CN208921847U - 一种激光器驱动探针装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及激光器技术领域，提供了一种激光器驱动探针装置。装置中导电杆24设置在所述探针基座外壳21内部，并与所述探针22在垂直方向上固定；其中，所述导电杆24与所述探针22电连；所述压力传感器23设置在探针基座外壳21内部，用于与固定好的探针22的尾部抵触；其中，所述压力传感器23的数据端口与主控制器相连；所述主控制器用于获取对应各探针22的压力传感器23的压力检测值，并在比较各对应各探针22的压力传感器23的压力检测值异常时，向用户反馈警示信息。本实用新型对每一根探针处于工作状态时的实际受压进行检测，以便能够及时发现探针工作的异常状态。

Description

一种激光器驱动探针装置

【技术领域】

本实用新型涉及激光器技术领域，特别是涉及一种激光器驱动探针装置。

【背景技术】

探针式的激光器供电，由于无需对激光器进行管脚的焊接，减少了操作上的复杂度，也简化了激光器被二次测试、运输和存储过程，已经越来越多的被各种器件厂商所采用。

如图1所示，为一典型的基于探针式供电的激光器测试装置，其包括一个芯片放置平台1、一个探针通电装置2、一个六维精密调节架3、一个光斑分析仪4、一个快速固定装置5。通常在进行探针与激光芯片对应PAD(管脚)接触时，仅能凭借操作人员的经验来完成，这对于没有足够经验的新用户来说，提出了较高的要求。并且，在实际使用过程中，探针自身的供电过程中的氧化、变形，以及芯片自身封装过程中存在水平误差等等，都会交给上述经验式操作带来额外的操作风险。

鉴于此，克服该现有技术所存在的缺陷是本技术领域亟待解决的问题。

【实用新型内容】

本实用新型实施例要解决的技术问题是探针自身的供电过程中的氧化、变形，以及芯片自身封装过程中存在水平误差等等，都会给经验式操作带来额外的操作风险问题。

本实用新型实施例采用如下技术方案：

本实用新型提供了一种激光器驱动探针装置，包括芯片放置平台1、探针通电装置2、六维精密调节架3、光斑分析仪4、快速固定装置5和主控制器6，所述探针通电装置2包括探针基座外壳21、探针22、压力传感器23和导电杆 24，具体的：

所述导电杆24设置在所述探针基座外壳21内部，并与所述探针22在垂直方向上固定；其中，所述导电杆24与所述探针22电连；

所述压力传感器23设置在探针基座外壳21内部，用于与固定好的探针22 的尾部抵触；其中，所述压力传感器23的数据端口与主控制器相连；

所述主控制器用于获取对应各探针22的压力传感器23的压力检测值，并在比较各对应各探针22的压力传感器23的压力检测值异常时，向用户反馈警示信息。

优选的，所述装置还包括指示灯7，具体的：

所述指示灯7与所述主控制器6相连，并且，指示灯7包含的指示灯个数与所述探针22的数量相对应；所述指示灯7用于接受主控制器6的驱动信号，呈现对应探针的工作状态。

优选的，所述对应各探针22的指示灯7均配置有至少三种颜色状态灯，其中，绿色为检测到压力正常，黄色为检测到欠压力，红色为检测到过压力；由所述主控制器在获取到各压力传感器的检测值后驱动相应指示灯完成对应状态颜色灯显示。

优选的，所述探针22与所述导电杆24一体成型，并制作成侧卧T形结构， T形的水平部两端分别构成探针的端部和探针的尾部，T形的竖直部构成所述导电杆；其中，探针的端部用于抵触激光芯片的PAD，探针的尾部用于抵触所述压力传感器23。

优选的，所述探针基座外壳21上靠近探针22与所述导电杆24耦合的一侧侧壁上开有导入槽25，所述导入槽25使得所述探针22与所述导电杆24一体成型结构，能够沿着导电杆24轴向方向，从所述开有导入槽25的侧壁插入探针基座外壳21内部，完成所述探针22与所述导电杆24一体成型结构的固定。

优选的，所述探针22的端部用于抵触激光芯片的PAD，所述探针22的尾部与所述压力传感器23抵触，具体的：

所述探针22的尾部还设置有导位槽221，所述导位槽221用于承载固定栓 26；

其中，所述固定栓26与导电杆24之间由弹性结构耦接，在抵接所述导位槽221时，弹性回缩指定距离后固定住所述探针22，并通过所述固定栓26完成探针22与导电杆24的电连。

优选的，所述导位槽221上还设置有定位孔222，具体的：

在所述探针22的尾部抵触到所述压力传感器时，所述固定栓26嵌入所述定位孔222中，从而完成所述探针22在垂直方向上的固定。

优选的，所述探针22具体包括第一探针223和第二探针224，此时激光器芯片包括两个供电电极。

优选的，所述探针22具体包括第一探针223、第二探针224、第三探针225 和第四探针226；其中，第一探针223和第二探针224的长度为第一长度，第三探针225和第四探针226的长度为第二长度。

