CN208399975U - 一种并联式真空系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种并联式真空系统。包括机械泵（1），机械泵（1）经三通管（2）分别与分子泵（3）和总管路（4）连接，总管路（4）并联有一个以上的石英管（5），总管路（4）还与分子泵（3）连接；所述的三通管（2）的两个支路上分别设有用于通/断分子泵（3）和总管路（4）管路的阀门Ⅰ（6）和阀门Ⅱ（7）；所述的总管路（4）与石英管（5）间还设有控制阀（8），控制阀（8）与控制器（9）连接。本实用新型具有降低成本和抽取的真空度高的特点。

Description

一种并联式真空系统

技术领域

本实用新型一种真空系统，特别是一种并联式真空系统。

背景技术

目前的真空系统多采取机械泵和分子泵组合对设备进行抽真空，一套机械泵和分子泵只能抽取单个密闭容器。单套真空系统，抽取单个密封空间，存在以下缺点：1.设备成本非常高。2.抽取的真空度数值效果也不理想。

实用新型内容

本实用新型的目的在于，提供一种并联式真空系统。本实用新型具有降低成本和抽取的真空度高的特点。

本实用新型的技术方案：一种并联式真空系统，包括机械泵，机械泵经三通管分别与分子泵和总管路连接，总管路并联有一个以上的石英管，总管路还与分子泵连接；所述的三通管的两个支路上分别设有用于通/断分子泵和总管路管路的阀门Ⅰ和阀门Ⅱ；所述的总管路与石英管间还设有控制阀，控制阀与控制器连接。

前述的并联式真空系统中，所述的分子泵的型号是FF-200/1200C。

前述的并联式真空系统中，所述的石英管的管径为90～110mm，长为1300mm。前述的并联式真空系统中，所述的总管路并联有4个石英管。

前述的并联式真空系统中，所述的控制器，为PLC控制器。

有益效果

与现有技术相比，本实用新型将机械泵经三通管分别与分子泵和总管路连接，总管路并联有多个石英管，总管路还与分子泵连接；三通管的两个支路上分别设有阀门Ⅰ和阀门Ⅱ；总管路与石英管间还设有控制阀，控制阀与控制器连接；在抽取真空时，先关闭阀门Ⅰ和打开阀门Ⅱ，之后再打开待抽取真空石英管的控制阀，机械泵启动直接对石英管进行低真空的抽取；抽取完成后，关闭该石英管的控制阀，打开下一石英管的控制阀，机械泵对所述的下一石英管进行低真空的抽取；抽取完成后，再关闭控制阀，打开下一控制阀，如此循环，直至逐个完成每个石英管低真空的抽取；之后关闭开阀门Ⅱ，打开阀门Ⅰ，真空泵启动，打开所有的控制阀，进行所有石英管的高真空的抽取；通过该结构，实现了一套将机械泵和分子泵完成多个石英管的真空抽取；极大降低了设备成本(即节约了多套机械泵和分子泵)。本实用新型在抽取低真空时，通过对控制阀的控制，完成对并联于总管路上的石英管的低真空的逐个抽取(即低真空时，石英管采用独立抽取)；该结构，能够避免在抽取低真空时，各石英管间存在的压差相互相影，而影响抽取效果的情况，有效提高了真空抽取时的稳定性，确保石英管抽取后的真空度。

综上，本实用新型具有降低成本和抽取的真空度高的特点。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图。

附图中的标记为：1-机械泵，2-三通管，3-分子泵，4-总管路，5-石英管，6-阀门Ⅰ，7-阀门Ⅱ，8-控制阀，9-控制器。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步的说明，但并不作为对本实用新型限制的依据。

实施例。一种并联式真空系统，构成如图1所示，包括机械泵1，机械泵1经三通管2分别与分子泵3和总管路4连接，总管路4并联有一个以上的石英管5，总管路4还与分子泵3连接；所述的三通管2的两个支路上分别设有用于通/断分子泵3和总管路4管路的阀门Ⅰ6和阀门Ⅱ7；所述的总管路4与石英管5间还设有控制阀8，控制阀8与控制器9连接。

