂组件0603摆动至盒子03两侧的对应位置,可通过对射光纤0612检测到盒子03是否已放置旋转台05;令第一气缸0609动作,使两侧压轮0608夹紧盒子03的上壳体0301两侧;令第二气缸0610归位,令第二电机0601反方向动作,使得摆臂组件0603可以带着上壳体0301转动,执行开盖动作;摆臂组件0603的旋转半径和上壳体0301的旋转半径不同,在开盖的过程中,伸缩臂0605与支撑臂0604之间的相对位置会发生变化来实现自动调整,缓冲件0606进行缓冲调节,保证运动的稳定性。
优选的实施方式为:如图4所示,转轴0602两端均设有一支撑0613,第二电机0601通过同步带与转轴0602传动连接,支撑0613与第二电机0601均设置在第一工作台04上。抬高转轴0602设置的高度,可以减小支撑臂0604和伸缩臂0605的设计长度,控制摆臂组件0603的重量,从而节约材料,节省能源,降低成本,提高企业效益。
优选的实施方式为:如图5所示,旋转台05四周设置有若干可以通过伸缩夹住盒子03的下壳体0302的夹爪0501。保证盒子03位置稳定,保证下壳体0302不会在打开时被摆臂组件0603带动;其中,伸缩夹住盒子03的夹爪0501可以通过夹爪气缸实现,旋转台05可以通过在平台下设置旋转气缸实现。
优选的实施方式为:如图6所示,支撑臂0604与伸缩臂0605之间通过导轨0614移动连接。采用导轨移动,保证直线度,提高定位准确性,从而提高开盒效率。
优选的实施方式为:如图3所示,摆臂组件0603的内侧设置有防护罩0615。防尘,延长设备使用寿命。
本实用新型设计了一种用于晶圆片盒子的开盒机构,可实现自动开盒,并且在旋转半径不同的情况下实现自动调节,大大提高了开盒效率,自动化程度高,与其他设备对接程度也高,为产品的全自动化生产做好了充分的技术准备。
上述实施例仅例示性说明本实用新型的原理及其功效,而非用于限制本实用新型。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本实用新型的精神及范畴下,对上述实施例进行修饰或改变。因此,举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本实用新型所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变,仍应由本实用新型的权利要求所涵盖。
Claims (5)
1.一种用于晶圆片盒子的开盒机构,该盒子包括上壳体和下壳体,所述上壳体的一侧与所述下壳体的一侧通过合页转动连接,其特征在于:所述开盒机构包括第一工作台,所述第一工作台上设置有用于放置所述盒子的旋转台,所述旋转台一侧设置有用于打开所述盒子的夹紧模组;所述夹紧模组包括与第二电机传动连接的转轴,所述转轴的两端均固定有摆臂组件,所述摆臂组件包括支撑臂,所述支撑臂的内侧沿其长度方向移动设置有伸缩臂,所述伸缩臂与所述支撑臂之间设置有缓冲件,所述伸缩臂的前端固定有安装座,所述安装座的内侧设置有沿所述盒子方向来回运动的压轮,所述压轮与第一气缸连接,所述支撑臂上端固定有沿所述安装座方向来回运动的第二气缸,所述安装座上端固定有所述第二气缸可以触及并推动的挡板,所述支撑臂上设置有可以检测所述盒子位置的对射光纤。
2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆片盒子的开盒机构,其特征在于:所述转轴两端均设有一支撑,所述第二电机通过同步带与所述转轴传动连接,所述支撑与所述第二电机均设置在所述第一工作台上。
3.根据权利要求1所述的一种用于晶圆片盒子的开盒机构,其特征在于:所述旋转台四周设置有若干可以通过伸缩夹住所述盒子的下壳体的夹爪。
4.根据权利要求1所述的一种用于晶圆片盒子的开盒机构,其特征在于:所述支撑臂与所述伸缩臂之间通过导轨移动连接。
5.根据权利要求1所述的一种用于晶圆片盒子的开盒机构,其特征在于:所述摆臂组件的内侧设置有防护罩。
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CN201822076280.0U CN208938941U (zh) | 2018-12-11 | 2018-12-11 | 一种用于晶圆片盒子的开盒机构 |
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CN116619443A (zh) * | 2023-05-29 | 2023-08-22 | 江苏道达智能科技有限公司 | 一种应用于移动机器人的晶圆盒开盒装置 |
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CN116619443B (zh) * | 2023-05-29 | 2024-04-26 | 江苏道达智能科技有限公司 | 一种应用于移动机器人的晶圆盒开盒装置 |
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