优选的，所述激光器芯片为EML芯片，其中，第一探针223和第二探针224 分别对应EML芯片的调制器EAM区域电极和激光器区域电极，第三探针225和第四探针226分别对应所述调制器EAM和激光器位于导电底座上电极。

与现有技术相比，本实用新型实施例的有益效果在于：

本实用新型实施例提出了一种携带压力触感器的探针通电装置，从而对每一根探针处于工作状态时的实际受压进行检测，以便能够及时发现探针工作的异常状态。从而解决探针自身的供电过程中的氧化、变形，以及芯片自身封装过程中存在水平误差等等，都会给经验式操作带来额外的操作风险问题，例如因此探针与PAD接触不严密造成适配电阻不稳定的情况发生。

【附图说明】

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。

图1是本实用新型实施例提供的现有的一种激光器驱动探针装置结构示意图；

图2是本实用新型实施例提供的一种激光器驱动探针装置的结构示意图；

图3是本实用新型实施例提供的一种探针通电装置的结构示意图；

图4是本实用新型实施例提供的一种探针结构示意图；

图5是本实用新型实施例提供的另一种探针通电装置的结构示意图；

图6是本实用新型实施例提供的一种探针和导电杆耦合结构示意图；

图7是本实用新型实施例提供的一种导电杆上固定栓的固定结构示意图；

图8是本实用新型实施例提供的一种带定位孔的探针结构示意图。

【具体实施方式】

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

在本实用新型的描述中，术语“内”、“外”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“顶”、“底”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型而不是要求本实用新型必须以特定的方位构造和操作，因此不应当理解为对本实用新型的限制。

此外，下面所描述的本实用新型各个实施方式中所涉及到的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互组合。

实施例1:

本实用新型实施例1提供了一种激光器驱动探针装置，如图2和图3所示，包括芯片放置平台1、探针通电装置2、六维精密调节架3、光斑分析仪4、快速固定装置5和主控制器6，其特征在于，所述探针通电装置2包括探针基座外壳21、探针22、压力传感器23和导电杆24，具体的：

所述导电杆24设置在所述探针基座外壳21内部，并与所述探针22在垂直方向上固定；其中，所述导电杆24与所述探针22电连；

所述压力传感器23设置在探针基座外壳21内部，用于与固定好的探针22 的尾部抵触；其中，所述压力传感器23的数据端口与主控制器相连；

所述主控制器用于获取对应各探针22的压力传感器23的压力检测值，并在比较各对应各探针22的压力传感器23的压力检测值异常时，向用户反馈警示信息。

本实用新型实施例提出了一种携带压力触感器的探针通电装置，从而对每一根探针处于工作状态时的实际受压进行检测，以便能够及时发现探针工作的异常状态。从而解决探针自身的供电过程中的氧化、变形，以及芯片自身封装过程中存在水平误差等等，都会给经验式操作带来额外的操作风险问题，例如因此探针与PAD接触不严密造成适配电阻不稳定的情况发生。

为了能够进一步提高本实用新型实施例中向用户反馈警示信息的实时性和有效性，结合本实用新型实施例还提出了一种优选的扩展方案，如图2所示，所述装置还包括指示灯7，具体的：

所述指示灯7与所述主控制器6相连，并且，指示灯7包含的指示灯个数与所述探针22的数量相对应；所述指示灯7用于接受主控制器6的驱动信号，呈现对应探针的工作状态。

其中，所述对应各探针22的指示灯7均配置有至少三种颜色状态灯，其中，绿色为检测到压力正常，黄色为检测到欠压力，红色为检测到过压力；由所述主控制器在获取到各压力传感器的检测值后驱动相应指示灯完成对应状态颜色灯显示。

在本实用新型实施例中，对于所示探针22与所述导电杆24的组成结构方式，提供了两种可选的方案，具体的：

方式一：

如图3和图4所示，所述探针22与所述导电杆24一体成型，并制作成侧卧T形结构，T形的水平部两端分别构成探针的端部和探针的尾部，T形的竖直部构成所述导电杆；其中，探针的端部用于抵触激光芯片的PAD，探针的尾部用于抵触所述压力传感器23。

如图3所示，所述探针基座外壳21上靠近探针22与所述导电杆24耦合的一侧侧壁上开有导入槽25，所述导入槽25使得所述探针22与所述导电杆24一体成型结构，能够沿着导电杆24轴向方向，从所述开有导入槽25的侧壁插入探针基座外壳21内部，完成所述探针22与所述导电杆24一体成型结构的固定。

方式二：

如图5和图6所示，所述探针22的尾部还设置有导位槽221，所述导位槽221用于承载固定栓26(优选的是，所述固定栓的顶部被制作成圆形，从而提高接触面和拆装便携程度)；其中，所述探针22的端部用于抵触激光芯片的PAD，所述探针22的尾部与所述压力传感器23抵触。

其中，所述固定栓26与导电杆24之间由弹性结构耦接(例如弹簧或者弹片，如图7所示)，在抵接所述导位槽221时，弹性回缩指定距离后固定住所述探针22，并通过所述固定栓26完成探针22与导电杆24的电连。

如图8所示，基于上述实现方式二，还存在一种优选的扩展方案，即所述导位槽221上还设置有定位孔222，具体的：

在所述探针22的尾部抵触到所述压力传感器时，所述固定栓26嵌入所述定位孔222中，从而完成所述探针22在垂直方向上的固定。

在本实用新型中，探针22的数量可以根据具体的测试场景进行配置，例如，所述探针22具体包括第一探针223和第二探针224，此时激光器芯片包括两个供电电极。

还可以是，所述探针22具体包括第一探针223、第二探针224、第三探针 225和第四探针226；其中，第一探针223和第二探针224的长度为第一长度，第三探针225和第四探针226的长度为第二长度。例如：所述激光器芯片为EML 芯片，其中，第一探针223和第二探针224分别对应EML芯片的调制器EAM区域电极和激光器区域电极，第三探针225和第四探针226分别对应所述调制器 EAM和激光器位于导电底座上电极。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种激光器驱动探针装置，包括芯片放置平台(1)、探针通电装置(2)、六维精密调节架(3)、光斑分析仪(4)、快速固定装置(5)和主控制器(6)，其特征在于，所述探针通电装置(2)包括探针基座外壳(21)、探针(22)、压力传感器(23)和导电杆(24)，具体的：

所述导电杆(24)设置在所述探针基座外壳(21)内部，并与所述探针(22)在垂直方向上固定；其中，所述导电杆(24)与所述探针(22)电连；

所述压力传感器(23)设置在探针基座外壳(21)内部，用于与固定好的探针(22)的尾部抵触；其中，所述压力传感器(23)的数据端口与主控制器相连；

所述主控制器用于获取对应各探针(22)的压力传感器(23)的压力检测值，并在比较各对应各探针(22)的压力传感器(23)的压力检测值异常时，向用户反馈警示信息。

2.根据权利要求1所述的激光器驱动探针装置，其特征在于，所述装置还包括指示灯(7)，具体的：

所述指示灯(7)与所述主控制器(6)相连，并且，指示灯(7)包含的指示灯个数与所述探针(22)的数量相对应；所述指示灯(7)用于接受主控制器(6)的驱动信号，呈现对应探针的工作状态。

3.根据权利要求2所述的激光器驱动探针装置，其特征在于，所述对应各探针(22)的指示灯(7)均配置有至少三种颜色状态灯，其中，绿色为检测到压力正常，黄色为检测到欠压力，红色为检测到过压力；由所述主控制器在获取到各压力传感器的检测值后驱动相应指示灯完成对应状态颜色灯显示。

4.根据权利要求1所述的激光器驱动探针装置，其特征在于，所述探针(22)与所述导电杆(24)一体成型，并制作成侧卧T形结构，T形的水平部两端分别构成探针的端部和探针的尾部，T形的竖直部构成所述导电杆；其中，探针的端部用于抵触激光芯片的PAD，探针的尾部用于抵触所述压力传感器(23)。

5.根据权利要求4所述的激光器驱动探针装置，其特征在于，所述探针基座外壳(21)上靠近探针(22)与所述导电杆(24)耦合的一侧侧壁上开有导入槽(25)，所述导入槽(25)使得所述探针(22)与所述导电杆(24)一体成型结构，能够沿着导电杆(24)轴向方向，从所述开有导入槽(25)的侧壁插入探针基座外壳(21)内部，完成所述探针(22)与所述导电杆(24)一体成型结构的固定。

6.根据权利要求1所述的激光器驱动探针装置，其特征在于，所述探针(22)的端部用于抵触激光芯片的PAD，所述探针(22)的尾部与所述压力传感器(23)抵触，具体的：

所述探针(22)的尾部还设置有导位槽(221)，所述导位槽(221)用于承载固定栓(26)；

其中，所述固定栓(26)与导电杆(24)之间由弹性结构耦接，在抵接所述导位槽(221)时，弹性回缩指定距离后固定住所述探针(22)，并通过所述固定栓(26)完成探针(22)与导电杆(24)的电连。

7.根据权利要求6所述的激光器驱动探针装置，其特征在于，所述导位槽(221)上还设置有定位孔(222)，具体的：

在所述探针(22)的尾部抵触到所述压力传感器时，所述固定栓(26)嵌入所述定位孔(222)中，从而完成所述探针(22)在垂直方向上的固定。

8.根据权利要求1所述的激光器驱动探针装置，其特征在于，所述探针(22)具体包括第一探针(223)和第二探针(224)，此时激光器芯片包括两个供电电极。

9.根据权利要求1所述的激光器驱动探针装置，其特征在于，所述探针(22)具体包括第一探针(223)、第二探针(224)、第三探针(225)和第四探针(226)；其中，第一探针(223)和第二探针(224)的长度为第一长度，第三探针(225)和第四探针(226)的长度为第二长度。

10.根据权利要求9所述的激光器驱动探针装置，其特征在于，所述激光器芯片为EML芯片，其中，第一探针(223)和第二探针(224)分别对应EML芯片的调制器EAM区域电极和激光器区域电极，第三探针(225)和第四探针(226)分别对应所述调制器EAM和激光器位于导电底座上电极。