CN208853419U - 一种晶圆片盒清洗机构 - Google Patents
一种晶圆片盒清洗机构 Download PDFInfo
- Publication number
- CN208853419U CN208853419U CN201821338009.3U CN201821338009U CN208853419U CN 208853419 U CN208853419 U CN 208853419U CN 201821338009 U CN201821338009 U CN 201821338009U CN 208853419 U CN208853419 U CN 208853419U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- film magazine
- turntable
- wafer film
- wafer
- cover
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Landscapes
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
Abstract
本实用新型涉及一种清洗机构，具体的说是一种晶圆片盒清洗机构，属于晶圆片盒清洗结构技术领域。其包括底板、旋转台、罩盖、喷头和晶圆片盒，底板中心设有旋转台，旋转台上固定多层晶圆片盒组，多层晶圆片盒组沿着旋转台从上到下依次设置，每层晶圆片盒组包括多个晶圆片盒；罩盖下端固定在底板上并将旋转台包覆在内，罩盖内侧壁设有多层喷头组，多层喷头组沿着罩盖从上到下依次设置，每层喷头组包括多个喷头。本实用新型纯水喷淋晶圆片盒的同时，旋转台带动晶圆片盒转动甩出水珠，能够有效提升片盒清洗的洁净度；热风机同时烘干晶圆片盒，保证片盒表面不会再残留水渍。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种清洗机构，具体的说是一种晶圆片盒清洗机构，属于晶圆片盒清洗结构技术领域。
背景技术
随着半导体领域技术的发展，半导体制造商对晶圆的洁净度要求越来越高，与晶圆直接接触的片盒的洁净度的要求也随之提高，传统的晶圆片盒清洗设备已经无法满足洁净度的要求。
发明内容
本实用新型的目的在于克服上述不足之处，从而提供一种晶圆片盒清洗机构，能够有效提升片盒清洗的洁净度。
按照本实用新型提供的技术方案，一种晶圆片盒清洗机构包括底板、旋转台、罩盖、喷头和晶圆片盒，其特征是：底板中心设有旋转台，旋转台上固定多层晶圆片盒组，多层晶圆片盒组沿着旋转台从上到下依次设置，每层晶圆片盒组包括多个晶圆片盒；罩盖下端固定在底板上并将旋转台包覆在内，罩盖内侧壁设有多层喷头组，多层喷头组沿着罩盖从上到下依次设置，每层喷头组包括多个喷头。
进一步的，罩盖顶部内侧设有热风机，热风机正对着旋转台。
进一步的，每层晶圆片盒组的多个晶圆片盒沿着圆周方向均匀分布。
进一步的，每层喷头组的多个喷头沿着圆周方向均匀分布。
本实用新型与已有技术相比具有以下优点：
本实用新型结构简单、紧凑、合理，纯水喷淋晶圆片盒的同时，旋转台带动晶圆片盒转动甩出水珠，能够有效提升片盒清洗的洁净度；热风机同时烘干晶圆片盒，保证片盒表面不会再残留水渍。
附图说明
图1为本实用新型主视图。
图2为本实用新型俯视图。
附图标记说明：1-底板、2-旋转台、3-罩盖、4-喷头、5-热风机、6-晶圆片盒。
具体实施方式
下面本实用新型将结合附图中的实施例作进一步描述：
如图1~2所示，本实用新型主要包括底板1、旋转台2、罩盖3、喷头4、热风机5和晶圆片盒6。
底板1中心设有旋转台2，旋转台2上固定多层晶圆片盒组，多层晶圆片盒组沿着旋转台2从上到下依次设置，每层晶圆片盒组包括多个晶圆片盒6，每层晶圆片盒组的多个晶圆片盒6沿着圆周方向均匀分布。
罩盖3下端固定在底板1上并将旋转台2包覆在内，罩盖3内侧壁设有多层喷头组，多层喷头组沿着罩盖3从上到下依次设置，每层喷头组包括多个喷头4，每层喷头组的多个喷头4沿着圆周方向均匀分布。喷头4工作时对晶圆片盒6进行冲洗。
罩盖3顶部内侧设有热风机5，热风机5正对着旋转台2，热风机5用于烘干旋转台2上的多个晶圆片盒6。
本实用新型的工作原理是：将多个晶圆片盒依次固定在旋转台侧壁上，旋转台带动多个晶圆片盒转动，同时纯水从喷头喷出清洗晶圆片盒，间歇性喷淋一定时间后，将多个晶圆片盒将清洗干净，由于高速旋转而产生的离心力的作用，附着在片盒壁上的水珠将完全被甩出，辅以热风机的烘干功能，片盒表面将不会再残留水渍。
本实用新型结构简单、紧凑、合理，纯水喷淋晶圆片盒的同时，旋转台带动晶圆片盒转动甩出水珠，能够有效提升片盒清洗的洁净度；热风机同时烘干晶圆片盒，保证片盒表面不会再残留水渍。
Claims (4)
1.一种晶圆片盒清洗机构，包括底板（1）、旋转台（2）、罩盖（3）、喷头（4）和晶圆片盒（6），其特征是：底板（1）中心设有旋转台（2），旋转台（2）上固定多层晶圆片盒组，多层晶圆片盒组沿着旋转台（2）从上到下依次设置，每层晶圆片盒组包括多个晶圆片盒（6）；罩盖（3）下端固定在底板（1）上并将旋转台（2）包覆在内，罩盖（3）内侧壁设有多层喷头组，多层喷头组沿着罩盖（3）从上到下依次设置，每层喷头组包括多个喷头（4）。
2.如权利要求1所述的一种晶圆片盒清洗机构，其特征是：所述罩盖（3）顶部内侧设有热风机（5），热风机（5）正对着旋转台（2）。
3.如权利要求1所述的一种晶圆片盒清洗机构，其特征是：所述每层晶圆片盒组的多个晶圆片盒（6）沿着圆周方向均匀分布。
4.如权利要求1所述的一种晶圆片盒清洗机构，其特征是：所述每层喷头组的多个喷头（4）沿着圆周方向均匀分布。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201821338009.3U CN208853419U (zh) | 2018-08-17 | 2018-08-17 | 一种晶圆片盒清洗机构 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201821338009.3U CN208853419U (zh) | 2018-08-17 | 2018-08-17 | 一种晶圆片盒清洗机构 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN208853419U true CN208853419U (zh) | 2019-05-14 |
Family
ID=66415045
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201821338009.3U Active CN208853419U (zh) | 2018-08-17 | 2018-08-17 | 一种晶圆片盒清洗机构 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN208853419U (zh) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110238143A (zh) * | 2019-06-14 | 2019-09-17 | 德淮半导体有限公司 | Foup清洗装置 |
| CN110586589A (zh) * | 2019-08-30 | 2019-12-20 | 西安奕斯伟硅片技术有限公司 | 一种片盒清洗装置及方法 |
| CN112038257A (zh) * | 2019-06-04 | 2020-12-04 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 清洗设备 |
| CN115213183A (zh) * | 2022-08-03 | 2022-10-21 | 东莞市凯迪微智能装备有限公司 | 一种晶圆盒清洗设备及其清洗工艺 |
-
2018
- 2018-08-17 CN CN201821338009.3U patent/CN208853419U/zh active Active
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112038257A (zh) * | 2019-06-04 | 2020-12-04 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 清洗设备 |
| CN112038257B (zh) * | 2019-06-04 | 2024-03-26 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 清洗设备 |
| CN110238143A (zh) * | 2019-06-14 | 2019-09-17 | 德淮半导体有限公司 | Foup清洗装置 |
| CN110586589A (zh) * | 2019-08-30 | 2019-12-20 | 西安奕斯伟硅片技术有限公司 | 一种片盒清洗装置及方法 |
| CN115213183A (zh) * | 2022-08-03 | 2022-10-21 | 东莞市凯迪微智能装备有限公司 | 一种晶圆盒清洗设备及其清洗工艺 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN208853419U (zh) | 一种晶圆片盒清洗机构 | |
| CN205797854U (zh) | 一种新型pcb油墨清洗机 | |
| CN202307847U (zh) | 一种真空吸盘装置 | |
| CN204261970U (zh) | 镜面板材清洗烘干机 | |
| CN205490376U (zh) | 一种可自动除尘的太阳能光伏板装置 | |
| CN209537807U (zh) | 一种用于面料的喷涂设备 | |
| CN202149675U (zh) | 太阳能硅片甩干机 | |
| CN202006190U (zh) | 半导体硅片的清洗工艺腔 | |
| CN210146332U (zh) | 一种用于pcb板的喷涂装置 | |
| CN108261166A (zh) | 一种灯罩清洁装置 | |
| CN208303324U (zh) | 晶圆清洗装置 | |
| CN207618518U (zh) | 一种喷涂机零污染传输系统 | |
| CN208197089U (zh) | 防泥拉坯机 | |
| CN208004221U (zh) | 一种艺术设计展示板喷涂干燥除尘装置 | |
| CN201781444U (zh) | 太阳能电池自动除污器 | |
| CN206093698U (zh) | 一种面板灯 | |
| CN205762505U (zh) | 光伏组件清洗涂覆装置 | |
| TWI408013B (zh) | 易於導流之元件清洗機 | |
| CN213847207U (zh) | 一种耐腐蚀效果好的电子产品用塑胶件 | |
| CN210997870U (zh) | 一种用于生产平面镜的双面抛光机 | |
| CN204412649U (zh) | 一种锂电池极片清理机 | |
| TWM637220U (zh) | 鐵捲門之自動清潔結構 | |
| CN206848895U (zh) | 用于计算机主机的清灰装置 | |
| CN206415312U (zh) | 一种旋转封边装置 | |
| CN106299043A (zh) | 一种led晶片清洗烘干装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |