CN208918795U - 一种真空扩散焊散的抽真空装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种真空扩散焊的抽真空装置，包括通过管道连接的叶片泵、真空泵和油扩散泵，所述叶片泵与所述真空泵之间设置有电磁阀，所述电磁阀通过波纹管与所述真空泵进行连接，所述真空泵与所述油扩散泵之间连接有两套独立的管道，两套所述管道分别为第一管道和第二管道，两套所述管道上均连接有一真空阀，设置在所述第一管道上设真空阀为第一真空阀，设置在所述第二管道上的真空阀为第二真空阀。本抽真空装置为三级抽真空装置，具有良好的抽真空的效果。
Description
技术领域
本实用新型涉及抽真空技术领域，具体涉及一种真空扩散焊的抽真空装置。
背景技术
现有技术的真空扩散焊设备的抽真空装置通常采用一个真空泵进行抽真空，但是只有一个真空泵的抽真空装置的抽真空效果不佳，且当真空泵出现故障时就不能进行生产。
实用新型内容
本实用新型提供一种真空扩散焊的抽真空装置，以解决上述技术问题。
本实用新型提供一种真空扩散焊的抽真空装置，包括通过管道连接的叶片泵、真空泵和油扩散泵，所述叶片泵与所述真空泵之间设置有电磁阀，所述电磁阀通过波纹管与所述真空泵进行连接，所述真空泵与所述油扩散泵之间连接有两套独立的管道，两套所述管道分别为第一管道和第二管道，两套所述管道上均连接有一真空阀，设置在所述第一管道上设真空阀为第一真空阀，设置在所述第二管道上的真空阀为第二真空阀。
优选地，所述真空泵为罗茨泵。
优选地，所述真空阀与所述管道之间设置有密封圈。
优选地，所述真空泵的外壳内层设置有降温水道。
优选地，所述管道壁的内层中开设有布线管道。
与现有技术相比本实用新型具有以下优点：
本实用新型的真空扩散焊的抽真空装置，包括通过管道连接的叶片泵、真空泵和油扩散泵，所述叶片泵与所述真空泵之间设置有电磁阀，所述电磁阀通过波纹管与所述真空泵进行连接，所述真空泵与所述油扩散泵之间连接有两套独立的管道，两套所述管道分别为第一管道和第二管道，两套所述管道上均连接有一真空阀，设置在所述第一管道上设真空阀为第一真空阀，设置在所述第二管道上的真空阀为第二真空阀。
本抽真空装置为三级抽真空装置，先通过所述抽真空泵单独粗抽真空，然增开所述叶片泵抽真空，最后三泵其开实现精抽真空操作。
本抽真空装置的其中一个泵出现故障后可以将其关闭，利用其它的泵进行抽真空操作。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。
图1是本实用新型实施例中的真空扩散焊的抽真空装置的结构示意图；
图2是本实用新型实施例中的管道的结构示意图。
附图标记：
1、叶片泵；
2、真空泵；
3、油扩散泵；
4、电磁阀；
5、波纹管；
6、第一管道；
7、第二管道；
8、第一真空阀；
9、第二真空阀；
10、密封圈；
11、布线管道。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。
如图1～2所示，一种真空扩散焊的抽真空装置，包括通过管道连接的叶片泵1、真空泵2和油扩散泵3，所述叶片泵与所述真空泵之间设置有电磁阀4，所述电磁阀通过波纹管5与所述真空泵进行连接，所述真空泵与所述油扩散泵之间连接有两套独立的管道，两套所述管道分别为第一管道6和第二管道7，两套所述管道上均连接有一真空阀8，设置在所述第一管道上设真空阀为第一真空阀，设置在所述第二管道上的真空阀为第二真空阀9。
优选地，所述真空泵为罗茨泵。所述真空阀与所述管道之间设置有密封圈 10。所述真空泵的外壳内层设置有降温水道。所述管道壁的内层中开设有布线管道11。
工作时，先将所述叶片泵与所述罗茨泵之间的所述电磁阀关闭，将所述第一真空阀关闭，打开第二真空阀，然后启动所述罗茨泵，所述罗茨泵通过所述第一管道进行抽真空；当所述罗茨泵将设备中的真空抽至设定值后，打开所述叶片泵与所述罗茨泵之间的电磁阀，同时启动所述叶片泵，此时所述叶片泵与所述罗茨泵同时工作通过所述第一管道进行抽真空；当设备中的真空抽至设定值后，关闭所述第一真空阀，打开所述第二真空阀，同时启动所述油扩散泵，此时三泵同时开启，通过所述第二管道进行抽真空。
这样的三级抽真空设置能使得设备中具有良好的真空环境。
在工作时，当其中一个泵不能使用时，可以通过其它的泵进行抽真空。比如，当所述有扩散泵不能工作时，可以通过所述罗茨泵和所述叶片泵给设备进行抽真空操作；所述叶片本损坏，可以通过所述罗茨泵和所述有扩散泵进行抽真空操作；当所述罗茨泵损坏，则可以通过所述有扩散泵进行抽真空操作。
相所述降温水道中注入冷水，可以实现给所述泵进行降温的效果；所述布线管道具有方便导线布线的功能。
以上对本实用新型实施例所提供的一种真空扩散焊的抽真空装置进行了详细介绍，本文中应用了具体个例对本实用新型的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本实用新型的核心思想；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本实用新型的思想和方法，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本实用新型的限制。
Claims (2)
1.一种真空扩散焊的抽真空装置，其特征在于：包括通过管道连接的叶片泵、真空泵和油扩散泵，所述叶片泵与所述真空泵之间设置有电磁阀，所述电磁阀通过波纹管与所述真空泵进行连接，所述真空泵与所述油扩散泵之间连接有两套独立的管道，两套所述管道分别为第一管道和第二管道，两套所述管道上均连接有一真空阀，设置在所述第一管道上设真空阀为第一真空阀，设置在所述第二管道上的真空阀为第二真空阀；所述真空泵为罗茨泵；所述真空阀与所述管道之间设置有密封圈。
2.根据权利要求1所述的真空扩散焊的抽真空装置，其特征在于：所述管道壁的内层中开设有布线管道。
Priority Applications (1)
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| CN201720591111.3U CN208918795U (zh) | 2017-05-24 | 2017-05-24 | 一种真空扩散焊散的抽真空装置 |
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Publications (1)
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Family Applications (1)
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| CN201720591111.3U Expired - Fee Related CN208918795U (zh) | 2017-05-24 | 2017-05-24 | 一种真空扩散焊散的抽真空装置 |
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| CN (1) | CN208918795U (zh) |
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