CN208861963U - 一种晶元蓝膜固定装置 - Google Patents

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向军
冯霞霞
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Abstract

本实用新型提供了一种晶元蓝膜固定装置,包括托盘,所述托盘上设置有夹紧晶元蓝膜的夹紧工装,所述托盘转动设置在支座上,所述支座上设置有调节电机,所述调节电机为伺服电机或者步进电机,所述调节电机的转轴上设置有驱动轮,所述驱动轮可驱动所述托盘转动,通过设置可转动的托盘并通过调节电机驱动托盘转动进而来调节晶元蓝膜安装到托盘上后在旋转方向的角度,避免了人工进行对位,提升了晶元蓝膜安装的工作效率,提高了安装定位的精度。

Description

一种晶元蓝膜固定装置
技术领域
本实用新型涉及贴片式二极管封装领域,尤其涉及一种晶元蓝膜固定装置。
背景技术
晶元蓝膜在二极管封装中被广泛实用,对其进行定位后再对其进行后道取晶等操作。现有技术中,晶元蓝膜的安装是通过在工装上定位安装的,现有的工装只能将晶元蓝膜在平面上进行横向和纵向两个方向进行定位,在转动方向的定位需要人工进行转动对位,需要耗费操作人员大量精力,且安装精度较差,安装效率较低。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是:现有的晶元蓝膜在转动方向上需要人工进行对位安装,效率较低,精度较低,本实用新型提供了一种晶元蓝膜固定装置来解决上述问题。
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是:一种晶元蓝膜固定装置,包括托盘,所述托盘上设置有夹紧晶元蓝膜的夹紧工装,所述托盘转动设置在支座上,所述支座上设置有调节电机,所述调节电机为伺服电机或者步进电机,所述调节电机的转轴上设置有驱动轮,所述驱动轮可驱动所述托盘转动。
进一步地:所述驱动轮通过同步带驱动所述托盘转动。
进一步地:所述夹紧工装包括气缸、固定半环和活动半环,所述气缸的缸体固定设置在所述托盘上,所述活动半环固定设置在所述气缸的活塞杆上,所述气缸的活塞杆向外伸出将所述活动半环向所述固定半环方向顶推并能夹紧所述晶元蓝膜的外周。
进一步地:所述晶元蓝膜固定装置还包括横向丝杠、横向滑台、横向电机、纵向丝杠、纵向滑台和纵向电机;所述纵向丝杠固定设置,所述纵向滑台安装在所述纵向丝杠上,所述纵向丝杠在所述纵向电机的驱动下转动并能带动所述纵向滑台沿纵向运动;所述横向丝杠设置在所述纵向滑台上,所述横向滑台安装在所述横向丝杠上,所述横向丝杠在所述横向电机的驱动下转动并能带动所述横向滑台沿横向运动;所述支座设置在所述横向滑台上。
本实用新型的有益效果是,本实用新型一种晶元蓝膜固定装置通过设置可转动的托盘并通过调节电机驱动托盘转动进而来调节晶元蓝膜安装到托盘上后在旋转方向的角度,避免了人工进行对位,提升了晶元蓝膜安装的工作效率,提高了安装定位的精度。
附图说明
下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
图1和图2是本实用新型一种晶元蓝膜固定装置的结构示意图。
图中1、托盘,2、支座,3、调节电机,4、驱动轮,5、同步带,6、气缸,7、固定半环,8、活动半环,9、纵向丝杠,10、纵向滑台,11、纵向电机,12、横向丝杠,13、横向滑台,14、横向电机。
具体实施方式
下面详细描述本实用新型的实施例,所述实施例的示例在附图中示出,其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的,仅用于解释本实用新型,而不能理解为对本实用新型的限制。相反,本实用新型的实施例包括落入所附加权利要求书的精神和内涵范围内的所有变化、修改和等同物。
在本实用新型的描述中,需要理解的是,术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本发明和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本发明的限制。
此外,术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性。在本实用新型的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。此外,在本实用新型的描述中,除非另有说明,“多个”的含义是两个或两个以上。
流程图中或在此以其他方式描述的任何过程或方法描述可以被理解为,表示包括一个或更多个用于实现特定逻辑功能或过程的步骤的可执行指令的代码的模块、片段或部分,并且本实用新型的优选实施方式的范围包括另外的实现,其中可以不按所示出或讨论的顺序,包括根据所涉及的功能按基本同时的方式或按相反的顺序,来执行功能,这应被本实用新型的实施例所属技术领域的技术人员所理解。
如图1和图2所示,本实用新型提供了一种晶元蓝膜固定装置,包括托盘1,所述托盘1上设置有夹紧晶元蓝膜的夹紧工装,所述托盘1转动设置在支座2上,所述支座2上设置有调节电机3,所述调节电机3为伺服电机或者步进电机,所述调节电机3的转轴上设置有驱动轮4,所述驱动轮4可驱动所述托盘1转动。
晶元蓝膜被安装到夹紧工装上,通过传感器或者光学的测量工具可以测量晶元蓝膜在转动方向上的偏移角度,操作人员可以通过控制调节电机3的输出量进而控制驱动轮4输出角度,将托盘1在转动方向上调整至设定值,以此来完成晶元蓝膜在转动方向上的定位。调节电机3采用伺服电机或者步进电机可以实现电机的输出量可以由输入量来控制,满足对驱动轮4输出角度精确控制的需求。
所述驱动轮4通过同步带5驱动所述托盘1转动,同步带5传动一方面可以满足小尺寸的传动要求,有效避免打滑并保障了驱动的精度。所述夹紧工装包括气缸6、固定半环7和活动半环8,所述气缸6的缸体固定设置在所述托盘1上,所述活动半环8固定设置在所述气缸6的活塞杆上,所述气缸6的活塞杆向外伸出将所述活动半环8向所述固定半环7方向顶推并能夹紧所述晶元蓝膜的外周。
气缸6的活塞缸的伸缩能够实现夹紧工装的夹紧和释放的动作,气缸6的活塞缸伸出可以使得夹紧工装固定夹紧晶元蓝膜,气缸6的活塞杆缩回能够实现夹紧工装释放所夹紧的晶元蓝膜,这种方式可以实现对晶元蓝膜的可靠夹紧,同时释放简单迅速。
所述晶元蓝膜固定装置还包括横向丝杠12、横向滑台13、横向电机14、纵向丝杠9、纵向滑台10和纵向电机11;所述纵向丝杠9固定设置,所述纵向滑台10安装在所述纵向丝杠9上,所述纵向丝杠9在所述纵向电机11的驱动下转动并能带动所述纵向滑台10沿纵向运动;所述横向丝杠12设置在所述纵向滑台10上,所述横向滑台13安装在所述横向丝杠12上,所述横向丝杠12在所述横向电机14的驱动下转动并能带动所述横向滑台13沿横向运动;所述支座2设置在所述横向滑台13上。
横向电机14驱动横向滑台13移动,可以使得支座2具有横向自由度,纵向滑台10驱动纵向滑台10移动,可以使得支座2具有纵向自由度,这种方式使得支座2上的托盘1和晶元蓝膜就具有了横向和纵向的自由度,可以在平面上调整位置,便于对晶元蓝膜的后道操作。
在本说明书的描述中,参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中,对所述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且,描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
以上述依据本实用新型的理想实施例为启示,通过上述的说明内容,相关工作人员完全可以在不偏离本项实用新型技术思想的范围内,进行多样的变更以及修改。本项实用新型的技术性范围并不局限于说明书上的内容,必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。