抽取真空时，先进行低真空抽取，在进行高真空抽取。

低真空抽取需逐个对石英管5进行(即独立抽取)，具体步骤如下：先关闭阀门Ⅰ6和打开阀门Ⅱ7，之后再打开待抽取真空石英管5的控制阀8，机械泵1启动直接对石英管5进行低真空的抽取；抽取真空至10°(即真空度为1)后，关闭该石英管5的控制阀8，打开下一石英管5的控制阀8，机械泵1对所述的下一石英管5进行低真空的抽取；抽取真空至10°后后，再关闭控制阀8，打开下一控制阀，如此循环，直至逐个完成每个石英管5低真空的抽取。上述步骤能够避免在抽取低真空时，各石英管间存在的压差相互相影，而影响抽取效果的情况，有效提高了真空抽取时的稳定性，确保石英管抽取后的真空度。如石英管的低真空抽取完成后，不关闭与其对应的控制阀而进行下一石英管低真空的抽取，会出现下述情况：已抽好低真空的石英管的真空度变高，在完成所有石英管的抽低真空后进入抽高真空时，会因石英管相互间的联通影响使得石英管的真空无法达到原来预设的真空值。

高真空抽取步骤如下：在每个石英管5的低真空抽取完毕后，关闭开阀门Ⅱ7，打开阀门Ⅰ6，分子泵启动，打开所有的控制阀，进行所有石英管5的高真空的抽取。

前述的分子泵3的型号是FF-200/1200C。

前述的石英管5的管径为90～110mm，长为1300mm。

前述的总管路4并联有4个石英管5。

前述的并联式真空系统中，所述的控制器9，为PLC控制器。

本实用新型通过机械泵和分子泵的参数进行计算，得出可以并联的真空系统的个数。

a.由于本系统需要先抽低真空至10°也即是真空度为1的时候才进行抽高真空，极限真空要求是2.0*10^-3Pa。采用FF-200/1200C的高性能复合分子泵，也就是说其速率是1200L/S。石英管的直径尺寸是90mm-110mm，长1300mm。其每支石英管的体积就是：

在理想状态下的泵抽真空速率为：

由上式可得理想状态下最大尺寸每支石英管在分子泵全速率运行下的抽真空时间约为64s，由于分子泵在电机的带动下高速旋转，采用变频电源驱动电机，目的是得到较高的转速。在分子流区域内，气体分子与高速转到的叶片表面碰撞，动量传递给气体分子，使部分气体分子在刚体表面的运动方向上，产生定向流动而被排出泵外，从而达到抽气的目的。泵的启动到满速会有一定的时间，并且在此过程还要抽真空。考虑到机械效率问题，将每支石英管抽取低真空的时间设为5min以内；如果4支石英管一起抽高真空，分子泵只需要一次启动，所以完成4支的抽真空会在20min以内，能够满足生产工艺的要求。

b、通过机械泵、分子泵及各管路、阀门进行并联式真空系统的安装。采用5.0和4.0的不锈钢管进行焊接，因此会在接口处有一定的漏点，在高真空下可能会漏气，为保证真空达到要求，让抽真空速率大于漏点的漏气速率，于是先预设4支石英管进行试验。

c、通过PLC可编程逻辑控制器，进行程序编写，控制各路真空系统的阀门开关。单只石英管会有单独的真空规对石英管的真空进行实时监控，其真空值会设定为控制系统的反馈回路给予控制操作台能否打开抽真空的下一环节。反馈回路的监控互锁设定使得在某一只出现真空泄漏的时候及时保护其它石英管的真空不受到影响，在生产中会遇到某两支石英管需要先后进行抽真空，在完成前一支的抽真空完成以后，减少生产损失。

Claims (5)

1.一种并联式真空系统，其特征在于：包括机械泵（1），机械泵（1）经三通管（2）分别与分子泵（3）和总管路（4）连接，总管路（4）并联有一个以上的石英管（5），总管路（4）还与分子泵（3）连接；所述的三通管（2）的两个支路上分别设有用于通/断分子泵（3）和总管路（4）管路的阀门Ⅰ（6）和阀门Ⅱ（7）；所述的总管路（4）与石英管（5）间还设有控制阀（8），控制阀（8）与控制器（9）连接。

2.根据权利要求1所述的并联式真空系统，其特征在于：所述的分子泵（3）的型号是FF-200/1200C。

3.根据权利要求2所述的并联式真空系统，其特征在于：所述的石英管（5）的管径为90～110mm，长为1300mm。

4.根据权利要求3所述的并联式真空系统，其特征在于：所述的总管路（4）并联有4个石英管（5）。

5.根据权利要求4所述的并联式真空系统，其特征在于：所述的控制器（9），为PLC控制器。