CN208857391U - 一种蓝宝石单晶炉冷却装置 - Google Patents
一种蓝宝石单晶炉冷却装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN208857391U CN208857391U CN201821087024.5U CN201821087024U CN208857391U CN 208857391 U CN208857391 U CN 208857391U CN 201821087024 U CN201821087024 U CN 201821087024U CN 208857391 U CN208857391 U CN 208857391U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- water inlet
- pipe
- inlet pipe
- plc controller
- furnace
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
本实用新型提供一种蓝宝石单晶炉冷却装置，包括循环泵组，总进水管、总回水管，蓝宝石单晶炉上方设置有高位水箱，高位水箱配有高位进水管和高位出水管、液位变送器、报警装置、电磁球阀、流速变送器、PLC控制器，其中，循环泵组的电源电路、液位变送器、流速变送器连接PLC控制器输入端口，PLC控制器输出端口连接电磁球阀、报警装置和蓝宝石单晶炉加热装置电源电路。当出现供电故障时，可迅速切换供水源，使单晶炉还能够维持运行，同时设置感应器和PLC控制器，当备用电源也无法及时启动且检测到水箱中剩余水量无法在安全的时间范围内维持循环时，再关闭单晶炉，即可在不影响安全生产的前提下，挽回不必要的经济损失。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种冷却设备，特别涉及一种蓝宝石单晶炉冷却装置。
背景技术
蓝宝石晶体生产中，泡生法是常用的方法，生产过程中需要大量的冷却水循环水给炉体降温，冷却循环水的作用是保护通水结构免于受热变形和通过散热促进炉内梯度形成。若因供电问题导致冷却水循环停止，会导致炉内晶体生长环境破坏，造成经济损失，若循环停止时间过长，则随时会有爆炸的危险。现有的防范机制为，一旦供电线路出现问题，切换备用电源，同时炉内加热即停止，这样对企业的经济损失较大，如切换不及时或备用电源也出现故障，对设备的安全运转是极为不利的。
发明内容
针对现有技术的不足，本实用新型提供一种蓝宝石单晶炉冷却装置。
本实用新型采用的技术方案是：一种蓝宝石单晶炉冷却装置，包括循环泵组，总进水管、总回水管，总进水管分为炉体进水管、炉盖进水管、电极进水管、籽晶杆进水管，总回水管分为炉体回水管、炉盖回水管、电极回水管、籽晶杆回水管，所述循环泵组设置于总进水管，蓝宝石单晶炉上方设置有高位水箱，高位水箱配有高位进水管和高位出水管，高位水箱内设置液位变送器，高位水箱外设置报警装置，高位出水管设置有电磁球阀和流速变送器，所述高位出水管与所述炉体进水管、炉盖进水管、电极进水管、籽晶杆进水管连通，所述液位变送器、流速变送器、电磁球阀匹配有PLC控制器，其中，循环泵组的电源电路、液位变送器、流速变送器连接PLC控制器输入端口，PLC控制器输出端口连接电磁球阀、报警装置和蓝宝石单晶炉加热装置电源电路。
本实用新型设置高位水箱，当出现供电故障时，可迅速切换供水源，使单晶炉还能够维持运行，同时设置感应器和PLC控制器，当备用电源也无法及时启动且检测到水箱中剩余水量无法在安全的时间范围内维持循环时，再关闭单晶炉，即可在不影响安全生产的前提下，挽回不必要的经济损失。
附图说明
图1为本实用新型实施例一结构示意图；
图2为本实用新型实施例一电控结构示意图；
图3为本实用新型实施例二结构示意图。
图中：1-总进水管，11-炉体进水管，12-炉盖进水管，13-电极进水管，14-籽晶杆进水管，15-循环泵组，2-总回水管，21-炉体回水管，22-炉盖回水管，23-电极回水管，24-籽晶杆回水管，25-回水水池，3-高位水箱，31-高位进水管，32-高位出水管，33-液位变送器，34-电磁球阀，35-流速变送器，36-警报器，37-手动开闭阀门，4-PLC控制器，41-继电器，5-单晶炉。
具体实施方式
实施例一：
如图1所示，一种蓝宝石单晶炉冷却装置，包括总进水管1、总回水管2，总进水管分为炉体进水管11、炉盖进水管12、电极进水管13、籽晶杆进水管14，总回水管分为炉体回水管21、炉盖回水管22、电极回水管23、籽晶杆回水管24，总进水管设置有循环泵组15，总回水管连接回水水池25。单晶炉5上方设置有高位水箱3，高位水箱匹配有高位进水管31和高位出水管32，高位水箱内设置液位变送器33，高位水箱外设置警报器36，高位出水管32设置有电磁球阀34、流速变送器35和手动开闭阀门37，高位出水管32与所述炉体进水管11、炉盖进水管12、电极进水管13、籽晶杆进水管14连通。电磁球阀34得电关闭，失电开启，手动开闭阀门37在单晶炉工作时开启，单晶炉停止工作并完全冷却后关闭。
如图2所示，PLC控制器4输入端连接循环泵组15的电源电路、液位变送器33和流速变送器35，输出端连接电磁球阀34电磁铁、警报器36和继电器41电磁铁，其中，继电器41感应开关串联于单晶炉加热电路R中，感应开关为常闭触点，PLC控制器4、液位变送器3、流速变送器35独立供电。
冷却装置正常工作时，循环泵组15将冷却水由总进水管分别通过炉体进水管11、炉盖进水管12、电极进水管13、籽晶杆进水管14向单晶炉各个需冷却的部件供应冷却水，再由炉体回水管21、炉盖回水管22、电极回水管23、籽晶杆回水管24汇总至总回水管2，最终排入回水水池25。由于循环泵组供电线路正常，对应PLC控制器输入端口得电，对应输出端口向电磁球阀供电，电磁球阀关闭。
当循环泵组供电线路故障时，对应PLC控制器输入端口失电，对应输出端口停止向电磁球阀供电，电磁球阀失电开启，高位水箱中的冷却水由高位出水管32进入各进水管继续循环，同时，液位变送器33、流速变送器35向PLC控制器发送实时数据，PLC控制器通过液位变送器传送的数据计算出水箱中剩余冷却水的体积，再由流速变送器传送的流速数据，计算出高位水箱能够供水的时间，可根据实际工况设定一个触发值，当供水时间低于触发值而循环泵组依然没有供电时，对应输出端口向继电器电磁铁供电，继电器感应开关断开，单晶炉加热停止。
