CN208930477U - 一种ito靶材加工用热等静压装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种ITO靶材加工用热等静压装置，包括静压仓，所述静压仓下表面两侧设置有减震底座，所述静压仓两侧设置有真空板，且真空板内表壁设置有加压管，所述静压仓顶部设置有密封盖，所述密封盖下表面设置有压合垫片，所述密封盖上表面两侧边缘处对称设置有支架，且支架顶部焊接有提拉把手和与之配套使用的弹簧压板，所述静压仓内部底板上设置有顶杆，且顶杆顶部设置有加热管，所述加热管顶部设置有挂板，所述挂板下表面设置有限位块，且限位块内表面设置有弹簧挂板，所述静压仓内部设置有冷却管。本实用新型中，该热等静压装置整体结构设计简单合理，实现了快速热压以及散热的效果，操作安全灵活，具有较强的实用性。

Description

一种ITO靶材加工用热等静压装置

技术领域

本实用新型涉及ITO靶材技术领域，尤其涉及一种ITO靶材加工用热等静压装置。

背景技术

ITO靶材是氧化铟和氧化锡粉末按一定比例混合后经过一系列的生产工艺加工成型，再高温气氛烧结形成的黑灰色陶瓷半导体，而在 ITO生产加工中需要使用到热等静压进行处理，热等静压工艺是将制品放置到密闭的容器中，向制品施加各向同等的压力，同时施以高温，在高温高压的作用下，制品得以烧结和致密化，从而能够确保ITO靶材产品的完整性以及高质量。

然而现有的ITO靶材加工用热等静压装置在使用过程中存在着一些不足之处，对于ITO靶材的取放操作不够灵活，增加了操作人员的工作负担，实用性不强。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种ITO靶材加工用热等静压装置。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：一种ITO 靶材加工用热等静压装置，包括静压仓，所述静压仓下表面两侧设置有减震底座，所述静压仓两侧设置有真空板，且真空板内表壁设置有加压管，所述静压仓顶部设置有密封盖，所述密封盖下表面设置有压合垫片，所述密封盖上表面两侧对称设置有压力表和温度表，所述密封盖上表面两侧边缘处对称设置有支架，且支架顶部焊接有提拉把手和与之配套使用的弹簧压板，所述静压仓内部底板上设置有顶杆，且顶杆顶部设置有加热管，所述加热管顶部设置有挂板，所述挂板下表面设置有限位块，且限位块内表面设置有弹簧挂板，所述静压仓内部设置有冷却管。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述加压管共安装有两个，且两个加压管关于静压仓的竖直中线对称。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述冷却管的横截面为回型结构。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述加热管的横截面为U型结构。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述限位块共安装有两个，且两个限位块均处于同一水平面上。

本实用新型中，首先通过设置的冷却管的横截面为回型结构，能够增大冷却管与静压仓内部热量的有效接触面积，从而使得冷却管可以及时快速的对静压仓内的热量进行吸收，提高了静压仓内温度的散失速率，其次通过设置的限位块和弹簧挂板，能够将需要热等静压的靶材悬挂在弹簧挂板上，此时弹簧挂板被挤压变形而对靶材起到反向夹持固定的作用，既保证了靶材安装的稳定性，也便于靶材的取放操作，增强了靶材拿取过程的操作灵活性，最后通过设置的弹性压板，能够在操作提拉把手时，将压力传导在弹性压板上使其压缩变形，从而降低提拉把手与外接悬挂绳索之间的相对摩擦力，避免两者连接处发生过度磨损的现象，提高了装置的使用安全性。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种ITO靶材加工用热等静压装置的结构示意图；

图2为本实用新型提拉把手的结构示意图；

图3为本实用新型挂板的结构示意图。

图例说明：

1-提拉把手、2-真空板、3-静压仓、4-加压管、5-冷却管、6- 减震底座、7-顶杆、8-加热管、9-压力表、10-密封盖、11-挂板、12- 压合垫片、13-温度表、14-弹性压板、15-支架、16-弹簧挂板、17- 限位块。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。

参照图1-3，一种ITO靶材加工用热等静压装置，包括静压仓3，静压仓3下表面两侧设置有减震底座6，静压仓3两侧设置有真空板 2，且真空板2内表壁设置有加压管4，静压仓3顶部设置有密封盖 10，密封盖10下表面设置有压合垫片12，密封盖10上表面两侧对称设置有压力表9和温度表13，密封盖10上表面两侧边缘处对称设置有支架15，且支架15顶部焊接有提拉把手1和与之配套使用的弹簧压板14，静压仓3内部底板上设置有顶杆7，且顶杆7顶部设置有加热管8，加热管8顶部设置有挂板11，挂板11下表面设置有限位块17，且限位块17内表面设置有弹簧挂板16，静压仓3内部设置有冷却管5。

加压管4共安装有两个，且两个加压管4关于静压仓3的竖直中线对称，冷却管5的横截面为回型结构，加热管8的横截面为U型结构，限位块17共安装有两个，且两个限位块17均处于同一水平面上。

加热管8内部采用钼丝进行加热，并且外接控制电源供电，可实现最高1450度左右的加热需要。

工作原理：使用时，通过减震底座6将装置安装在工作地点，将 ITO靶材放置在弹簧挂板16之间，此时弹簧挂板16被挤压变形从而对靶材起到反向夹持的作用，通过密封盖10对静压仓3进行密封固定，加热管8通电产生高温热量，加压管4外接高压设备导入高压气体，此时静压仓3内形成高温高压的状态对靶材进行热等静压处理，而温度表13和压力表9能够及时的检测静压仓3内的工作参数数值，当热等静压完成之后，向冷却管5内注入冷却剂进行冷却散热，则该装置完整运行。

以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

Claims (5)

1.一种ITO靶材加工用热等静压装置，包括静压仓(3)，其特征在于，所述静压仓(3)下表面两侧设置有减震底座(6)，所述静压仓(3)两侧设置有真空板(2)，且真空板(2)内表壁设置有加压管(4)，所述静压仓(3)顶部设置有密封盖(10)，所述密封盖(10)下表面设置有压合垫片(12)，所述密封盖(10)上表面两侧对称设置有压力表(9)和温度表(13)，所述密封盖(10)上表面两侧边缘处对称设置有支架(15)，且支架(15)顶部焊接有提拉把手(1)和与之配套使用的弹簧压板(14)，所述静压仓(3)内部底板上设置有顶杆(7)，且顶杆(7)顶部设置有加热管(8)，所述加热管(8)顶部设置有挂板(11)，所述挂板(11)下表面设置有限位块(17)，且限位块(17)内表面设置有弹簧挂板(16)，所述静压仓(3)内部设置有冷却管(5)。

2.根据权利要求1所述的一种ITO靶材加工用热等静压装置，其特征在于，所述加压管(4)共安装有两个，且两个加压管(4)关于静压仓(3)的竖直中线对称。

3.根据权利要求1所述的一种ITO靶材加工用热等静压装置，其特征在于，所述冷却管(5)的横截面为回型结构。

4.根据权利要求1所述的一种ITO靶材加工用热等静压装置，其特征在于，所述加热管(8)的横截面为U型结构。

5.根据权利要求1所述的一种ITO靶材加工用热等静压装置，其特征在于，所述限位块(17)共安装有两个，且两个限位块(17)均处于同一水平面上。