Claims (4)

1.一种晶元蓝膜固定装置,包括托盘(1),所述托盘(1)上设置有夹紧晶元蓝膜的夹紧工装,其特征在于:所述托盘(1)转动设置在支座(2)上,所述支座(2)上设置有调节电机(3),所述调节电机(3)为伺服电机或者步进电机,所述调节电机(3)的转轴上设置有驱动轮(4),所述驱动轮(4)可驱动所述托盘(1)转动。
2.如权利要求1所述的一种晶元蓝膜固定装置,其特征在于:所述驱动轮(4)通过同步带(5)驱动所述托盘(1)转动。
3.如权利要求2所述的一种晶元蓝膜固定装置,其特征在于:所述夹紧工装包括气缸(6)、固定半环(7)和活动半环(8),所述气缸(6)的缸体固定设置在所述托盘(1)上,所述活动半环(8)固定设置在所述气缸(6)的活塞杆上,所述气缸(6)的活塞杆向外伸出将所述活动半环(8)向所述固定半环(7)方向顶推并能夹紧所述晶元蓝膜的外周。
4.如权利要求3所述的一种晶元蓝膜固定装置,其特征在于:所述晶元蓝膜固定装置还包括横向丝杠(12)、横向滑台(13)、横向电机(14)、纵向丝杠(9)、纵向滑台(10)和纵向电机(11);所述纵向丝杠(9)固定设置,所述纵向滑台(10)安装在所述纵向丝杠(9)上,所述纵向丝杠(9)在所述纵向电机(11)的驱动下转动并能带动所述纵向滑台(10)沿纵向运动;所述横向丝杠(12)设置在所述纵向滑台(10)上,所述横向滑台(13)安装在所述横向丝杠(12)上,所述横向丝杠(12)在所述横向电机(14)的驱动下转动并能带动所述横向滑台(13)沿横向运动;所述支座(2)设置在所述横向滑台(13)上。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114649255A (zh) * 2022-03-14 2022-06-21 马丁科瑞半导体技术(南京)有限公司 一种晶圆台蓝膜张紧方法及调整机构
CN118380348A (zh) * 2024-06-21 2024-07-23 马丁科瑞半导体(浙江)有限公司 扩环机构、晶圆台及装片机

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