实施例二：
如图3所示，高位水箱3可同时连接多个单晶炉的冷却管路，无论是一个单晶炉或多个单晶炉的循环泵组出现供电故障，高位水箱均可在第一时间供水。
本实用新型中的PLC控制器相关功能为常用的PLC控制器普遍具备的功能，如西门子S7-200，S7-300系列均可实现实施例中所述功能。说明书及附图中部分技术内容没有全部阐明，如循环泵组所在电路和单晶炉加热电路、液位变送器及流速变送器电源、单晶炉具体结构等，上述均为本领域常规技术，且与本实用新型要点无密切关联，因此上述技术内容的省略不影响本实用新型技术内容的完整性。
Claims (1)
1.一种蓝宝石单晶炉冷却装置，包括循环泵组，总进水管、总回水管，总进水管分为炉体进水管、炉盖进水管、电极进水管、籽晶杆进水管，总回水管分为炉体回水管、炉盖回水管、电极回水管、籽晶杆回水管，所述总进水管匹配设置有循环泵组，其特征是：蓝宝石单晶炉上方设置有高位水箱，高位水箱配有高位进水管和高位出水管，高位水箱内设置液位变送器，高位水箱外设置报警装置，高位出水管设置有电磁球阀和流速变送器，所述高位出水管与所述炉体进水管、炉盖进水管、电极进水管、籽晶杆进水管连通，所述液位变送器、流速变送器、电磁球阀匹配有PLC控制器，其中，循环泵组的电源电路、液位变送器、流速变送器连接PLC控制器输入端口，PLC控制器输出端口连接电磁球阀、报警装置和蓝宝石单晶炉加热装置电源电路。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201821087024.5U CN208857391U (zh) | 2018-07-10 | 2018-07-10 | 一种蓝宝石单晶炉冷却装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201821087024.5U CN208857391U (zh) | 2018-07-10 | 2018-07-10 | 一种蓝宝石单晶炉冷却装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN208857391U true CN208857391U (zh) | 2019-05-14 |
Family
ID=66412502
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201821087024.5U Active CN208857391U (zh) | 2018-07-10 | 2018-07-10 | 一种蓝宝石单晶炉冷却装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN208857391U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108796608A (zh) * | 2018-07-10 | 2018-11-13 | 山西中聚晶科半导体有限公司 | 一种蓝宝石单晶炉冷却装置 |
-
2018
- 2018-07-10 CN CN201821087024.5U patent/CN208857391U/zh active Active
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108796608A (zh) * | 2018-07-10 | 2018-11-13 | 山西中聚晶科半导体有限公司 | 一种蓝宝石单晶炉冷却装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN208475641U (zh) | 冷热油切换油温控制机 | |
| CN208857391U (zh) | 一种蓝宝石单晶炉冷却装置 | |
| CN203992395U (zh) | 真空烧结炉冷却系统 | |
| CN207019210U (zh) | 空调系统应急制冷装置和空调系统 | |
| CN108796608A (zh) | 一种蓝宝石单晶炉冷却装置 | |
| CN204360237U (zh) | 柴油储油罐防结蜡中高频加热装置 | |
| CN115289843A (zh) | 一种电熔炉的炉体冷却系统及冷却工艺 | |
| CN205297781U (zh) | 一种柴油机燃油控温装置 | |
| CN210270643U (zh) | 液氮降温自动控制器 | |
| CN220417647U (zh) | 一种热水循环罐 | |
| CN203640873U (zh) | 内燃机燃料加热装置 | |
| CN202087302U (zh) | 一种自动操作和控制蒸压釜的装置 | |
| CN108288531A (zh) | 一种变压器油位辅助调节装置 | |
| CN207556001U (zh) | 一种无压式上出水校园温开水控制器 | |
| CN203323398U (zh) | 利用管道中剩余热水的控制系统 | |
| CN211074651U (zh) | 橡胶挤出机的温控系统 | |
| CN209729676U (zh) | 一种箱式变压器用循环冷却机构 | |
| CN219669013U (zh) | 一种聚羧酸减水剂生产用丙烯酸防自聚防结晶储罐装置 | |
| CN208818375U (zh) | 自动控制被检测高温水温度的装置 | |
| CN208298035U (zh) | 一种溶胶加热自动控制系统 | |
| CN202640728U (zh) | 节能型工业模具温度控制机 | |
| CN203824181U (zh) | 智能防冰型冷水机组 | |
| CN204420214U (zh) | 智能电显水龙头 | |
| CN208505071U (zh) | 一种冷冻盐水循环装置 | |
| CN216158006U (zh) | 一种注塑成型机的油温冷却控制系统 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |